单晶炉上炉体的制作方法

文档序号:34840033发布日期:2023-07-21 12:14阅读:33来源:国知局
单晶炉上炉体的制作方法

本技术涉及一种上炉体,具体为单晶炉上炉体,属于单晶炉。


背景技术:

1、单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,在单晶炉使用时采用的上炉体内部需要对钢丝绳进行配重一级擦拭。

2、中国专利号cn209144323u提供一种带有上炉体升降装置的单晶炉,包括与上炉体固定连接的升降装置,升降装置包括方立柱,在所述方立柱上由上至下间隔设置有第一支座、第二支座、第三支座,液压缸,液压缸的驱动杆穿过第三支座连接推力球轴承,推力球轴承连接传动轴,第一支座、第二支座与所述传动轴之间径向固定轴向滑动配合,提升架,提升架一端与传动轴固定连接,另一端与上炉体固定连接,第二支座位于上连接座和下连接座之间。利用三个支座布置在液压缸、上、下连接座及传动轴的相对位置上,实现三点支撑,有效的降低了传动轴的受力点,使得传动轴不变形,提高了上炉体升降的安全性和准确性,降低对设备的损坏程度。

3、然而,上述中案例虽然提高了上炉体升降的安全性和准确性,降低对设备的损坏程度,但是提升时稳定性相对较差,同时不具有提升结构起到清理和养护功能,容易污染单晶炉。

4、有鉴于此特提出本实用新型。


技术实现思路

1、本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供单晶炉上炉体。

2、本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,单晶炉上炉体,包括下炉体组件、上炉体组件和升降组件,所述下炉体组件包括下炉体,所述上炉体组件包括上炉体和隔离阀,所述隔离阀固定在下炉体上,所述上炉体固定在隔离阀上,所述上炉体底部固定有安装板,所述上炉体的内部设置有配重块和清理棉,所述升降组件包括固定架、电机和支撑架,所述固定架固定在下炉体上,所述电机固定在固定架一侧,所述电机的输出轴连接有收卷辊,所述收卷辊的顶部缠绕有钢丝绳,所述钢丝绳固定在配重块上,所述钢丝绳贯穿清理棉的内部。

3、进一步的,所述下炉体的顶部安装有进料管和盖板,所述进料管固定在下炉体上,所述进料管的一端螺纹安装有螺纹盖,所述盖板通过合页转动连接在下炉体顶部,所述盖板的顶部嵌入安装有观察窗。

4、进一步的,所述下炉体两侧安装有散热组件,所述散热组件包括排气壳、制冷壳和散热器,所述排气壳和制冷壳分别固定在下炉体两侧。

5、进一步的,所述排气壳的正面滑动安装有挡板一,所述排气壳的一侧安装有防护网一,所述制冷壳的正面滑动安装有挡板二,所述制冷壳的内部安装有制冷架。

6、进一步的,所述散热器固定在制冷壳一侧,所述散热器内部安装有散热扇,所述散热器的内部安装有防护网二。

7、进一步的,所述支撑架固定在上炉体上,所述支撑架的内部转动安装有定滑轮,且钢丝绳绕在定滑轮上。

8、进一步的,所述下炉体内安装有加热组件,所述加热组件包括炉内胆、坩埚和夹头,所述炉内胆的外部安装有加热器,所述坩埚设置在炉内胆内。

9、进一步的,所述夹头固定在钢丝绳的自由端,所述夹头的底部夹持有籽晶。

10、本实用新型的技术效果和优点:(1)通过设置的上炉体组件,上炉体组件采用的配重块固定在钢丝绳的外部,采用配重块能提高钢丝绳底部栓接的夹头进行稳定性升降,采用的清理棉能对钢丝绳表面进行清理,同时清理棉内吸附有防护液能对钢丝绳进行养护;(2)通过设置的升降组件,升降组件内的电机带动收卷辊转动,收卷辊转动带动钢丝绳升降,钢丝绳绕过定滑轮带动夹头和籽晶升降,提高籽晶升降的稳定性升降;(3)通过设置的散热组件,散热组件,在炉体使用时将两个挡板关闭,在需要对炉体散热时,打开两个挡板,同时启动散热扇和制冷架,制冷架能对壳内的空气进行降温,通过散热扇向下炉体内输送冷风,能快速对下炉体进行冷却,提高对下炉体的散热效率。



