本技术涉及晶体生长,特别涉及一种坩埚定位系统。
背景技术:
1、在电阻炉生长晶体时,通常是将原料(原料主要是粉状氧化物)在炉体中进行高温反应,逐步形成所需的晶体。
2、具体的做法是,将原料放置在坩埚中,然后再坩埚周围设置加热组件对其进行加热,使坩埚升温,使粉状原料熔化再降温结晶。在对坩埚进行加热前,首先需要对坩埚的位置进行固定,需要将坩埚的上平面恰好与上屏接触。
3、如果坩埚的上平面低于上屏的底面,会导致坩埚在加热时,热量会急速从间隙处流失到炉腔中,导致坩埚受热不均,其加热温度难以控制,降低结晶的良品率。如果坩埚的上平面高于上屏底面的预定位置,将上屏举升一端距离,此时虽然能够完全与上屏接触,保证整体的气密性。但是由于炉腔内的加热温度会高达1900摄氏度左右,在该温度下,坩埚会发生软化现象,此时上屏会将软化的坩埚挤压变形,由于晶体生长粉料通常是精确放置的,形变后的坩埚可能会将液态的原料溢出,降低晶体生长的效果。
4、现有技术中对于坩埚定位,由于装置自身的原因,无法直接观测到坩埚是否恰好与上屏接触,只能依靠作业人员的经验判断,手动缓慢通过手轮控制进行举升坩埚,这种方式极大的依赖作业人员的经验,往往不精确,不同的人会存在较大的误差。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于,针对上述不足之处提供一种坩埚定位系统,解决了现有技术中坩埚定位依靠人工经验判断,不够精准的问题。
2、本实用新型是通过下述方案来实现的:
3、一种坩埚定位系统,包括举升平台、坩埚、上屏部、侧屏部和万用表;所述侧屏部搭接在电极板中心位置,所述举升平台设置在电极板中心孔位置,所述上屏部盖合在侧屏部上,所述坩埚设置在举升平台上,所述上屏上设置有供晶体生长的第一通孔,所述万用表一端与上屏部和/或侧屏部连接,另一端与坩埚连接。
4、基于上述一种坩埚定位系统的结构,所述侧屏部包括第一侧屏、第二侧屏、第三侧屏和第四侧屏,所述第一侧屏、第二侧屏、第三侧屏和第四侧屏均为圆筒状结构,所述第一侧屏套设在第二侧屏内,第二侧屏套设在第三侧屏内,第三侧屏套设在第四侧屏内,所有的侧屏的中心位置均与电极板中心通孔中心位置共线。
5、基于上述一种坩埚定位系统的结构,所述第一侧屏、第二侧屏、第三侧屏和第四侧屏的高度依次增加设置。
6、基于上述一种坩埚定位系统的结构,所述上屏部包括第一上屏、第二上屏和第三上屏;第一上屏、第二上屏和第三上屏均为圆盘状结构,所述第一上屏、第二上屏和第三上屏的中心相同位置均设置有生长通孔。
7、基于上述一种坩埚定位系统的结构,所述第一上屏、第二上屏和第三上屏的圆盘直径依次增大设置。
8、基于上述一种坩埚定位系统的结构,所述第一上屏盖合在第一侧屏上,所述第二上屏盖合在第二侧屏上,所述第三上屏盖合在第三侧屏上;所述第一侧屏与第二侧屏的高度差不小于第一上屏的厚度,所述第二侧屏与第三侧屏的高度差不小于第二上屏的厚度;所述第三侧屏与第四侧屏的高度差不小于第三上屏的厚度。
9、基于上述一种坩埚定位系统的结构,所述第一侧屏、第二侧屏、第三侧屏,以及第一上屏、第二上屏和第三上屏均由多层金属结构组合而成。
10、基于上述一种坩埚定位系统的结构,所述万用表的接触线上设置有配重块,所述配重块设置在接触线的端部位置。
11、综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
12、1、本方案中,由于上屏部、侧屏部和坩埚均为导电材质,因此在需要将坩埚进行定位时,将万用表的一端与坩埚连接,另一端与上屏部或侧屏部连接,此时整个导电回路为断开状态,当作业人员转动手轮使举升平台缓速上升,使坩埚逐步靠近上屏部的底端位置,当坩埚恰好与上屏部的底端位置接触时,此时整个导电回路为导通状态,此时在万用表的显示器上能够显示出急剧变化。因此作业人员在对坩埚进行定位时,虽然看不见坩埚的位置,但是能够通过仪表盘的变化来精准确定坩埚处于合适的位置,降低了对作业人员经验的要求,不同的作业人员来对坩埚进行定位,也均能够实现精准定位,极大的提升了晶体生长效率。
13、2、本方案中在使用万用表时,可以直接将两个设置有配重块的接触线一端放置在坩埚内,一端放置在上屏部上,用一只手拿走万用表进行观测,另一只手缓速转动手轮提升坩埚,如此不仅可以节省人力资源,同时也能够提升坩埚定位的精准度。
14、附图说明
15、图1为本实用新型整体的结构示意图;
16、图2为本实用新型坩埚举升到预定位置时的示意图;
1.一种坩埚定位系统,其特征在于:包括举升平台、坩埚、上屏部、侧屏部和万用表;所述侧屏部搭接在电极板中心位置,所述举升平台设置在电极板中心孔位置,所述上屏部盖合在侧屏部上,所述坩埚设置在举升平台上,所述上屏部上设置有供晶体生长的第一通孔,所述万用表一端与上屏部和/或侧屏部连接,另一端与坩埚连接。
2.如权利要求1所述的一种坩埚定位系统,其特征在于:所述侧屏部包括第一侧屏、第二侧屏、第三侧屏和第四侧屏,所述第一侧屏、第二侧屏、第三侧屏和第四侧屏均为圆筒状结构,所述第一侧屏套设在第二侧屏内,第二侧屏套设在第三侧屏内,第三侧屏套设在第四侧屏内,所有的侧屏的中心位置均与电极板中心通孔中心位置共线。
3.如权利要求2所述的一种坩埚定位系统,其特征在于:所述第一侧屏、第二侧屏、第三侧屏和第四侧屏的高度依次增加设置。
4.如权利要求3所述的一种坩埚定位系统,其特征在于:所述上屏部包括第一上屏、第二上屏和第三上屏;第一上屏、第二上屏和第三上屏均为圆盘状结构,所述第一上屏、第二上屏和第三上屏的中心相同位置均设置有生长通孔。
5.如权利要求4所述的一种坩埚定位系统,其特征在于:所述第一上屏、第二上屏和第三上屏的圆盘直径依次增大设置。
6.如权利要求5所述的一种坩埚定位系统,其特征在于:所述第一上屏盖合在第一侧屏上,所述第二上屏盖合在第二侧屏上,所述第三上屏盖合在第三侧屏上;所述第一侧屏与第二侧屏的高度差不小于第一上屏的厚度,所述第二侧屏与第三侧屏的高度差不小于第二上屏的厚度;所述第三侧屏与第四侧屏的高度差不小于第三上屏的厚度。
7.如权利要求6所述的一种坩埚定位系统,其特征在于:所述第一侧屏、第二侧屏、第三侧屏,以及第一上屏、第二上屏和第三上屏均由多层金属结构组合而成。
8.如权利要求1~7任一所述的一种坩埚定位系统,其特征在于:所述万用表的接触线上设置有配重块,所述配重块设置在接触线的端部位置。