一种单晶炉导流筒升降装置的制作方法

文档序号:37034091发布日期:2024-02-20 20:25阅读:15来源:国知局
一种单晶炉导流筒升降装置的制作方法

本技术涉及单晶炉,尤其涉及一种单晶炉导流筒升降装置。


背景技术:

1、单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉的热场是单晶炉中重要部件,而热场的导流筒又是热场重要部件之一。导流筒作为生产中的热屏障用来拉晶时减少热辐射,是必不可缺的零件。导流筒作用在冲刷力较强的管道膨胀节时,可以起到耐磨作用,使波纹管免受介质冲刷,起到延长膨胀节使用寿命的作用可以在膨胀节里起到导流作用,另外,导流筒的导向作用,可避免膨胀节在吸收管道变形时造成的波纹管失稳现象,从而使膨胀节达到其正常的使用寿命和作用。

2、目前直拉单晶工艺中,需要把导流筒配合拉晶工艺自由升降,石英埚装料时将导流筒升起可装入更多的硅料,硅料融化后再降下导流筒作热屏障,晶棒长成后导流筒升起使热量尽快散失,缩短冷炉时间,现有的技术中,在对导流筒进行升降时,常常会通过螺杆转动驱动导流筒进行升降,常常会使用到多个驱动电机来驱动螺杆进行转动,多个驱动电机提供动力可能会造成导流筒运动不同步现象,因此本实用新型提供了一种单晶炉导流筒升降装置。


技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种单晶炉导流筒升降装置,用于解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

3、一种单晶炉导流筒升降装置,包括顶板,所述顶板顶部固定设置有驱动电机,所述驱动电机输出端贯穿顶板延伸至顶板底部并固定设置有转轴,所述转轴表面固定设置有第一齿轮,所述第一齿轮表面啮合设置有第二齿轮,所述第二齿轮内部固定设置有第一螺杆,且第一螺杆与顶板转动连接设置,所述第一螺杆表面螺纹连接第一移动板,所述第一移动板底部固定设置有连接杆,所述连接杆底端固定设置有支撑板,所述支撑板底部设置有夹持组件,所述支撑板底部通过夹持组件设置有导流筒本体。

4、优选的,所述第一移动板内部滑动连接有导向杆,且导向杆与顶板固定连接设置,所述导向杆底端固定设置有限位板,且第一螺杆与限位板转动连接设置。

5、优选的,所述夹持组件包括设置于支撑板底部的固定板,所述固定板内部转动连接有第二螺杆,所述第二螺杆表面螺纹连接有第二移动板,所述第二移动板相向面固定设置有夹持块。

6、优选的,所述第二螺杆右端固定设置有转盘,且转盘右侧设置有握把。

7、优选的,所述导流筒本体表面固定设置有挡板,且挡板采用超合金材质制成。

8、优选的,所述顶板底部固定设置有支撑腿,且支撑腿底部设置有防滑垫。

9、优选的,所述第一移动板的数量为多个,且多个第一移动板呈对称式分布。

10、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该单晶炉导流筒升降装置,通过夹持组件对导流筒本体进行固定,启动驱动电机,使得转轴进行转动,带动第一齿轮进行转动,推动第二齿轮带动第一螺杆转动,使得第一移动板沿着导向杆进行升降,从而通过支撑板和夹持组件带动导流筒本体进行升降;实现了用一个驱动电机带动多个第一螺杆进行转动的目标,避免了多个驱动电机提供动力可能会造成导流筒运动不同步现象,便于导流筒本体可以更加平稳移动。



技术特征:

1.一种单晶炉导流筒升降装置,包括顶板(1),其特征在于,所述顶板(1)顶部固定设置有驱动电机(2),所述驱动电机(2)输出端贯穿顶板(1)延伸至顶板(1)底部并固定设置有转轴(3),所述转轴(3)表面固定设置有第一齿轮(4),所述第一齿轮(4)表面啮合设置有第二齿轮(5),所述第二齿轮(5)内部固定设置有第一螺杆(6),且第一螺杆(6)与顶板(1)转动连接设置,所述第一螺杆(6)表面螺纹连接第一移动板(7),所述第一移动板(7)底部固定设置有连接杆(10),所述连接杆(10)底端固定设置有支撑板(11),所述支撑板(11)底部设置有夹持组件,所述支撑板(11)底部通过夹持组件设置有导流筒本体(17)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒升降装置,其特征在于,所述第一移动板(7)内部滑动连接有导向杆(8),且导向杆(8)与顶板(1)固定连接设置,所述导向杆(8)底端固定设置有限位板(9),且第一螺杆(6)与限位板(9)转动连接设置。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒升降装置,其特征在于,所述夹持组件包括设置于支撑板(11)底部的固定板(12),所述固定板(12)内部转动连接有第二螺杆(13),所述第二螺杆(13)表面螺纹连接有第二移动板(15),所述第二移动板(15)相向面固定设置有夹持块(16)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉导流筒升降装置,其特征在于,所述第二螺杆(13)右端固定设置有转盘(14),且转盘(14)右侧设置有握把。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒升降装置,其特征在于,所述导流筒本体(17)表面固定设置有挡板(18),且挡板(18)采用超合金材质制成。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒升降装置,其特征在于,所述顶板(1)底部固定设置有支撑腿(19),且支撑腿(19)底部设置有防滑垫。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒升降装置,其特征在于,所述第一移动板(7)的数量为多个,且多个第一移动板(7)呈对称式分布。


技术总结
本技术公开了一种单晶炉导流筒升降装置,包括顶板,顶板顶部固定设置有驱动电机,驱动电机输出端贯穿顶板延伸至顶板底部并固定设置有转轴,转轴表面固定设置有第一齿轮,第一齿轮表面啮合设置有第二齿轮,第二齿轮内部固定设置有第一螺杆,且第一螺杆与顶板转动连接设置。启动驱动电机,使得转轴进行转动,带动第一齿轮进行转动,推动第二齿轮带动第一螺杆转动,使得第一移动板沿着导向杆进行升降,从而通过支撑板和夹持组件带动导流筒本体进行升降,实现了用一个驱动电机带动多个第一螺杆进行转动的目标,避免了多个驱动电机提供动力可能会造成导流筒运动不同步现象,便于导流筒本体可以更加平稳移动。

技术研发人员:王骏,朱钢强,丁科,李波,刘建东,李涛,王国兴,王保国
受保护的技术使用者:无锡市正红车厢有限公司
技术研发日:20230807
技术公布日:2024/2/19
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