一种单晶炉真空应急加副泵循环装置的制作方法

本技术属于单晶炉，具体是指一种单晶炉真空应急加副泵循环装置。

背景技术：

1、当前我们用的的普通单体模式如图2所见一台单晶炉一台主泵，和一台副泵，这样的配置第一是对副泵的浪费，我所创新出来的模式可以减少辅泵，把它汇总在一起，副泵的功能是净化副室和隔离副室时需要抽真空，而我们的这套系统可以理解为一台大型组合起来的泵，是完全可以满足副泵的要求的，还有我们另一个功能是充当应急主泵来用的当传统单晶炉主泵发生故障是炉体就会严重氧化，或被迫停炉这样的话对我们的生产，会带来巨大的损失，所以我们研发的应急循环系统，可以有效的避免上述情况的发生，在单晶主泵出现故障是第一时间切断单晶炉本身的主泵，通过气动阀门来转移到我们应急系统上，从而保障生产继续进行，避免由于主泵停跳导致生产过程中断导致的损失。

技术实现思路

1、为了解决上述难题，本实用新型提供了一种单晶炉真空应急加副泵循环装置。

2、为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，包括应急泵、负压罐、真空泵和单晶炉，所述应急泵通过止回阀连接于负压罐，所述应急泵设有两组，所述负压罐通过截止阀连接于真空泵，所述负压罐通过闸板阀连接于单晶炉，所述真空泵和负压罐的连接端设有止回阀且连接于单晶炉。

3、进一步地，所述应急泵和止回阀对应设置。

4、进一步地，所述负压罐连接于压力表。

5、进一步地，所述真空泵和单晶炉设有三组。

6、本实用新型采取上述结构取得有益效果如下：

7、本装置通过自动化控制回路和并联炉台设计，做到了一对多的形式，简化炉台副泵设施，集中到一台主泵，从而减少了设施硬件投入。

8、本装置作为单晶炉的备份真空系统在运行中单晶炉主泵异常的情况下可以实现自动切换，有效避免主泵异常导致的生产损失，同时为主泵抢修提供了宝贵时间，减少运行安全风险。

9、我们这套循环系统比传统单晶炉来说减少的副本的运行和维护成本，保证主泵持久的运行状态，而且我们循环系统维护，维修相当简单，对维护成本大幅度降低。

技术特征：

1.一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，其特征在于：包括应急泵、负压罐、真空泵和单晶炉，所述应急泵通过止回阀连接于负压罐，所述应急泵设有两组，所述负压罐通过截止阀连接于真空泵，所述负压罐通过闸板阀连接于单晶炉，所述真空泵和负压罐的连接端设有止回阀且连接于单晶炉。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，其特征在于：所述应急泵和止回阀对应设置。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，其特征在于：所述负压罐连接于压力表。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，其特征在于：所述真空泵和单晶炉设有三组。

技术总结
本技术公开了一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，包括应急泵、负压罐、真空泵和单晶炉，所述应急泵通过止回阀连接于负压罐，所述应急泵设有两组，所述负压罐通过截止阀连接于真空泵，所述负压罐通过闸板阀连接于单晶炉，所述真空泵和负压罐的连接端设有止回阀且连接于单晶炉。本技术属于单晶炉技术领域，具体是指一种单晶炉真空应急加副泵循环装置。

技术研发人员：郝焱,史慧敏,郝朝旭,李康
受保护的技术使用者：内蒙古昌瑞半导体材料有限公司
技术研发日：20230419
技术公布日：2024/1/14