树脂组合物、电子部件及树脂膜的制造方法与流程

文档序号：28158703发布日期：2021-12-24 11:03阅读：104来源：国知局

本发明涉及树脂组合物、电子部件及树脂膜的制造方法。本发明特别涉及能够优选用于形成电子部件所使用的绝缘膜等的树脂组合物、具有由该树脂组合物形成的树脂膜的电子部件、以及用于制造该树脂膜的制造方法。

背景技术

在液晶显示装置、有机EL显示装置、集成电路元件、固体摄像元件等电子部件中，设置各种树脂膜作为平坦化膜、保护膜、绝缘膜等。

例如，在专利文献1中，提出了如下的感光性树脂组合物：其用于形成永久膜，包含具有环状烯烃结构单元的聚合物，在特定的条件下测定的PED(Post Exposure Delay，后曝光延迟)为10％以下，通过特定的条件(B)测定的溶胀率为20％以下。专利文献1的感光性树脂组合物在用于制造具有永久膜的电子装置的情况下，能够提高制造稳定性。进而，专利文献1的感光性树脂组合物能够任意地含有环氧化合物等交联剂。

此外，在专利文献2中，提出了如下的感光性树脂组合物：其用于形成牺牲膜，包含规定的碱可溶性树脂和感光剂，在115℃、3分钟的条件下对感光性树脂组合物进行加热处理，在形成树脂膜时，树脂膜与水的静态接触角为76°以上且95°以下。进而，专利文献2的感光性树脂组合物能够任意地含有环氧化合物等交联剂。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/141525号；

专利文献2：日本特开2017-111447号公报。

技术实现要素：

发明要解决的问题

近年来，ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)电极作为被应用于多种用途的透明电极的一种，为了提高其性能，正在进行着改良。在此，为了提高ITO电极的性能，优选ITO电极具有的ITO膜没有皱褶或皱褶少。如果ITO膜有皱褶，则层叠体的透光性劣化，可能导致ITO电极性能降低。因此，希望与ITO膜相邻或相近设置的树脂膜在表面形成ITO膜的情况下能够发挥抑制在ITO膜的表面产生皱褶的性能。以下，在本说明书中，将“抑制在ITO膜的表面产生皱褶”的性能称作“ITO皱褶抑制性能”。

此外，在使用树脂组合物形成树脂膜时，通常使用各种化学溶液。如果树脂膜对这样的化学溶液具有适当的耐性、即具有耐化学品性，则能够按照设计形成树脂膜。因此，要求树脂膜的耐化学品性优异。

进而，近年来，在形成ITO电极时的形成ITO膜的工序中，为了得到能够呈现优异性能的ITO膜，正在研究在高温条件下将ITO膜成膜和加热。因此，要求树脂膜在高温条件下的膜的减量少，即要求耐热性优异。

这样近年来，要求树脂膜的“ITO皱褶抑制性能”、“耐化学品性”及“耐热性”均优异。但是，使用上述现有的树脂组合物形成的树脂膜在平衡良好地提高这些属性的方面上还有改善的余地。

因此，本发明的目的在于提供一种能够形成ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及耐热性优异的树脂膜的树脂组合物。

此外，本发明的目的在于提供一种具有使用本发明的树脂组合物形成的树脂膜的高性能的电子部件。

进而，本发明的目的还在于提供一种能够使用本发明的树脂组合物高效地制造本发明的树脂膜的树脂膜的制造方法。

用于解决问题的方案

本发明人以解决上述问题为目的进行了深入研究。然后，本发明人发现，含有满足规定组成的具有质子性极性基团的聚合物(A)和规定的交联剂(B)的树脂组合物能够形成ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及耐热性优异的树脂膜，从而完成了本发明。

即，本发明的目的在于有利地解决上述问题，本发明的树脂组合物的特征在于，其含有具有质子性极性基团的聚合物(A)和包含下式(1)所表示的化合物的交联剂(B)，上述具有质子性极性基团的聚合物(A)满足以下两个条件中的至少一个：包含具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A-1)且具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为51摩尔％以上、以及包含具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)。

[化学式1]

[式(1)中，多个R各自独立地表示碳原子数为1～6的烷基和碳原子数为1～6的烷氧基中的任一者，多个R¹各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～6的烷基和碳原子数为1～6的烷氧基中的任一者，m、n、p和q分别表示0～4的整数。]

这样，如果使树脂组合物含有具有质子性极性基团的规定的聚合物(A)和满足上述规定的结构的交联剂(B)，则能够形成ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及耐热性优异的树脂膜。

在此，本发明的树脂组合物优选还包含酚系抗氧化剂(C)。如果树脂组合物还包含酚系抗氧化剂(C)，则能够提高得到的树脂膜的透光性。

此外，在本发明的树脂组合物中，优选相对于100质量份的上述具有质子性极性基团的聚合物(A)，上述酚系抗氧化剂(C)的含量为0.3质量份以上且15质量份以下。如果抗氧化剂(C)相对于聚合物(A)的含量在上述范围内，则能够进一步提高得到的树脂膜的透光性，且能够进一步提高ITO皱褶抑制性能，并且能够抑制抗氧化剂(C)在得到的树脂膜中容易渗出的情况。

此外，在本发明的树脂组合物中，优选上述具有质子性极性基团的聚合物(A)是具有羧基的环状烯烃聚合物。通过使树脂组合物含有具有羧基的环状烯烃聚合物，能够进一步提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能。

此外，在本发明的树脂组合物中，优选上述具有质子性极性基团的聚合物(A)是上述具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A-1)，上述具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A-1)为开环聚合物。如果具有质子性极性基团的聚合物(A)为开环聚合物，则能够提高得到的树脂膜的加工性。

此外，在本发明的树脂组合物中，优选相对于100质量份的上述具有质子性极性基团的聚合物(A)，上述交联剂(B)的含量为5质量份以上且160质量份以下。如果交联剂(B)的含量在上述规定的范围内，则能够提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及透光性。

进而，本发明的树脂组合物优选还含有具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物中的至少一者。如果树脂组合物还含有具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物中的至少一者，则能够进一步提高得到的树脂膜的耐化学品性。

进而此外，本发明的树脂组合物还可以含有放射线敏感化合物(D)。如果树脂组合物含有放射线敏感化合物(D)，则能够通过将树脂膜图案化，良好地形成具有期望图案的树脂膜。在此，优选上述放射线敏感化合物(D)为醌二叠氮化合物。

此外，本发明的目的在于有利地解决上述问题，本发明的电子部件的特征在于具有由上述任一种树脂组合物形成的树脂膜。使用上述的树脂组合物形成的树脂膜由于ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及耐热性优异，所以具有该树脂膜的电子部件能够充分发挥期望的功能，所以为高性能。

此外，本发明的目的在于有利地解决上述问题，本发明的树脂膜的制造方法的特征在于包括将使用树脂组合物形成的涂膜在100℃以上进行加热的工序。通过将使用上述任一种树脂组合物形成的涂膜在100℃以上进行加热，能够高效地制造ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及耐热性优异的树脂膜。

发明效果

根据本发明，可以提供一种能够形成ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及耐热性优异的树脂膜的树脂组合物。

此外，根据本发明，能够提供一种具有使用本发明的树脂组合物形成的树脂膜的高性能的电子部件。

进而，根据本发明，可以提供一种能够使用本发明的树脂组合物高效地制造本发明的树脂膜的树脂膜的制造方法。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式进行详细说明。本发明的树脂组合物能够用于形成树脂膜。而且，该树脂膜能够优选地配置于具有ITO电极的电子部件中。而且，本发明的电子部件具有使用本发明的树脂组合物得到的树脂膜。此外，该树脂膜能够按照使用了本发明的树脂组合物的本发明的树脂膜的制造方法高效地制造。

