专利名称：涂敷装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在玻璃基板等的基板表面上涂敷涂敷液的涂敷装置。
背景技术：
以往，已知有如下涂敷装置在被载置于平台的基板上，一边维持规定的间隙一边使狭缝喷嘴移动，并向基板表面涂敷抗蚀剂等涂敷液。
在这种涂敷装置中，如果基板上附着有异物，则当狭缝喷嘴从该异物上通过时与异物接触，使狭缝喷嘴的排出口受到较小的损伤。于是，如果排出口受到损伤，则其后的涂膜上产生凸筋。在专利文献1及2中公开了消除这种不利现象的装置。
专利文献1中，在狭缝喷嘴相对前进方向的前面可上下移动地安装有板部件，在该板部件上设置振动检测部件，当伴随着狭缝喷嘴的相对移动，附着于基板表面的异物与前述板部件的下端碰上时，板部件发生振动，并通过前述振动检测部件检测出该振动，从而使涂敷强制停止。
专利文献2中，通过利用激光的检测单元来检测基板表面的隆起部分或异物，从而在隆起部分或异物与狭缝喷嘴碰上之前使狭缝喷嘴躲避。
专利文献1JP特开2000-024571号公报专利文献2JP特开2002-001195号公报在专利文献1所公开的装置中，由于板部件和振动检测部件被直接安装于喷嘴，所以维护不方便。再有，如果将板部件和基板之间的间隔设定得较大，则使得较大的异物通过而使喷嘴受到损伤，反之如果设定得较小，则会发生不需要的强行停止。
在专利文献2所公开的装置中，由于采用了利用激光的检测单元，所以只能检测比较大的异物，有可能使较小的异物碰上狭缝喷嘴的排出口而受到损伤。
发明内容
用于解决前述课题的技术方案1涉及的涂敷装置构成为在一对平行的轨道之间配置有基板载置平台，并以跨越该基板载置平台的方式将具有狭缝喷嘴的门形移动机构可移动地架设在前述轨道之间，其中，前述门形移动机构具有与前述一对平行的轨道分别卡合的移动体；连接这些移动体之间的连接梁；在前述移动体之间可升降地被支撑的喷嘴底座，此外，以基于前述狭缝喷嘴的涂敷方向作为基准，在位于前方的前述喷嘴底座的局部安装有护板，该护板伴随着狭缝喷嘴的水平方向的移动排除存在于基板上的微小的异物，且在位于比该护板更前方的连接梁或移动体的局部安装有传感器，该传感器检测出存在于基板上的较大的异物，并输出使前述移动体停止的信号。
前述连接梁既可以是一根，也可以是俯视时为夹持前述喷嘴底座而分别配置于前后。在前后配置两根的场合下，通过在移动体之间进行连接而构成整体为框形的框架，从而减少移动中的变形，再有，在前述门形移动机构移动时不与基板及基板载置平台接触的限度下，将前述连接梁安装于下方位置，由此可以抑制起伏且准确地检测出异物。
根据本发明，在基板上附着有较大的异物的场合下，狭缝喷嘴的相对移动立即停止，而在基板上附着有较小的异物的场合下，可以不停止狭缝喷嘴的移动，而用护板将其排除，因此可以防止狭缝喷嘴的排出口受到损伤，且不用频繁地停止喷嘴的移动。
图1是本发明涉及的涂敷装置的整体俯视图。
图2是从图1中的A-A方向观察的放大图。
图3是一侧的移动体周围的放大俯视图。
图4是一侧的移动体周围的放大侧视图。
图5是说明本发明作用的图。
符号说明如下
1底架2轨道 3门形移动机构4基板载置平台5预先分配部 6清洗部7浸渍槽 8龙门框 9气垫10、11连接梁 12喷嘴升降机构13喷嘴底座14狭缝喷嘴 15护板16激光传感器17异物检测用传感器G1传感器可感知的直径大小的异物G2传感器不可感知的直径大小的异物W基板具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。图1是本发明涉及的涂敷装置的整体俯视图，图2是从图1中的A-A方向观察的放大图，图3是一侧的移动体部分的放大俯视图，图4是一侧的移动体部分的放大侧视图。
涂敷装置通过底架1被支撑在台面上。在该底架1上沿水平方向且平行地设有一对轨道2、2。在这些一对轨道2上卡合有门形移动机构3。
再有，在底架1上设有用于载置玻璃基板W等的基板载置平台4。而且，可以将平台4固定在台面等上。将从基板载置平台4远离的方向设为基准，以预先分配部5、清洗部6及浸渍槽7的顺序来将它们配置。
前述门形移动机构3具有呈环抱轨道2的形状的龙门框8。在该龙门框8的内侧面具有在与轨道2之间形成间隙的气垫9。
左右的龙门框8、8通过两根连接梁10、11被一体地连接，在俯视时呈框形。虽然通过形成这样的框形可以减少移动中的变形，但是对连接梁10、11而言也可以仅使用一根。