技术特征:

1.单晶炉上炉体,包括下炉体组件(100)、上炉体组件(200)和升降组件(400),其特征在于:所述下炉体组件(100)包括下炉体(101),所述上炉体组件(200)包括上炉体(201)和隔离阀(202),所述隔离阀(202)固定在下炉体(101)上,所述上炉体(201)固定在隔离阀(202)上,所述上炉体(201)底部固定有安装板(203),所述上炉体(201)的内部设置有配重块(204)和清理棉(205),所述升降组件(400)包括固定架(401)、电机(402)和支撑架(405),所述固定架(401)固定在下炉体(101)上,所述电机(402)固定在固定架(401)一侧,所述电机(402)的输出轴连接有收卷辊(403),所述收卷辊(403)的顶部缠绕有钢丝绳(404),所述钢丝绳(404)固定在配重块(204)上,所述钢丝绳(404)贯穿清理棉(205)的内部。

2.根据权利要求1所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述下炉体(101)的顶部安装有进料管(102)和盖板(104),所述进料管(102)固定在下炉体(101)上,所述进料管(102)的一端螺纹安装有螺纹盖(103),所述盖板(104)通过合页转动连接在下炉体(101)顶部,所述盖板(104)的顶部嵌入安装有观察窗(105)。

3.根据权利要求1所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述下炉体(101)两侧安装有散热组件(300),所述散热组件(300)包括排气壳(301)、制冷壳(302)和散热器(307),所述排气壳(301)和制冷壳(302)分别固定在下炉体(101)两侧。

4.根据权利要求3所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述排气壳(301)的正面滑动安装有挡板一(303),所述排气壳(301)的一侧安装有防护网一(304),所述制冷壳(302)的正面滑动安装有挡板二(305),所述制冷壳(302)的内部安装有制冷架(306)。

5.根据权利要求3所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述散热器(307)固定在制冷壳(302)一侧,所述散热器(307)内部安装有散热扇(308),所述散热器(307)的内部安装有防护网二(309)。

6.根据权利要求1所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述支撑架(405)固定在上炉体(201)上,所述支撑架(405)的内部转动安装有定滑轮(406),且钢丝绳(404)绕在定滑轮(406)上。

7.根据权利要求1所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述下炉体(101)内安装有加热组件(500),所述加热组件(500)包括炉内胆(501)、坩埚(503)和夹头(504),所述炉内胆(501)的外部安装有加热器(502),所述坩埚(503)设置在炉内胆(501)内。

8.根据权利要求7所述的单晶炉上炉体,其特征在于:所述夹头(504)固定在钢丝绳(404)的自由端,所述夹头(504)的底部夹持有籽晶(505)。


技术总结
本技术涉及一种上炉体,具体的说是单晶炉上炉体,包括下炉体组件、上炉体组件和升降组件,下炉体组件包括下炉体,上炉体组件包括上炉体和隔离阀,隔离阀固定在下炉体上,上炉体固定在隔离阀上,上炉体底部固定有安装板,上炉体的内部设置有配重块和清理棉,升降组件包括固定架、电机和支撑架,固定架固定在下炉体上,电机固定在固定架一侧,电机的输出轴连接有收卷辊,收卷辊的顶部缠绕有钢丝绳,钢丝绳固定在配重块上,钢丝绳贯穿清理棉的内部,下炉体的顶部安装有进料管和盖板,进料管固定在下炉体上。本技术在籽晶提升时提高稳定性,同时能对钢丝绳升降时进行清理和养护,避免灰尘通过钢丝污染单晶炉。

技术研发人员:许建枫,祝林飞,郝振庆,曹林,曹刚
受保护的技术使用者:浙江昱力机电科技有限公司
技术研发日:20230208
技术公布日:2024/1/13
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