(树脂组合物)

本发明的树脂组合物的特征在于含有满足后述的规定条件的具有质子性极性基团的聚合物(A)和包含下式(1)所表示的化合物的交联剂(B)。

[化学式2]

进而，本发明的树脂组合物还能够任意地含有酚系抗氧化剂(C)、具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物中的至少一者、以及其它添加剂。

另外，本发明树脂组合物由于含有满足规定条件的具有质子性极性基团的聚合物(A)和满足上述规定结构的交联剂(B)，所以ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及耐热性优异。推测这是因为在树脂膜中，满足规定条件的聚合物(A)所包含的质子性极性基团通过交联剂(B)而被交联形成交联结构，该交联结构的存在有利于提高树脂膜的玻璃化转变温度、提高高温环境下的树脂膜的弹性模量、提高高温环境下的树脂膜的拉伸强度、以及抑制在被浸渍于化学品的情况下树脂膜容易过度溶胀等。

<具有质子性极性基团的聚合物(A)>

具有质子性极性基团的聚合物(A)的特征在于满足以下两个条件中的至少一个：包含具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A-1)且具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为51摩尔％以上、以及包含具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)。

具有质子性极性基团的聚合物(A)是质子性极性基团与作为骨架的结构键合而成的聚合物。在此，“质子性极性基团”是指包含氢直接键合的属于元素周期表第15族或第16族的原子的基团。氢直接键合的原子优选为属于元素周期表的第15族或第16族的第2周期或者第3周期的原子，更优选为氧原子、氮原子或硫原子，特别优选为氧原子。

作为这样的质子性极性基团的具体例子，可举出：羟基、羧基(羟基羰基)、磺酸基、磷酸基等具有氧原子的极性基团；伯氨基、仲氨基、伯酰胺基、仲酰胺基(酰亚胺基)等具有氮原子的极性基团；巯基等具有硫原子的极性基团等。在这些之中，优选具有氧原子的基团，更优选羧基。

在本发明中，与具有质子性极性基团的聚合物(A)键合的质子性极性基团的数量没有特别限定，此外，也可以包含不同种类的质子性极性基团。

具有质子性极性基团的聚合物(A)的骨架为(1)主链中具有来自环状烯烃单体的环状结构(脂环或芳香环)的聚合物、以及(2)聚酰胺酰亚胺中的任一者。另外，即使是重复单元中具有酰胺键和酰亚胺键的能够被称为所谓“聚酰胺酰亚胺树脂”的聚合物，若主链中具有来自环状烯烃单体的环状结构的聚合物也属于上述(1)记载的“主链中具有来自环状烯烃单体的环状结构(脂环或芳香环)的聚合物”。

进而，从进一步提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能的观点出发，作为具有质子性极性基团的聚合物(A)，优选至少使用骨架为(1)主链中具有来自环状烯烃单体的环状结构(脂环或芳香环)的聚合物，换言之，具有质子性极性基团的聚合物(A)优选至少包含环状烯烃聚合物。以下，有时将作为具有质子性极性基团的聚合物(A)的环状烯烃聚合物称作“环状烯烃聚合物(A-1)”、作为具有质子性极性基团的聚合物(A)的具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺树脂称作“聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)”。另外，作为具有质子性极性基团的聚合物(A)，可以单独使用一种聚合物，也可以组合使用多种聚合物。更具体而言，作为具有质子性极性基团的聚合物(A)，可以使用一种或多种环状烯烃聚合物(A-1)或者使用一种或多种聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)，也可以并用一种或多种环状烯烃聚合物(A-1)和一种或多种聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)。其中，如上所述，优选具有质子性极性基团的聚合物(A)至少包含环状烯烃聚合物(A-1)，更优选具有质子性极性基团的聚合物(A)为环状烯烃聚合物(A-1)。

<<环状烯烃聚合物(A-1)>>

作为环状烯烃聚合物(A-1)，可举出1个或2个以上的环状烯烃单体的聚合物、或者1个或2个以上的环状烯烃单体和能够与其共聚的单体的共聚物，在本发明中，作为用于形成环状烯烃聚合物(A-1)的单体，优选使用至少具有质子性极性基团的环状烯烃单体(a)。

作为具有质子性极性基团的环状烯烃单体(a)(以下有时仅称作“环状烯烃单体(a)”)，没有特别限定，作为具有质子性极性基团的环状烯烃单体(a)(以下适当称作“单体(a)”)的具体例子，能够举出：2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羧基甲基-2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2,3-二羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-羟基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、3-甲基-2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、3-羟甲基-2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基三环[5.2.1.0^2,6]癸-3,8-二烯、4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4,5-二羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-羧基甲基-4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、N-(羟基羰基甲基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基羰基乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基羰基戊基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(二羟基羰基乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(二羟基羰基丙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基羰基苯乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-(4-羟基苯基)-1-(羟基羰基)乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基羰基苯基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺等含羧基环状烯烃；2-(4-羟基苯基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-(4-羟基苯基)二环[2.2.1]庚-5-烯、4-(4-羟基苯基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-(4-羟基苯基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、2-羟基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟乙基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-羟甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2,3-二羟甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-(羟基乙氧基羰基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-(羟基乙氧基羰基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-(1-羟基-1-三氟甲基-2,2,2-三氟乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-(2-羟基-2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙基)二环[2.2.1]庚-5-烯、3-羟基三环[5.2.1.0^2,6]癸-4,8-二烯、3-羟甲基三环[5.2.1.0^2,6]癸-4,8-二烯、4-羟基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-羟甲基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4,5-二羟甲基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-(羟基乙氧基羰基)四环[6.2.1.1^3,⁶.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-(羟基乙氧基羰基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、N-(羟乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基苯基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺等含羟基环状烯烃等。其中，从进一步提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能的观点出发，优选含羧基环状烯烃，特别优选4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯。另外，作为环状烯烃单体(a)，能够使用一种或多种单体。

在将构成环状烯烃聚合物(A-1)的全部重复单元设为100摩尔％时，环状烯烃聚合物(A-1)中的来自环状烯烃单体(a)的单元的含有比例优选为51摩尔％以上，更优选为55摩尔％以上，优选为99摩尔％以下，更优选为90摩尔％以下，进一步优选为80摩尔％以下，更进一步优选为75摩尔％以下。另外，上述来自环状烯烃单体(a)的单元的含有比例也可以为100摩尔％。通过使来自环状烯烃单体(a)的单元的含有比例为上述范围，能够进一步平衡良好地提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能、耐化学品性、及耐热性。

此外，本发明使用的环状烯烃聚合物(A-1)可以为具有质子性极性基团的环状烯烃单体(a)和能够与其共聚的单体(b)共聚得到的共聚物。作为这样的能够共聚的单体，可举出具有除质子性极性基团以外的极性基团的环状烯烃单体(b1)、不具有极性基团的环状烯烃单体(b2)、及除环状烯烃以外的单体(b3)(以下适当称作“单体(b1)”、“单体(b2)”，“单体(b3)”)。在此，单体(b1)～(b3)能够在对特性没有影响的范围使用。而且，环状烯烃聚合物(A-1)优选由单体(a)和单体(b1)构成。进而，在下述列举的单体(b1)之中，优选使用作为具有N-取代酰亚胺基的环状烯烃的N-(2-乙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺。

