一种浸渍提拉镀膜设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种浸渍提拉镀膜设备，其特征在于，所述浸渍提拉镀膜设备包括全自动多参数控制系统、驱动电机、仪器外壳、样品夹持机构和精密直线传动装置，所述驱动电机带动所述精密直线传动装置，所述仪器外壳保护各部件，并在全自动多参数控制系统的控制下，由样品夹持机构夹持待镀膜样品对样品提拉镀膜。与现有技术诸如钢线卷绕垂吊式提拉法和液压驱动方式相比，本实用新型采用具有对提拉设备保护的仪器外壳，精密直线传动装置以及全自动多参数控制系统，不仅实现一体化全自动提拉镀膜，极大提高了工作效率，而且有效避免了提拉镀膜过程中因传动造成镀膜溶液的振动使镀膜不均匀的现象，较大幅度提高了镀膜效果。
【专利说明】一种浸渍提拉镀膜设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及对镀膜样品提拉镀膜领域，特别涉及一种浸溃提拉镀膜设备。
【背景技术】
[0002]目前，在纳米材料的研究及应用领域中，纳米薄膜材料作为重点研究对象，正在被应用于光学器件、半导体、太阳能光伏等领域。作为纳米薄膜材料制备的方法之一，溶胶-凝胶浸溃提拉法以其简单的工艺、低廉的成本优势，被广达研究者普遍采用。但是，由于这一类设备在关键的镀膜环节中存在诸多缺点，且目前市场上的镀膜设备主要有两类，一类是国外进口设备，价格高昂；另一类为国产设备如钢线卷绕垂吊式提拉法，提拉过程中样品易振动，极大影响了镀膜效果，而且长期使用会导致钢线磨损、疲劳断裂，对样品造成损坏；又如液压驱动方式可以实现直线提拉运动，但是运行不平稳，速度精度更无法精密控制，导致速度波动大，镀膜厚度不均匀。
[0003]浸溃提拉镀膜设备出现了很多这一类的技术上的改进，btia,专利号为“201010515528.4”，名称为“一种数控提拉式镀膜机”的中国专利提出了一种数控提拉式镀膜机，其包括机架和旋转平台，旋转平台对应四个工位设置，其中第三工位为提拉镀膜工位，机架上设有与第三工位匹配的溶液提拉装置，溶液提拉装置设有提升进给单元，提升进给单元上连接有拖板，拖板上设有固定溶液容器的料桶架，提升进给单元还连接有驱动机构；镀膜时提升进给单元再缓慢下降进行镀膜。
[0004]上述专利采用载体不动而镀膜溶液向下运动离开载体方式进行镀膜。然而该专利提供的数控提拉式镀膜机不能进行全自动多参数设置，并达到较优的镀膜效果。
[0005]因此，研究一种由全自动多参数控制的高精度的浸溃提拉镀膜设备，来提高样品表面的镀膜效果已为急需。
实用新型内容
[0006]为了克服现有技术的缺陷，本实用新型旨在提供一种在提拉镀膜过程垂直无偏移、液面无振动，且纳米薄膜膜层更均匀且无条纹的浸溃提拉镀膜设备。
[0007]为了实现上述目的，本实用新型提供了一种浸溃提拉镀膜设备，包括:提拉机构，包括驱动电机以及精密直线传动装置，所述精密直线传动装置与所述驱动电机相连；样品夹持机构，其一端与所述提拉机构相连，另一端与一待镀膜的样品相连；其中，所述驱动电机的转动带动所述精密直线传动装置在垂直方向的直线运动，所述精密直线传动装置在垂直方向的直线运动带动所述样品夹持机构在垂直方向的直线运动，进而实现将待镀膜样品进入或脱离镀膜溶液。
[0008]较佳地，所述浸溃提拉镀膜设备还包括一全自动多参数控制系统，所述全自动多参数控制系统与所述提拉机构相连，且通过所述全自动多参数控制系统控制所述待镀膜样品的镀膜参数。
[0009]较佳地，所述精密直线传动装置包括:[0010]基座；
[0011]直线滑动导轨，固定在所述基座上，所述直线滑动导轨包括导轨及滑块，所述滑块在所述导轨上滑动；
[0012]高精度丝杆装置，包括丝杆及螺母，所述螺母与所述滑块相连，且所述丝杆的一端与所述驱动电机相连；
[0013]丝杆支撑座，安装在所述基座上，并置于所述丝杆的两端，通过所述丝杆支撑座固定并支撑所述丝杆转动；
[0014]其中，所述驱动电机的转动带动所述丝杆转动，所述丝杆的转动带动所述螺母和所述滑块在垂直方向的直线运动。所述螺母和所述滑块在驱动电机的带动下将高精度丝杆的旋转转换成直线下降或提拉运动。
