稳定连接加热棒的加热器的制作方法

本技术涉及单晶硅或多晶硅的制造过程中的热场，具体涉及一种采用石墨、碳碳或其他电极材料制作的稳定连接加热棒的加热器。

背景技术：

1、在单晶硅或多晶硅的制作中，目前普遍采用直拉法(cz法)，就是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在制造设备中，有一个部件是石墨加热器，是一个发热体，它是用来将固体的单晶硅或多晶硅融化为液体的一种加热器。现有技术的石墨加热器主体多为u型弯曲片状加热器，如专利号202021711611.4以及201420728745.5所公开，此类加热器制作时，对u型弯曲片的加工耗费原材料，且易产生较多加工废料。又，如专利号201920962194.1所公开，由于采用直接竖直插接的硬链接插入方式，安装和工作的过程中易产生较大的安装应力，导致加热体容易断裂。

2、因此，现有技术的加热器还有提升的地方。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种稳定连接加热棒的加热器采用螺纹连接或者是槽体连接，以解决现有技术的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采用了以下的技术方案：

3、一种稳定连接加热棒的加热器，所述加热器包括若干个上部环箍、若干个加热棒和若干个底部连接环箍，所述加热棒设置在所述上部环箍和底部连接环箍之间，所述上部环箍为一弧形片体，所述上部环箍开设若干个均匀分布的上部通孔，所述上部通孔为一锥形孔；所述加热棒为一棒体，所述加热棒的上端包括一上端头连接部和一锥形部，所述锥形部的斜面角度和所述上部通孔的斜面角度一致；所述加热棒的上端插入连接所述上部通孔；所述加热器还包括若干个上部连接件，所述上部连接件连接所述上端头连接部将所述上部环箍和所述加热棒固定。

4、依照本申请较佳实施例所述的稳定连接加热棒的加热器，所述上端头连接部为螺纹部，所述上部连接件为螺母，所述上部连接件螺接所述上端头连接部将所述上部环箍和所述加热棒固定。

5、一种稳定连接加热棒的加热器，所述加热器包括若干个上部环箍、若干个加热棒和若干个底部连接环箍，所述加热棒设置在所述上部环箍和底部连接环箍之间，所述上部环箍为一弧形片体，所述上部环箍开设若干个均匀分布的上部连接通孔，所述上部连接通孔包括上圆连接孔和下锥度通孔；所述加热棒为一棒体，所述加热棒的上端包括一锥度端头，所述锥度端头的锥度对应所述下锥度通孔的锥度，所述锥度端头的中心开设端头连接孔，所述加热棒插入连接所述上部连接通孔以连接件固定。

6、依照本申请较佳实施例所述的稳定连接加热棒的加热器，所述上圆连接孔为螺纹孔，所述端头连接孔为螺纹孔，所述连接件为螺杆，所述连接件螺接所述上圆连接孔和所述端头连接孔。

7、一种稳定连接加热棒的加热器，所述加热器包括若干个上部环箍、若干个加热棒和若干个底部连接环箍，所述加热棒设置在所述上部环箍和底部连接环箍之间；所述上部环箍为一弧形片体，所述上部环箍开设至少一连接槽，所述加热棒的上端部包括一连接块，所述连接块设置在所述连接槽中。

8、依照本申请较佳实施例所述的稳定连接加热棒的加热器，所述连接槽为一燕尾槽，所述连接块为一燕尾状块体，所述连接块滑入连接所述连接槽，且用石墨胶粘结加固。

9、一种稳定连接加热棒的加热器，所述加热器包括若干个上部环箍、若干个加热棒和若干个底部连接环箍，所述加热棒设置在所述上部环箍和底部连接环箍之间，所述上部环箍为一弧形片体，所述上部环箍开设若干个均匀分布的上部通孔，所述上部通孔为一螺纹孔；所述加热棒为一棒体，所述加热棒的上端包括一棒端连接部；所述加热棒的所述棒端连接部螺接所述上部通孔。

10、如上所述的其中一项所述的稳定连接加热棒的加热器，所述加热器还包括至少两个电极连接片，所述底部连接环箍为一弧形片体，所述加热棒的下端连接所述底部连接环箍，所述至少两个电极连接片的上端均等分布连接所述底部连接环箍，所述至少两个电极连接片的下端连接电极连接柱。

