把持结构、搬运方法、搬运装置以及制造系统与流程

1.本发明涉及把持结构、搬运方法、搬运装置以及制造系统。更详细而言，本发明涉及在移动面上移动的搬运装置用于保持搬运对象的把持结构、搬运方法、搬运装置以及制造系统。


背景技术：

2.专利文献1公开了搬运台车的搬运装置。在台车上，在其行驶方向前方设置有沿与行驶方向交叉的方向水平地延伸的水平杆。在搬运装置设置有由于被定位于水平杆的后方而能够牵引台车(搬运对象)的一对钩挂部。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2019-107964号公报


技术实现要素：

6.本发明的目的在于，提供即使在搬运对象相对于搬运装置的相对位置或姿态发生了变化的情况下也能够保持搬运对象的把持结构、搬运方法、搬运装置以及制造系统。
7.本发明的一方案的把持结构具备多个被把持部、多个把持部以及位移允许部。所述多个被把持部设置于在移动面上行驶的搬运对象。所述多个把持部以与所述多个被把持部分别对应的方式设置于在所述移动面上行驶的搬运装置的主体。所述多个把持部分别能够保持所述多个被把持部中的对应的被把持部。所述位移允许部在所述多个把持部分别保持所述多个被把持部的把持状态下，允许所述搬运对象在与所述移动面交叉的第一方向上相对于所述主体的相对位移，且允许所述搬运对象绕着沿着所述移动面的第一旋转轴而相对于所述主体的相对旋转。
8.本发明的一方案的搬运方法是搬运装置搬运搬运对象的搬运方法，其包括接触工序、保持工序以及搬运工序。在所述搬运装置设置有与搬运对象所具有的多个被把持部分别对应的多个把持部。在所述接触工序中，使所述多个把持部与所述多个被把持部接触。在所述保持工序中，在允许所述搬运对象在与供所述搬运装置以及所述搬运对象移动的移动面交叉的第一方向上相对于所述搬运装置的相对位移，并允许所述搬运对象绕着沿着所述移动面的第一旋转轴而相对于所述搬运装置的相对旋转的状态下，所述搬运装置保持所述搬运对象。在所述搬运工序中，所述搬运装置在保持有所述搬运对象的状态下进行移动，由此搬运所述搬运对象。
9.本发明的一方案的搬运装置具备搬运装置的主体以及位移允许部。在所述主体设置有与搬运对象所具有的多个被把持部分别对应的多个把持部。所述位移允许部在所述多个把持部分别保持所述多个被把持部的把持状态下，允许所述搬运对象在与供所述搬运装置以及所述搬运对象移动的移动面交叉的第一方向上相对于所述主体的相对位移。所述位移允许部在所述把持状态下，允许所述搬运对象绕着沿着所述移动面的第一旋转轴而相对
于所述主体的相对旋转。
10.本发明的一方案的制造系统包括对基板进行规定的作业的制造装置、以及对所述制造装置提供规定的功能的功能模块。所述功能模块是被所述搬运装置搬运至所述制造装置的所述搬运对象。
附图说明
11.图1是本发明的一实施方式的搬运装置保持搬运对象前的状态的概要性的俯视图。
12.图2是包括该搬运装置在内的整体系统的概要性的框图。
13.图3是该搬运装置搬运搬运对象的状态的概要性的俯视图。
14.图4是该搬运装置搬运搬运对象的状态的概要性的侧视图。
15.图5是该搬运装置的概要性的立体图。
16.图6是该搬运装置所具备的驱动部的示意性的说明图。
17.图7是示意性地示出该搬运装置和部件安装系统的俯视图。
18.图8是对由该搬运装置进行的第一把持动作进行说明的流程图。
19.图9的a～图9的e是对由该搬运装置进行的第一把持动作的各工序进行说明的概要性的俯视图。
20.图10的a～图10的e是对由该搬运装置进行的第二把持动作的各工序进行说明的概要性的俯视图。
21.图11的a～图11的d是对由该搬运装置进行的第三把持动作的各工序进行说明的概要性的俯视图。
22.图12是本发明的一实施方式的变形例1的搬运装置保持搬运对象前的状态的概要性的俯视图。
23.图13是本发明的一实施方式的变形例2的搬运装置所具备的驱动部的说明图。
24.图14是示出本发明的一实施方式的变形例3的搬运装置所具备的把持部的第一方案的俯视图。
25.图15是示出本发明的一实施方式的变形例3的搬运装置所具备的把持部的第二方案的俯视图。
26.图16是示出本发明的一实施方式的变形例3的搬运装置所具备的把持部的第二方案的俯视图。
27.图17是示出本发明的一实施方式的变形例3的搬运装置所具备的把持部的第二方案的俯视图。
28.图18是示出本发明的一实施方式的搬运装置所具备的把持结构的概要性的立体图。
29.图19是搬运装置通过该把持结构保持搬运对象的状态的概要性的侧视图。
30.图20是搬运装置通过该把持结构保持搬运对象的状态的概要性的侧视图。
31.图21是从前侧观察搬运装置通过该把持结构保持搬运对象的状态时的概念图。
32.图22是从上侧观察该把持结构的主要部分时的图。
33.图23是搬运装置通过该把持结构保持搬运对象前的状态的概要性的俯视图。
34.图24是搬运装置通过该把持结构保持搬运对象后的状态的概要性的俯视图。
35.图25是搬运装置通过该把持结构保持搬运对象后的状态的概要性的立体图。
36.图26是该把持结构的把持部保持被把持部的状态的概要性的侧视图。
37.图27是示出该把持结构的被把持部的概要性的侧视图。
38.图28是该把持结构的把持部保持被把持部的状态的概要性的侧视图。
39.图29是该把持结构的把持部的概要性的剖视图。
40.图30是该把持结构的把持部的概要性的剖视图。
41.图31示出本发明的一实施方式的变形例4的把持结构，是把持部保持被把持部前的状态的概要性的俯视图。
42.图32示出变形例4的把持结构，是把持部保持被把持部后的状态的概要性的俯视图。
43.图33示出变形例4的把持结构，是在把持状态下施加有第二方向上的外力的情况下的概要性的俯视图。
44.图34示出变形例4的把持结构，是在把持状态下施加有前后方向上的外力的情况下的概要性的俯视图。
45.图35是变形例4的把持结构所具备的把持部的概要性的俯视图。
46.图36是变形例4的把持结构所具备的把持部的概要性的俯视图。
47.图37是变形例4的把持结构所具备的把持部的概要性的俯视图。
48.图38示出本发明的一实施方式的变形例5的把持结构，是把持部保持被把持部前的状态的概要性的俯视图。
49.图39示出变形例5的把持结构，是把持部保持被把持部后的状态的概要性的侧视图。
50.图40示出变形例5的把持结构，是把持部保持被把持部中途的状态的概要性的俯视图。
51.图41示出变形例5的把持结构，是把持部保持被把持部后的状态的概要性的俯视图。
52.图42示出变形例5的把持结构，是把持部保持被把持部后的状态的概要性的俯视图。
具体实施方式
53.(第一实施方式)
54.(1)概要
55.在以下的实施方式中说明的各图是示意性的图，且各图中的各构成要素的大小及厚度各自的比不一定反映实际的尺寸比。
56.如图1所示，本实施方式的把持结构h1适用于搬运装置x1把持(保持)搬运对象a1的结构。在以下的说明中，在图1、图3、图4以及图18等中，将x轴方向规定为左右方向，将y轴方向规定为前后方向，将z轴方向规定为上下方向，以x轴方向的正向为右侧，以y轴方向的正向为前侧，以z轴方向的正向为上侧。这些方向是在搬运装置x1牵引搬运对象a1并行驶的状态下规定的方向，并不意在将搬运装置x1的使用时的方向限定于这些方向。另外，附图中
的表示各方向的箭头仅是为了说明而标记的，并不伴有实体。
57.如图18所示，把持结构h1具备多个(在本实施方式中为两个)被把持部71、多个(在本实施方式中为两个)把持部40、以及位移允许部90。多个被把持部71设置于在移动面b1上行驶的搬运对象a1。多个把持部40以与多个被把持部71分别对应的方式设置于在移动面b1上行驶的搬运装置x1的主体10。多个把持部40分别能够保持多个被把持部71中的对应的被把持部71。位移允许部90在把持状态下，允许搬运对象a1在与移动面b1交叉的第一方向dr11(图18中的上下方向)上相对于主体10的相对位移。另外，位移允许部90在把持状态下，允许搬运对象a1绕着沿着移动面b1的第一旋转轴(例如，沿着左右方向的旋转轴ax以及沿着前后方向的旋转轴ay)而相对于主体10的相对旋转。把持状态是多个把持部40分别保持多个被把持部71的状态。
58.另外，本实施方式的搬运装置x1具备搬运装置x1的主体10以及位移允许部(上述的第一位移允许部91)。在主体10设置有与搬运对象a1所具有的多个被把持部71分别对应的多个把持部40。位移允许部(第一位移允许部91)在多个把持部40分别保持多个被把持部71的把持状态下，允许搬运对象a1在与供搬运装置x1以及搬运对象a1移动的移动面b1交叉的第一方向dr11上相对于主体10的相对位移。另外，位移允许部(第一位移允许部91)在把持状态下，允许搬运对象a1绕着沿着移动面b1的第一旋转轴(旋转轴ax以及ay)而相对于主体10的相对旋转。
59.另外，本实施方式的搬运装置x1执行的搬运方法是搬运装置x1搬运搬运对象a1的搬运方法，其包括接触工序、保持工序以及搬运工序。在搬运装置x1设置有与搬运对象a1所具有的多个被把持部71分别对应的多个把持部40。在接触工序中，使多个把持部40与多个被把持部71接触。在保持工序中，在允许搬运对象a1在与供搬运装置x1以及搬运对象a1移动的移动面b1交叉的第一方向dr11上相对于搬运装置x1的相对位移，并允许搬运对象a1绕着沿着移动面b1的第一旋转轴而相对于搬运装置x1的相对旋转的状态下，搬运装置x1保持搬运对象a1。在搬运工序中，搬运装置x1在保持有搬运对象a1的状态下进行移动，从而搬运搬运对象a1。
60.在此，把持状态也是搬运装置x1通过多个把持部40分别保持多个被把持部71来保持搬运对象a1的状态。第一方向dr11是与移动面b1交叉的方向，在本实施方式中例如是与移动面b1正交的方向。需要说明的是，与移动面b1正交的方向并不限定于呈直角相对于移动面b1交叉的方向，与移动面b1的交叉角也可以从90度稍微(几度程度)偏移。另外，沿着移动面b1的第一旋转轴在本实施方式中是与移动面b1平行的方向，但也可以从相对于移动面b1平行的方向稍微(几度程度)偏移。需要说明的是，第一旋转轴包含沿着左右方向(两个把持部40排列的第二方向dr1)的旋转轴ax，位移允许部90允许搬运对象a1绕着沿着第二方向的旋转轴ax而相对于搬运装置x1(主体10)的相对旋转。并且，第一旋转轴包含沿着与第一方向dr11以及第二方向dr1分别正交的方向(即前后方向)的旋转轴ay，位移允许部90允许搬运对象a1绕着旋转轴ay而相对于搬运装置x1的相对旋转。
61.本实施方式的把持结构h1具备位移允许部90，位移允许部90允许搬运对象a1在第一方向dr11上相对于主体10的相对位移。因此，如图19所示，在第一方向dr11上，即使在搬运装置x1所在的移动面b1的区域b11与搬运对象a1所在的移动面b1的区域b12存在台阶dz的情况下，只要该台阶dz在位移允许部90所允许的允许范围内，把持部40就能够保持被把