[0015]较佳地，所述精密直线传动装置还包括第一连接块，所述螺母与所述滑块通过所述第一连接块连接。
[0016]较佳地，所述精密直线传动装置还可以设置为另外一种方式，且该精密直线传动装置包括:
[0017]两个支撑座；
[0018]两块端板，且所述两块端板分别设置在所述精密直线传动装置的两端；
[0019]一带有丝杆螺母的研磨级精密静音丝杆，所述研磨级精密静音丝杆垂直固定在所述精密直线传动装置的中间位置，所述研磨级精密静音丝杆的两端通过所述支撑座分别固定在所述两块端板上；所述研磨级精密静音丝杆两侧等距离各安装一条直线光轴，所述直线光轴分别与所述两块端板连接，且所述直线光轴上分别设置有一直线轴承；
[0020]其中，通过一第二连接块将所述丝杆螺母和两侧的直线轴承连接并固定在一起，所述研磨级精密静音丝杆的末端连接一驱动电机；通过所述驱动电机的转动带动所述研磨级精密静音丝杆的转动，并通过所述丝杆螺母和连接固定的直线轴承在垂直方向的直线运动。
[0021]较佳地，所述浸溃提拉镀膜设备还包括仪器外壳和安装底座，所述安装底座安装固定驱动电机和精密直线传动装置，且所述提拉机构以及全自动多参数控制系统，设置在所述仪器外壳内；该仪器外壳避免所述提拉机构以及全自动多参数控制系统暴露于空气中，防止被化学气氛腐蚀。
[0022]较佳地，所述仪器外壳上设置有垂直提拉孔槽，所述第一连接块或所述第二连接块通过所述垂直提拉孔槽伸展至所述仪器外壳外部。
[0023]较佳地，所述样品夹持机构包括水平悬臂、垂直提拉杆以及样品夹具；其中，所述水平悬臂与所述第一连接块或所述第二连接块伸展至所述仪器外壳外部的一端相连，所述垂直提拉杆垂直固定于所述水平悬臂上，且所述垂直提拉杆的下端固定所述样品夹具，待镀膜的样品与所述样品夹具相连。
[0024]较佳地，所述浸溃提拉镀膜设备整体为“L”型结构，所述“L”型浸溃提拉镀膜设备的竖直部分放置所述提拉机构和所述样品夹持机构，所述“L”型浸溃提拉镀膜设备的水平部分为所述安装底座和所述全自动多参数控制系统；所述样品夹具为夹口可调型夹具或一体式“Π ”型夹具，且所述浸溃提拉镀膜设备的样品夹具为单样品夹具或多样品夹具，所述垂直提拉杆的数量与所述样品夹具的数量一致。[0025]较佳地，所述全自动多参数控制系统包括电路系统和触摸屏，且所述电路系统控制所述待镀膜样品的镀膜参数，所述触摸屏显示控制界面并进行参数选择控制；且所述全自动多参数控制系统采用PLC实现对提拉镀膜流程的控制，完成提拉镀膜步骤。
[0026]较佳地，所述镀膜参数包括所述提拉镀膜流程中的下降速度、浸溃时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、不同次数的间隔时间；且所述提拉镀膜流程中的各个参数均连续可调，实现整个提拉镀膜过程对不同镀膜需求的控制，通过对全自动多参数控制系统中所述的参数进行调节控制，可以调控镀膜样品表面纳米薄膜材料的厚度。
[0027]与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下:
[0028]1、采用高精度丝杆配合直线滑动导轨的精密直线传动装置，且高精度丝杆的安装采用精密轴承支撑座支撑，镀膜过程为垂直的下降、提拉运动，不会向任何方向偏移。
[0029]2、全自动多参数镀膜系统采用PLC实现对提拉镀膜流程的控制，且全自动多参数控制系统为提拉镀膜流程中的下降速度、浸溃时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、不同次数的间隔时间的参数进行全自动精密控制，且各参数均连续可调，实现整个镀膜过程的全自动运行，节省人力工时，极大提高了工作效率，也避免了由于人工操作不当、镀膜时间不够均匀，使镀膜样品的镀膜膜层更加均匀。
[0030]3、浸溃提拉镀膜设备采用仪器外壳，将全自动多参数控制系统和精密直线传动装置均包裹在外壳内保护起来，防止因化学气氛对部件的腐蚀，提高了整体使用寿命。