作为具有除质子性极性基团以外的极性基团的环状烯烃单体(b1)所具有的除质子性极性基团以外的极性基团的具体例子，可举出酯基(是指烷氧基羰基和芳氧基羰基的总称)、N-取代酰亚胺基、环氧基、卤原子、氰基、羰氧基羰基(二羧酸的酸酐残基)、烷氧基、羰基、叔氨基、磺基、丙烯酰基等。其中，作为除质子性极性基团以外的极性基团，优选酯基、N-取代酰亚胺基和氰基，更优选酯基和N-取代酰亚胺基，特别优选N-取代酰亚胺基。

而且，作为单体(b1)的具体例子，可举出以下的环状烯烃。

作为具有酯基的环状烯烃，可举出例如：5-乙酰氧基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基羰基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基-5-甲氧基羰基二环[2.2.1]庚-2-烯、9-乙酰氧基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-乙氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-正丙氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-异丙氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-正丁氧基羰基四环[6.2.1.1³^,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲基-9-甲氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲基-9-乙氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲基-9-正丙氧基羰基四环[6.2.1.1^3,⁶.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲基-9-异丙氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲基-9-正丁氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-(2,2,2-三氟乙氧基羰基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲基-9-(2,2,2-三氟乙氧基羰基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯等。

作为具有N-取代酰亚胺基的环状烯烃，可举出例如：N-苯基二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-乙基己基)-1-异丙基-4-甲基二环[2.2.2]辛-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-乙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-[(2-乙基丁氧基)乙氧基丙基]-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(内型-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二基二羰基)天冬氨酸二甲酯等。

作为具有氰基的环状烯烃，可举出例如：9-氰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲基-9-氰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、5-氰基二环[2.2.1]庚-2-烯等。

作为具有卤原子的环状烯烃，可举出例如：9-氯四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲基-9-氯四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯等。

这些具有除质子性极性基团以外的极性基团的环状烯烃单体(b1)可以分别单独使用，也可以组合使用两种以上。

作为不具有极性基团的环状烯烃单体(b2)的具体例子，可举出：二环[2.2.1]庚-2-烯(也称作“降冰片烯”)、5-乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯、5-丁基-二环[2.2.1]庚-2-烯、5-亚乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯、5-亚甲基-二环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙烯基-二环[2.2.1]庚-2-烯、三环[5.2.1.0^2,6]癸-3,8-二烯(常用名：二环戊二烯)、四环[10.2.1.0^2,110^4,9]十五碳-4,6,8,13-四烯、四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯(也称作“四环十二碳烯”)、9-甲基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-乙基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-亚甲基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-亚乙基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-乙烯基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-丙烯基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、五环[9.2.1.1^3,9.0^2,10.0^4,8]十五碳-5,12-二烯、环戊烯、环戊二烯、9-苯基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、四环[9.2.1.0^2,10.0^3,8]十四碳-3,5,7,12-四烯、五环[9.2.1.1^3,9.0^2,10.0^4,8]十五碳-12-烯等。

这些不具有极性基团的环状烯烃单体(b2)可以分别单独使用，也可以组合使用两种以上。

作为除环状烯烃以外的单体(b3)的具体例子，可举出链烯烃。作为链烯烃，可举出例如：乙烯、丙烯、1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、3-甲基-1-丁烯、3-甲基-1-戊烯、3-乙基-1-戊烯、4-甲基-1-戊烯、4-甲基-1-己烯、4,4-二甲基-1-己烯、4,4-二甲基-1-戊烯、4-乙基-1-己烯、3-乙基-1-己烯、1-辛烯、1-癸烯、1-十二碳烯、1-十四碳烯、1-十六碳烯、1-十八碳烯、1-二十碳烯等碳原子数为2～20的α-烯烃；1,4-己二烯、4-甲基-1,4-己二烯、5-甲基-1,4-己二烯、1,7-辛二烯等非共轭二烯等。

这些除环状烯烃以外的单体(b3)能够分别单独使用或组合使用两种以上。

环状烯烃聚合物(A-1)能够通过将环状烯烃单体(a)进行均聚、或根据期望与选自单体(b1)～(b3)中的1种以上单体共聚来得到。聚合方法没有特别限定，能够使用所有聚合方法。其中，优选采用开环聚合法。如果作为具有质子性极性基团的聚合物(A)的环状烯烃聚合物(A-1)为开环聚合物，则能够提高得到的树脂膜的加工性。更具体而言，环状烯烃聚合物(A-1)优选为包含符合下式(RO-COP)的结构的开环聚合物。

[化学式3]

[上述式(RO-COP)中，R¹和R²表示氢或与上述各单体(a)、(b1)、(b2)对应的基团或结构。另外，R¹和R²可以一起形成环结构。]

进而，可以将通过聚合得到的聚合物进一步进行氢化。在本说明书中，氢化了的聚合物也包含于具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A-1)。另外，在环状烯烃聚合物(A-1)为氢化了的聚合物的情况下，优选为主链和除主链以外所包含的碳-碳双键的95.0％以上被氢化而成的聚合物，更优选为97.0％以上被氢化而成的聚合物，进一步优选为99.0％以上被氢化而成的聚合物。

环状烯烃聚合物(A-1)也能够通过利用公知的改性剂将质子性极性基团导入到不具有质子性极性基团的环状烯烃系聚合物中、根据期望进行加氢的方法来得到。在此，氢化也可以对质子性极性基团导入前的聚合物进行。

此外，环状烯烃聚合物(A-1)也可以通过将质子性极性基团进一步导入到具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物中的方法来得到。

另外，在环状烯烃聚合物(A-1)为对包含符合上述式(RO-COP)的结构的开环聚合物进行氢化而得到的聚合物的情况下，环状烯烃聚合物(A-1)优选包含符合下式的结构。

[化学式4]

[上述式中，R¹和R²表示氢或者与上述各单体(a)、(b1)、(b2)对应的基团或结构或者是它们的氢化物。另外，R¹和R²可以一起形成环结构。]

[聚合物(A-1)中的具有质子性极性基团的单体单元的占有比率]

如果聚合物(A-1)中的具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为51摩尔％以上，则交联剂(B)与质子性极性基团之间以充分的频率发生反应，以充分的频率形成交联结构，因此能够平衡良好地提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能、耐化学品性、及耐热性。进而，聚合物(A-1)中的具有质子性极性基团的单体单元的占有比率优选为55摩尔％以上，优选为100摩尔％以下，更优选为80摩尔％以下，进一步优选为75摩尔％以下。如果聚合物(A-1)中的具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为55摩尔％以上，则能够进一步平衡良好地提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能、耐化学品性、及耐热性。此外，如果聚合物(A-1)中的具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为上述上限值以下，则能够平衡良好地提高得到的树脂膜的拉伸强度和拉伸伸长率性能。

<<聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)>>

作为具有质子性极性基团的聚合物(A)的“聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)”是在重复单元中具有酰胺键和酰亚胺键的聚合物(即，聚酰胺酰亚胺树脂)且具有质子性极性基团的聚合物。另外，聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)也能够通过利用公知的改性剂将质子性极性基团导入至不具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺中的方法来得到。此外，聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)也可以通过将质子性极性基团进一步导入具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺中的方法来得到。因此，在如下列举的各种聚酰胺酰亚胺中具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺能够直接使用、或进一步改性导入质子性极性基团后使用，不具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺能够利用公知的改性剂等进行改性，导入质子性极性基团后使用。

