一种N型晶片加工用多晶片恒温退火设备的制作方法

本技术涉及单晶硅太阳能电池，尤其是涉及一种n型晶片加工用多晶片恒温退火设备。

背景技术：

1、太阳能电池片制造过程中的一个重要步骤是单晶硅片退火，退火是一种材料热处理工艺，指的是将材料缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却，目的是降低硬度，改善切削加工性，消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向，细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷，退火可以激活更多磷原子，降低表面浓度，减少表面“死层”，提高电池效率。

2、上述中的现有技术方案存在以下缺陷：现有的退火炉，在进行多个单硅晶片的降温操作时，没有高效稳定的降温设备，无法有效的控制降温时的温度变化，影响单硅晶片的退火效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种可以高效控制降温时温度变化的n型晶片加工用多晶片恒温退火设备。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

3、一种n型晶片加工用多晶片恒温退火设备，包括箱体，所述箱体的内部固定连接有第一金属网链输送机和温度传感器，所述箱体内部的上下两侧均固定连接有相同的通风罩，所述通风罩外侧的一端固定连接有第一防尘网，所述通风罩的内部固定连接有第一外壳，所述第一外壳的内部固定连接有第一风机。

4、通过采用上述技术方案，通过在箱体的内部增加第一金属网链输送机，将需要进行退火降温的单硅晶片放在输送机上，同时在输送机的上下两端分别增加通风罩和第一风机，因为金属网链输送机采用金属网链的输送带，风可以透过输送机，同时对单硅晶片的两侧进行降温处理，温度传感器可以随时检测温度变化，方便控制降温时的温度变化。

5、进一步地，所述箱体外侧的一端固定连接有进料斗，所述箱体外侧的另一端固定连接有出料斗，所述进料斗的外侧设置有第二金属网链输送机，所述出料斗的外侧设置有第三金属网链输送机，所述箱体外侧的上下两端均固定连接有相同的降温组件，所述箱体外侧的一面设置有控制面板和玻璃观察窗。

6、通过采用上述技术方案，通过增加进出料的结构，通过第二金属网链输送机和第三金属网链输送机将单硅晶片进行自动输送，提高退火降温的效率。

7、进一步地，所述通风罩、第一防尘网、第一外壳和第一风机分别设置有两组，每组所述通风罩、第一防尘网、第一外壳和第一风机分别设置有多个，所述第一外壳的内部预留有透气孔。

8、通过采用上述技术方案，通过第一风机将风从通风罩内部吹出，开始对第一金属网链输送机上的单硅晶片进行吹风降温处理。

9、进一步地，所述降温组件的内部包括有冷却箱、冷凝板、散热翅片、进风管、第二外壳、第二风机和第二防尘网，所述冷却箱内部的底端固定连接有冷凝板，所述冷凝板的外侧固定连接有散热翅片，所述冷却箱的下端固定连接有进风管，所述进风管的内部固定连接有第二外壳，所述第二外壳的内部固定连接有第二风机，所述第二外壳外侧的一端固定连接有第二防尘网。

10、通过采用上述技术方案，通过在箱体的底部增加降温组件，通过冷凝板对冷却箱内部进行降温，降低内部空气，同时第二风机将外界空气引入冷却箱的内部，经过降温后，可以输送冷空气进行降温，进一步提高降温效果。

11、进一步地，所述冷却箱与通风罩相互接通，所述进风管与冷却箱的内部相互接通，所述第二外壳的内部预留有透气孔。

12、通过采用上述技术方案，通过第二风机可以将外界空气引入冷却箱的内部，提高空气转换的效率。

13、综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

14、1、采用了通风罩和降温组件，通过通风罩内部的第一风机对第一金属网链输送机上的单硅晶片进行风冷降温，温度传感器随时进行温度检测，方便控制降温时的温度变化，调节风机转速和使用情况，同时在需要加快降温时，可以通过冷凝板对周围空气降温，再通过第二风机将外界的空气引入冷却箱内，可以将冷空气引入进行降温，产生高效稳定降温的效果；

15、2、采用了第一金属网链输送机、第二金属网链输送机和第三金属网链输送机，通过第二金属网链输送机将需要进行退火降温的单硅晶片输送到箱体内部的第一金属网链输送机上，通过第一金属网链输送机的配合可以进行移动式降温，再通过第三金属网链输送机将退火完成后的单硅晶片输送到下一个工位，实现自动化输送的操作，产生方便使用的效果。

技术特征：

1.一种n型晶片加工用多晶片恒温退火设备，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部固定连接有第一金属网链输送机(2)和温度传感器(3)，所述箱体(1)内部的上下两侧均固定连接有相同的通风罩(4)，所述通风罩(4)外侧的一端固定连接有第一防尘网(5)，所述通风罩(4)的内部固定连接有第一外壳(6)，所述第一外壳(6)的内部固定连接有第一风机(7)。

2.根据权利要求1所述的n型晶片加工用多晶片恒温退火设备，其特征在于：所述箱体(1)外侧的一端固定连接有进料斗(8)，所述箱体(1)外侧的另一端固定连接有出料斗(9)，所述进料斗(8)的外侧设置有第二金属网链输送机(10)，所述出料斗(9)的外侧设置有第三金属网链输送机(11)，所述箱体(1)外侧的上下两端均固定连接有相同的降温组件(12)，所述箱体(1)外侧的一面设置有控制面板(13)和玻璃观察窗(14)。

3.根据权利要求1所述的n型晶片加工用多晶片恒温退火设备，其特征在于：所述通风罩(4)、第一防尘网(5)、第一外壳(6)和第一风机(7)分别设置有两组，每组所述通风罩(4)、第一防尘网(5)、第一外壳(6)和第一风机(7)分别设置有多个，所述第一外壳(6)的内部预留有透气孔。

4.根据权利要求2所述的n型晶片加工用多晶片恒温退火设备，其特征在于：所述降温组件(12)的内部包括有冷却箱(121)、冷凝板(122)、散热翅片(123)、进风管(124)、第二外壳(125)、第二风机(126)和第二防尘网(127)，所述冷却箱(121)内部的底端固定连接有冷凝板(122)，所述冷凝板(122)的外侧固定连接有散热翅片(123)，所述冷却箱(121)的下端固定连接有进风管(124)，所述进风管(124)的内部固定连接有第二外壳(125)，所述第二外壳(125)的内部固定连接有第二风机(126)，所述第二外壳(125)外侧的一端固定连接有第二防尘网(127)。

5.根据权利要求4所述的n型晶片加工用多晶片恒温退火设备，其特征在于：所述冷却箱(121)与通风罩(4)相互接通，所述进风管(124)与冷却箱(121)的内部相互接通，所述第二外壳(125)的内部预留有透气孔。

技术总结
本技术公开了一种N型晶片加工用多晶片恒温退火设备，其涉及单晶硅太阳能电池技术领域，旨在解决现有的退火炉，在进行多个单硅晶片的降温操作时，没有高效稳定的降温设备，无法有效的控制降温时的温度变化，影响单硅晶片的退火效果的问题，其技术方案要点是包括箱体，所述箱体的内部固定连接有第一金属网链输送机和温度传感器，所述箱体内部的上下两侧均固定连接有相同的通风罩，所述通风罩外侧的一端固定连接有第一防尘网，所述通风罩的内部固定连接有第一外壳，所述第一外壳的内部固定连接有第一风机。达到了高效稳定降温和方便使用的效果。

技术研发人员：叶小健,魏安求
受保护的技术使用者：扬州棒杰新能源科技有限公司
技术研发日：20230811
技术公布日：2024/3/11