[0031]4、驱动电机带动的精密直线传动装置，高低速均可平稳运行，无振动现象传导至镀膜样品，从而镀膜样品在提拉镀膜过程中液面无振动，纳米薄膜表面更均匀、无条纹产生，并确保镀膜样品表面的镀膜效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0032]图1为本实用新型L型结构浸溃提拉镀膜设备的单夹具正面视图；
[0033]图2为本实用新型实施的第一种精密直线传动装置的剖面图；
[0034]图3为本实用新型实施的第二种精密直线传动装置的剖面图；
[0035]图4为本实用新型L型结构浸溃提拉镀膜设备的侧面视图；
[0036]图5为本实用新型L型结构浸溃提拉镀膜设备的双夹具正面视图；
[0037]图6为本实用新型浸溃提拉镀膜设备的一体式“Π”型夹具侧面视图；
[0038]图7为本实用新型浸溃提拉镀膜设备的夹口可调型夹具的侧面视图。
[0039]符号列表:
[0040]101-触摸屏，102-镀膜样品，103-样品夹具，104-垂直提拉杆，105-水平悬臂，106-垂直提拉孔槽，107-第一仪器外壳，108-第二仪器外壳，109-第一连接块，110-安装底座，111-提拉机构；201-螺母，202-丝杆，203-滑块，204-导轨，205-基座；206_端板，207-研磨级精密静音丝杆，208-丝杆螺母，209-支撑座，210-直线光轴，211-直线轴承，212-第二连接块；301-橡胶垫，302-顶紧螺栓，303-夹具固定部分，304-滑动轴，305-弹簧，306-紧固螺栓，307-夹具活动部分。
[0041]【具体实施方式】:
[0042]参见示出本实用新型实施例的附图，下文将更详细的描述本实用新型。然而，本实用新型可以以不同形式、规格等实现，并且不应解释为受在此提出之实施例的限制。相反，提出这些实施例是为了达成充分及完整公开，并且使更多的有关本【技术领域】的人员完全了解本实用新型的范围。这些附图中，为清楚可见，可能放大或缩小了相对尺寸。
[0043]实施例1
[0044]现参考图1至图4详细描述根据本实用新型实施的浸溃提拉镀膜设备，如图1所示，本实施例提供的浸溃提拉镀膜设备整体为“L”型结构，该“L”型浸溃提拉镀膜设备的竖直部分放置提拉机构111和样品夹持机构，该“L”型浸溃提拉镀膜设备的水平部分为底座平台和全自动多参数控制系统；本实施例提供的一种L型结构的单夹具浸溃提拉镀膜设备，其包括:提拉机构111，包括驱动电机以及精密直线传动装置，该精密直线传动装置与驱动电机相连；样品夹持机构，其一端与提拉机构111相连，另一端与一待镀膜的样品相连；以及全自动多参数控制系统，该全自动多参数控制系统与提拉机构111相连；其中，该驱动电机的转动带动该精密直线传动装置在垂直方向的直线运动，该精密直线传动装置在垂直方向的直线运动带动该样品夹持机构在垂直方向的直线运动，进而实现将待镀膜样品进入或脱离镀膜溶液；且全自动多参数控制系统控制待镀膜样品的镀膜参数。
[0045]其中，该全自动多参数控制系统采用PLC实现对提拉镀膜流程的控制，完成提拉镀膜步骤；该全自动多参数控制系统包括电路系统和触摸屏101，且电路系统控制待镀膜样品的镀膜参数，触摸屏101显示控制界面并进行参数选择控制。
[0046]并且，该全自动多参数控制系统采用PLC实现对镀膜流程中的下降速度、浸溃时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、不同次数的间隔时间这些参数进行全自动精密控制，且各参数均连续可调，有利于实现整个镀膜过程的全自动运行，节省人力工时，极大提高工作效率。
[0047]如图2所示，该精密直线传动装置包括基座205、直线滑动导轨、高精度丝杆装置以及丝杆支撑座，其中，直线滑动导轨固定在基座205上，直线滑动导轨包括导轨204及滑块203，该滑块203在导轨204上滑动；该高精度丝杆装置包括丝杆202及螺母201，该螺母201与滑块203通过第一连接块109连接，丝杆202的一端与驱动电机相连；丝杆支撑座安装在该基座205上，并置于该丝杆202的两端，用于固定并支撑丝杆202的转动；并且，驱动电机的转动带动丝杆202转动，丝杆202的转动带动螺母201和滑块203在垂直方向的直线运动，且精密直线传动装置通过螺母201和滑块203将其旋转转换成直线下降或提拉运动。