作为聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)，可举出具有支链型结构的聚酰胺酰亚胺和具有直链型结构的聚酰胺酰亚胺。其中，作为聚酰胺酰亚胺，优选具有支链型结构的聚酰胺酰亚胺。如果聚酰胺酰亚胺树脂(A-2)是具有支链型结构的聚酰胺酰亚胺，则能够提高树脂组合物的耐化学品性。

作为具有支链型结构的聚酰胺酰亚胺，可举出例如：具有下式(2)所表示的结构单元和下式(3)所表示的结构单元且具有下述结构式(α)、(β)及(γ)所表示的末端结构中的任一个以上的化合物、下式(4)所表示的化合物、具有支链型结构的聚酰胺酰亚胺树脂(DIC株式会社制，UNIDIC EMG-793)、具有支链型结构的聚酰胺酰亚胺树脂(DIC株式会社制，UNIDIC EMG-1015)等。

[化学式5]

[其中，上述式(2)中，R1表示具有碳原子数为6～13的环式脂肪族结构的有机基团。]

[化学式6]

[其中，上述式(3)中，R1表示具有碳原子数为6～13的环式脂肪族结构的有机基团，R2表示数均分子量为700～4500的线型烃结构。]

[化学式7]

[化学式8]

[化学式9]

[化学式10]

[其中，式(4)中，n为2以上且200以下的整数。]

具有上述式(4)所表示的结构的具有质子性极性基团的聚酰胺酰亚胺树脂能够通过例如使下式(5)所表示的作为异佛尔酮二异氰酸酯三聚体的异氰脲酸酯与偏苯三酸酐反应而得到。

[化学式11]

在该反应中，可以加入含有2个以上羟基的多官能多元醇作为链转移剂，在上述式(4)的部分结构中导入具有氨基甲酸酯结构的部位。通过在上述式(4)的部分结构中导入具有氨基甲酸酯结构的部位，能够控制具有支链型结构的聚酰胺酰亚胺的物性。作为具有氨基甲酸酯结构的部位，可举出例如下式(6)所表示的部位。

[化学式12]

[其中，上述式(6)中，R1表示具有碳原子数为6～13的环式脂肪族结构的有机基团，R2表示数均分子量为700～4500的线型烃结构。]

此外，作为具有直链型结构的聚酰胺酰亚胺，可举出例如下式(7)所表示的化合物等。

[化学式13]

[其中，上述式(7)中，n为2以上且400以下的整数。]

上述式(7)所表示的化合物可通过使偏苯三酸酐与异佛尔酮二异氰酸酯反应而得到。

<交联剂(B)>

交联剂(B)是通过在树脂膜中形成交联结构来发挥提高树脂膜的ITO皱褶抑制性能、耐化学品性、及耐热性的作用的化合物。交联剂(B)的特征在于包含下式(1)所表示的化合物。交联剂(B)通过包含下式(1)所表示的化合物，与一直以来作为交联剂通用的环氧树脂相比，能够赋予树脂膜高耐热性。进而，交联剂(B)除了含有下式(1)所表示的化合物之外，还可以含有下式(1)所表示的化合物的二聚体和其它多聚体。

[化学式14]

在此，作为R和R¹所能够包含的碳原子数为1～6的烷基，没有特别限定，可举出例如：甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基等具有直链、支链或环状结构的烷基。在这些之中，作为碳原子数为1～6的烷基，优选甲基、乙基，更优选甲基。

此外，作为R和R¹所能够包含的碳原子数为1～6的烷氧基，没有特别限定，可举出例如：甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基等具有直链、支链或环状结构的烷氧基。在这些之中，作为碳原子数为1～6的烷氧基，优选甲氧基、乙氧基、丙氧基，更优选甲氧基。

在此，从进一步提高得到的树脂膜的耐热性的观点出发，优选m、n、p、及q均为“0”，换言之，优选式(1)所表示的化合物不具有取代基。在该情况下，上述式(1)中，“R”能够键合的位置均键合氢原子。

此外，R¹优选均为氢原子。

进而，满足式(1)的化合物优选为不具有取代基、且3个缩水甘油醚基键合在规定的位置而成的、满足下述结构(1-α)的化合物。另外，在交联剂(B)包含满足下述结构(1-α)的化合物的情况下，该交联剂(B)可以包含满足下述结构(1-α)的化合物的二聚体即满足下述结构(1-β)的化合物。这样交联剂(B)市售有Printec Co.制造的“Techmore VG3101L”。

[化学式15]

<<交联剂(B)的含量>>

而且，在树脂组合物中，相对于100质量份的具有质子性极性基团的聚合物(A)，交联剂(B)的含量优选为5质量份以上，更优选为15质量份以上，进一步优选为25质量份以上，优选为160质量份以下，更优选为140质量份以下，进一步优选为55质量份以下。如果交联剂(B)相对于具有质子性极性基团的聚合物(A)的含量为上述下限值以上，则能够提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能、耐化学品性、透光性。此外，如果交联剂(B)相对于具有质子性极性基团的聚合物(A)的含量为上述上限值以下，则能够进一步提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能和耐化学品性。另外，在交联剂(B)含有式(1)所表示的化合物和式(1)所表示的化合物的二聚体两者的情况下，优选它们的合计含量满足上述优选范围。

<酚系抗氧化剂(C)>

作为酚系抗氧化剂(C)，能够使用现有公知的酚系抗氧化剂。例如，作为酚系抗氧化剂(C)，能够使用：2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苄基)-4-甲基苯基丙烯酸酯、2,4-二叔戊基-6-[1-(3,5-二叔戊基-2-羟基苯基)乙基]苯基丙烯酸酯等丙烯酸酯系化合物；2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚、2,6-二叔丁基-4-乙基苯酚、十八烷基-3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯、2,2’-亚甲基-双(4-甲基-6-叔丁基酚)、4,4’-亚丁基-双(6-叔丁基间甲酚)、4,4’-硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、双(3-环己基-2-羟基-5-甲基苯基)甲烷、3,9-双〔2-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酰氧基]-1,1-二甲基乙基〕-2,4,8,10-四氧杂螺[5,5]十一烷、1,1,3-三(2-甲基-4-羟基-5-叔丁基苯基)丁烷、季戊四醇四[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]、三乙二醇双[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酸酯]、生育酚等烷基取代酚系化合物；6-(4-羟基-3,5-二叔丁基苯胺基)-2,4-双-辛基硫代-1,3,5-三嗪、6-(4-羟基-3,5-二甲基苯胺基)-2,4-双-辛基硫代-1,3,5-三嗪、6-(4-羟基-3-甲基-5-叔丁基苯胺基)-2,4-双-辛基硫代-1,3,5-三嗪、2-辛基硫代-4,6-双-(3,5-二叔丁基-4-氧基苯胺基)-1,3,5-三嗪等含三嗪基酚系化合物等。其中，优选烷基取代酚系化合物，更优选使用季戊四醇四[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯]。另外，作为酚系抗氧化剂(C)的化合物既不具有2个以上烷氧基甲基，也不具有2个以上羟甲基。

