具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置及单晶炉的制作方法

本技术涉及一种单晶炉领域，尤其涉及具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置及单晶炉。

背景技术：

1、单晶硅是制备太阳能电池的重要原料。目前通常通过直拉法(czochralski，cz法)制备单晶硅棒。直拉法制备单晶硅棒包括装料、熔化、细颈、放肩、转肩、等径和收尾等阶段。其中，细颈阶段的目的是为了消除位错。通常采用单晶炉进行单晶硅棒的拉制。单晶炉主要包括主炉室和副炉室，熔融的硅液盛放在主炉室中，生长的单晶硅棒被位于副炉室顶部的提拉机构提拉进入副炉室。在主炉室和副炉室之间设置有隔离阀，隔离阀包括气缸驱动与阀板，气缸驱动连接阀板，并用于驱动阀板开启或关闭。当单晶硅棒拉制完毕后，单晶硅棒进入副炉室进行冷却。单晶硅棒完全进入副炉室后，隔离阀关闭以隔离主炉室和副炉室。当单晶硅棒冷却完成需要从副炉室中取出时，需要提升副炉室，此时会产生较大的震动，同时由于惯性的作用，很容易造成细颈断裂使得单晶硅棒坠落撞击隔离阀阀板，造成阀板变形，甚至损坏。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，能够避免隔离阀阀板被砸坏，降低事故风险。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

3、第一方面，根据本实用新型实施例的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，包括：

4、阀板本体；

5、缓冲组件，所述缓冲组件包括缓冲板与多个缓冲器件，多个所述缓冲器件的一端连接所述阀板本体，另一端连接所述缓冲板，多个所述缓冲器件将所述缓冲板支撑在所述阀板本体的上方预定距离。

6、进一步的，所述缓冲器件包括：

7、缸杆，所述缸杆的一端可枢转地连接所述缓冲板；

8、滑块，所述缸杆的另一端连接所述滑块；

9、缸座，所述缸座内形成有空腔，所述缸座的一端套设在所述缸杆上且另一端可枢转地连接所述阀板本体，所述滑块设置在所述缸座的空腔内且沿着所述缸座可滑动。

10、进一步的，所述缓冲器件还包括一个或多个密封垫，所述密封垫连接于所述滑块与所述缸座的内壁之间。

11、进一步的，所述缸座上远离所述缸杆的一端分别设有进水口与出水口，所述进水口与所述出水口连通所述缸座的空腔，所述进水口与出水口分别连通单晶炉水路系统的进水管与出水管。

12、进一步的，所述缓冲组件还包括多根金属软管，多个所述缸座之间的进水口和出水口通过所述金属软管相互连通，且位于两端的两个所述缸座通过所述金属软管分别连通所述单晶炉水路系统的进水管与出水管。

13、进一步的，所述缓冲器件还包括弹簧，所述弹簧的一端连接于所述缸座的远离所述缸杆一端且另一端连接所述滑块。

14、进一步的，所述缓冲组件还包括安装座，所述安装座安装于所述阀板本体上，所述缓冲器件枢转连接于所述安装座。

15、进一步的，所述缓冲器件包括四个，四个所述缓冲器件在所述阀板本体的周向上均匀分布。

16、进一步的，单晶炉隔离阀阀板装置还包括：

17、隔离阀下法兰，所述隔离阀下法兰连接所述阀板本体与所述单晶炉炉体。

18、第二方面，本实用新型实施例还提供一种单晶炉，包括第一方面任一项所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置。

19、本实用新型的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：

20、本实用新型公开的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，该单晶炉隔离阀阀板装置在传统隔离阀阀板基础上增加缓冲组件，在遭遇单晶棒掉棒事故时，缓冲组件能够起到缓冲作用，防止隔离阀阀板被砸坏，降低事故风险，节省维护成本。

技术特征：

1.一种具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，其特征在于，所述缓冲器件包括：

3.如权利要求2所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，其特征在于，所述缓冲器件还包括一个或多个密封垫，所述密封垫连接于所述滑块与所述缸座的内壁之间。

4.如权利要求3所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，其特征在于，所述缸座上远离所述缸杆的一端分别设有进水口与出水口，所述进水口与所述出水口连通所述缸座的空腔，所述进水口与出水口分别连通单晶炉水路系统的进水管与出水管。

5.如权利要求4所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，其特征在于，所述缓冲组件还包括多根金属软管，多个所述缸座之间的进水口和出水口通过所述金属软管相互连通，且位于两端的两个所述缸座通过所述金属软管分别连通所述单晶炉水路系统的进水管与出水管。

6.如权利要求2所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，其特征在于，所述缓冲器件还包括弹簧，所述弹簧的一端连接于所述缸座的远离所述缸杆一端且另一端连接所述滑块。

7.如权利要求2所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，其特征在于，所述缓冲组件还包括安装座，所述安装座安装于所述阀板本体上，所述缓冲器件枢转连接于所述安装座。

8.如权利要求1所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，其特征在于，所述缓冲器件包括四个，四个所述缓冲器件在所述阀板本体的周向上均匀分布。

9.如权利要求1所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置，其特征在于，还包括：

10.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置。

技术总结
本技术提供一种具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置及单晶炉，其中，单晶炉隔离阀阀板装置包括阀板本体与缓冲组件，所述缓冲组件包括缓冲板与多个缓冲器件，多个所述缓冲器件的一端连接所述阀板本体，另一端连接所述缓冲板，多个所述缓冲器件将所述缓冲板支撑在所述阀板本体的上方预定距离。根据本技术实施例提供的单晶炉隔离阀阀板装置在传统隔离阀阀板基础上增加缓冲组件，在遭遇单晶棒掉棒事故时，缓冲组件能够有效防止隔离阀阀板被砸坏，降低事故风险，节省维护成本。

技术研发人员：李维琛,高志民,赵京通
受保护的技术使用者：晶澳（无锡）光伏科技有限公司
技术研发日：20230705
技术公布日：2024/1/25