专利名称：一种晶圆运输车的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶圓运输装置，特别涉及一种具有活动搁架的晶圓运输车。
背景技术：
随着晶圓尺寸从8寸增加到12寸，用于放置晶圆的前开式晶盒(FOUP) 及其零配件的尺寸也越来越大，使得晶盒的重量不断增加， 一个载满晶圆的 FOUP的重量约为9.8Kg。如果这些物料都是自动作业的话，那么这种尺寸及重 量的增加可能不会引起任何重大的人体生物工程风险。但是，全自动化作业是 不能完全实现的，因此不可避免地还是存在人工搬运的情况，例如芯片测量、 将晶盒搬运到人工货架等环节。随着越来越多的芯片制造商往亚洲转移，而多 数作业人员为女性，FOUP的尺寸及重量问题变得更为明显。
从人体生物工程学的角度而言，搬运重物时最理想的搬运高度应当在人的 腰部上下。而随着现行洁净室的运行成本及工作效率的提高，将运送FOUP的 推车的搁架高度设在作业人员腰部这样一个单一高度是不实际的，这样会大大 影响运输效率。通常，采用具有双层固定式搁架的运输车来进行搬运，每层放 置两个前开式晶盒，那么必然至少会有一层搁架的高度是不符合人体生物工程 学要求的。作业人员需要重复由低到高或由高到低放置前开式晶盒的动作，如 果不能遵从正确的举放技巧的话，会导致作业人员背部及腰部的持续性慢性疼 痛，从而严重影响员工的身心健康。
因此，如何提供一种符合人体生物工程学原理的晶圆运输车已成为业界亟 待解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新的晶圓运输车，该运输车的多层搁架均 能调到符合人体工程学原理的高度，从而避免作业人员因晶盒放置位置过高或
过低而导致搬运时出现的人体损伤。
为了实现上述的目的，本实用新型提供了一种晶圆运输车，包括车身和两 层搁架，其中，上层搁架由两块搁板4交接至一轴杆而組成，所迷轴杆固定在车
身的支架上，两块搁板可绕轴杆转动，并具有一展开状态和一收拢状态；车身 上固定有两组滑轮，每组滑轮上均跨设有拉绳，所述拉绳的一端固定在下层搁 架上，通过拉动拉绳的另一端可升起下层搁架。
所述下层搁架的底部还设有活动金属柱，所述拉绳的一端连接至活动金属 柱，通过拉动拉绳的另一端升起活动金属柱而托起下层搁架。
所述搁板的底部与车身支架之间通过阻尼弹簧连接。
所述搁板底部开有两道滑槽，滑槽内设有滑动件，且每个滑动件与相应的 活动金属柱之间通过一滑轮绳相连，所述的滑轮绳跨设在滑轮上。
所述的下层搁架与车身底座之间还设有缓冲装置，例如阻尼弹簧。
所述车身的两侧位于滑轮下方的位置设有一组卡榫，所迷的卡榫通过铰接
结构与车身相连；车身上还装有卡#4丑，以控制卡榫的收合。
与现有的具有多层固定式搁架的晶圓运输车相比，本实用新型的运输车采 用了可收拢的上层搁架，通过滑轮和拉绳可将下层搁架升起，使作业人员在存 取晶盒时，其作业高度可保持在符合人体工程学的最佳位置，避免了不必要的 人体损伤。
本实用新型的晶圓运输车由以下的实施例及附图给出。
图l是本实用新型的晶圓运输车的内部结构示意图2是晶圆运输车的上层搁架位于收拢状态时的结构示意图3是本实用新型第一实施例的结构示意图4是本实用新型第二实施例的结构示意图5是本实用新型第三实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的晶圆运输车作进一步的详细描述。
参见图1,本实用新型的晶圆运输车包括车身IO和两层搁架。上层搁架由
两块搁板31、 32和一轴杆33组成，搁板31、 32 4交接至轴杆33,并可绕轴杆 33转动至一展开状态或一收拢状态。图1所示的是展开状态，在该状态下，两 块搁板31、 32上可分别放置一晶盒40。下层搁架20为活动式搁架，通过滑轮 21与拉绳22的配合，可使下层搁架20在拉绳22的牵引下在车身IO内作升降 运动。
当上层搁架上的晶盒40被作业人员取走后，需要继续存取下层搁架20上 的晶盒40。参见图2，当作业人员通过拉绳22将下层搁架20升起时，搁板31、 32沿轴杆33转动至收拢状态，留出供晶盒40通过的通道。当下层搁架2'0上升 到最大高度时，将搁架20固定，从而作业人员可以进行晶盒40的取放工作。 虽然该高度略低于上层搁架的高度，但仍在符合人体工程学的合理高度范围内。