左右的龙门框8分别与未图示的直线电动机的可动部(芯部)连接，通过同步驱动左右的直线电动机，门形移动机构3沿轨道2无振动地移动。在此，虽然连接梁10、11被安装在龙门框8的上面，但是该位置是移动时连接梁10、11与基板(基板载置平台4)不发生缓和冲击的范围中最低的位置。通过这样降低连接梁10、11的高度，可以抑制移动时的颠簸。
在左右的龙门框8的上面固定设置有由气缸单元等构成的喷嘴升降机构12，在左右的喷嘴升降机构12之间沿水平且可升降自由地架设有喷嘴底座13，且在该喷嘴底座13上安装有狭缝喷嘴14。于是，通过驱动升降机构12来一体地升降移动喷嘴底座13和狭缝喷嘴14。
另外，在喷嘴底座13的一部分上，以涂敷方向为基准，在位于比狭缝喷嘴14更前方的部分安装有用作橡皮滚(squeegee)的护板15。该护板15的长度被设定为比狭缝喷嘴14的宽度长。在喷嘴底座13上安装有测定狭缝喷嘴14的下端和基板W的间隔的激光传感器16。
前述护板15的下端部是尖的，狭缝喷嘴14的排出口和挡板15的下端部在水平方向的间隔被设定为70～75mm，在垂直方向上，挡板15的下端部被设定为比狭缝喷嘴14下端的排出口还低100～50μm。
进而，以涂敷方向为基准，在左右的龙门框8、8的前面，安装有异物检测用的传感器17、17。这些传感器17、17例如是将一方设为发光元件而另一方设为受光元件。传感器17、17检测位于比护板15更前方区域的异物，能够感知的最小异物直径被设定为100μm。
即，如图5所示，降低喷嘴底座13，并将狭缝喷嘴14下端的排出口和基板W的间隔设定为例如100μm。由该状态，驱动直线电动机而使门形移动机构3沿图中的右侧方向移动的同时，从狭缝喷嘴14下端的排出口向基板W表面涂敷涂敷液。
此时，如果在移动方向的前方，在基板W上附着有传感器17可感知的直径大小的异物G1，则传感器17在感知该情况的时刻向直线电动机输出停止信号，立刻停止门形移动机构3的移动。
另一方面，在移动方向的前方，基板W上附着有传感器17不可感知的直径大小的异物G2的场合下，不向直线电动机输出停止信号，所以门形移动机构3保持原样移动。于是，异物G2被护板15排除。此外，在异物G2的尺寸非常小的场合下，虽然不能由护板15排除，但是在该场合下，狭缝喷嘴14也没有受到损伤的危险。
而且，在实施例中，虽然龙门框8、8的前面安装有传感器17，但是也可以在前方的连接梁11上安装传感器17。
工业上的可利用性本发明的涂敷装置可以用作在安装于各种显示器中的玻璃基板上，用于形成涂膜的涂敷装置。
权利要求
1.一种涂敷装置，在一对平行的轨道之间配置有基板载置平台，将具有狭缝喷嘴的门形移动机构，以跨越该基板载置平台的方式可移动地架设在前述轨道之间，该涂敷装置的特征在于，前述门形移动机构具有与前述一对平行的轨道分别卡合的移动体；连接这些移动体之间的连接梁；在前述移动体之间可升降地被支撑的喷嘴底座，以基于前述狭缝喷嘴的涂敷方向为基准，在位于前方的前述喷嘴底座的局部安装有护板，该护板伴随着狭缝喷嘴的水平方向的移动来排除存在于基板上的微小的异物，在位于比该护板更前方的连接梁或移动体的局部安装有传感器，该传感器检测出存在于基板上的较大的异物，并输出使前述移动体停止的信号。
2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，前述连接梁俯视时为夹持前述喷嘴底座而被配置于前后，并通过在前述移动体之间连接这些前后的连接梁，而构成整体为框形的框架。
3.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，在前述门形移动机构移动时不与基板及基板载置平台接触的限度下，将前述连接梁安装于下方位置。
全文摘要
本发明提供一种可对应于异物的大小而区分狭缝喷嘴停止和异物的去除的涂敷装置。驱动直线电动机而使门形移动机构(3)向图中右方移动的同时，从狭缝喷嘴(14)下端的排出口向玻璃基板(W)表面涂敷涂敷液时，如果在移动方向前方，在基板(W)上附着有传感器(17)可感知的直径大小的异物(G1)，则传感器在感知其的时刻向直线电动机输出停止信号，并立刻停止门形移动机构的移动。而在移动方向前方，在基板上附着有传感器不可感知的直径大小的异物(G2)时，不向直线电动机输出停止信号，因此门形移动机构保持原样移动。异物(G2)由护板(15)排除。在异物(G2)的大小非常小时，虽然不能由护板排除，但此时狭缝喷嘴也不会受到损伤。
文档编号B05C5/02GK1919767SQ20061011129
公开日2007年2月28日 申请日期2006年8月21日 优先权日2005年8月23日
发明者岛井太, 河田茂, 佐保田勉 申请人:东京应化工业株式会社