持部71。
62.另外，位移允许部90在把持状态下允许搬运对象a1绕着第一旋转轴而相对于主体10(搬运装置x1)的相对旋转。具体而言，位移允许部90例如允许搬运对象a1绕着沿着左右方向的旋转轴ax而相对于主体10的相对旋转，且允许搬运对象a1绕着沿着前后方向的旋转轴ay而相对于主体10的相对旋转。
63.因此，如图20所示，即使在由于在移动面b1中搬运对象a1所在的区域b12相对于搬运装置x1所在的区域b11倾斜，搬运对象a1绕着旋转轴ax而相对于搬运装置x1相对旋转了角度θx的情况下，只要该角度θx在位移允许部90所允许的允许角度范围内，把持部40就能够保持被把持部71。
64.另外，如图21所示，即使在由于右侧的驱动轮2嵌入移动面b1中的凹陷200，搬运对象a1绕着旋转轴ay而相对于搬运装置x1相对旋转了角度θy的情况下，只要该角度θy在位移允许部90所允许的允许角度范围内，把持部40就能够保持被把持部71。
65.像这样，位移允许部90在把持状态下分别允许搬运对象a1相对于搬运装置x1的第一方向dr11上的相对位移以及绕着沿着移动面b1的第一旋转轴的相对旋转，因此具有即使在搬运对象a1相对于搬运装置x1的相对位置或姿态发生了变化的情况下，搬运装置x1也能够保持搬运对象a1这样的优点。需要说明的是，在本实施方式中，位移允许部90允许搬运对象a1分别绕着相互正交的两个旋转轴ax以及ay而相对于搬运装置x1的相对旋转，但也可以仅允许绕着其中一方的旋转轴的相对旋转。
66.在此，位移允许部90由设置于把持部40的第一位移允许部91以及设置于被把持部71的第二位移允许部92实现。第一位移允许部91由把持部40所具备的筒状的辊部42等实现。第二位移允许部92由设置有供辊部42插入的凹部74的板状构件79等实现。
67.另外，如图1所示，本实施方式的搬运装置x1具备搬运装置x1的主体10、移动机构(在本实施方式中例如是驱动轮单元20等)、驱动部50以及控制部11(参照图2)。在搬运装置x1的主体10，以能够移动的方式设置有与搬运对象a1所具有的多个被把持部71相对应的多个把持部40。移动机构使主体10移动。驱动部50驱动多个把持部40。控制部11对移动机构以及驱动部50进行控制。控制部11在多个把持部40能够保持多个被把持部71的准备状态下，对移动机构进行控制，使搬运装置x1沿着与多个被把持部71排列的第二方向dr1交叉的接近方向dr2接近搬运对象a1。控制部11在搬运装置x1接近搬运对象a1到能够保持搬运对象a1的位置的状态下，对驱动部50进行控制，使多个把持部40沿着第二方向dr1移动。控制部11通过使多个把持部40分别与多个被把持部71中的对应的被把持部71接触，而使搬运装置x1保持搬运对象a1。控制部11在搬运装置x1保持有搬运对象a1的状态下对移动机构进行控制而使主体10移动，从而搬运搬运对象a1。
68.另外，本实施方式的搬运装置x1执行的搬运方法包括接近工序、保持工序以及搬运工序。搬运装置x1具有与搬运对象a1所具有的多个被把持部71分别对应的多个把持部40。在接近工序中，在多个把持部40能够保持多个被把持部71的准备状态下，使搬运装置x1沿着接近方向dr2接近搬运对象a1。在保持工序中，在搬运装置x1接近搬运对象a1到能够保持搬运对象a1的位置的状态下，使把持部40沿着第二方向dr1移动。在保持工序中，通过使多个把持部40分别与多个被把持部71中的对应的被把持部71接触，从而使搬运装置x1保持搬运对象a1。在搬运工序中，搬运装置x1在保持有搬运对象a1的状态下进行移动，从而搬运
搬运对象a1。
69.在上述专利文献1所记载的搬运装置中，只能够牵引水平杆的长度比一对钩挂部的间隔短的台车。因此，存在台车所具有的水平杆(被把持部)的长度受到搬运装置所具有的一对钩挂部(把持部)的间隔的制约的问题。
70.搬运对象a1所具有的多个被把持部71在第二方向dr1上排列。多个把持部40能够保持多个被把持部71的准备状态例如是在接近方向dr2上多个把持部40分别存在于避开与多个被把持部71中的对应的被把持部71发生干涉的位置的状态。因此，即使在搬运装置x1沿着接近方向dr2接近搬运对象a1的情况下，也能够防止由于把持部40与被把持部71相互干涉(接触)而妨碍搬运装置x1的移动的情况。并且，通过搬运装置x1接近搬运对象a1到能够保持搬运对象a1的位置，使多个把持部40分别与多个被把持部71中的对应的被把持部71接触，从而搬运装置x1能够保持搬运对象a1。需要说明的是，准备状态并不限定于在接近方向dr2上多个把持部40分别存在于避开与多个被把持部71中的对应的被把持部71发生干涉的位置的状态。准备状态可以包括如下状态：在把持部40以接触以外的方法保持被把持部71的情况下，把持部40并不保持被把持部71，在搬运装置x1接近到能够保持搬运对象a1的位置的情况下，把持部40能够保持被把持部71。并且，在保持工序中，通过沿着第二方向dr1使把持部40移动，使多个把持部40分别与多个被把持部71中的对应的被把持部71接触，从而使搬运装置x1保持搬运对象a1。
71.像这样，多个把持部40沿着第二方向dr1移动，多个把持部40与对应的被把持部71接触，从而搬运装置x1保持搬运对象a1。因此，具有能够提高搬运对象a1所具有的多个被把持部71的位置的自由度这样的优点。也就是说，搬运装置x1能够搬运被把持部71的位置多样的多种搬运对象a1。
72.以下，以搬运装置x1具有多个车轮(驱动轮2以及辅助轮3)并构成为能够利用车轮在移动面b1上行驶的情况为例进行说明。另外，搬运对象a1具有车轮a11(参照图3以及图4)，并构成为能够利用车轮a11与搬运装置x1一起在移动面b1上行驶。
73.搬运装置x1例如被引入工厂、物流中心(包括配送中心)、办公室、店铺、学校以及医院等设施。移动面b1是供搬运装置x1在其上移动的面，在搬运装置x1在设施内移动的情况下，设施的地板面等成为移动面b1，在搬运装置x1在室外移动的情况下，地面等成为移动面b1。以下，以搬运装置x1在设置有作为制造系统的一例的部件安装系统w1(图7)的工厂中使用的情况为例进行说明。关于部件安装系统w1，在“(2.3)部件安装系统”中进行说明。需要说明的是，在以下的说明中，附图中的箭头表示物体(被把持部71等)排列的方向、或者物体(把持部40、搬运装置x1或搬运对象a1等)移动的方向，并不伴有实体。
74.(2)详细情况
75.以下，参照附图对本实施方式的搬运装置x1以及具备搬运装置x1的部件安装系统w1(参照图7)详细地进行说明。
76.(2.1)整体结构
77.本实施方式的搬运装置x1例如构成为能够与上位系统100(参照图2)相互通信。本发明中的“能够通信”是指能够利用有线通信或无线通信的适当的通信方式直接地、或者经由网络nt1或中继器r1等间接地授受信息。在本实施方式中，上位系统100和搬运装置x11能够相互双向通信，能够进行信息从上位系统100向搬运装置x1的发送以及信息从搬运装置
x1向上位系统100的发送这双方。
78.上位系统100是用于对一台或多台搬运装置x1统一进行控制的系统，例如由服务器装置实现。上位系统100通过对多台搬运装置x1分别作出指示，从而间接地控制多台搬运装置x1。具体而言，当上位系统100对搬运装置x1作出搬运对象a1的搬运指示时，搬运装置x1接受搬运指示而自主地进行使搬运对象a1移动到目标位置的作业。
79.在本实施方式中，上位系统100以具有一个以上的处理器及存储器的计算机系统为主要结构。因此，通过由一个以上的处理器执行记录在存储器中的程序，从而实现上位系统100的功能。程序可以预先记录在存储器中，也可以通过因特网等电信线路来提供，也可以记录在存储卡等非暂时性记录介质中来提供。需要说明的是，在本实施方式中，上位系统100不是必须的结构，可以适当省略，搬运装置x1也可以基于直接或经由操作终端输入的搬运指示而自主地进行搬运对象a1的搬运作业。
80.(2.2)搬运装置
81.如图3以及图4所示，搬运装置x1为了搬运搬运对象a1而无人行驶。
82.如图3以及图5所示，搬运装置x1具有沿搬运装置x1的左右方向排列的多个(在本实施方式中为一对)驱动轮2。本发明中所说的“左右方向”是搬运装置x1的长边方向，且是图3中的x轴方向。搬运装置x1的前后方向是与左右方向以及上下方向(移动面b1的法线方向)分别正交的方向、即搬运装置x1的短边方向，且是图3中的y轴方向。
83.在搬运装置x1搬运搬运对象a1的情况下，在搬运装置x1的前后方向上的一面设置有用于保持(把持)搬运对象a1的把持部40。通过把持部40保持搬运对象a1的被把持部71，从而搬运装置x1保持搬运对象a1。搬运装置x1与被该搬运装置x1保持的搬运对象a1一起移动。
84.在此，在搬运装置x1在前后方向上移动的情况下，将搬运装置x1前进的方向(行进方向)设为前方，将其相反方向设为后方。在搬运装置x1搬运搬运对象a1的情况下，存在搬运装置x1成为前端而牵引搬运对象a1的行驶方式、以及以搬运对象a1为前端而搬运装置x1推动搬运对象a1的行驶方式。通常，与从后侧推动搬运对象a1的行驶方式相比，牵引搬运对象a1的行驶方式的行驶状态稳定，因此搬运装置x1通常牵引搬运对象a1而进行移动。在搬运装置x1牵引搬运对象a1而进行移动的情况下，y轴方向的正向成为前侧，x轴方向的正向成为右侧。以下，以y轴方向的正向为前侧并以x轴方向的正向为右侧而进行说明。但是，这些方向为一例，并不意在对搬运装置x1的使用时的方向进行限定。另外，附图中的表示各方向的箭头仅是为了说明而标记的，并不伴有实体。
85.在此，搬运对象a1具有俯视观察下的形状为矩形状的主体70。在主体70的下表面设置有多个车轮a11，搬运对象a1构成为能够利用车轮a11而在移动面b1上行驶。在主体70的一面(被搬运装置x1牵引的情况下的前表面)，以在第二方向dr1上排列的方式设置有两个被把持部71。如图1以及图22所示，两个被把持部71分别具有从主体70向前方突出的基部72、以及从基部72的前端向斜前方突出的钩挂部73。也就是说，两个被把持部71分别由一体地具有基部72和钩挂部73的板状构件79构成。在此，两个被把持部71所具有的两个钩挂部73的间隔越趋向前侧越窄。另外，在被把持部71，以跨越基部72和钩挂部73的方式设置有供把持部40所具有的辊部42嵌合的凹部74。在两个被把持部71分别设置有与凹部74的前侧的开口缘连续并沿着第二方向dr1延伸的直线部85。另外，在两个被把持部71分别设置有直线
部85的前端部、以及从凹部74的后侧的开口缘分别朝向外方扩展的倾斜部86、87(参照图1)。
86.如上所述，搬运装置x1具备设置有多个把持部40的主体10、作为移动机构的驱动轮单元20、驱动部50以及控制部11。另外，搬运装置x1具备至少一个(在本实施方式中例如为两个)驱动轮2以及多个(在本实施方式中例如为两个)辅助轮3。
