一种太阳能电池片刻蚀抗衰减装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种多晶硅太阳能电池片的生产装置，具体的说是对电池片进行刻蚀加工的刻蚀抗衰减装置。
【背景技术】
[0002]晶体硅太阳能电池片制作工艺通常包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等步骤，其中刻蚀工序的好坏直接影响到电池片的光电转换率与衰减性能，现有的刻蚀工序包括氢氟酸+硝酸溶液刻蚀、水漂洗、碱洗、二次水漂洗、酸洗、三次水漂洗和烘干几个步骤，通常采用无保护装置的形式连续加工。氢氟酸+硝酸溶液会产生酸雾，对硅片的表面具有腐蚀作用，所以现有的刻蚀抗衰减装置在电池片进入氢氟酸+硝酸溶液池前需对其顶面进行喷水保护，但由于喷水不能完全把电池片的顶片覆盖，造成电池片的顶面也会有部分地方被酸雾侵蚀;此外，现有的刻蚀抗衰减装置采用喷淋式酸洗，也会造成电池片表面酸洗效果较差;并且，在进行高温烘干后，会使电池片的表面氧化，使太阳能电池板在使用时提前衰减，严重影响使用性能。
【实用新型内容】
[0003]为克服上述缺陷，本实用新型旨在提供一种既能完全保护电池PN结，同时又能有效的进行刻蚀作业、有效保护电池片表面，防止制作好的硅片的PN结受到酸雾腐蚀的侵腐。
[0004]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为:一种太阳能电池片刻蚀抗衰减装置，包括一根循环传送带，所述传送带从进料口向出料口方向依次穿过:酸刻蚀段、初次水漂洗段、碱洗段、二次水漂洗段、酸洗段、三次水漂洗段和烘干段，所述进料口和酸刻蚀段之间设有一个布水辊，所述布水辊的正上方设有一排注水口，所述布水辊的转动方向与传送带的移动方向相匹配;所述酸洗段设有若干个与传送带移动方向相垂直的均匀布置的下压导辊，所述相邻二个下压导辊之间的距离小于电池片宽度的二分之一;所述烘干段与出料口之间的传送带上方设有一个臭氧发生器。
[0005]所述下压导辊的圆周面上具有以下压导辊的轴线为中心的呈均匀圆周分布的若干道导向齿。
[0006]采用了本实用新型的太阳能电池片刻蚀抗衰减装置，在酸刻蚀前，通过一个布水辊对电池片的表面进行均匀布水，保证电池片的上表面完全被水膜覆盖，通过设置下压导辊，把电池片压入酸洗溶液液面以下进行浸水式酸洗，效果更佳，而电池片在烘干以后通过一个臭氧发生器，使电池片的表面生成致密的氧化层，使制成后的电池片性能不易衰减。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型的结构不意图；
[0008]图2是本实用新型的下压导辊的结构示意图。
[0009]图中:1_进料口，2_出料口，3-酸刻蚀段，4-初次水漂洗段，5-碱洗段，6-二次水漂洗段，7-酸洗段，8-三次水漂洗段，9-烘干段，10-布水辊，11-注水口，12-传送带，13-下压导棍，14_电池片，15_臭氧发生器，16_导向齿。
【具体实施方式】
[0010]如图1所示，本实用新型公开了一种太阳能电池片刻蚀抗衰减装置，包括一根循环传送带12，所述传送带12从进料口 I向出料口 2方向依次穿过:酸刻蚀段3、初次水漂洗段4、碱洗段5、二次水漂洗段6、酸洗段7、三次水漂洗段8和烘干段9，电池片14通过传送带12从进料口 I进入后，依次经过酸刻蚀段3、初次水漂洗段4、碱洗段5、二次水漂洗段6、酸洗段7、三次水漂洗段8和烘干段，完成刻蚀工序，综上所述，与现有的太阳能电池片刻蚀抗衰减装置一 Sc ο
