电子级三氟化氯纯化方法与流程

本申请涉及智能纯化，且更为具体地，涉及一种电子级三氟化氯纯化方法。

背景技术：

1、电子级三氟化氯是一种广泛应用于半导体工业中的化学品，用于制造集成电路和太阳能电池等，其纯度对于生产工艺和产品质量至关重要。然而，在实际的应用中，对于电子级三氟化氯的纯度要求很高，一般要达到99.999%以上，否则会影响器件的性能和寿命。

2、传统方法主要是通过吸附剂对三氟化氯进行纯化，但是传统方案中无法对吸附剂的饱和状态进行实时监测，需要人工定期检测，效率低下，容易出现漏检等问题，进而影响电子级三氟化氯纯化效果。

3、因此，期望一种有效的电子级三氟化氯纯化方案，以满足工业的需求。

技术实现思路

1、本申请提供一种电子级三氟化氯纯化方法，将工业级三氟化氯通过预处理系统中进行去水分、去氧化物和去杂质处理以得到预处理后三氟化氯，将所述预处理后三氟化氯通过分馏塔进行分馏分离以得到高纯度三氟化氯，以及，将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯；其中，在将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯时，通过人工智能技术对吸附剂的饱和状态进行监测，从而及时有效地决定是否需要更换吸附剂，保证电子级三氟化氯的纯化效果。

2、第一方面，提供了一种电子级三氟化氯纯化方法，所述方法包括：将工业级三氟化氯通过预处理系统中进行去水分、去氧化物和去杂质处理以得到预处理后三氟化氯；将所述预处理后三氟化氯通过分馏塔进行分馏分离以得到高纯度三氟化氯；将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯。

3、结合第一方面，在第一方面的一种实现方式中，将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯，包括：获取预定时间段内多个预定时间点的吸附剂的重量值；将所述多个预定时间点的吸附剂的重量值按照时间维度排列为重量时序输入向量；计算所述重量时序输入向量中每相邻两个位置的重量值之间的差值以得到重量变化时序输入向量；对所述重量时序输入向量和所述重量变化时序输入向量进行级联以得到重量时序动-静多维度输入向量；将所述重量时序动-静多维度输入向量通过包含第一卷积层和第二卷积层的多尺度特征提取模块以得到重量时序多尺度特征向量；使用高斯密度图对所述重量时序多尺度特征向量进行特征表达强化以得到分类特征矩阵；以及，将所述分类特征矩阵通过分类器以得到分类结果，所述分类结果用于表示吸附剂是否需要更换。

4、第二方面，提供了一种电子级三氟化氯纯化系统，所述系统包括：预处理模块，用于将工业级三氟化氯通过预处理系统中进行去水分、去氧化物和去杂质处理以得到预处理后三氟化氯；分离模块，用于将所述预处理后三氟化氯通过分馏塔进行分馏分离以得到高纯度三氟化氯；吸附模块，用于将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯。

5、本申请提供的一种电子级三氟化氯纯化方法，将工业级三氟化氯通过预处理系统中进行去水分、去氧化物和去杂质处理以得到预处理后三氟化氯，将所述预处理后三氟化氯通过分馏塔进行分馏分离以得到高纯度三氟化氯，以及，将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯；其中，在将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯时，通过人工智能技术对吸附剂的饱和状态进行监测，从而及时有效地决定是否需要更换吸附剂，保证电子级三氟化氯的纯化效果。

技术特征：

1.一种电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯，包括：

3.根据权利要求2所述的电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，对所述重量时序输入向量和所述重量变化时序输入向量进行级联以得到重量时序动-静多维度输入向量，包括：以如下级联公式对所述重量时序输入向量和所述重量变化时序输入向量进行级联以得到所述重量时序动-静多维度输入向量；

4.根据权利要求3所述的电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，将所述重量时序动-静多维度输入向量通过包含第一卷积层和第二卷积层的多尺度特征提取模块以得到重量时序多尺度特征向量，包括：

5.根据权利要求4所述的电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，使用高斯密度图对所述重量时序多尺度特征向量进行特征表达强化以得到分类特征矩阵，包括：

6.根据权利要求5所述的电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，将所述分类特征矩阵通过分类器以得到分类结果，所述分类结果用于表示吸附剂是否需要更换，包括：

7.根据权利要求6所述的电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，还包括：在每次所述分类特征矩阵展开后得到的分类特征向量通过分类器进行分类迭代时，对所述分类特征向量进行收敛均衡以得到均衡后分类特征向量。

8.根据权利要求7所述的电子级三氟化氯纯化方法，其特征在于，对所述分类特征向量进行收敛均衡以得到均衡后分类特征向量，包括：以如下均衡公式对所述分类特征向量进行收敛均衡以得到所述均衡后分类特征向量；

技术总结
本申请涉及智能纯化技术领域，其具体地公开了一种电子级三氟化氯纯化方法，其包括，将工业级三氟化氯通过预处理系统中进行去水分、去氧化物和去杂质处理以得到预处理后三氟化氯，将所述预处理后三氟化氯通过分馏塔进行分馏分离以得到高纯度三氟化氯，以及，将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯；其中，在将所述高纯度三氟化氯通过吸附系统，以在去除微量的水分、氧化物和有机杂质后得到纯化电子级三氟化氯时，通过人工智能技术对吸附剂的饱和状态进行监测，从而及时有效地决定是否需要更换吸附剂，保证电子级三氟化氯的纯化效果。

技术研发人员：范广鹏,张晓斌,李胜帅,沈钰,杜路路,林俊元,谈益强
受保护的技术使用者：浙江陶特半导体材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/24