本技术属于扩散炉，具体涉及太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件。
背景技术：
1、目前扩散炉进气位置相同，都是从炉尾伸进去一根进气管到炉口约20-30cm位置，在此位置通入扩散所需气体，通过真空泵把气体往炉尾方向抽，通过尾排排出。由于三氯氧磷在600℃以上发生分解，产物中五氯化磷与氧气发生产应，目前通入三氯氧磷时工艺温度在750-800℃，分解加快，产物与氧气反应加快，导致炉口到炉尾位置电池片的掺杂量差异较大。
2、现有技术中，虽然通过增加进气管数量，在扩散炉管尾部新增支进气管，增加炉中到炉尾掺杂量，优化管内/片内均匀性，提升效率。但是，无论是主进气管还是支进气管，其端部出气口的方向和位置都是固定的，导致扩散所需的气体在扩散炉内部较为集中，容易出现扩散反应不均匀的情况，同样会引起电池片掺杂量的差异。
3、因此，针对上述技术问题，有必要提供太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件。
4、公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其能够解决进气管端部出气口的方向和位置固定，导致扩散所需的气体在扩散炉内部较为集中，容易出现扩散反应不均匀，引起电池片掺杂量差异的问题。
2、为了实现上述目的，本实用新型一具体实施例提供了太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，包括主进气管和支进气管，所述主进气管和支进气管并联在扩散炉内部，所述主进气管和支进气管的端部均安装有旋转出气组件；所述旋转出气组件包括连接套、旋转套和出气筒，所述连接套转动连接在主进气管和支进气管的端部，所述旋转套内部安装有气动驱动组件，进气气流通过所述气动驱动组件能够带动旋转套转动，所述出气筒上开设有多组出气孔。
3、通过在主进气管和支进气管端部组装能够旋转出气的旋转出气组件，能够向扩散炉内部多方位动态供气，使扩散所需气体供给均匀，从而使扩散反应均匀，有效降低电池片掺杂量差异。
4、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述连接套在主进气管和支进气管的端部均具有旋转密封结构。
5、通过所述旋转密封结构能够使连接套在主进气管和支进气管的端部均能够密封转动。
6、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述旋转密封结构包括限位凹槽和限位凸台，所述限位凹槽开设在连接套的内壁上，所述限位凸台固定连接在主进气管和支进气管的外壁上，所述限位凹槽与限位凸台相匹配。
7、限位凸台转动连接在限位凹槽的内部，使连接套在主进气管和支进气管的端部能够限位转动。
8、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述限位凸台的外壁与限位凹槽的内壁相贴合。
9、限位凸台的外壁与限位凹槽的内壁相贴合，能够保障连接套与主进气管和支进气管连接处的密封性。
10、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述主进气管和支进气管的端部均插入连接套的内部，并与旋转套内部相连通。
11、主进气管和支进气管的端部均插入连接套的内部能够增加主进气管和支进气管与连接套之间的结构强度，使连接套不易发生脱落。
12、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述气动驱动组件包括多组叶片，多组所述叶片固定连接在旋转套的内部。
13、通过多组叶片能够在进气气体流经过程中推动旋转套转动，带动旋转出气组件整体转动，从而进行动态旋转供气。
14、在本实用新型的一个或多个实施例中，多组所述叶片在旋转套内部呈圆周分布。
15、通过圆周分布的多组叶片可以使旋转出气组件匀速转动，从而匀速调整出气方向。
16、在本实用新型的一个或多个实施例中，多组所述叶片均呈倾斜设置。
17、在本实用新型的一个或多个实施例中，多组所述叶片的倾斜角度为15～30°。
18、多组呈圆周分布倾斜设置的叶片能够使旋转套更容易转动，确保能够进行多方位旋转供气。
19、在本实用新型的一个或多个实施例中，所述支进气管上固定安装有控制阀，所述控制阀用于控制支进气管内部的流量。
20、通过控制阀能够有效控制主进气管和支进气管的进气比例，便于控制扩散反应的进行。
21、与现有技术相比，本实用新型的扩散炉供气组件通过在主进气管和支进气管端部组装能够旋转出气的旋转出气组件，能够向扩散炉内部多方位动态供气，使扩散所需气体供给均匀，从而使扩散反应均匀，有效降低电池片掺杂量差异。
1.太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，包括主进气管(1)和支进气管(2)，所述主进气管(1)和支进气管(2)并联在扩散炉内部，其特征在于，所述主进气管(1)和支进气管(2)的端部均安装有旋转出气组件(3)；
2.根据权利要求1所述的太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其特征在于，所述连接套(301)在主进气管(1)和支进气管(2)的端部均具有旋转密封结构，通过所述旋转密封结构能够使连接套(301)在主进气管(1)和支进气管(2)的端部均能够密封转动。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其特征在于，旋转密封结构包括限位凹槽(3011)和限位凸台(4)，所述限位凹槽(3011)开设在连接套(301)的内壁上，所述限位凸台(4)固定连接在主进气管(1)和支进气管(2)的外壁上，所述限位凹槽(3011)与限位凸台(4)相匹配。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其特征在于，所述限位凸台(4)的外壁与限位凹槽(3011)的内壁相贴合。
5.根据权利要求3所述的太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其特征在于，所述主进气管(1)和支进气管(2)的端部均插入连接套(301)的内部，并与旋转套(302)内部相连通。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其特征在于，所述气动驱动组件包括多组叶片(3021)，多组所述叶片(3021)固定连接在旋转套(302)的内部。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其特征在于，多组所述叶片(3021)在旋转套(302)内部呈圆周分布。
8.根据权利要求7所述的太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其特征在于，多组所述叶片(3021)均呈倾斜设置。
9.根据权利要求8所述的太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其特征在于，多组所述叶片(3021)的倾斜角度为15～30°。
10.根据权利要求1所述的太阳能电池片扩散工序用扩散炉供气组件，其特征在于，所述支进气管(2)上固定安装有控制阀(201)，所述控制阀(201)用于控制支进气管(2)内部的流量。