[0011]本实用所述的太阳能电池片刻蚀抗衰减装置的创新点主要在于所述进料口I和酸刻蚀段3之间设有一个布水辊1，所述布水辊1的正上方设有一排注水口 11，所述布水辊1的转动方向与传送带12的移动方向相匹配，即布水辊10的圆周面转动方向与传送带12的移动方向相同，并且移动速度一样;注水口 11流出的水先流到布水辊10上，然后水流通过布水辊10均匀流到电池片14的表面，通过水的表面张水，使电池片14的上表面具有一层水膜保护层，水膜隔绝了电池片14与酸雾的接触，避免电池片14的上表面被酸雾腐蚀。
[0012]本实用所述的太阳能电池片刻蚀抗衰减装置的另一个创新点在于所述酸洗段7设有若干个与传送带12移动方向相垂直的均匀布置的下压导辊13，所述相邻二个下压导辊13之间的距离小于电池片14宽度的二分之一;通过下压导辊13，把电池片14往下压入酸洗溶液的液面以下，使得整个电池片浸入到酸洗溶液中进行酸洗，为克服电池片14因浸入溶液而产生的额外走片阻力，如图2所示，通常所述下压导辊13的圆周面上设置有以下压导辊13的轴线为中心的呈均匀圆周分布的若干道导向齿16，导向齿16—方面增加下压导辊13与电池片14的摩擦力，同时又能防止电池片14走歪。
[0013]本实用所述的太阳能电池片刻蚀抗衰减装置的又一个创新点在于所述烘干段9与出料口2之间的传送带12上方设有一个臭氧发生器15，电池片14在烘干以后，经过臭氧发生器15，臭氧发生器15通过高压电离，把空气中的氧气电离成臭氧，臭氧再与电池片14的表面进行反应生成一层致密的二氧化硅氧化层，以保护电池片14的表面。
【主权项】
1.一种太阳能电池片刻蚀抗衰减装置，包括一根循环传送带(12)，所述传送带(12)从进料口( I)向出料口( 2)方向依次穿过:酸刻蚀段(3)、初次水漂洗段(4)、碱洗段(5)、二次水漂洗段(6)、酸洗段(7)、三次水漂洗段(8)和烘干段(9)，其特征在于所述进料口(I)和酸刻蚀段(3)之间设有一个布水辊(10)，所述布水辊(10)的正上方设有一排注水口( 11)，所述布水辊(10)的转动方向与传送带(12)的移动方向相匹配;所述酸洗段(7)设有若干个与传送带(12)移动方向相垂直的均匀布置的下压导辊(13)，所述相邻二个下压导辊(13)之间的距离小于电池片(14)宽度的二分之一;所述烘干段(9)与出料口(2)之间的传送带(12)上方设有一个臭氧发生器(15)。2.根据权利要求1所述的太阳能电池片刻蚀抗衰减装置，其特征在于所述下压导辊(13)的圆周面上具有以下压导辊(13)的轴线为中心的呈均匀圆周分布的若干道导向齿(16)。
【专利摘要】本实用新型公开了一种太阳能电池片刻蚀抗衰减装置，依次为酸刻蚀段、初次水漂洗段、碱洗段、二次水漂洗段、酸洗段、三次水漂洗段和烘干段，所述进料口和酸刻蚀段之间设有一个布水辊，所述布水辊的正上方设有一排注水口；所述酸洗段设有若干个与传送带移动方向相垂直的均匀布置的下压导辊；所述烘干段与出料口之间的传送带上方设有一个臭氧发生器，通过布水辊对电池片的表面进行均匀布水，保证电池片的上表面完全被水膜覆盖，通过设置下压导辊，把电池片压入酸洗溶液液面以下进行浸水式酸洗，效果更佳，而电池片在烘干以后通过一个臭氧发生器，使电池片的表面生成致密的氧化层，形成良好的抗衰减效果，使制成后的电池片性能不易衰减。
【IPC分类】C30B33/10
【公开号】CN205347630
【申请号】CN201521042929
【发明人】何林海, 王文杰
【申请人】浙江龙柏光伏科技有限公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2015年12月15日