参见图3,于本实用新型的第一实施例中，下层搁架20的底部对应四个角 的位置还设有活动金属柱23,拉绳22的一端固定在活动金属柱23上，通过拉 动拉绳22的另一端升起活动金属柱23而托起下层搁架20。上层搁架的两块搁 板31、 32的底部与车身支架11之间装有阻尼弹簧34,该阻尼弹簧34将搁板 31、 32向上顶起，使搁板31、 32能自动转到收拢位置。为了方便控制搁板31、 32的开合，在每块搁板的底部开有两道滑槽35，滑槽35内嵌设有滑动件，例 如小滑轮(图中未示出)。每个滑动件与相应的活动金属柱23之间通过滑轮绳 24相连，该滑轮绳24也跨设在滑轮21上。当下层搁架20上升时，滑轮绳24 放松，滑动件沿着滑槽35向轴杆方向滑动，此时，阻尼弹簧34松解，搁板31、 32在阻尼弹簧34弹力的推动下渐渐向收拢位置转动；当下层搁架20下降时， 活动金属柱34牵动滑轮绳24逐渐收紧，滑动件沿着滑槽35向远离轴杆的方向 滑动，此时，滑轮绳24给搁板31、 32—个向下的拉力，使搁板31、 32慢慢回 到展开位置。
参见图4，于本实用新型的第二实施例中，下层搁架20和车身IO底座之间 还设有緩冲装置，例如阻尼弹簧12。当下层搁架20下降时，阻尼弹簧12可起 到緩冲作用，避免搁架20急速下降；当拉动拉绳升起搁架20时，由于阻尼弹 簧12具有弹性恢复力，给搁架20—个向上的推力，因此可以达到省力的目的。
如图5所示，于本实用新型的第三实施例中，车身10两侧位于滑轮21下
方的位置还设有卡榫13及相应的卡#4丑14,卡榫13通过铰接结构与车身10相 连接，其自然状态下的位置如图5所示。当下层搁架20升起时，卡榫13在搁 架20的推动下向车身IO的两侧收拢，从而使下层搁架20可以顺利通过。当搁 架20完全经过卡榫13时，由于卡榫13所受的外力已撤销，其义恢复到自然状 态的位置。此时，松开拉绳22，则下层搁架20由卡榫13支撑并固定在图示位 置。当下层搁架20上的晶盒取放完毕后，通过按动卡榫钮14收拢卡榫13,使 下层搁架20又可以下通行，回到初始位置。
本实用新型的晶圓运输车，还可根据需要进行横向和纵向的扩展，改变成 三层以上的结构，以实现运输效率的进一步提高。任何对本实用新型的装置结 构作本技术领域内熟知的替换、组合、分立，均不超出本实用新型的揭露以及 保护范围。
权利要求1、一种晶圆运输车，包括车身和两层搁架，其特征在于上层搁架由两块搁板铰接至一轴杆而组成，所述轴杆固定在车身的支架上，两块搁板可绕轴杆转动，并具有一展开状态和一收拢状态；车身上固定有两组滑轮，且每组滑轮上均跨设有拉绳，所述拉绳的一端固定在下层搁架上，通过拉动拉绳的另一端可升起下层搁架。
2、 如权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于所述下层搁架的底部还 设有活动金属柱，所述拉绳的一端连接至活动金属柱，通过拉动拉绳的另一端 升起活动金属柱而托起下层搁架。
3、 如权利要求2所述的晶圓运输车，其特征在于所述搁板的底部与车身 支架之间通过阻尼弹簧连接。
4、 如权利要求2所述的晶圆运输车，其特征在于所述搁板底部开有两道 滑槽，滑槽内设有滑动件，且每个滑动件与相应的活动金属柱之间通过一滑轮 绳相连。
5、 如权利要求4所述的晶圆运输车，其特征在于所述的滑轮绳跨设在滑 轮上。
6、 如权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于所述的下层搁架与车身 底座之间还设有緩沖装置。
7、 如权利要求6所述的晶圓运输车，其特征在于所述的緩沖装置是阻尼 弹簧。
8、 如权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于所述车身的两侧位于滑 轮下方的位置设有一组卡榫，所述的卡榫通过铰接结构与车身相连。
9、 如权利要求8所述的晶圆运输车，其特征在于车身上还装有卡榫钮， 以控制卡榫的收合。
专利摘要本实用新型公开了一种晶圆运输车。现有的双层固定式搁架运输车所设置的搁架高度不符合人体工程学原理，且高度无法调节，使得作业人员从搁架上取放晶盒时容易伤及背部和腰部，长期作业对健康危害很大。为解决上述问题，本实用新型提供了一种具有可活动式搁架的晶圆运输车，其包括车身和两层搁架，上层搁架由两块搁板铰接至一轴杆而组成，所述轴杆固定在车身的支架上，两块搁板可绕轴杆转动，并具有一展开状态和一收拢状态；车身上固定有两组滑轮，每组滑轮上均跨设有拉绳，所述拉绳的一端固定在下层搁架上，通过拉动拉绳的另一端可升起下层搁架。采用本实用新型的运输车可将搁架调到符合人体工程学原理的高度，从而避免作业人员的人体损伤。
文档编号B62B3/02GK201068158SQ20072007193
公开日2008年6月4日 申请日期2007年6月29日 优先权日2007年6月29日
发明者李雨庭 申请人:李雨庭