87.如图1、图3～图5所示，搬运装置x1的主体10形成为长方体状。在主体10的下部配置有两个驱动轮2和两个辅助轮3。在本实施方式中，相对于主体10，两个驱动轮2以在左右方向上排列的方式配置。在主体10，以相对于两个驱动轮2分别在前侧以及后侧各配置有一个的方式配置有辅助轮3。在以下的说明中，有时将一对驱动轮2中的、位于主体10的左侧的驱动轮2记作左驱动轮2l，将位于主体10的右侧的驱动轮2记作右驱动轮2r。另外，有时将位于主体10的前后的两个辅助轮3中的、位于主体10的前侧的辅助轮3记作前辅助轮31，将位于主体10的后侧的辅助轮3记作后辅助轮32。
88.在本实施方式中，左驱动轮2l以及右驱动轮2r分别兼作转向轮。驱动左驱动轮2l的驱动机构和改变左驱动轮2l的朝向的转向机构一体化为左驱动轮单元20l(参照图2以及图5)。另外，驱动右驱动轮2r的驱动机构和改变右驱动轮2r的朝向的转向机构一体化为右驱动轮单元20r(参照图2以及图5)。也就是说，上述的驱动轮单元20包括左驱动轮单元20l和右驱动轮单元20r。
89.左驱动轮单元20l对左驱动轮2l的旋转和舵角进行控制。如图2以及图5所示，左驱动轮单元20l具备使左驱动轮2l在圆周方向上旋转的驱动马达21l、以及使左驱动轮2l的朝向(滚动方向)发生变化的转向马达23l。转向马达23l安装于相对于主体10而以沿着主体10的下表面的方式设置的平板状的固定板24的左端部。转向马达23l通过使固定有驱动马达21l的托架22l在与移动面b1平行的平面内旋转，从而使左驱动轮2l的朝向发生变化。也就是说，左驱动轮单元20l以及支承于左驱动轮单元20l的左驱动轮2l经由固定板24等而固定于主体10。在此，左驱动轮单元20l接受来自控制部11的控制命令，从而转向马达23l使左驱动轮2l向控制命令指示出的朝向发生变化，且驱动马达21l使左驱动轮2l以控制命令指示出的旋转转矩或旋转速度旋转。
90.右驱动轮单元20r对右驱动轮2r的旋转和舵角进行控制。如图2以及图5所示，右驱动轮单元20r具备使右驱动轮2r在圆周方向上旋转的驱动马达21r、以及使右驱动轮2r的朝向(滚动方向)发生变化的转向马达23r。转向马达23r安装于固定板24的右端部。转向马达23r通过使固定有驱动马达21r的托架22r在与移动面b1平行的平面内旋转，从而使右驱动轮2r的朝向发生变化。也就是说，右驱动轮单元20r以及支承于右驱动轮单元20r的右驱动轮2r经由固定板24等而固定于主体10。在此，右驱动轮单元20r接受来自控制部11的控制命令，从而转向马达23r使右驱动轮2r向控制命令指示出的朝向发生变化，且驱动马达21r使右驱动轮2r以控制命令指示出的旋转转矩或旋转速度旋转。
91.另外，在本实施方式中，控制部11对右驱动轮单元20r进行控制而单独地驱动右驱动轮2r，对左驱动轮单元20l进行控制而单独地驱动左驱动轮2l。即，由于能够分别单独地驱动一对驱动轮2(右驱动轮2r以及左驱动轮2l)，因此通过使一对驱动轮2以控制命令指示出的旋转转矩或旋转速度旋转，并使一对驱动轮2朝向控制命令指示出的方向，而能够使搬运装置x1向所希望的方向移动。需要说明的是，在本实施方式中，一对驱动轮2分别兼作转
向轮，与相对于驱动轮2另外设置转向轮的情况相比，能够减少搬运装置x1所具备的车轮的数量。
92.另外，相对于固定于主体10的支承体4，设置有两个辅助轮3。两个辅助轮3是追随搬运装置x1的移动方向而改变朝向的从动轮。两个辅助轮3包括车轴3a(参照图5)的朝向可变的自由车轮。也就是说，两个辅助轮3例如分别是将车轮支承为能够旋转的车轴3a能够在与移动面b1平行的平面内沿360度的整个轴向移动的自由车轮(所谓的自由脚轮)。需要说明的是，用作辅助轮3的自由车轮并不限定于车轴3a的朝向可变的自由车轮，也可以是成为车轮的球体能够向任意方向旋转的球式脚轮。
93.在本实施方式中，搬运装置x1具备两个驱动轮2，但驱动轮2的数量也可以是一个，也可以是三个以上。另外，在本实施方式中，搬运装置x1具备两个辅助轮3，但辅助轮3的数量并不限定于两个，也可以是一个，也可以是三个以上。也就是说，搬运装置x1只要利用包括驱动轮2以及辅助轮3在内的三个以上的车轮与移动面b1接触即可，驱动轮2以及辅助轮3的数量能够适当变更。
94.接下来，对用于保持搬运对象a1的被把持部71的把持部40以及驱动把持部40的驱动部50进行说明。在主体10的后表面，以相对于主体10而能够移动的状态设置有分别保持搬运对象a1所具有的两个被把持部71的两个把持部40。在主体10设置有用于使两个把持部40分别移动的两个驱动部50。如图6所示，两个驱动部50分别具备沿着第二方向dr1配置的进给丝杠51、使进给丝杠51旋转的伺服马达那样的马达52、以及将马达52的旋转传递至进给丝杠51的减速器53。两个驱动部50收容在设置于主体10的壳体55的内部。在进给丝杠51保持有与进给丝杠51的旋转相对应地沿着进给丝杠51的轴向移动的滑块54。进给丝杠51例如是滑动丝杠(梯形丝杠)，但也可以是滚珠丝杠等。滑块54以能够移动的状态支承于与进给丝杠51平行地配置的两根引导棒，并在进给丝杠51旋转时，沿着进给丝杠51的轴向滑动移动。在此，滑块54与进给丝杠51的旋转方向相对应地向右侧或左侧移动。把持部40设置于滑块54，把持部40与进给丝杠51的旋转相对应地与滑块54一起沿着进给丝杠51的轴向(与第二方向dr1平行的方向)移动。
95.如图1、图3以及图4所示，把持部40具备从滑块54向斜后方突出的一对臂41、以及保持在一对臂41的前端间的辊部42。把持部40通过设置于壳体55的开口部而向壳体55的外部突出。
96.需要说明的是，在以下的说明中，在对两个把持部40进行区别的情况下，将设置于主体10的右侧的把持部40记为第一把持部40r，将设置于主体10的左侧的把持部40记为第二把持部40l。另外，在对两个驱动部50进行区别的情况下，将驱动第一把持部40r的驱动部50记为第一驱动部50r，将驱动第二把持部40l的驱动部50记为第二驱动部50l。
97.本实施方式的控制部11对两个驱动部50(第一驱动部50r以及第二驱动部50l)进行控制，使两个把持部40(第一把持部40r以及第二把持部40l)沿着第二方向dr1移动。即，第一驱动部50r以及第二驱动部50l基于来自控制部11的控制指令，使分别对应的第一把持部40r以及第二把持部40l沿着第二方向dr1移动。
98.需要说明的是，在上述的接近工序中，控制部11对两个驱动部50进行控制，以使两个把持部40的间隔变得比两个被把持部71的间隔窄的方式使两个把持部40移动，并对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1接近搬运对象a1。并且，在保持工序中，控制部11对两个
驱动部50进行控制，使两个把持部40向彼此的间隔扩宽的朝向移动，从而使两个把持部40分别与对应的两个被把持部71接触。也就是说，在保持工序中，多个把持部40中的至少两个把持部40(第一把持部40r以及第二把持部40l)在第二方向dr1上向彼此相反的朝向移动。具体而言，两个把持部40在第二方向dr1上向彼此相反的朝向(在本实施方式中为外方)移动，在保持工序中，位于多个被把持部71之间的多个把持部40以彼此的间隔扩宽的方式移动，从而与多个被把持部71中的对应的被把持部71接触。由此，两个把持部40分别朝向外方按压对应的被把持部71，从而搬运装置x1能够保持搬运对象a1。
99.另外，在本实施方式中，两个驱动部50分别使对应的把持部40沿着第二方向dr1呈直线状移动。由此，在保持工序中，多个把持部40分别沿着第二方向dr1呈直线状移动，从而多个把持部40分别与多个被把持部71中的对应的被把持部71接触。像这样，当多个把持部40沿着第二方向dr1呈直线状移动，而各把持部40的辊部42与钩挂部73接触时，辊部42朝向外方按压钩挂部73，从而搬运对象a1向接近搬运装置x1的朝向移动。并且，当辊部42与被把持部71的凹部74嵌合时，把持部40无法进一步朝向外方移动，在把持部40把持有被把持部71的状态下，搬运装置x1保持搬运对象a1。像这样，在把持状态下，搬运装置x1所具备的多个把持部40和搬运对象a1所具备的多个被把持部71分别沿沿着移动面b1的第二方向dr1排列。在本实施方式中，把持部40以及被把持部71的数量分别为两个，在把持状态下，两个把持部40和两个被把持部71分别沿沿着移动面b1的第二方向dr1排列。并且，两个把持部40以两个把持部40的间隔发生变化的方式移动，从而能够沿着移动面b1在第一位置(参照图1)与第二位置(参照图3)之间移动。第一位置是两个把持部40分别离开两个被把持部71的位置。第二位置是两个把持部40分别保持两个被把持部71的位置。
100.在此，当辊部42与设置于板状构件79的倾斜部86或87相抵时，辊部42沿着倾斜部86或87移动而被向凹部74引导，从而把持部40在辊部42与凹部74嵌合的状态下保持被把持部71。例如，在开始保持工序前的搬运装置x1的位置(图23的位置)从保持有搬运对象a1的把持状态下的位置(图24的位置)向x方向以及y方向分别位移，并且绕第一方向dr11(绕z轴)旋转的情况下，在辊部42把持被把持部71的过程中，搬运装置x1的位置与搬运对象a1的位置相应地发生相对变化。如图23所示，在第一把持部40r的辊部42与右侧的被把持部71的倾斜部86相抵，而第二把持部40l的辊部42与左侧的被把持部71的倾斜部87相抵的状态下，当第一把持部40r以及第二把持部40l的辊部42向彼此分离的朝向移动时，第一把持部40r以及第二把持部40l的辊部42分别按压倾斜部86、87，受到来自搬运对象a1的反作用力，从而搬运装置x1在x轴方向以及y轴方向上位移，并且绕z轴旋转。由此，即使在开始保持工序前的状态下，搬运装置x1存在于相对于搬运对象a1而在x轴方向以及y轴方向上分别错开并绕z轴旋转了的位置的情况下，由于在把持部40保持被把持部71的过程中，搬运装置x1的位置以及姿态相对于搬运对象a1相对地发生变化，因此搬运装置x1能够保持搬运对象a1。
101.在此，通过在把持状态下，第一把持部40r以及第二把持部40l的辊部42分别与对应的被把持部71的凹部74嵌合，并朝向外方按压对应的被把持部71，从而搬运装置x1相对于搬运对象a1的位置在x轴方向上受到约束，并且，搬运装置x1相对于搬运对象a1的绕z轴的旋转也受到约束。另外，通过第一把持部40r以及第二把持部40l的辊部42分别与对应的被把持部71的凹部74嵌合，从而搬运装置x1相对于搬运对象a1的位置在y轴方向上也受到约束。
102.需要说明的是，在把持部40保持被把持部71的状态下，搬运装置x1从后方按压搬运对象a1并进行移动的情况下，辊部42与从凹部74的开口缘连续的直线部85相抵，因此辊部42不易从凹部74脱离。因此，在搬运装置x1从后方按压搬运对象a1并进行搬运的情况下，不易脱离把持部40保持被把持部71的状态。
