一种晶体生长炉加热装置的制作方法

本技术涉及晶体生长装置，特别涉及一种晶体生长炉加热装置。

背景技术：

1、晶体生长炉是一种用于生产单晶硅的制造设备，由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成，晶体由固态、液态或气态生长而得，实际上人工晶体多半由熔体达到一定的过冷或溶液达到一定的过饱和而得，晶体生长是用一定的方法和技术，使单晶体由液态或气态结晶成长，由液态结晶又可以分成熔体生长或溶液生长两大类，在直拉硅单晶生长工艺中，一般采用温度梯度来描述热场的温度分布情况，其中在固液界面处的温度梯度最为关键。

2、经检索专利号cn214830781u公开了晶体生长装置，包括晶体生长炉，晶体生长炉的内部设有加热腔，且晶体生长炉的顶部设有通孔；升降机构，升降机构设置于晶体生长炉上；籽晶杆，籽晶杆与升降机构驱动连接并可活动地穿设于通孔，籽晶杆的底端位于加热腔内，籽晶杆的顶端位于加热腔外，籽晶杆设有沿籽晶杆的轴向延伸的冷却液通道，至少有部分冷却液通道位于加热腔内，冷却液通道具有形成于籽晶杆的顶端的通道口；液罐，液罐设置于籽晶杆的顶端，液罐的内部设有液腔，且液罐还设有与液腔连通的连通口、以及与液腔连通的进液口，连通口与通道口连通。上述的晶体生长装置避免籽晶杆被烧损或缩短使用寿命，但是大多数生长炉的加热设备都不够精准，使用起来较为繁琐，无法受热均匀，并且无法根据使用者的需求对生长炉本体进行高矮调节，不便于人们使用，因此针对以上不足提出了一种晶体生长炉加热装置。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶体生长炉加热装置，解决了大多数生长炉的加热设备都不够精准，使用起来较为繁琐，无法受热均匀，并且无法根据使用者的需求对生长炉本体进行高矮调节，不便于人们使用的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶体生长炉加热装置，包括固定柱，所述固定柱的外表面穿插设置有把手，所述把手的另一端固定连接有第一锥齿轮，所述固定柱的内部设置有限位槽，所述限位槽的内部滑动连接有限位块，所述限位块的上表面固定连接有活动柱，所述活动柱的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接。

5、优选的，所述活动柱的顶部固定连接有工作台，所述工作台的内部设置有方形槽，所述方形槽的内部固定连接有小型电机，所述小型电机的输出端固定连接有连接柱，所述连接柱的顶端固定连接有炉室，所述炉室的内部固定连接有加热板，所述工作台的上表面固定连接有炉体，所述炉体的内部固定连接有副炉管，所述副炉管的内表面与炉室的外表面活动连接。

6、优选的，所述炉体的上表面固定连接有炉盖，所述炉盖的上表面固定连接有籽晶杆，所述籽晶杆的顶端固定连接有晶转电机的输出端。

7、优选的，所述籽晶杆的外表面设置有阀门。

8、优选的，所述连接柱的外表面穿插设置在炉体的内部。

9、优选的，所述固定柱的内部底端与螺纹杆的另一端活动连接，所述固定柱的内部与活动柱的外表面活动连接。

10、(三)有益效果

11、本实用新型提供了一种晶体生长炉加热装置。具备以下有益效果：当需要调节高度时，转动把手，由于把手与第一锥齿轮固定连接，因此可带动第一锥齿轮转动，由于第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合连接，因此当第一锥齿轮转动时即可带动第二锥齿轮转动，由于第二锥齿轮与螺纹杆固定连接，因此可带动螺纹杆转动，由于螺纹杆与活动柱螺纹连接，因此当螺纹杆转动时即可带动活动柱上下移动，通过限位块防止活动柱会转动，由于活动柱与工作台固定连接，因此可带动整体上下移动，从而实现了可以根据使用者的需求对生长炉本体进行高矮调节，以便于人们使用，启动小型电机，由于小型电机的输出端与连接柱固定连接，因此可带动连接柱转动，有连接柱与炉室固定连接，因此可带动炉室转动，同时通过加热板加热工作，通过副炉管防止炉室转动时发生偏移，从而实现了生长炉的加热设备足够精准，使用起来简单方便，有效的均匀受热。

技术特征：

1.一种晶体生长炉加热装置，包括固定柱(1)，其特征在于：所述固定柱(1)的外表面穿插设置有把手(2)，所述把手(2)的另一端固定连接有第一锥齿轮(3)，所述固定柱(1)的内部设置有限位槽(4)，所述限位槽(4)的内部滑动连接有限位块(5)，所述限位块(5)的上表面固定连接有活动柱(6)，所述活动柱(6)的内部螺纹连接有螺纹杆(7)，所述螺纹杆(7)的外表面固定连接有第二锥齿轮(8)，所述第二锥齿轮(8)与第一锥齿轮(3)啮合连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉加热装置，其特征在于：所述活动柱(6)的顶部固定连接有工作台(9)，所述工作台(9)的内部设置有方形槽(10)，所述方形槽(10)的内部固定连接有小型电机(11)，所述小型电机(11)的输出端固定连接有连接柱(12)，所述连接柱(12)的顶端固定连接有炉室(13)，所述炉室(13)的内部固定连接有加热板(14)，所述工作台(9)的上表面固定连接有炉体(15)，所述炉体(15)的内部固定连接有副炉管(16)，所述副炉管(16)的内表面与炉室(13)的外表面活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶体生长炉加热装置，其特征在于：所述炉体(15)的上表面固定连接有炉盖(17)，所述炉盖(17)的上表面固定连接有籽晶杆(18)，所述籽晶杆(18)的顶端固定连接有晶转电机(19)的输出端。

4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉加热装置，其特征在于：所述籽晶杆(18)的外表面设置有阀门(20)。

5.根据权利要求2所述的一种晶体生长炉加热装置，其特征在于：所述连接柱(12)的外表面穿插设置在炉体(15)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉加热装置，其特征在于：所述固定柱(1)的内部底端与螺纹杆(7)的另一端活动连接，所述固定柱(1)的内部与活动柱(6)的外表面活动连接。

技术总结
本技术公开了一种晶体生长炉加热装置，包括固定柱，所述固定柱的外表面穿插设置有把手，所述把手的另一端固定连接有第一锥齿轮，所述固定柱的内部设置有限位槽，所述限位槽的内部滑动连接有限位块，所述限位块的上表面固定连接有活动柱，所述活动柱的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面固定连接有第二锥齿轮，启动小型电机，由于小型电机的输出端与连接柱固定连接，因此可带动连接柱转动，有连接柱与炉室固定连接，因此可带动炉室转动，同时通过加热板加热工作，通过副炉管防止炉室转动时发生偏移，从而实现了生长炉的加热设备足够精准，使用起来简单方便，有效的均匀受热。

技术研发人员：唐华纯,李中波,张亮
受保护的技术使用者：上海御光新材料科技股份有限公司
技术研发日：20230427
技术公布日：2024/1/14