<<酚系抗氧化剂(C)的含量>>

而且，在树脂组合物中，相对于100质量份的具有质子性极性基团的聚合物(A)，酚系抗氧化剂(C)的含量优选为0.3质量份以上，更优选为1质量份以上，优选为15质量份以下，更优选为10质量份以下，进一步优选为8质量份以下。如果酚系抗氧化剂(C)相对于具有质子性极性基团的聚合物(A)的含量为上述下限值以上，则能够提高得到的树脂膜的透光性。此外，如果酚系抗氧化剂(C)相对于具有质子性极性基团的聚合物(A)的含量为上述上限值以下，则能够进一步提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能，并且能够抑制抗氧化剂(C)在得到的树脂膜中容易渗出的情况。

<具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物>

具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物是能够发挥进一步提高得到的树脂膜的ITO皱褶抑制性能的作用的成分。进而，通过在树脂组合物中配合具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物，能够提高树脂膜的耐化学品性。从进一步良好地发挥这种效果的观点出发，优选树脂组合物至少含有具有2个以上烷氧基甲基的化合物。

<<具有2个以上烷氧基甲基的化合物>>

作为具有2个以上烷氧基甲基的化合物，可举出例如：2个以上烷氧基甲基直接与芳香环键合而成的酚化合物、氨基被2个以上烷氧基甲基取代而成的三聚氰胺化合物、被2个以上烷氧基甲基取代而成的脲化合物。

作为2个以上烷氧基甲基直接与芳香环键合而成的酚化合物，可举出例如：2,6-二甲氧基甲基-4-叔丁基苯酚、2,6-二甲氧基甲基对甲酚等二甲氧基甲基取代酚化合物；3,3’,5,5’-四甲氧基甲基-4,4’-二羟基联苯(例如，商品名“TMOM-BP”，Honshu Chemical Industry Co.,Ltd.制)、1,1-双[3,5-二(甲氧基甲基)-4-羟基苯基]-1-苯基乙烷等四甲氧基甲基取代联苯化合物；4,4’,4”-(次乙基)三[2,6-双(甲氧基甲基)苯酚](例如，商品名“HMOM-TPHAP-GB”，Honshu Chemical Industry Co.,Ltd.制)等六甲氧基甲基取代三苯基化合物。

作为氨基被2个以上烷氧基甲基取代而成的三聚氰胺化合物，可举出例如：N,N’-二甲氧基甲基三聚氰胺、N,N’,N”-三甲氧基甲基三聚氰胺、N,N,N’,N”-四甲氧基甲基三聚氰胺、N,N,N’,N’,N”-五甲氧基甲基三聚氰胺、N,N,N’,N’,N”,N”-六甲氧基甲基三聚氰胺(例如，商品名“NIKALAC MW-390LM”、商品名“NIKALAC MW-100LM”，均为Sanwa Chemical Co.,Ltd.制)、或它们的聚合物等。

作为被2个以上烷氧基甲基取代而成的脲化合物，可举出例如：商品名“NIKALAC MX270”、商品名“NIKALAC MX280”、商品名“NIKALAC MX290”(均为Sanwa Chemical Co.,Ltd.制)。

<<具有2个以上羟甲基的化合物>>

作为具有2个以上羟甲基的化合物，可举出例如2个以上羟甲基直接与芳香环键合而成的酚化合物。

而且，作为2个以上羟甲基直接与芳香环键合而成的酚化合物，可举出：2,4-二羟甲基-6-甲基苯酚、2,6-双(羟甲基)对甲酚、4-叔丁基-2,6-双(羟甲基)苯酚、双(2-羟基-3-羟甲基-5-甲基苯基)甲烷(商品名“DM-BIPC-F”，ASAHI YUKIZAI CORPORATION制)、双(4-羟基-3-羟甲基-5-甲基苯基)甲烷(商品名“DM-BIOC-F”，ASAHI YUKIZAI CORPORATION制)、2,2-双(4-羟基-3,5-二羟甲基苯基)丙烷(商品名“TM-BIP-A”，ASAHI YUKIZAI CORPORATION制)等。

在上述具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物之中，从反应性高的方面出发，优选作为具有2个以上烷氧基甲基的化合物的一种的N,N,N’,N’,N”,N”-六甲氧基甲基三聚氰胺。

<<具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物的含量>>

在树脂组合物包含具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物两者或其中任一者的情况下，它们的合计含量相对于100质量份的具有质子性极性基团的聚合物(A)优选为1质量份以上且100质量份以下。如果具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物的合计含量在上述范围内，则能够进一步提高树脂膜的ITO皱褶抑制性能。特别是如果具有2个以上烷氧基甲基的化合物和具有2个以上羟甲基的化合物的合计含量在上述上限值以下，则能够抑制在100℃以上这样的高温条件下的固化工序中的膜减少，能够进一步提高树脂膜的耐热性。

<其它添加剂>

本发明的树脂组合物可以任意含有除上述以外的其它添加剂。作为该其它添加剂，可举出：与上述交联剂(B)结构不同的多官能环氧化合物、硅烷偶联剂、表面活性剂、与上述酚系抗氧化剂(C)不同的抗氧化剂、以及放射线敏感化合物(D)等。

<<与交联剂(B)结构不同的多官能环氧化合物>>

作为与交联剂(B)结构不同的多官能环氧化合物的具体例子，能够举出例如：以双环戊二烯为骨架的环氧化合物(商品名“HP-7200”，DIC株式会社制)、2,2-双(羟甲基)-1-丁醇的1,2-环氧-4-(2-环氧乙烷基)环己烷加成物(具有环己烷骨架和末端环氧基的15官能性的脂环式环氧树脂，商品名“EHPE3150”，Daicel Corporation制)、环氧化3-环己烯-1,2-二羧酸双(3-环己烯基甲基)修饰ε-己内酯(脂肪族环状3官能性的环氧树脂，商品名“EPOLEAD GT301”、Daicel Corporation制)、丁烷四羧酸四(3,4-环氧环己基甲基)修饰ε-己内酯(脂肪族环状4官能性的环氧树脂，商品名“EPOLEAD GT401”、Daicel Corporation制)、3,4-环氧环己烯基甲基-3’,4’-环氧环己烯羧酸酯(商品名“CELLOXIDE 2021”、“CELLOXIDE 2021P”，Daicel Corporation制)、ε-己内酯改性3’,4’-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷羧酸酯(商品名“CELLOXIDE 2081”，Daicel Corporation制)、1,2：8,9-双环氧柠檬烯(商品名“CELLOXIDE 3000”，Daicel Corporation制)等具有脂环状结构的环氧化合物；以及、双酚A型环氧化合物(商品名“jER825”、“jER827”、“jER828EL”、“jERYL980”，Mitsubishi Chemical Corporation制、商品名“EPICLON840”、“EPICLON850”，DIC株式会社制)、双酚F型环氧化合物(商品名“jER806”、“jER807”、“jERYL983U”，Mitsubishi Chemical Corporation制、商品名“EPICLON830”、“EPICLON835”，DIC株式会社制)、加氢双酚A型环氧化合物(商品名“jERYX8000”、“jERYX8034”Mitsubishi Chemical Corporation制、商品名“ST-3000”新日铁住金株式会社、商品名“RIKARESIN HBE-100”新日本理化株式会社制、商品名“EPOLIGHT 4000”共荣化学株式会社制)、长链双酚A型环氧树脂(商品名“EXA-4816”、“EXA-4850-150”、“EXA-4850-1000”DIC株式会社制)、EO改性双酚A型环氧化合物(商品名“ADEKA RESIN EP-4000L”、“ADEKA RESIN EP-4010L”，ADEKA株式会社制)、苯酚酚醛清漆型多官能环氧化合物(商品名“jER152”，Mitsubishi Chemical Corporation制)、1,6-双(2,3-环氧丙烷-1-基氧基)萘等具有萘骨架的多官能环氧化合物(商品名“HP-4032D”，DIC株式会社制)、双环戊二烯二甲醇二缩水甘油醚(商品名“ADEKA RESIN EP-4000L”、“ADEKA RESIN EP-4088L”，ADEKA株式会社制)、缩水甘油胺型环氧树脂(商品名“jER630”，Mitsubishi Chemical Corporation制、商品名“TETRAD-C”、“TETRAD-X”，Mitsubishi Gas Chemical Company,Inc.制)、链状烷基多官能环氧化合物(商品名“SR-TMP”，Sakamoto Yakuhin kogyo Co.,Ltd.制)、多官能环氧聚丁二烯(商品名“EPOLEAD PB3600”、Daicel Corporation制)、(商品名“EPOLEAD PB4700”、Daicel Corporation制)、甘油的缩水甘油聚醚化合物(商品名“SR-GLG”，Sakamoto Yakuhin kogyo Co.,Ltd.制)、二甘油聚缩水甘油醚化合物(商品名“SR-DGE”，Sakamoto Yakuhin kogyo Co.,Ltd.制)、聚甘油聚缩水甘油醚化合物(商品名“SR-4GL”，Sakamoto Yakuhin kogyo Co.,Ltd.制)、具有下式(X)所示的结构的环氧化合物(Nippon Kayaku Co.,Ltd.制“WHR-991S”)等不具有脂环结构的环氧化合物等。另外，这些能够单独使用一种或组合使用多种。其中，优选具有脂环结构的环氧化合物即脂环式环氧化合物。通过在树脂组合物中配合脂环式环氧化合物，能够提高得到的树脂膜的透明性。