103.在把持部40保持被把持部71的把持状态下，通过位移允许部90分别允许第一方向dr11上的搬运装置x1相对于搬运对象a1的相对位移、以及绕第一旋转轴(旋转轴ax以及旋转轴ay)的搬运装置x1相对于搬运对象a1的相对旋转。
104.在此，位移允许部90在把持状态下，允许两个被把持部71相对于两个把持部40在第一方向dr11上的位移成为相同朝向的同相位的位移。通过由位移允许部90允许这样的同相位的位移，从而允许搬运装置x1相对于搬运对象a1在第一方向dr11上的位移。
105.另外，如图25所示，位移允许部90在把持状态下，允许两个被把持部71相对于两个把持部40在第一方向dr11上的位移成为彼此相反的朝向的逆相位的位移。通过由位移允许部90允许这样的逆相位的位移，从而允许绕着沿着y轴方向的第一旋转轴(通过左右的被把持部71的中间地点且与y轴平行的旋转轴ay)的搬运装置x1相对于搬运对象a1的相对旋转。
106.另外，把持部40所具有的辊部42由弹性系数比金属大的合成树脂(例如聚酰胺系树脂或聚四氟乙烯那样的氟系树脂等)形成，从而板状构件79容易相对于辊部42滑动。也就是说，在多个把持部40分别设置有辊部42以作为用于降低第一方向dr11上的摩擦系数的滑动构件，位移允许部90包括作为滑动构件的辊部42。由此，在第一方向dr11上，被把持部71容易相对于把持部40滑动，从而能够允许搬运对象a1相对于搬运装置x1的相对位移。需要说明的是，也可以在多个被把持部71分别设置滑动构件，从而能够允许搬运对象a1在第一方向dr11上相对于搬运装置x1的相对位移。即，优选的是，位移允许部90包括用于降低摩擦系数的滑动构件(例如辊部42)，滑动构件设置于多个把持部40各自与多个被把持部71各自中的至少一方。
107.另外，由于辊部42发生弹性变形，从而能够允许搬运装置x1相对于搬运对象a1的相对旋转。也就是说，在多个把持部40分别设置有辊部42以作为能够在沿着移动面b1的方向上进行弹性变形的弹性变形部。在此，由于辊部42发生弹性变形，从而搬运对象a1能够在第一方向dr11上相对于搬运装置x1进行相对位移。另外，由于辊部42发生弹性变形，从而搬运对象a1能够绕着第一旋转轴相对于搬运装置x1进行相对旋转。
108.需要说明的是，也可以在多个被把持部71分别设置有弹性变形部。例如，也可以将被把持部71所具有的板状构件79设为弹性变形部，而由于弹性变形部发生弹性变形，能够允许搬运装置x1相对于搬运对象a1的第一方向dr11上的位移以及绕着第一旋转轴的相对旋转。即，优选的是，位移允许部90包括能够在第二方向dr1上发生弹性变形的弹性变形部(例如辊部42)，弹性变形部设置于多个把持部40各自与多个被把持部71各自中的至少一方。
109.在此，如图26所示，优选在板状构件79形成有曲面部分74a，该曲面部分74a通过在凹部74的上侧以及下侧的缘部分别实施倒圆角加工而形成。通过在凹部74的上侧以及下侧的缘部分别形成曲面部分74a，在第一方向dr11上，与辊部42接触的接触部位的尺寸t1比板状构件79的厚度尺寸t2小。由此，在把持状态下，插入到凹部74的辊部42能够以与板状构件79接触的接触部位为支点而倾斜，在辊部42能够倾斜的范围内，搬运装置x1能够相对于搬
运对象a1相对地倾斜。另外，通过在凹部74的上侧以及下侧的缘部分别形成曲面部分74a，辊部42容易发生弹性变形，通过辊部42的弹性变形，搬运装置x1也能够相对于搬运对象a1相对地倾斜。在此，为了允许至0.01[rad]的倾斜以作为搬运装置x1相对于搬运对象a1的相对倾斜，接触部位的尺寸t1优选为10mm以下，接触部位的尺寸t1更优选为5mm以下。
[0110]
需要说明的是，为了在板状构件79中缩小与辊部42接触的接触部位的尺寸t1，可以通过在凹部74的上端侧的缘部以及下端侧的缘部分别实施倒角加工而形成锥部分74b(参照图27)，也可以使凹部74的内侧面形成为曲面形状(参照图28)。
[0111]
像这样，优选多个把持部40各自的与多个被把持部71中的对应的被把持部71接触的接触部位的第一方向dr11上的尺寸t1比第一方向dr11上的搬运对象a1相对于搬运装置x1的相对位移的允许尺寸小。通过使尺寸t1比第一方向dr11上的相对位移的允许尺寸小，把持部40容易相对于被把持部71相对地倾斜。
[0112]
另外，上述的辊部42是由一对臂41支承的圆柱状的构件，然而如图29所示，把持部40也可以具备插入支承于一对臂41的前端部的金属制的杆46的圆筒状的辊部42a。辊部42a为圆筒状，以在辊部42a的内周面与杆46之间形成有间隙的方式设定辊部42a以及杆46的尺寸。由此，如图30所示，在把持状态下，辊部42a的内周面与杆46发生线接触，因此与圆柱状的辊部42同被把持部71接触的情况相比，在第一方向dr11(上下方向)上，把持部40约束被把持部71的约束力较小。由此，具有能够使搬运装置x1在第一方向dr11上容易相对于搬运对象a1进行相对位移这样的优点。
[0113]
需要说明的是，在搬运装置x1离开搬运对象a1的情况下，控制部11对两个驱动部50进行控制，使两个把持部40向内侧移动，由此，解除把持部40保持被把持部71的状态。即，控制部11对两个驱动部50进行控制，使两个把持部40向内侧(彼此的间隔变窄的方向)移动，从而使两个把持部40向离开对应的被把持部71的位置移动。由此，能够解除把持部40把持有被把持部71的状态，从而解除搬运装置x1保持搬运对象a1的状态。当在该状态下，控制部11对驱动轮单元20进行控制而使主体10向与接近方向dr2相反的朝向移动时，搬运装置x1向离开搬运对象a1的方向移动，因此能够将搬运对象a1置于所希望的场所。
[0114]
接下来，对检测部14(参照图2)进行说明。检测部14对主体10的行为以及主体10的周边状况等进行检测。本发明中所说的“行为”是指动作以及情形等。也就是说，主体10的行为包括表示主体10行驶中/停止中的主体10的动作状态、主体10的移动距离以及行驶时间、主体10的速度(以及速度变化)、作用于主体10的加速度、以及主体10的姿态等。
[0115]
检测部14例如包括用于对存在于主体10的周围的物体进行检测的lidar(light detection and ranging)141、用于对设置于移动面b1的引导线进行检测的磁传感器142等传感器。
[0116]
lidar141检测主体10的周边有无物体，并在存在物体的情况下检测其位置，将检测结果向控制部11输出。控制部11能够基于lidar141检测到的物体的信息而避免与物体的碰撞。
[0117]
需要说明的是，用于对存在于主体10的周围的物体进行检测的检测部14并不限定于lidar141。作为这种传感器，也可以是利用声波、光以及电波中的至少一种来对物体进行检测的传感器。
[0118]
设置于移动面b1的引导线例如由包含永磁铁材料等硬磁性材料的橡胶等形成，且
在移动面b1的表面沿着搬运装置x1的行驶路径而形成为线状。
[0119]
磁传感器142利用磁来检测设置于移动面b1的引导线。控制部11基于磁传感器142的检测结果，对右驱动轮单元20r以及左驱动轮单元20l进行控制，从而使搬运装置x1以通过引导线之上的方式移动。
[0120]
需要说明的是，在移动面b1中，在搬运装置x1的整个行驶路径设置引导线不是必须的，也可以在行驶路径的主要部位设置由磁性材料形成的引导标记，从而搬运装置x1能够一边追踪引导标记一边移动。另外，设置于移动面b1的引导线或引导标记并不限定于利用磁来引导搬运装置x1，也可以将由设置于搬运装置x1的图像传感器检测的引导线或引导标记(例如二维条形码等)设置于移动面b1。另外，引导线或引导标记也可以由设置于搬运装置x1的接触式的传感器检测。
[0121]
另外，检测部14也可以基于由lidar141检测出的周边的物体的位置信息、以及规定区域的电子地图信息，来检测搬运装置x1在规定区域内的存在位置，并将存在位置的检测结果向控制部11输出。另外，检测部14也可以包括对从多个发送器以电波发送的信标信号进行接收的接收机，并基于从多个发送器发送的信标信号来检测当前位置，并将当前位置的检测结果向控制部11输出。在此，多个发送器配置于供搬运装置x1移动的规定区域内的多个部位。检测部14基于多个发送器的位置、以及接收机中的信标信号的接收电波强度，来测定搬运装置x1的当前位置。另外，检测部14也可以使用gps(global positioning system)等全球定位系统来检测搬运装置x1的当前位置。
[0122]
控制部11具有微型计算机，该微型计算机具有例如一个以上的处理器以及存储器。换言之，控制部11由具有一个以上的处理器以及存储器的计算机系统实现。控制部11例如基于来自上位系统100的搬运指示和检测部14的检测结果，向作为移动机构的各驱动轮单元20输出控制命令，从而使搬运装置x1向所希望的方向以所希望的速度移动。另外，控制部11对两个驱动部50进行控制，从而使对应的把持部40沿着第二方向dr1移动。由此，控制部11能够使两个把持部40在两个把持部40分别和对应的被把持部71接触的位置与两个把持部40分别离开对应的被把持部71的位置之间移动。
[0123]
电源12例如是二次电池。电源12向左驱动轮单元20l及右驱动轮单元20r、控制部11、通信部13以及检测部14等直接或者间接地供给电力。需要说明的是，搬运装置x1也可以被从外部供给电力，在该情况下，搬运装置x1也可以不具备电源12。
[0124]
通信部13构成为能够与上位系统100通信。在本实施方式中，通信部13利用以电波为介质的无线通信而与在供搬运装置x1移动的规定区域内设置的多个中继器r1中的任一个进行通信。因此，通信部13与上位系统100至少经由网络nt1以及中继器r1而间接地进行通信。
[0125]
各中继器r1是对通信部13与上位系统100之间的通信进行中继的设备(访问接入点)。中继器r1经由网络nt1而与上位系统100通信。在本实施方式中，作为一例，对于中继器r1与通信部13之间的通信，采用以wi-fi(注册商标)、bluetooth(注册商标)、zigbee(注册商标)、或者不需要许可的小功率无线(特定功率无线)等的规格为准的无线通信。另外，网络nt1不限于因特网，例如也可以应用供搬运装置x1移动的规定区域内或该规定区域的运营公司内的当地的通信网络。
[0126]
(2.3)部件安装系统
[0127]
如图7所示，本实施方式的搬运装置x1用于包括至少一个将部件安装于基板的部件安装机80的部件安装系统w1。在本实施方式中，以对基板进行规定的作业的制造系统是对基板安装部件的部件安装系统w1的情况为例进行说明。
[0128]