[0048]其中，浸溃提拉镀膜设备还包括仪器外壳和安装底座，该驱动电机和精密直线传动装置安装固定在安装底座上，其中该仪器外壳包括第一仪器外壳107及第二仪器外壳108，且该第二仪器外壳108上设置有垂直提拉孔槽106，其中第二仪器外壳108将精密直线传动装置包裹在内部；该第一仪器外壳107将全自动多参数控制系统和安装底座110包裹于内部，防止化学气氛对各个部件的腐蚀，有效保护各个部件，提高其使用寿命；第一连接块109通过垂直提拉孔槽106伸展至第二仪器外壳108内。且第一仪器外壳107为该浸溃提拉镀膜设备的底座平台，底座平台上可放置镀膜溶液。
[0049]另外，该样品夹持机构包括水平悬臂105、垂直提拉杆104及样品夹具103，水平悬臂105与第一连接块109延伸至第二仪器外壳108外部的一端相连，垂直提拉杆104垂直固定于水平悬臂105上，且垂直提拉杆104下端固定样品夹具103。通过驱动电机转动驱动丝杆202转动，使直线滑动导轨沿垂直方向做直线运动，并带动水平悬臂105、样品夹具103同时动作，在垂直方向上进行上升、下降的直线运动。从而将镀膜样品102置于样品夹具103上，实现对样品进行浸溃提拉镀膜操作。并且，该驱动电机带动精密直线传动装置，精密直线传动装置可高低速运行，且运行平稳，无振动现象传导至镀膜样品，从而镀膜溶液液面不振动，确保镀膜效果较好，覆膜表面更均匀且无条纹产生；其中，待镀膜溶液为各种纳米溶胶材料、微乳液或纳米材料分散液等，且该镀膜材料并不以此为限，可根据不同的镀膜需要选择不同的镀膜材料。
[0050]具体实施过程中，该精密直线传动装置不仅仅限于本实施例提出的图2所示的第一种精密直线传动装置，如图3所示，还可以通过其他形式的精密直线传动装置进行替换，具体的，该第二种精密直线传动装置包括两个支撑座209、两块端板206和一研磨级精密静音丝杆207，该研磨级精密静音丝杆207上还包括一丝杆螺母208，该丝杆螺母208将该研磨级精密静音丝杆207的旋转运动转变为直线运动；其中，该两块端板206分别设置在精密直线传动装置的两端；该研磨级精密静音丝杆207垂直固定在精密直线传动装置的中间位置，该研磨级精密静音丝杆207的两端分别通过支撑座209固定在两块端板206上；该研磨级精密静音丝杆207两侧等距离各安装一条直线光轴210，该直线光轴210上穿套有直线轴承211，直线轴承211可在直线光轴210上往复滑动，且该两条直线光轴210的两端分别固定在两块端板206上；并通过采用一第二连接块212将丝杆螺母208及两侧的直线轴承211连接并固定在一起，研磨级精密静音丝杆207的末端连接驱动电机。
[0051]在具体实施过程中，如图3所示，该精密直线传动装置连接驱动电机，并将该精密直线传动装置固定在第二仪器外壳108,该第二仪器外壳108上有一道垂直提拉孔槽106,第二连接块212通过该垂直提拉孔槽106伸展之第二仪器外壳108外部，该第二连接块212固定水平悬臂105，垂直提拉杆104垂直固定在水平悬臂105上，该垂直提拉杆104下端固定样品夹具103。通过驱动电机转动驱动该研磨级精密静音丝杆207转动,该研磨级精密静音丝杆207上的丝杆螺母208即连接固定的直线轴承211实现垂直方向的直线运动，并带动水平悬臂105、样品夹具103同时动作，在垂直方向上进行上升、下降的直线运动，从而将待镀膜样品置于样品夹具103上，则可实现对待镀膜样品进行浸溃提拉镀膜操作。
[0052]实施例2
[0053]如图5所示为一体式“ Π ”型夹具的浸溃提拉镀膜设备，一体式“ Π ”型夹具包括垂体提拉杆104、样品夹具103、橡胶垫301和顶紧螺栓302。Π型夹具内侧设置有一橡胶垫301，顶紧螺栓302将镀膜样品102固定于Π型夹具内，由橡胶垫保护镀膜样品，顶紧螺栓302固定并夹紧镀膜样品102，通过全自动多参数控制系统控制镀膜样品在垂直提拉杆104上稳定垂直运动实现对镀膜样品102的提拉镀膜。
