溅射单元冷却用管及其制备方法

文档序号:10504136阅读:173来源:国知局
溅射单元冷却用管及其制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种溅射单元冷却用管及其制备方法,其中,所述制备方法包括:将聚乙烯、聚氯乙烯、酚醛树脂、钛白粉、碳酸钙、增韧剂和消泡剂混合形成混合物M;将所述混合物M熔融,并加入模具中冷却成型,得到所述溅射单元冷却用管,通过各原料之间的协同作用,使得制备出的冷却管具备优良的耐高温能力和韧性,同时,用于制备该冷却管的方法简单,原料易得。
【专利说明】
溅射单元冷却用管及其制备方法
技术领域
[0001 ]本发明涉及冷却管的制备,具体地,涉及溅射单元冷却用管的制备方法。
【背景技术】
[0002] 在玻璃镀膜工艺中,真空镀膜是一种常见的方法,其主要是在真空室内将材料的 原子从加热源离析出来打到玻璃的表面上。玻璃的真空镀膜是在溅射单元内进行的,根据 镀膜的技术需要,在工作时,溅射单元的侧板和底板都需要进行冷却处理,由于溅射单元在 工作时,其内部的温度较高,运输冷却液的冷却管需要较高的耐受温度和韧性才能保证其 在溅射单元内不会受到高温形变。