部件安装机80具有供给部件的馈送器台车81(参照图7)、以及包括将部件安装于基板的安装头的安装主体82。在此，安装主体82是对基板进行规定的作业(安装部件的作业)的制造装置。另外，馈送器台车81是对作为制造装置的安装主体82提供供给部件的功能以作为规定的功能的功能模块。也就是说，制造系统(例如部件安装系统w1)包括对基板进行规定的作业的制造装置(例如安装主体82)、以及对制造装置提供规定的功能的功能模块(例如馈送器台车91)。功能模块是被搬运装置x1搬运至制造装置的搬运对象a1。
[0129]
馈送器台车81用于对设置在工厂内的部件安装机80的安装主体82供给部件。这里所说的“部件安装机”是向例如基板等对象物安装部件的设备。安装主体82包括将部件安装于基板的安装头。在本实施方式中，搬运装置x1将作为搬运对象a1的馈送器台车81搬运至部件安装机80的安装主体82的设置场所。由此，能够构筑部件安装系统w1。换言之，部件安装系统w1是包括至少一个将部件安装于基板的部件安装机80的系统。并且，馈送器台车81被搬运装置x1搬运至安装主体82。在本实施方式中，搬运装置x1例如接受来自上位系统100的指示，使置于规定区域内的某一场所的馈送器台车81移动至与安装主体82连接的位置。当搬运装置x1使馈送器台车81移动到设置于安装主体82的侧面的凹所821内时，馈送器台车81的第二连接器与设置于安装主体82的第一连接器连接，从而安装主体82与馈送器台车81成为相互连接的状态。并且，在安装主体82与馈送器台车81相互连接的状态下，能够从馈送器台车81对安装主体82供给部件。
[0130]
在此，搬运装置x1优选能够连结于馈送器台车81中的与将部件向安装主体82排出的部位相反的一侧的部位。在该情况下，在将馈送器台车81搬运至部件安装机80的安装主体82的设置场所时，馈送器台车81中的排出部件的部位朝向安装主体82。因此，在将馈送器台车81搬运至部件安装机80的安装主体82的设置场所时，无需进行改变馈送器台车81的朝向的作业即可使上述的排出的部位朝向安装主体82。
[0131]
(3)动作
[0132]
以下，参照附图对本实施方式的搬运装置x1搬运作为搬运对象a1的馈送器台车81的动作的一例进行说明。
[0133]
(3.1)取出连接于安装主体的状态下的馈送器台车的情况下的第一把持动作
[0134]
基于图8～图9的e对将由于连接于安装主体82而无法在左右方向上移动的馈送器台车81(搬运对象a1)从安装主体82取出并搬运的情况下的搬运装置x1所进行的第一把持动作进行说明。
[0135]
搬运装置x1的控制部11例如在从上位系统100接受指示将连接于安装主体82的搬运对象a1搬运到另一场所的指令时，对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1向搬运对象a1所存在的场所移动。此时，搬运装置x1的控制部11对第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行控制，以第一把持部40r与第二把持部40l之间的距离(第一距离)成为最小的方式使第一把持部40r以及第二把持部40l移动。搬运装置x1所搬运的搬运对象a1存在多个种类，根据搬运对象a1的种类，两个被把持部71之间的距离(第二距离)也各种各样。第一把持部40r与第二把持部40l之间的第一距离的最小值被设定为比多个种类的搬运对象a1中的两个被
把持部71之间的第二距离成为最小的搬运对象a1的第二距离短。因此，在使第一把持部40r以及第二把持部40l移动到第一距离成为最小的位置的状态下，在第二方向dr1上，第一把持部40r以及第二把持部40l分别存在于与对应的被把持部71错开的位置(互不干涉的位置)，且存在于两个被把持部71之间。
[0136]
然后，搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1向设置有第一把持部40r以及第二把持部40l的搬运装置x1的一面与设置有被把持部71的搬运对象a1的一面对置的位置移动(参照图9的a)。然后，搬运装置x1的控制部11在使两个把持部40的位置在第二方向dr1上相对于搬运对象a1的两个被把持部71错开的状态下，使搬运装置x1沿着接近方向dr2接近搬运对象a1(st1：接近工序)。
[0137]
如图9的b所示，当搬运装置x1到达能够保持搬运对象a1的位置(在第二方向dr1上，第一把持部40r以及第二把持部40l进入两个被把持部71之间的位置)时，控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1停止。控制部11对驱动部50进行控制，使第一把持部40r以及第二把持部40l分别朝向外方移动，从而使第一把持部40r以及第二把持部40l分别朝向对应的被把持部71接近。具体而言，控制部11向第一驱动部50r输出转矩控制的指令值，从而使第一把持部40r向右侧的被把持部71移动(st2)。控制部11向第二驱动部50l输出转矩控制的指令值，从而使第二把持部40l向左侧的被把持部71移动(st3)。在控制部11向第一驱动部50r以及第二驱动部50l分别输出位置控制的指令值的情况下，与向第一驱动部50r以及第二驱动部50l输出转矩控制的指令值的情况相比，能够高速地使第一把持部40r以及第二把持部40l朝向各自的目标位置移动。但是，当第一把持部40r以及第二把持部40l在比目标位置靠近前的位置与被把持部71接触时，存在与被把持部71接触时的冲击变大的可能性。在本实施方式中，控制部11向驱动部50输出转矩控制的指令值而使把持部40移动，因此与输出位置控制的指令值的情况相比，能够使把持部40低速地移动，从而能够使第一把持部40r以及第二把持部40l相对于对应的被把持部71缓慢地接触。需要说明的是，控制部11赋予第一驱动部50r以及第二驱动部50l的转矩控制的指令值可以是相同的值，也可以是不同的值。
[0138]
当搬运装置x1到达能够搬运搬运对象a1的位置(图9的b所示的位置)的情况下，搬运装置x1的位置控制的精度较低，因此存在搬运装置x1的中心位置与搬运对象a1的中心位置在第二方向dr1上错开的可能性。在该情况下，存在第一把持部40r与对应的被把持部71接触的时机和第二把持部40l与对应的被把持部71接触的时机在时间上错开的可能性。在图9的b的例子中，在第二方向dr1上，搬运装置x1的中心位置相对于搬运对象a1的中心位置向右侧偏移，因此，第一把持部40r首先与对应的被把持部71接触，然后，第二把持部40l与对应的被把持部71接触。此时，在利用第一把持部40r和第二把持部40l来把持或搬运搬运对象a1所需的转矩不同的情况下，控制部11也可以将赋予第一驱动部50r以及第二驱动部50l的转矩控制的指令值设定为不同的值。另外，若无需为了维持保持搬运对象a1的状态而赋予第一把持部40r以及第二把持部40l转矩，则控制部11也可以停止向第一驱动部50r以及第二驱动部50l输出转矩控制的指令值，从而使第一把持部40r以及第二把持部40l在其位置停止。
[0139]
另外，在第一把持部40r以及第二把持部40l中的一方与对应的被把持部71接触了的情况下，控制部11能够基于搬运对象a1所具有的两个被把持部71的距离，求出第一把持
部40r以及第二把持部40l中的另一方与对应的被把持部71接触的接触位置。需要说明的是，在搬运装置x1的存储部中，按照搬运对象a1的种类而预先登记有搬运对象a1所具有的两个被把持部71的距离的数据。控制部11基于来自上位系统100的指令中所含的搬运对象a1的种类，从存储部取得该搬运对象a1所具有的两个被把持部71的距离。然后，控制部11向驱动部50输出使第一把持部40r以及第二把持部40l中的另一方向接触位置移动的位置控制的指令值，从而能够使第一把持部40r以及第二把持部40l中的另一方高速地移动。
[0140]
如图9的c所示，当第一把持部40r以及第二把持部40l这双方一起与被把持部71接触并停止时(st4：是)，控制部11例如基于由第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行驱动的驱动量，取得第一把持部40r以及第二把持部40l的位置。然后，控制部11通过检测第一把持部40r以及第二把持部40l的中间位置与主体10的中心位置在第二方向dr1上的偏移，对在搬运对象a1的中心位置与搬运装置x1的中心位置之间在第二方向dr1上是否存在位置偏移进行判断(st5)。
[0141]
在搬运对象a1的中心位置与搬运装置x1的中心位置之间在第二方向dr1上没有位置偏移的情况下(st5：否)，搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制而使搬运装置x1前进，从而将搬运对象a1从安装主体82取出。然后，搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制，使主体10向由上位系统100指令出的位置移动(st7：搬运工序)。
[0142]
另一方面，在搬运对象a1的中心位置与搬运装置x1的中心位置之间在第二方向dr1上存在位置偏移的情况下(st5：是)，搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制而使搬运装置x1前进，从而将搬运对象a1从安装主体82取出(参照图9的d)。当搬运对象a1被从安装主体82取出而成为能够沿着第二方向dr1移动的状态时，控制部11对驱动部50进行控制，执行对搬运对象a1的位置进行调整的位置调整工序(st6)。
[0143]
例如，控制部11向第一驱动部50r输出使在第二方向dr1上接近搬运装置x1的中心位置的一方(即，与偏向外侧的一侧相反的一侧)的第一把持部40r向均等保持位置移动的位置控制的指令值。在此，均等保持位置是指在主体10的左右方向(与第二方向dr1平行的方向)上，第一把持部40r以及第二把持部40l的中间位置与主体10的中心位置一致的状态下的第一把持部40r以及第二把持部40l各自的位置。另外，控制部11向第二驱动部50l输出使在第二方向dr1上远离搬运装置x1的中心位置的一方(即，偏向外侧的一侧)的第二把持部40l在保持与第一把持部40r的间隔的状态下移动的位置控制的指令值。由此，在保持第一把持部40r以及第二把持部40l分别与对应的被把持部71的状态的状态下，搬运对象a1与第一把持部40r以及第二把持部40l一起移动。并且，能够以使搬运对象a1的中心位置与搬运装置x1的中心位置在第二方向dr1上一致的方式对搬运对象a1的位置进行调整。
[0144]
