一种热稳定性高的还原炉的制作方法

本技术涉及多晶硅生产，尤其涉及一种热稳定性高的还原炉。

背景技术：

1、在多晶硅的生产过程中，其对原料的还原是非常关键的一步，通过还原炉对原料进行还原反应，而在还原炉的使用过程中，其还原炉内的尾气含有大量的热量，为了避免造成能量的浪费，通常会对这些热量进行回收再利用，而常用的回收装置则是低压蒸汽闪蒸罐(0.2/0.4mpa)，还原尾气出还原炉后使用炉筒冷却水进行冷却，其热能被带至低压蒸汽闪蒸罐(0.2/0.4mpa)闪蒸低压蒸汽，回收效率低，且需要配套设备，在不需要低压蒸汽的场合还无法利用该部分热能。

技术实现思路

1、为了解决目前多晶硅还原炉尾气回收效率低，设备成本高的问题，本实用新型提供一种热稳定性高的还原炉。

2、本实用新型提供的技术方案是：一种热稳定性高的还原炉，包括还原炉和尾气管，尾气管外侧包裹有蒸发腔，还原炉外侧包裹有冷凝腔，在冷凝腔内的还炉体外侧附着一层毛细多孔材料，蒸发腔内的尾气管外侧附着一层毛细多孔材料，蒸发腔和冷凝腔之间通过蒸发管和冷凝管连接成为一个密闭的空间，所述密闭的空间内填充有导热油，该密封的空间被抽吸成负压状态，其中冷凝管内附着有毛细多孔材料，冷凝管的毛细多孔材料与蒸发腔、冷凝腔内的毛细多孔材料相连接。

3、蒸发腔为为三个；冷凝腔分为三个，三个蒸发腔在尾气管上依次排列，冷凝腔在还原炉体外侧上下排列，距离还原炉最近的蒸发腔通过蒸发管和冷凝管连接还原炉最上侧的冷凝腔，中间的蒸发腔通过蒸发管和冷凝管连接还原炉中间的冷凝腔，管距离还原炉最远的蒸发腔通过蒸发管和冷凝管连接还原炉最下侧的冷凝腔。

4、蒸发腔上安装有电动阀。

5、本实用新型的有益效果为：蒸发腔和和冷凝腔形成一个热管系统，蒸发腔内的导热油在负压条件下受热蒸发，蒸发的导热油在冷凝腔内冷凝释放热量，冷凝后的导热油经冷凝管回流到蒸发腔内循环，在热管的作用下，尾气管的热量被带回到还原炉外侧，防止还原炉的炉体散热影响还原炉的热场温度，提高了还原炉的热场稳定性，在尾气管从高温到低温的阶段设置三组蒸发腔和和冷凝腔形成三个热管系统，分别对于还原炉炉体的从下部到上部温度上升的阶段，与多晶硅的生长温度梯度相匹配，进一步提高还原炉的热场稳定性，提高多晶硅生长质量，蒸发管上安装有电动阀，起到热管开关的作用，从而精确控制还原炉的热场温度和梯度。

技术特征：

1.一种热稳定性高的还原炉，包括还原炉(1)和尾气管(2)，其特征在于：尾气管(2)外侧包裹有蒸发腔(3)，还原炉(1)外侧包裹有冷凝腔(4)，在冷凝腔(4)内的还原炉(1)外侧附着一层毛细多孔材料，蒸发腔(3)内的尾气管(2)外侧附着一层毛细多孔材料，蒸发腔(3)和冷凝腔(4)之间通过蒸发管(5)和冷凝管(6)连接成为一个密闭的空间，该密闭的空间内填充有导热油，所述密封的空间被抽吸成负压状态，其中冷凝管(6)内附着有毛细多孔材料，冷凝管(6)的毛细多孔材料与蒸发腔(3)、冷凝腔(4)内的毛细多孔材料相连接。

2.根据权利要求1所述的一种热稳定性高的还原炉，其特征在于：蒸发腔(3)为为三个；冷凝腔(4)分为三个，三个蒸发腔(3)在尾气管(2)上依次排列，冷凝腔(4)在还原炉(1)外侧上下排列，距离还原炉(1)最近的蒸发腔(3)通过蒸发管(5)和冷凝管(6)连接还原炉(1)最上侧的冷凝腔(4)，中间的蒸发腔(3)通过蒸发管(5)和冷凝管(6)连接还原炉(1)中间的冷凝腔(4)，距离还原炉(1)最远的蒸发腔(3)通过蒸发管(5)和冷凝管(6)连接还原炉(1)最下侧的冷凝腔(4)。

3.根据权利要求1所述的一种热稳定性高的还原炉，其特征在于：蒸发腔(3)上安装有电动阀(7)。

技术总结
一种热稳定性高的还原炉，涉及多晶硅生产技术领域。尾气管外侧包裹有蒸发腔，还原炉外侧包裹有冷凝腔，在冷凝腔内的炉体外侧附着一层毛细多孔材料，蒸发腔内的尾气管外侧附着一层毛细多孔材料，蒸发腔和冷凝腔之间通过蒸发管和冷凝管连接成为一个密闭的空间。本技术的有益效果是：蒸发腔和和冷凝腔形成一个热管系统，蒸发腔内的导热油在负压条件下受热蒸发，蒸发的导热油在冷凝腔内冷凝释放热量，冷凝后的导热油经冷凝管回流到蒸发腔内循环，在热管的作用下，尾气管的热量被带回到还原炉体外侧，防止还原炉的炉体散热影响还原炉的热场温度，提高了还原炉的热场稳定性。

技术研发人员：苑魁,于会永,冯佳锋,赵中阳,赵春锋
受保护的技术使用者：大庆溢泰半导体材料有限公司
技术研发日：20230306
技术公布日：2024/1/14