[化学式16]

树脂组合物中的与交联剂(B)结构不同的多官能环氧化合物的含量相对于100质量份的具有质子性极性基团的聚合物(A)优选为100质量份以下。如果含环氧基化合物的含量为100质量份以下，则能够高效地提高树脂膜的耐化学品性。另外，在树脂组合物除含有上述规定的交联剂(B)之外还含有与交联剂(B)结构不同的多官能环氧化合物的情况下，交联剂(B)和与交联剂(B)结构不同的多官能环氧化合物的合计含量优选满足在<<交联剂(B)的含量>>的项目中所述的、树脂组合物中的交联剂(B)相对于100质量份的具有质子性极性基团的聚合物(A)的含量的优选范围。

<<硅烷偶联剂、表面活性剂及抗氧化剂>>

硅烷偶联剂发挥提高使用本发明的树脂组合物得到的树脂膜与形成有该树脂膜的基材之间的密合性的功能。而且，作为硅烷偶联剂，没有特别限定，能够使用公知的硅烷偶联剂(例如参考日本特开2015-94910号)。更具体而言，作为硅烷偶联剂，能够优选使用环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷等烷氧基硅烷类。

此外，硅烷偶联剂的含量通常相对于100质量份的具有质子性极性基团的聚合物(A)为0.01质量份以上且10质量份以下。

表面活性剂是能够使本发明的树脂组合物的涂覆性提高的成分。作为表面活性剂，没有特别限定，能够使用公知的有机硅系表面活性剂、氟系表面活性剂、聚氧化烯系表面活性剂、甲基丙烯酸共聚物系表面活性剂和丙烯酸共聚物系表面活性剂等(例如参考国际公开第2017/163981号)。其中，作为表面活性剂，能够优选使用有机硅氧烷聚合物等有机硅系表面活性剂。

此外，表面活性剂的含量通常相对于100质量份的具有质子性极性基团的聚合物(A)为0.01质量份以上且1质量份以下。

与上述酚系抗氧化剂(C)不同的抗氧化剂是能够提高本发明的树脂组合物的稳定性的成分。作为抗氧化剂，没有特别限定，能够使用磷系抗氧化剂、硫系抗氧化剂、胺系抗氧化剂、内酯系抗氧化剂之类的公知的抗氧化剂(例如参考国际公开第2017/163981号)。

另外，硅烷偶联剂、表面活性剂及与上述酚系抗氧化剂(C)不同的抗氧化剂能够分别单独使用一种或组合使用两种以上。此外，在树脂组合物中配合的硅烷偶联剂、表面活性剂及与上述酚系抗氧化剂(C)不同的抗氧化剂的量能够任意调节。

<<放射线敏感化合物(D)>>

放射线敏感化合物(D)是当照射放射线时能够引起化学反应的化合物。在此，作为放射线，没有特别限定，可举出例如：可见光线；紫外线；X射线；g线、h线、i线等单波长的光线；KrF准分子激光、ArF准分子激光等激光光线；电子束等粒子束等。作为放射线敏感化合物(D)，没有特别限定，能够使用苯乙酮化合物、三芳基锍盐及叠氮化合物。其中，能够优选使用醌二叠氮化合物等叠氮化合物。放射线敏感化合物(D)能够单独使用一种或组合使用两种以上。此外，在树脂组合物中配合的放射线敏感化合物(D)的量能够任意调节。如果树脂组合物含有放射线敏感化合物(D)，则能够通过将树脂膜图案化良好地形成具有期望的图案的树脂膜。

<溶剂>

作为本发明的树脂组合物能够任意含有的溶剂，没有特别限定，能够使用公知的溶剂作为树脂组合物的溶剂。作为这样的溶剂，可举出例如直链的酮类、醇类、醇醚类、酯类、溶纤剂酯类、丙二醇类、二乙二醇甲乙醚等二乙二醇类、饱和γ-内酯类、卤代烃类、芳香族烃类、以及二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺和N-甲基乙酰胺等极性溶剂等(例如参考国际公开第2015/033901号)。

另外，这些溶剂能够单独使用一种或混合使用两种以上。

而且，树脂组合物中的溶剂的量没有特别限定，相对于100质量份的具有质子性极性基团的聚合物(A)，优选为10质量份以上，优选为10000质量份以下，更优选为5000质量份以下，进一步优选为1000质量份以下。

<树脂组合物的制造方法>

本发明的组合物能够通过利用已知的方法对上述的成分进行混合，任意地进行过滤来制备。在此，混合能够使用搅拌器(stirrer)、搅拌机(agitator)、球磨机、砂磨机、珠磨机、颜料分散机、磨碎机、超声波分散机、均质器、行星式搅拌机、Filmix等已知的混合机。此外，混合物的过滤能够采用使用了过滤器等过滤器材的通常的过滤方法。

(树脂膜的制造方法)

由本发明的树脂组合物形成的树脂膜能够通过本发明的树脂膜的制造方法制造，上述制造方法包含将使用上述本发明的树脂组合物形成的涂膜在100℃以上进行加热的工序(固化工序)。本发明的树脂膜的制造方法还可以包含在形成树脂膜的基板上使用本发明的树脂组合物形成涂膜的工序(涂膜形成工序)。进而，作为本发明的树脂组合物，也能够使用包含放射线敏感化合物(D)的树脂组合物，形成图案化树脂膜。在该情况下，在形成涂膜时实施将涂膜图案化的操作，进而，有时在涂膜形成工序之后、固化工序之前实施漂白工序。