如上所述，本实施方式的搬运方法包括位置调整工序。在位置调整工序中，在保持工序中多个把持部40分别与多个被把持部71中的对应的被把持部71接触的状态下，对搬运对象a1相对于搬运装置x1的相对位置进行调整。另外，在位置调整工序中，以使多个把持部40的中间位置与搬运装置x1的主体10的规定位置在第二方向dr1上一致的方式对搬运对象a1相对于搬运装置x1的相对位置进行调整。通过位置调整工序，能够在搬运装置x1的中心位置与搬运对象a1的规定位置在第二方向dr1上一致的状态下，使搬运装置x1保持搬运对象a1。在此，第二方向dr1上的搬运装置x1的主体10的规定位置例如是主体10的中心位置。在搬运装置x1的中心位置与多个把持部40的中间位置在第二方向dr1上一致的状态下，搬
运装置x1保持搬运对象a1，因此能够抑制搬运对象a1在搬运装置x1搬运搬运对象a1的情况下晃动的情况。需要说明的是，第二方向dr1上的搬运装置x1的主体10的规定位置并不限定于主体10的中心位置，也可以是从主体10的中心偏移的位置，搬运装置x1也可以在搬运装置x1的中心位置与多个把持部40的中间位置在第二方向dr1上错开的状态下保持搬运对象a1。
[0145]
在第一把持动作中，通过在位置调整工序中使搬运对象a1沿着第二方向移动，从而对搬运对象a1相对于搬运装置x1的相对位置进行调整。在进给丝杠51不是梯形丝杠那样的自锁丝杠的情况下，在位置调整工序中，控制部11也可以对驱动在第二方向dr1上偏向外侧的一侧的第二把持部40l的第二驱动部50l赋予转矩控制的指令值。能够在将第二把持部40l保持对应的被把持部71的转矩维持为规定值的状态下，对搬运装置x1的位置进行调整。
[0146]
需要说明的是，在位置调整工序中，也可以通过搬运装置x1沿着第二方向dr1移动，来调整搬运对象a1相对于搬运装置x1的相对位置。在搬运对象a1无法沿着第二方向dr1移动的情况下，通过搬运装置x1移动，能够消除搬运装置x1的中心位置与搬运对象a1的中心位置在第二方向dr1上的位置偏移。当位置调整工序结束时，搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1向由上位系统100指令出的位置移动，从而搬运搬运对象a1(st7：搬运工序)。
[0147]
需要说明的是，在位置调整工序中，控制部11也可以在向第一驱动部50r输出转矩控制的指令值的状态下，向第二驱动部50l输出用于使第二把持部40l向均等保持位置移动的位置控制的指令值。由此，能够在第一把持部40r以及第二把持部40l以规定的把持力保持对应的被把持部71的状态下，以使搬运装置x1的中心位置与搬运对象a1的中心位置在第二方向dr1上一致的方式对搬运对象a1的位置进行调整。
[0148]
(3.2)取出连接于安装主体的状态下的馈送器台车的情况下的第二把持动作
[0149]
基于图10的a～图10的e对将由于连接于安装主体82而无法在左右方向上移动的馈送器台车81(搬运对象a1)从安装主体82取出并搬运的情况下的搬运装置x1所进行的第二把持动作进行说明。
[0150]
搬运装置x1的控制部11例如在从上位系统100接受指示将连接于安装主体82的搬运对象a1搬运到另一场所的指令时，对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1向搬运对象a1所存在的场所移动。此时，与第一把持动作同样地，搬运装置x1的控制部11对第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行控制，以第一把持部40r与第二把持部40l之间的距离(第一距离)成为最小的方式使第一把持部40r以及第二把持部40l移动。
[0151]
然后，搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1向设置有第一把持部40r以及第二把持部40l的搬运装置x1的一面与设置有被把持部71的搬运对象a1的一面对置的位置移动(参照图10的a)。然后，搬运装置x1的控制部11在使两个把持部40的位置在第二方向dr1上相对于搬运对象a1的两个被把持部71错开的状态下，使搬运装置x1沿着接近方向dr2接近搬运对象a1。
[0152]
如图10的b所示，当搬运装置x1到达能够保持搬运对象a1的位置(在第二方向dr1上，两个把持部40进入两个被把持部71之间的位置)时，控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1停止。控制部11对驱动轮单元20进行控制，使两个驱动轮2向两个驱动轮2的车轴向与第二方向dr1正交的朝向旋转。另外，控制部11对驱动轮单元20进行控制，停止
转矩向两个驱动轮2的赋予。需要说明的是，控制部11也可以对驱动轮单元20进行控制，而进行产生于两个驱动轮2中的一方或双方的转矩为零那样的无载荷转矩控制。
[0153]
在该状态下，控制部11对第一驱动部550r以及第二驱动部50l进行控制，使第一把持部40r以及第二把持部40l分别朝向外方移动，从而使第一把持部40r以及第二把持部40l分别朝向对应的被把持部71接近(保持工序)。具体而言，控制部11向第一驱动部50r以及第二驱动部50l输出使第一把持部40r以及第二把持部40l分别向均等保持位置移动这样的位置控制的指令值，从而使第一把持部40r以及第二把持部40l分别向均等保持位置移动。此时，当第一把持部40r以及第二把持部40l中的一方与对应的被把持部71接触时，受到来自被把持部71的反作用力，搬运装置x1沿着第二方向dr1移动。并且，当第一把持部40r以及第二把持部40l分别向均等保持位置移动时(图10的c)，在搬运装置x1的中心位置与搬运对象a1的中心位置在第二方向dr1上一致的状态下，搬运对象a1被搬运装置x1保持。像这样，在搬运装置x1的中心位置与搬运对象a1的中心位置在第二方向dr1上一致的状态下使搬运装置x1保持搬运对象a1，因此能够抑制搬运对象a1在搬运装置x1搬运搬运对象a1的情况下晃动的情况。
[0154]
需要说明的是，也可以是，在保持工序中第一把持部40r以及第二把持部40l与对应的被把持部71接触的状态下，控制部11向第一驱动部50r以及第二驱动部50l中的一方输出位置控制的指令值，并向第一驱动部50r以及第二驱动部50l中的另一方输出转矩控制的指令值，从而使第一把持部40r以及第二把持部40l分别向均等保持位置移动。当第一把持部40r以及第二把持部40l中的一方向均等保持位置移动时，第一把持部40r以及第二把持部40l中的另一方能够一边将转矩维持为规定值一边进行追随，从而向均等保持位置移动。
[0155]
当保持工序结束时，控制部11对驱动轮单元20进行控制，使两个驱动轮2向两个驱动轮2的车轴与第二方向dr1平行的朝向旋转(参照图10的d)。
[0156]
搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制而使搬运装置x1前进，从而将搬运对象a1从安装主体82取出(参照图10的e)。然后，搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1向由上位系统100指令出的位置移动，从而搬运搬运对象a1。
[0157]
(3.3)保持并移动能够向任意的方向移动的状态下的馈送器台车的情况下的第三把持动作
[0158]
馈送器台车81(搬运对象a1)被置于移动面b1上，且能够向沿着移动面b1的任意的方向移动。基于图11的a～图11的d对保持并搬运这样的馈送器台车81的情况下的搬运装置x1所进行的第三把持动作进行说明。
[0159]
搬运装置x1的控制部11例如在从上位系统100接受指示将搬运对象a1搬运到另一场所的指令时，对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1向搬运对象a1所存在的场所移动。此时，搬运装置x1的控制部11对驱动部50进行控制，使两个把持部40向两个把持部40的间隔比两个被把持部71的间隔窄的位置移动。然后，搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1向设置有把持部40的搬运装置x1的一面与设置有被把持部71的搬运对象a1的一面对置的位置移动(参照图11的a)。然后，搬运装置x1的控制部11在使两个把持部40的位置在第二方向dr1上相对于搬运对象a1的两个被把持部71错开的状态下，使搬运装置x1沿着接近方向dr2接近搬运对象a1。
[0160]
如图11的b所示，当搬运装置x1到达能够保持搬运对象a1的位置(在第二方向dr1
上，两个把持部40进入两个被把持部71之间的位置)时，控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1停止。
[0161]
在该状态下，控制部11对第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行控制，使第一把持部40r以及第二把持部40l分别朝向外方移动，从而使第一把持部40r以及第二把持部40l分别朝向对应的被把持部71接近(保持工序)。具体而言，控制部11向第一驱动部50r输出转矩控制的指令值，从而使第一把持部40r向右侧的被把持部71移动。控制部11向第二驱动部50l输出转矩控制的指令值，从而使第二把持部40l向左侧的被把持部71移动。需要说明的是，控制部11赋予第一驱动部50r以及第二驱动部50l的转矩控制的指令值可以是相同的值，也可以是不同的值。其中，控制部11赋予第一驱动部50r以及第二驱动部50l的转矩控制的指令值是比使得搬运对象a1必要程度以上地移动、或搬运对象a1的朝向发生改变那样的转矩值小的值。搬运对象a1必要程度以上地移动是指如下状态：例如，施加对改变搬运对象a1所具有的自由车轮(车轮a11)的朝向而言足够的力，从而搬运对象a1离开把持部40而移动。
[0162]
当第一把持部40r以及第二把持部40l像这样移动时，第一把持部40r以及第二把持部40l以伴随着时间差的方式分别与对应的被把持部71接触。此时，在利用第一把持部40r和第二把持部40l来把持或移动搬运对象a1所需的转矩不同的情况下，控制部11也可以将赋予第一驱动部50r以及第二驱动部50l的转矩控制的指令值设定为不同的值。另外，若无需为了维持保持搬运对象a1的状态而赋予第一把持部40r以及第二把持部40l转矩，则控制部11也可以停止向第一驱动部50r以及第二驱动部50l输出转矩控制的指令值，从而使第一把持部40r以及第二把持部40l在其位置停止。另外，在第一把持部40r以及第二把持部40l中的一方与对应的被把持部71接触了的情况下，控制部11能够基于搬运对象a1所具有的两个被把持部71的间隔，求出第一把持部40r以及第二把持部40l中的另一方与对应的被把持部71接触的接触位置。然后，控制部11向驱动部50输出使第一把持部40r以及第二把持部40l中的另一方向接触位置移动的位置控制的指令值，从而能够使第一把持部40r以及第二把持部40l中的另一方高速地移动。