11、依照本申请较佳实施例所述的稳定连接加热棒的加热器，所述底部连接环箍开设若干个连接螺纹孔，所述加热棒的下端开设下端螺纹，所述下端螺纹连接所述连接螺纹孔。

12、依照本申请较佳实施例所述的稳定连接加热棒的加热器，所述底部连接环箍开设至少一连接槽，所述加热棒的下端部包括一连接块，所述连接块设置在所述连接槽中，且用石墨胶粘结加固。

13、由于采用了以上的技术方案，使得本实用新型具有如下的优点效果：

14、第一、本加热器主体为棒状，相比于u型弯曲片或整体式石墨加热器，节省原材料，尺寸统一、简单，还可以利用边角料切割，材料利用率高；

15、第二、本申请加热器的加热棒采用螺纹连接或者是槽体连接，连接稳定不会造成硬连接破损，降低维修成本；

16、第三、本申请的加热器结构简单，损坏后只要针对损坏的部分替换，维修简单；

17、第四、本申请加热器的加热棒锥面连接发热均匀，提高了整体使用寿命。

18、当然，实施本申请内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部的技术效果。

技术特征：

1.一种稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述加热器包括若干个上部环箍、若干个加热棒和若干个底部连接环箍，所述加热棒设置在所述上部环箍和底部连接环箍之间，所述上部环箍为一弧形片体，所述上部环箍开设若干个均匀分布的上部通孔，所述上部通孔为一锥形孔；

2.如权利要求1所述的稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述上端头连接部为螺纹部，所述上部连接件为螺母，所述上部连接件螺接所述上端头连接部将所述上部环箍和所述加热棒固定。

3.一种稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述加热器包括若干个上部环箍、若干个加热棒和若干个底部连接环箍，所述加热棒设置在所述上部环箍和底部连接环箍之间，所述上部环箍为一弧形片体，所述上部环箍开设若干个均匀分布的上部连接通孔，所述上部连接通孔包括上圆连接孔和下锥度通孔；

4.如权利要求3所述的稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述上圆连接孔为螺纹孔，所述端头连接孔为螺纹孔，所述连接件为螺杆，所述连接件螺接所述上圆连接孔和所述端头连接孔。

5.一种稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述加热器包括若干个上部环箍、若干个加热棒和若干个底部连接环箍，所述加热棒设置在所述上部环箍和底部连接环箍之间；所述上部环箍为一弧形片体，所述上部环箍开设至少一连接槽，所述加热棒的上端部包括一连接块，所述连接块设置在所述连接槽中。

6.如权利要求5所述的稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述连接槽为一燕尾槽，所述连接块为一燕尾状块体，所述连接块滑入连接所述连接槽，且用石墨胶粘结加固。

7.一种稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述加热器包括若干个上部环箍、若干个加热棒和若干个底部连接环箍，所述加热棒设置在所述上部环箍和底部连接环箍之间，所述上部环箍为一弧形片体，所述上部环箍开设若干个均匀分布的上部通孔，所述上部通孔为一螺纹孔；

8.如权利要求1或2或3或4或5或6或7所述的稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述加热器还包括至少两个电极连接片，所述底部连接环箍为一弧形片体，所述加热棒的下端连接所述底部连接环箍，所述至少两个电极连接片的上端均等分布连接所述底部连接环箍，所述至少两个电极连接片的下端连接电极连接柱。

9.如权利要求8所述的稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述底部连接环箍开设若干个连接螺纹孔，所述加热棒的下端开设下端螺纹，所述下端螺纹连接所述连接螺纹孔。

10.如权利要求8所述的稳定连接加热棒的加热器，其特征在于，所述底部连接环箍开设至少一连接槽，所述加热棒的下端部包括一连接块，所述连接块设置在所述连接槽中，且用石墨胶粘结加固。

技术总结
本技术涉及一种稳定连接加热棒的加热器，所述加热器包括若干个上部环箍、若干个加热棒和若干个底部连接环箍，所述加热棒设置在所述上部环箍和底部连接环箍之间，所述上部环箍为一弧形片体，所述上部环箍开设若干个均匀分布的上部通孔，所述上部通孔为一锥形孔；所述加热棒为一棒体，所述加热棒的上端包括一上端头连接部和一锥形部，所述锥形部的斜面角度和所述上部通孔的斜面角度一致；所述加热棒的上端插入连接所述上部通孔；所述加热器还包括若干个上部连接件，所述上部连接件连接所述上端头连接部将所述上部环箍和所述加热棒固定。本申请加热器结构简单，损坏后只要针对损坏的部分替换，维修简单。

技术研发人员：申富强,俞松,张晶
受保护的技术使用者：上海骐杰碳素材料有限公司
技术研发日：20230822
技术公布日：2024/4/22