<涂膜形成工序>

向形成树脂膜的基板上设置涂膜没有特别限定，能够按照涂敷法、膜层叠法等已知方法进行。

利用涂敷法形成涂膜能够通过将树脂组合物涂敷在基板上后，进行加热干燥(预烘焙)来进行。另外，作为涂敷树脂组合物的方法，能够采用例如喷涂法、旋涂法、辊涂法、模涂法、刮刀法、棒涂敷法、丝网印刷法、喷墨法等各种方法。加热干燥条件根据树脂组合物所包含的成分的种类、配合比例而不同，加热温度通常为30～150℃，优选为60～120℃，加热时间通常为0.5～90分钟，优选为1～60分钟，更优选为1～30分钟。

此外，利用膜层叠法形成涂膜能够通过如下方式进行：将树脂组合物涂敷在树脂膜、金属膜等B阶膜形成用基材上，进行加热干燥(预烘焙)而得到B阶膜后，接下来，将该B阶膜层叠在基板上。另外，向B阶膜形成用基材上涂敷树脂组合物和树脂组合物的加热干燥能够与上述涂敷法中的树脂组合物的涂敷和加热干燥同样地进行。此外，层叠能够使用加压层压机、压制机、真空层压机、真空压制机、辊层压机等压合机进行。

作为任意操作的涂膜的图案化能够使用例如以下公知的图案化方法进行，即，对图案化前的涂膜照射放射线形成潜影图案后，使显影液与具有潜影图案的涂膜接触，使图案显现出来的方法等。

在此，作为放射线，只要是能够通过使放射线敏感化合物(D)发生化学反应而提高放射线照射部相对于显影液的溶解性的放射线就没有特别限定，能够使用任意的放射线。具体地，能够使用例如：可见光线；紫外线；X射线；g线、h线、i线等单波长的光线；KrF准分子激光、ArF准分子激光等激光光线；电子束等粒子束等。另外，这些放射线能够单独使用一种或混合使用两种以上。

此外，作为显影液，能够使用碱性化合物的水溶液等已知的碱显影液。

而且，作为使显影液与涂膜接触的方法和条件，没有特别限定，能够采用已知的方法和条件。

进而，根据需要也可以实施漂白工序以使树脂组合物含有的放射线敏感化合物(D)失活。在漂白工序中，也能够对整面涂膜照射任意的放射线。放射线的照射能够利用在上述潜影图案的形成中例示的方法。进而，也可以在照射放射线的同时加热树脂膜，或者在照射放射线后加热树脂膜。在漂白工序中，通过使放射线敏感化合物(D)失活，能够进一步提高得到的树脂膜的透明性。

<固化工序>

在固化工序中，将涂膜在100℃以上的温度加热(后烘焙)，使其固化。

涂膜的加热没有特别限定，能够使用例如加热板、烘箱等进行。另外，加热也可以根据需要在非活性气体环境下进行。作为非活性气体，可举出例如氮、氩、氦、氖、氙、氪等。在这些之中，优选氮和氩，特别优选氮。

在此，在固化工序中加热涂膜时的温度需要为100℃以上，优选为150℃以上，更优选为200℃以上，进一步优选为250℃以上。如果使用本发明的树脂组合物，则即使在加热涂膜时的温度为100℃以上的高温的情况下，也能够良好地成膜。进而，在固化工序中加热涂膜时的温度的上限没有特别限定，优选为400℃以下。

另外，在固化工序中加热涂膜的时间能够根据涂膜的面积、厚度、用于加热的机器等适当选择，能够为例如10～120分钟。

而且，经过该固化工序的树脂膜优选波长400nm的光的透过率为95％以上。另外，“透过率”能够按照实施例记载的方法测定。

(电子部件)

本发明的电子部件具有由上述的本发明的树脂组合物形成的树脂膜。而且，本发明的电子部件由于具有由本发明的树脂组合物形成的ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及耐热性优异的树脂膜，所以为高性能。

<电子部件的种类>

本发明的电子部件的种类没有特别限定。例如，由于由本发明的树脂组合物形成的树脂膜的ITO皱褶抑制性能、耐化学品性及耐热性优异，所以本发明的电子部件能够为在由本发明的树脂组合物形成的树脂膜的表面上配置ITO膜而成的具有ITO电极的电子部件。此外，例如，本发明的树脂膜也可以为半导体设备所具有的重布线层的层间绝缘膜。

实施例

以下，基于实施例对本发明进行具体说明，但本发明并不限定于这些实施例。另外，在以下的说明中，只要没有特别说明，表示量的“％”和“份”为质量基准。此外，压力为表压。

在实施例和比较例中，分别使用以下的方法评价树脂膜的ITO皱褶抑制性能、耐化学品性、耐热性(加热减量)和透光率。

<ITO皱褶抑制性能>

在玻璃基板(Corning Incorporated制，Corning 1737)上，将在实施例、比较例中得到的树脂组合物用旋涂法进行涂敷，使用加热板在120℃加热干燥(预烘焙)2分钟，形成涂膜。接着，使用烘箱，在氮环境下，以10℃/分钟从30℃升温至250℃，然后在250℃加热60分钟进行后烘焙，由此形成膜厚2μm的树脂膜。在该树脂膜上通过溅射装置(Shibaura Eletec Corporation制，“i-Miller CFS-4EP-LL”，工作台温度30℃)以40nm的膜厚形成ITO透明电极。将得到的带有ITO透明电极的层叠体的玻璃基板切成1.5cm见方，制作试验片。将制作的试验片的玻璃基板侧放置在已在200℃进行了加热的加热板上5分钟，然后冷却至室温。接着，用光学显微镜(100倍)观察试验片的ITO透明电极侧表面，算出皱褶部分的面积相对于树脂膜表面的总面积(1.5cm×1.5cm)的比例，通过以下的基准进行评价。另外，皱褶部分的面积是将用光学显微镜得到的图像进行二值化处理而提取出的。

A：树脂膜的表面未产生皱褶。

B：树脂膜的表面产生了皱褶，但皱褶部分的面积小于树脂膜表面的总面积的1/4。

C：树脂膜的表面产生了皱褶，但皱褶部分的面积为树脂膜表面的总面积的1/4以上。

<耐化学品性>

在玻璃基板(Corning Incorporated制，Corning 1737)上，将在实施例、比较例中得到的树脂组合物用旋涂法进行涂敷，使用加热板在120℃加热干燥(预烘焙)2分钟，形成涂膜。接着，使用烘箱，在氮环境下，以10℃/分钟从30℃升温至250℃，然后在250℃加热60分钟进行后烘焙，由此得到膜厚2μm的树脂膜，测定厚度T1。将得到的树脂膜浸渍在40℃的单乙醇胺-二甲基亚砜混合液(混合比：单乙醇胺∶二甲基亚砜＝7∶3，TOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD.制，“TOK106”)中2分钟，然后用纯水冲洗30秒，测定厚度T2。根据测定的T1和T2的值，算出溶胀率(％)：(T2-T1)/T1×100，按照以下的基准评价。

A：溶胀率为3％以下。

B：溶胀率超过3％且为8％以下。

C：溶胀率超过8％。

<耐热性(加热减量)>

使用溅射装置(SHIBAURA ELETEC CORPORATION制，“i-Miller CFS-4EP-LL”)，在以100nm的膜厚形成了铝薄膜的硅晶片上旋涂在实施例、比较例中得到的树脂组合物，然后使用加热板以120℃加热硅晶片2分钟(涂膜形成工序)。接着，在氮环境下，以10℃/分钟从30℃升温至250℃，然后以250℃、60分钟的条件进行热处理，由此得到树脂膜，得到在单面具有膜厚10μm的树脂膜的层叠体(固化工序)。