[0163]
在此，当第一把持部40r以及第二把持部40l这双方一起与被把持部71接触时，控制部11例如基于由第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行驱动的驱动量，取得第一把持部40r以及第二把持部40l的位置。然后，控制部11通过检测第一把持部40r以及第二把持部40l的中间位置与主体10的中心位置在第二方向dr1上的偏移，对在搬运对象a1的中心位置与搬运装置x1的中心位置之间在第二方向dr1上是否存在位置偏移进行判断。
[0164]
在搬运对象a1的中心位置与搬运装置x1的中心位置之间在第二方向dr1上存在位置偏移的情况下，搬运装置x1的控制部11对驱动部50进行控制，执行对搬运对象a1的位置进行调整的位置调整工序。需要说明的是，位置调整工序的动作与上述的第一把持动作中的位置调整工序相同，因此省略其说明。
[0165]
当位置调整工序结束时，搬运装置x1的控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1向由上位系统100指令出的位置移动，从而搬运搬运对象a1。
[0166]
(4)变形例
[0167]
以下，列举上述的实施方式的变形例。以下说明的变形例可以适当组合来应用。
[0168]
本发明中的搬运装置x1包括计算机系统。计算机系统以作为硬件的处理器及存储
器为主要结构。通过由处理器执行记录于计算机系统的存储器中的程序，从而实现作为本发明中的搬运装置x1的功能。程序可以预先记录在计算机系统的存储器中，也可以通过电通信线路来提供，也可以通过记录在能够由计算机系统读取的存储卡、光盘、硬盘驱动器等非暂时性记录介质中而提供。计算机系统的处理器由包括半导体集成电路(ic)或大规模集成电路(lsi)的一个或多个电路构成。这里所说的ic或lsi等集成电路根据集成的程度而称呼方式不同，包括被称为系统lsi、vlsi(very large scale integration)或ulsi(ultra large scale integration)的集成电路。并且，对于在lsi的制造后编程的fpga(field-programmable gate array)、或者能够进行lsi内部的接合关系的重构或lsi内部的电路区划的重构的逻辑器件，也能够采用为处理器。多个电路可以集中于一个芯片，也可以分散设置于多个芯片。多个芯片可以集中于一个装置，也可以分散设置于多个装置。这里所说的计算机系统包括具有一个以上的处理器以及一个以上的存储器的微型控制器。因此，微型控制器也可以由包括半导体集成电路或大规模集成电路的一个或多个电路构成。
[0169]
(4.1)变形例1
[0170]
如图12所示，变形例1的搬运装置x1在位于两个被把持部71a的外侧的两个把持部40在第二方向dr1上分别向接近对应的被把持部71a的朝向移动这一点上与上述的实施方式不同。需要说明的是，在变形例1的搬运装置x1中，对与上述实施方式的搬运装置x1共通的构成要素标注相同的附图标记，并省略其说明。
[0171]
在搬运对象a1的主体70的前表面设置有两个被把持部71a。两个被把持部71a在第二方向dr1(主体70的左右方向)上排列。两个被把持部71a分别具有从主体70向前方突出的基部72、以及从基部72的前端向斜前方突出的钩挂部73。两个被把持部71a所具有的两个钩挂部73以两个钩挂部73的间隔越趋向前侧越宽的方式设置。另外，在两个被把持部71a，分别以跨越基部72和钩挂部73的方式设置有供把持部40所具有的辊部42嵌合的凹部74。
[0172]
另一方面，在搬运装置x1的主体10的后表面，从外侧与两个被把持部71a接触的两个把持部40以相对于主体10能够移动的状态设置。两个把持部40包括设置于主体10的右侧的第一把持部40r、以及设置于主体10的左侧的第二把持部40l。第一把持部40r位于比设置于搬运对象a1的右侧的被把持部71a更靠右侧的位置，第二把持部40l位于比设置于搬运对象a1的左侧的被把持部71a更靠左侧的位置。另外，在搬运装置x1的主体10设置有驱动第一把持部40r的第一驱动部50r、以及驱动第二把持部40l的第二驱动部50l。第一驱动部50r以及第二驱动部50l收容在设置于主体10的壳体55的内部。
[0173]
在接近工序中，控制部11对第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行控制，以第一把持部40r与第二把持部40l之间的距离(第一距离)成为最大的方式使第一把持部40r以及第二把持部40l移动。搬运装置x1所搬运的搬运对象a1存在多个种类，根据搬运对象a1的种类，两个被把持部71a之间的距离(第二距离)也各种各样。第一把持部40r与第二把持部40l之间的第一距离的最大值被设定为比多个种类的搬运对象a1中的两个被把持部71a之间的第二距离成为最大的搬运对象a1的第二距离长。因此，在使第一把持部40r以及第二把持部40l移动到第一距离成为最大的位置的状态下，在第二方向dr1上，第一把持部40r以及第二把持部40l分别存在于与对应的被把持部71a错开的位置。
[0174]
控制部11在使第一把持部40r以及第二把持部40l移动到第一距离成为最大的位置的状态下，对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1接近搬运对象a1到搬运装置x1能够
保持搬运对象a1的位置。然后，控制部11对第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行控制，使第一把持部40r以及第二把持部40l向彼此的间隔变窄的朝向移动，从而使第一把持部40r以及第二把持部40l分别与对应的被把持部71a接触。当第一把持部40r以及第二把持部40l分别与对应的被把持部71a接触时，两个被把持部71a被第一把持部40r以及第二把持部40l从第二方向dr1的外侧夹持，从而搬运对象a1被搬运装置x1保持。然后，在搬运工序中，在搬运装置x1保持搬运对象a1的状态下，控制部11对驱动轮单元20进行控制，由此使搬运装置x1搬运搬运对象a1。
[0175]
需要说明的是，在解除搬运装置x1保持搬运对象a1的状态的情况下，控制部11对第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行控制，使第一把持部40r以及第二把持部40l向彼此的间隔扩宽的朝向移动。由此，第一把持部40r以及第二把持部40l分别离开对应的被把持部71a，因此搬运装置x1保持搬运对象a1的状态被解除。
[0176]
(4.2)变形例2
[0177]
如图13所示，变形例2的搬运装置x1在通过多个把持部40分别以第二旋转轴a3为中心旋转而多个把持部40分别与多个被把持部71中的对应的被把持部71接触这一点上不同。需要说明的是，在变形例2的搬运装置x1中，对与上述实施方式的搬运装置x1共通的构成要素标注相同的附图标记，并省略其说明。
[0178]
在变形例2中，在搬运装置x1的主体10的后表面设置有与搬运对象a1所具有的两个被把持部71分别对应的两个把持部40。两个把持部40在第二方向dr1上配置在两个被把持部71之间。在此，两个把持部40包括设置于主体10的右侧的第一把持部40r、以及设置于主体10的左侧的第二把持部40l。
[0179]
两个把持部40分别具备从主体10的后表面向后方突出的臂41、以及保持于臂41的辊部42。臂41以能够以第二旋转轴a3为中心旋转的方式设置。分别驱动第一把持部40r以及第二把持部40l的第一驱动部50r以及第二驱动部50l具备使臂41旋转的旋转驱动部56。旋转驱动部56例如包括伺服马达，基于来自控制部11的控制指令，而使臂41向控制指令指示出的位置旋转。
[0180]
在接近工序中，控制部11对第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行控制，使臂41向第一把持部40r以及第二把持部40l的臂41向与主体10的后表面正交的朝向突出的位置(在图13中以实线示出的位置)旋转。此时，第一把持部40r所具有的臂41与第二把持部40l所具有的臂41的前端间的距离比搬运对象a1所具有的两个被把持部71之间的距离短。在该状态下，控制部11对驱动轮单元20进行控制，使搬运装置x1接近搬运对象a1到能够保持搬运对象a1的位置。
[0181]
在之后的保持工序中，控制部11对第一驱动部50r进行控制而使第一把持部40r的臂41在从上侧观察时逆时针旋转，并对第二驱动部50l进行控制而使第二把持部40l的臂41在从上侧观察时顺时针旋转。由此，第一把持部40r的臂41与第二把持部40l的臂41向彼此相反的朝向旋转，在设置于臂41的前端的辊部42嵌入被把持部71的凹部74的状态(图13中以双点划线示出的状态)下，臂41停止。像这样，第一把持部40r以及第二把持部40l分别与对应的被把持部71接触，从而搬运对象a1被搬运装置x1保持。
[0182]
需要说明的是，在解除搬运装置x1保持搬运对象a1的状态的情况下，控制部11对第一驱动部50r以及第二驱动部50l进行控制，使第一把持部40r以及第二把持部40l的臂41
向相反的朝向旋转。即，控制部11对第一驱动部50r进行控制而使第一把持部40r的臂41在从上侧观察时顺时针旋转，并对第二驱动部50l进行控制而使第二把持部40l的臂41在从上侧观察时逆时针旋转。由此，臂41向第一把持部40r的臂41与第二把持部40l的臂41的前端间的距离扩宽的朝向旋转，因此第一把持部40r以及第二把持部40l分别离开对应的被把持部71，从而搬运装置x1保持搬运对象a1的状态被解除。
[0183]
(4.3)变形例3
[0184]
参照图14～图17对上述实施方式的变形例3的搬运装置x1进行说明。变形例3的搬运装置x1在具有与上述的实施方式不同的形状的把持部40这一点上与上述的实施方式不同。需要说明的是，在变形例3的搬运装置x1中，对与上述实施方式的搬运装置x1共通的构成要素标注相同的附图标记，并省略其说明。
[0185]
(4.3.1)变形例3的搬运装置x1所具有的把持部40的第一方案
[0186]
基于图14对变形例3的搬运装置x1所具有的第一把持部40r以及第二把持部40l的第一方案进行说明。第一方案的第一把持部40r以及第二把持部40l分别具有从主体10朝向后方突出的棒状的臂43。第一把持部40r以及第二把持部40l分别借助驱动部50而沿着第二方向dr1呈直线状地移动。
[0187]