【发明内容】

[0003] 本发明的目的是提供一种溅射单元冷却用管及其制备方法,制得的冷却用管具备 较高的耐受温度和韧性。
[0004] 为了实现上述目的,本发明提供了一种溅射单元冷却用管的制备方法,其中,所述 制备方法包括:
[0005] (1)将聚乙烯、聚氯乙烯、酚醛树脂、钛白粉、碳酸钙、增韧剂和消泡剂混合形成混 合物M;
[0006] (2)将所述混合物M熔融,并加入模具中冷却成型,得到所述溅射单元冷却用管,其 中,
[0007] 相对于100重量份的聚乙烯,所述聚氯乙烯的用量为20-30重量份,所述酚醛树脂 的用量为10-18重量份,所述钛白粉的用量为1-10重量份,所述碳酸钙的用量为2-15重量 份,所述增韧剂的用量为2-6重量份,所述消泡剂的用量为0.1-1重量份。
[0008] 本发明还提供了一种溅射单元冷却用管,其中,所述溅射单元冷却用管由上述的 制备方法制得。
[0009] 通过上述技术方案,本发明提供了一种溅射单元冷却用管的制备方法,其中,所述 制备方法包括:将聚乙烯、聚氯乙烯、酚醛树脂、钛白粉、碳酸钙、增韧剂和消泡剂混合形成 混合物M;将所述混合物M熔融,并加入模具中冷却成型,得到所述溅射单元冷却用管,通过 各原料之间的协同作用,使得制备出的冷却管具备优良的耐高温能力和韧性,同时,用于制 备该冷却管的方法简单,原料易得。
[0010] 本发明的其他特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。
【具体实施方式】
[0011] 以下对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体 实施方式仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
[0012] 本发明提供了一种溅射单元冷却用管的制备方法,其中,所述制备方法包括:将聚 乙烯、聚氯乙烯、酚醛树脂、钛白粉、碳酸钙、增韧剂和消泡剂混合形成混合物M;将所述混合 物M熔融,并加入模具中冷却成型,得到所述溅射单元冷却用管,其中,相对于100重量份的 聚乙烯,所述聚氯乙烯的用量为20-30重量份,所述酚醛树脂的用量为10-18重量份,所述钛 白粉的用量为1-10重量份,所述碳酸钙的用量为2-15重量份,所述增韧剂的用量为2-6重量 份,所述消泡剂的用量为0.1-1重量份。通过各原料之间的协同作用,使得制备出的冷却管 具备优良的耐高温能力和韧性,同时,用于制备该冷却管的方法简单,原料易得。
[0013] 为了使得制备出的冷却管具备更高的韧性,所述增韧剂为聚丁二烯橡胶、丁基橡 胶和丁腈橡胶中的一种或多种。
[0014] 为了使得原料之间混合不会产生较多的泡沫,影响冷却管的内部结构,所述消泡 剂为聚氧丙烯甘油醚、聚氧丙烯聚氧乙烯甘油醚和聚二甲基硅氧烷中的一种或多种。
[0015] 为了使得制备出的冷却管具备更优良的耐高温能力和韧性,所述聚乙烯的重均分 子量为8000-12000,所述聚氯乙烯的重均分子量为7000-9000。
[0016] 为了使得原料可以完全熔融,所述熔融的温度为270-290°C,熔融时间为10-20min〇
[0017] 为了更为快速的冷却,且节省冷却耗能,所述冷却采用水冷的方式,且冷却用水的 温度为10-15 °C。
[0018] 本发明还提供了一种溅射单元冷却用管,其中,所述溅射单元冷却用管由上述的 制备方法制得。
[0019] 以下将通过实施例对本发明进行详细描述。
[0020] 实施例1
[0021] 将100g聚乙烯(重均分子量为8000)、20g聚氯乙烯(重均分子量为7000)、IOg酚醛 树脂、Ig钛白粉、2g碳酸钙、2g增韧剂和0.1 g消泡剂混合形成混合物M;将所述混合物M熔融 (熔融的温度为270°C,时间为IOmin),并加入模具中冷却成型,得到所述溅射单元冷却用管 Al0
[0022] 实施例2
[0023] 将100g聚乙烯(重均分子量为12000)、30g聚氯乙烯(重均分子量为9000)、18g酚醛 树脂、IOg钛白粉、15g碳酸钙、6g增韧剂和Ig消泡剂混合形成混合物M;将所述混合物M熔融 (熔融的温度为290°C,时间为20min),并加入模具中冷却成型,得到所述溅射单元冷却用管 A2〇
[0024] 实施例3
[0025] 将100g聚乙烯(重均分子量为10000)、25g聚氯乙烯(重均分子量为8000)、15g酚醛 树脂、5g钛白粉、IOg碳酸钙、4g增韧剂和0.5g消泡剂混合形成混合物M;将所述混合物M恪融 (熔融的温度为280°C,时间为15min),并加入模具中冷却成型,得到所述溅射单元冷却用管 A3 〇
[0026] 对比例1
[0027]按照实施例1的方式进行制备,不同的是,聚乙烯的用量为100g,所述聚氯乙烯的 用量为l〇g,所述酚醛树脂的用量为5g,所述钛白粉的用量为0.4g,所述碳酸钙的用量为lg, 所述增韧剂的用量为lg,所述消泡剂的用量为〇.〇5g,得到所述溅射单元冷却用管D1。
[0028] 对比例2
[0029]按照实施例1的方式进行制备,不同的是,聚乙烯的用量为100g,所述聚氯乙烯的 用量为40g,所述酚醛树脂的用量为25g,所述钛白粉的用量为15g,所述碳酸钙的用量为 20g,所述增韧剂的用量为8g,所述消泡剂的用量为2g,得到所述溅射单元冷却用管D2。
[0030]表 1
[0032]^通过上表可以看出,在本发明的范围内制得的冷却用管Al -A3的最高耐受温度和 韧性要高于在本发明范围外制得的冷却用管Dl和D2,因此可以实现冷却用管优良的耐高温 性能和韧性。
[0033] 以上详细描述了本发明的优选实施方式,但是,本发明并不限于上述实施方式中 的具体细节,在本发明的技术构思范围内,可以对本发明的技术方案进行多种简单变型,这 些简单变型均属于本发明的保护范围。
[0034] 另外需要说明的是,在上述【具体实施方式】中所描述的各个具体技术特征,在不矛 盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合,为了避免不必要的重复,本发明对各种可 能的组合方式不再另行说明。
[0035] 此外,本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本 发明的思想,其同样应当视为本发明所公开的内容。
【主权项】
1. 一种溅射单元冷却用管的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括: (1) 将聚乙烯、聚氯乙烯、酚醛树脂、钛白粉、碳酸钙、增韧剂和消泡剂混合形成混合物 M; (2) 将所述混合物Μ恪融,并加入模具中冷却成型,得到所述溅射单元冷却用管,其中, 相对于100重量份的聚乙烯,所述聚氯乙烯的用量为20-30重量份,所述酚醛树脂的用 量为10-18重量份,所述钛白粉的用量为1-10重量份,所述碳酸|丐的用量为2_15重量份,所 述增韧剂的用量为2-6重量份,所述消泡剂的用量为0.1-1重量份。2. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述增韧剂为聚丁二烯橡胶、丁基橡胶和丁 腈橡胶中的一种或多种。3. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述消泡剂为聚氧丙烯甘油醚、聚氧丙烯聚 氧乙烯甘油醚和聚二甲基硅氧烷中的一种或多种。4. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述聚乙烯的重均分子量为8000-12000。5. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述聚氯乙烯的重均分子量为7000-9000。6. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述熔融的温度为270-290°C,熔融时间为 10-20min〇7. 根据权利要求1所述的制备方法,其中,所述冷却采用水冷的方式,且冷却用水的温 度为 10-15°C。8. -种溅射单元冷却用管,其特征在于,所述溅射单元冷却用管由权利要求1-7中任意 一项所述的制备方法制得。
【文档编号】C08L61/06GK105860205SQ201610266360
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年4月27日
【发明人】金海涛, 薛辉, 昌江, 任俊春
【申请人】芜湖真空科技有限公司
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