[0054]又如图6所示为夹口可调型夹具的浸溃提拉镀膜设备，该夹口可调型夹具包括夹具固定部分303和夹具活动部分307，固定夹口夹具303安装在一垂直提拉杆104上；活动夹口夹具307通过滑动轴304与固定夹口夹具303相连接，且固定夹口夹具303和活动夹口夹具307通过其上设置有弹簧305的紧固螺栓306来调节夹口距离从而夹持镀膜样品102进行镀膜操作，并根据不同镀膜样品的厚度可随意调节，该夹口可调型夹具设置有橡胶垫301，该橡胶垫301通过夹口与镀膜样品102接触，防止因固定力度过大而损坏镀膜样品102。
[0055]在本实施例中，样品夹具和垂直提拉杆可随浸溃提拉镀膜设备的需要使其数量改变。如图3至图6所示，本实用新型分别提供的为“L”型浸溃提拉镀膜设备双夹具、夹口可调型夹具或一体式“ Π ”型夹具浸溃提拉镀膜设备，也可选用多夹具或其他类型的浸溃提拉镀膜设备，且配合相同数量的垂直提拉杆同时进行镀膜样品的提拉镀膜。
[0056]以下对浸溃提拉镀膜设备的安装方法进行说明，本实用新型提供的浸溃提拉镀膜设备的安装方法如下:
[0057]提拉机构及其安装底座安装固定在提拉机构壳体内部，精密直线传动装置上的第一连接块突出部分穿过提拉机构壳体前面的垂直提拉孔槽水平伸出至壳体外部，水平悬臂固定在第一连接块的突出部分，确保水平悬臂与提拉机构垂直。而样品夹持机构通过垂直提拉杆安装固定在水平悬臂上，并确保与水平悬臂垂直，同时确保与提拉机构平行。全自动多参数控制系统的电路系统安装在仪器外壳的底座平台内部，底座平台的前斜面安装电源开关和触摸显示屏。底座平台上方用于放置镀膜溶液。且底座平台底部四角安装等高的橡胶脚垫，确保设备整体放置的整体水平以及稳固性。
[0058]利用本实用新型提供的浸溃提拉镀膜设备对待镀膜样品进行镀膜的具体步骤如下:
[0059](I)、开启仪器电源，仪器进入工作状态，在触摸屏上进行控制操作；
[0060](2)、首先进入手动操作界面，按下“上升”或“下降”按钮，调整水平悬臂和样品夹具到一定位置作为起始位置。
[0061](3)、将待镀膜样品固定在样品夹具上，并将盛有镀膜溶液的器皿放置在待镀膜样品的正下方；
[0062](4)、在触摸屏上的参数设置界面进行镀膜程序的参数设置，编制自动镀膜程序；
[0063](5)、镀膜程序设置后，进入自动运行界面，按下“开始”按钮后，待镀膜样品按照设定好的程序自动运行，完成镀膜工艺的下降、浸溃、提拉镀膜三个过程，且镀膜过程进行时，各参数的实际运行值实时显示在自动运行界面。整个镀膜过程完成后，镀膜样品回到起始位置。
[0064](6)、此时镀膜样品表面就形成一层镀膜材料，且可通过对各个参数的调节控制，调控样品表面镀膜溶液的厚度。
[0065]然而应该认识到，本实用新型并不以此为限，样品夹具、垂直提拉杆和镀膜步骤还可以以其他方式和数量出现，只要其能将本实用新型的提拉镀膜效果提高即可。
[0066]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变形而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变形属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围内，则本实用新型也意图包含这些改动在内。
【权利要求】
1.一种浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，包括: 提拉机构，包括驱动电机以及精密直线传动装置，所述精密直线传动装置与所述驱动电机相连； 样品夹持机构，其一端与所述提拉机构相连，另一端与一待镀膜的样品相连； 其中，所述驱动电机的转动带动所述精密直线传动装置在垂直方向的直线运动，所述精密直线传动装置在垂直方向的直线运动带动所述样品夹持机构在垂直方向的直线运动，进而实现将待镀膜样品进入或脱离镀膜溶液。
2.根据权利要求1所述的浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，所述浸溃提拉镀膜设备还包括一全自动多参数控制系统，所述全自动多参数控制系统与所述提拉机构相连，且通过所述全自动多参数控制系统控制所述待镀膜样品的镀膜参数。
