技术总结
本发明公开了一种快速高效的抛光浆料配方，其特征在于：所述抛光浆料由二氧化钛磨料、单乙醇胺添加剂、聚乙二醇分散剂、氢氧化钠PH调节剂以及纯水组成；所述二氧化钛磨料、添加剂、分散剂、PH调节剂以及纯水的质量比为：1～5:0.1～0.3:0～1:0～1:100。本发明的优点在于：本发明通过合理使用添加剂，大大改善了二氧化钛颗粒表面性质，提高了抛光速率、对单晶硅片不产生表面缺陷、并降低表面粗糙度，从而实现对硅片的高效超高精度化学机械抛光，保证硅片表面的质量；本发明的抛光液为碱性，抛光后清洗方便，磨料选用锐钛矿型二氧化钛，从而使成本大大降低。
技术研发人员：王芸芸
受保护的技术使用者：南通茂鑫工艺品有限公司
文档号码：201510476310
技术研发日：2015.08.06
技术公布日：2017.02.22