将得到的层叠体浸渍于0.5mol/L的盐酸水溶液，使位于硅晶片与树脂膜之间的铝薄膜溶解于盐酸水溶液，由此将树脂膜从硅晶片剥离。接着，对剥离的树脂膜进行水洗、干燥。使用差热热重同时测定装置(Seiko Instruments公司制，TG/DTA6200)，在氮环境下，使干燥后的树脂膜以升温速度10℃/分钟的条件升温至300℃，在300℃保持1小时之时、分别测定升温至300℃时的试样的质量W0和300℃保持结束时的试样的质量W1，根据这些值算出加热减量的值：(W0-W1)/W0×100(％)，用以下的基准评价。加热减量越小，则意味着树脂膜的耐热性越优异。

A：300℃的加热减量小于4％。

B：300℃的加热减量为4％以上且小于8％。

C：300℃的加热减量为8％以上。

<透光率>

在玻璃基板(Corning Incorporated制，Corning 1737)上，将在实施例、比较例中得到的树脂组合物用旋涂法进行涂敷，使用加热板在120℃加热干燥(预烘焙)2分钟，形成膜厚2μm的涂膜(涂膜形成工序)。接着，使用烘箱，在氮环境下，以10℃/分钟从30℃升温至250℃，然后以250℃加热60分钟进行后烘焙，由此得到由树脂膜和玻璃基板形成的层叠体(固化工序)。

对于得到的层叠体，使用分光光度计V-560(日本分光公司制)，测定波长400nm的光的透光率(％)。

进而，将上述得到的层叠体在大气环境下以250℃加热1小时(追加加热)后，与上述同样地进行，测定波长400nm的光的透光率(％)。

另外，树脂膜的透光率(％)以不带有树脂膜的玻璃基板为空白对照、将树脂膜的厚度设为2μm时的换算值来计算，用以下的基准评价。

A：透光率为96％以上。

B：透光率为93％以上且小于96％。

C：透光率小于93％。

(合成例1：具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-1)的合成)

得到具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为60摩尔％的聚合物作为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-1)。

在进行了氮置换的玻璃制耐压反应器中，投入100份的由作为具有N-取代酰亚胺基的环状烯烃的40摩尔％的N-(2-乙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺和作为具有质子性极性基团的环状烯烃的60摩尔％的4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯组成的单体混合物、2份的1,5-己二烯、0.02份的(1,3-二均三甲苯基咪唑啉-2-亚基)(三环己基膦)苯亚甲基二氯化钌(通过Org.Lett.、第1卷、953页、1999年所记载的方法合成)以及200份的二乙二醇甲乙醚，一边进行搅拌一边使其在80℃反应4小时，得到聚合反应液。

然后，将得到的聚合反应液放入高压釜，在150℃、氢压4MPa下搅拌5小时，进行氢化反应，得到包含作为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-1)的氢化聚合物的聚合物溶液。得到的环状烯烃聚合物(a-1)的聚合转化率为99.7％，聚苯乙烯换算重均分子量为7150，数均分子量为4690，分子量分布为1.52，氢化率为99.7％。此外，得到的环状烯烃聚合物(a-1)的聚合物溶液的固体成分浓度为34.4质量％。

(合成例2：具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-2)的合成)

得到具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为70摩尔％的聚合物作为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-2)。

变更用于聚合反应的单体混合物中的作为具有N-取代酰亚胺基的环状烯烃的N-(2-乙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺和作为具有质子性极性基团的环状烯烃的4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯的配合比率，使得到的聚合物(a-2)中来自4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯的单体单元的占有比率成为70摩尔％，将1,5-己二烯的配合量变更为2.7份，除此以外，与上述合成例1同样地进行，得到环状烯烃聚合物(a-2)。得到的环状烯烃聚合物(a-2)的聚合转化率为99.7％，聚苯乙烯换算重均分子量为5390，数均分子量为3480，分子量分布为1.55，氢化率为99.7％。此外，得到的环状烯烃聚合物(a-2)的聚合物溶液的固体成分浓度为34.4质量％。

(合成例3：具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-3)的合成)

得到具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为50摩尔％的聚合物作为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-3)。

变更用于聚合反应的单体混合物中的作为具有N-取代酰亚胺基的环状烯烃的N-(2-乙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺和作为具有质子性极性基团的环状烯烃的4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯的配合比率，使得到的聚合物(a-3)中的来自4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯的单体单元的占有比率成为50摩尔％，将1,5-己二烯的配合量变更为2.7份，除此以外，与上述合成例1同样地进行，得到环状烯烃聚合物(a-3)。得到的环状烯烃聚合物(a-3)的聚合转化率为99.7％，聚苯乙烯换算重均分子量为4310，数均分子量为2890，分子量分布为1.49，氢化率为99.7％。此外，得到的环状烯烃聚合物(a-3)的聚合物溶液的固体成分浓度为34.4质量％。

(合成例4：不具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-4)的合成)

在进行了氮置换的耐压玻璃反应器中，投入80摩尔份的四环[6.5.0.1^2,5.0^8,13]十三碳-3,8,10,12-四烯(MTF)、20摩尔份的N-(4-苯基)-(5-降冰片烯-2,3-二甲酰亚胺)(NBPI)、6摩尔份的1-己烯、590摩尔份的苯甲醚及0.015摩尔份的作为钌系聚合催化剂的4-乙酰氧基苯亚甲基(二氯)(4,5-二溴-1,3-二均三甲苯-4-咪唑啉-2-亚基)(三环己基膦)钌(C1063，Wako Pure Chemical Corporation制)，在搅拌下在80℃进行1小时的聚合反应，得到开环聚合物的溶液。通过气相色谱测定该溶液，结果确认实质上没有单体残留，聚合转化率为99％以上。

接下来，在进行了氮置换的带有搅拌机的高压釜中，投入得到的开环聚合物的溶液，在150℃、氢压7Mpa下，搅拌5小时，进行氢化反应。浓缩得到的氢化反应溶液，得到不具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-4)的溶液(固体成分浓度55.5％)。得到的不具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-4)的重均分子量为50000，数均分子量为20000，氢化率为97％。

(实施例1)

混合291份的在合成例1得到的具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(a-1)的溶液(作为具有质子性极性基团的单体单元的占有比率为51摩尔％以上的环状烯烃聚合物(A-1)为100份)、10份的作为满足下式(1-α)的化合物和满足下式(1-β)的化合物的混合物的交联剂(B)的化合物(Printec Co.制，“Techmore VG3101L”，式(1-α)的化合物∶式(1-β)的化合物＝9∶1(质量基准))、0.1份的作为表面活性剂的有机硅氧烷聚合物(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制，产品名“KP-341”)、2份的作为抗氧化剂的季戊四醇四[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯](商品名“Irganox1010FF”，BASF公司制)、2份的作为硅烷偶联剂的环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(XIAMETER株式会社制，产品名“OFS-6040”)、以及41份的作为溶剂的二乙二醇甲乙醚(TOHO Chemical Industry Co.,Ltd.制，产品名“EDM-S”)，使其溶解后，用孔径0.45μm的聚四氟乙烯制过滤器过滤，制备树脂组合物。

然后，按照上述方法对使用得到的树脂组合物形成的树脂膜进行各种评价。结果示于表1。

[化学式17]

(实施例2～3、7～9)

分别如表1所示变更交联剂(B)的配合量和溶剂的配合量，除此以外，与实施例1同样地进行，制备树脂组合物。