3.根据权利要求1或2所述的浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，所述精密直线传动装置包括: 基座； 直线滑动导轨，固定在所述基座上，所述直线滑动导轨包括导轨及滑块，所述滑块在所述导轨上滑动； 高精度丝杆装置，包括丝杆及螺母，所述螺母与所述滑块相连，且所述丝杆的一端与所述驱动电机相连； 丝杆支撑座，安装在所述基座上，并置于所述丝杆的两端，通过所述丝杆支撑座固定并支撑所述丝杆转动； 其中，所述驱动电机的转动带动所述丝杆转动，通过所述丝杆的转动带动所述螺母和所述滑块在垂直方向的直线运动。
4.根据权利要求3所述的浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，所述精密直线传动装置还包括第一连接块，所述螺母与所述滑块通过所述第一连接块连接。
5.根据权利要求1或2所述的浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，所述精密直线传动装置包括: 两个支撑座； 两块端板，且所述两块端板分别设置在所述精密直线传动装置的两端； 一带有丝杆螺母的研磨级精密静音丝杆，所述研磨级精密静音丝杆垂直固定在所述精密直线传动装置的中间位置，所述研磨级精密静音丝杆的两端通过所述支撑座分别固定在所述两块端板上；所述研磨级精密静音丝杆两侧等距离各安装一条直线光轴，所述直线光轴分别与所述两块端板连接，且所述直线光轴上分别设置有一直线轴承； 其中，通过一第二连接块将所述丝杆螺母和两侧的直线轴承连接并固定在一起，所述研磨级精密静音丝杆的末端连接一驱动电机；通过所述驱动电机的转动带动所述研磨级精密静音丝杆的转动，并通过所述丝杆螺母和连接固定的直线轴承在垂直方向的直线运动。
6.根据权利要求2所述的浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，所述浸溃提拉镀膜设备还包括仪器外壳和安装底座，所述安装底座安装固定驱动电机和精密直线传动装置，且所述提拉机构以及全自动多参数控制系统，设置在所述仪器外壳内。
7.根据权利要求6所述的浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，所述仪器外壳上设置有垂直提拉孔槽，所述第一连接块或所述第二连接块通过所述垂直提拉孔槽伸展至所述仪器外壳外部。
8.根据权利要求7所述的浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，所述样品夹持机构包括水平悬臂、垂直提拉杆以及样品夹具；其中，所述水平悬臂与所述第一连接块或所述第二连接块伸展至所述仪器外壳外部的一端相连，所述垂直提拉杆垂直固定于所述水平悬臂上，且所述垂直提拉杆的下端固定所述样品夹具，待镀膜的样品与所述样品夹具相连。
9.根据权利要求8所述的浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，所述浸溃提拉镀膜设备整体为“L”型结构，所述“L”型浸溃提拉镀膜设备的竖直部分放置所述提拉机构和所述样品夹持机构，所述“L”型浸溃提拉镀膜设备的水平部分为所述安装底座和所述全自动多参数控制系统；所述样品夹具为夹口可调型夹具或一体式“ Π ”型夹具，且所述浸溃提拉镀膜设备的样品夹具为单样品夹具或多样品夹具，所述垂直提拉杆的数量与所述样品夹具的数量—致。
10.根据权利要求2所述的浸溃提拉镀膜设备，其特征在于，所述全自动多参数控制系统包括电路系统和触摸屏，所述电路系统控制所述待镀膜样品的镀膜参数，所述触摸屏显示控制界面并进行参数选择操作；所述镀膜参数包括所述提拉镀膜流程中的下降速度、浸溃时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、不同次数的间隔时间；且所述提拉镀膜流程中的各个参数均连续 可调。
【文档编号】B05C11/10GK203791131SQ201320862499
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2013年12月25日 优先权日:2013年12月25日
【发明者】徐淑雷 申请人:上海三研科技有限公司