另一方面，在搬运对象a1的主体70的前表面设置有被第一把持部40r以及第二把持部40l分别把持的两个被把持部78。在主体70的前表面固定有与前后方向上的尺寸相比而左右方向(第二方向dr1)上的尺寸较长的基部78a。两个被把持部78从基部78a的左右方向上的两端部朝向前方突出。像这样，两个被把持部78一体地设置于一个基部78a的左右两端部，因此不需要用于将两个被把持部78分别固定于主体70的结构，将一个基部78a相对于主体70固定即可。
[0188]
第一方案的第一把持部40r以及第二把持部40l在保持工序中被驱动部50向彼此的间隔扩宽的方向驱动，从而臂43的前端部与对应的被把持部78面接触。在此，搬运对象a1借助在臂43的前端部与被把持部78之间产生的摩擦力而保持于搬运装置x1。
[0189]
需要说明的是，在解除搬运装置x1保持搬运对象a1的状态的情况下，第一把持部40r以及第二把持部40l被驱动部50向彼此的间隔变窄的方向驱动。由此，第一把持部40r以及第二把持部40l各自的臂43离开对应的被把持部78，搬运装置x1保持搬运对象a1的状态被解除。
[0190]
(4.3.2)变形例3的搬运装置x1所具有的把持部40的第二方案
[0191]
基于图15对变形例3的搬运装置x1所具有的第一把持部40r以及第二把持部40l的第二方案进行说明。第二方案的第一把持部40r以及第二把持部40l分别具备从主体10朝向后方突出的棒状的臂43、以及从臂43的后端部朝向对应的被把持部71突出的棒状的突出部44。第一把持部40r以及第二把持部40l分别借助驱动部50而沿着第二方向dr1呈直线状地移动。
[0192]
另一方面，在搬运对象a1的主体70的前表面设置有被第一把持部40r以及第二把持部40l分别把持的两个被把持部71。两个被把持部71在第二方向dr1(左右方向)上排列。两个被把持部71形成为从主体70的前表面向前方突出的棒状。在两个被把持部71分别具备供对应的把持部(第一把持部40r以及第二把持部40l)的突出部44插入的凹部75。
[0193]
第二方案的第一把持部40r以及第二把持部40l在保持工序中被驱动部50向彼此
的间隔扩宽的方向驱动，从而设置于臂43的前端部的突出部44插入对应的被把持部71的凹部75内。通过第一把持部40r以及第二把持部40l的突出部44分别插入对应的被把持部71的凹部75内，从而搬运对象a1在第二方向dr1上相对于搬运装置x1被保持。另外，通过突出部44在与第二方向dr1交叉的方向(前后方向)上与凹部75的侧面接触，从而搬运对象a1相对于搬运装置x1被保持。
[0194]
需要说明的是，在解除搬运装置x1保持搬运对象a1的状态的情况下，第一把持部40r以及第二把持部40l被驱动部50向彼此的间隔变窄的方向驱动。由此，第一把持部40r以及第二把持部40l的突出部44伸出到凹部75外，搬运装置x1保持搬运对象a1的状态被解除。
[0195]
在此，具有如下优点：如图16所示，在与第二方向dr1交叉的方向(前后方向)上，凹部75的宽度可以比突出部44的宽度宽，在保持工序中，使突出部44与凹部75的位置一致的精度可以较低。
[0196]
另外，在图15所示的第二方案中，在臂43的前端部设置有矩形的突出部44，但突出部44的形状能够适当变更。例如，如图17所示，也可以在臂43的前端部设置俯视观察下的形状为三角形状的突出部45，在被把持部71设置呈三角形状凹陷的凹部77。
[0197]
(4.4)变形例4
[0198]
基于图31～图37对变形例4的把持结构h1进行说明。在变形例4的把持结构h1中，多个被把持部71包括在沿着移动面b1的第二方向dr1上排列的两个被把持部71，多个把持部40包括与两个被把持部71分别对应的两个把持部40。两个把持部40通过以两个把持部40的间隔发生变化的方式移动，从而能够在第一位置(参照图31)与第二位置(参照图32)之间沿着移动面b1移动。第一位置是两个把持部40分别离开两个被把持部71的位置，第二位置是两个把持部40分别保持两个被把持部71的位置。并且，在变形例4的把持结构h1中，在即使在把持状态下两个被把持部71也分别能够相对于两个把持部40中的对应的把持部40而向与对应的把持部40所接触的方向相反的方向移动这一点上与上述实施方式以及变形例1～3不同。换言之，在上述实施方式以及变形例1～3的把持结构h1中，在把持状态下，在同与被把持部71对应的把持部40接触的方向以及其相反方向上分别对被把持部71的移动进行限制。与此相对地，在变形例4的把持结构h1中，仅在同与被把持部71对应的把持部40接触的方向上对被把持部71的移动进行限制，在这一点上与上述实施方式以及变形例1～3不同。需要说明的是，对与上述实施方式以及变形例1～3共通的构成要素标注相同的附图标记，并省略其说明。
[0199]
在变形例4的把持结构h1中，把持部40的臂41以能够以轴47为中心旋转的状态安装于滑块54。在未对臂41施加外力的状态下，受到橡胶或弹簧等弹性构件的力，臂41在基准位置(参照图31以及图32)停止。另一方面，当在把持状态下对搬运装置x1或搬运对象a1施加外力从而从被把持部71向辊部42施加按压力时，臂41向辊部42离开被把持部71的朝向旋转。像这样，通过在从被把持部71向辊部42施加按压力的情况下使臂41能够旋转，在把持状态下，两个被把持部71分别仅被限制与两个把持部40中的对应的把持部40接触的方向上的移动，而能够进行向相反侧的移动。
[0200]
例如如图33所示，当产生朝向左方按压搬运对象a1的外力f1时，经由被把持部71而对右侧的第一把持部40r的臂41施加有朝向左方的外力f1。此时，第一把持部40r的臂41绕图33中的顺时针旋转，从而搬运对象a1向左侧移动，但左侧的第二把持部40l的辊部42与
直线部85接触，因此不易脱离把持部40与被把持部71的把持状态。像这样，在对搬运对象a1或搬运装置x1施加了外力的情况下，以臂41能够旋转的方式构成把持部40，从而能够降低施加于臂41的力，臂41不易破损。另外，即使在由于受到外力f1而搬运对象a1相对于搬运装置x1进行了相对位移的情况下，由于把持部40的辊部42与被把持部71的直线部85接触，因此不易脱离把持部40与被把持部71的把持状态。
[0201]
另外，如图34所示，在产生了向后侧按压搬运对象a1的外力f2的情况下，经由被把持部71而对第一把持部40r以及第二把持部40l的臂41施加有外力f2。此时，第一把持部40r的臂41绕图34中的顺时针旋转，第二把持部40l的臂41绕图34中的逆时针旋转，从而搬运对象a1相对于搬运装置x1向后方移动，因此施加于臂41的力变小，臂41不易破损。另外，搬运对象a1由于第一把持部40r以及第二把持部40l的臂41的旋转而相对于搬运装置x1相对地向后方移动，但辊部42与直线部85接触，因此不易脱离把持部40与被把持部71的把持状态。
[0202]
在此，如图35所示，在臂41与滑块54之间安装有橡胶等弹性构件48，当对辊部42施加外力f2时，弹性构件48挠曲，从而臂41能够旋转。图35中的上方的图示出未施加有外力f2的状态，图35中的下方的图示出施加有外力f2的状态。当施加于辊部42的外力f2消失时，由于积蓄于弹性构件48的弹力，臂41复位到施加外力f2前的位置。在此，弹性构件48并不限定于橡胶，也可以是板簧或螺旋弹簧等。
[0203]
需要说明的是，使辊部42能够根据外力f2而位移的结构并不限定于图35的结构。例如，如图36所示，也可以是将固定有臂41的滑块54在前后方向上分割为两个构件(第一构件54a以及第二构件54b)，经由铰接件54c将第一构件54a与第二构件54b连结，并将橡胶等弹性构件58配置在第一构件54a与第二构件54b之间。图36中的上方的图示出未施加有外力f2的状态，图36中的下方的图示出施加有外力f2的状态。在对辊部42施加有外力f2的情况下，弹性构件58挠曲，因此第一构件54a相对于第二构件54b而以铰接件54c为中心旋转，从而辊部42能够位移。当施加于辊部42的外力f2消失时，由于积蓄于弹性构件58的弹力，第一构件54a复位到施加外力f2前的位置，因此辊部42复位到原来的位置。在此，弹性构件58并不限定于橡胶，也可以是板簧或螺旋弹簧等。
[0204]
另外，如图37所示，也可以通过将固定于滑块54的臂41设为能够变形的结构，而使辊部42能够根据外力f2位移。把持部40所具备的一对臂41分别包括一端固定于滑块54的第一构件41a、以及经由铰接件41c而以能够旋转的方式与第一构件41a的另一端连结的第二构件41b。并且，在第二构件41b的前端保持有辊部42。在第一构件41a与第二构件41b之间安装有螺旋弹簧等弹性构件49。图37中的上方的图示出未施加有外力f2的状态，图37中的下方的图示出施加有外力f2的状态。在对辊部42施加有外力f2的情况下，弹性构件49延伸，因此第二构件41b相对于第一构件41a而以铰接件41c为中心旋转，从而辊部42能够位移。当施加于辊部42的外力f2消失时，弹性构件49收缩，从而第二构件41b复位到施加外力f2前的位置，因此辊部42复位到原来的位置。在此，弹性构件49并不限定于螺旋弹簧，也可以由橡胶或板簧等构成。
[0205]
另外，在变形例4中，如图31所示，在保持工序中由把持部40进行的被把持部71的保持未完成的状态下与被把持部71的前端部分接触的抵接板57被设置于搬运装置x1。
[0206]
在此，以在前后方向上，从位于基准位置的辊部42的中心到抵接板57为止的尺寸l1比从被把持部71的前端部到凹部74的中心为止的尺寸l2大的方式设计把持结构h1。
[0207]
在利用把持部40把持被把持部71时，如图31所示，搬运装置x1接近搬运对象a1到抵接板57与被把持部71的前端接触的位置。搬运装置x1的控制部11例如根据流过驱动马达21r、21l的马达电流的变化等来检测抵接板57接触到被把持部71的前端的情况。需要说明的是，检测抵接板57接触到被把持部71的前端的情况的方法可以是当抵接板57与被把持部71相抵时触点接通或断开的开关等，能够适当变更。控制部11在检测到抵接板57接触到被把持部71的前端的情况时，使第一把持部40r以及第二把持部40l分别向彼此的间隔扩宽的方向移动，从而使被把持部71保持于把持部40。像这样，通过使抵接板57与被把持部71的前端接触，能够在搬运装置x1相对于搬运对象a1的前后方向上的位置被定位的状态下实施把持部40把持被把持部71的保持工序，因此能够利用把持部40顺利地保持被把持部71。需要说明的是，由于尺寸l1比尺寸l2大，因此在图32所示的把持状态下，在抵接板57与被把持部71的前端之间形成尺寸l3(l3＝l1-l2)的间隙。在此，存在于抵接板57与被把持部71的前端之间的间隙的尺寸l3只要被设定为能够进行由把持部40进行的被把持部71的把持动作的尺寸即可，例如优选为1～3mm左右。
[0208]
(4.5)变形例5
[0209]
基于图38～图42对变形例5的把持结构h1进行说明。
[0210]
在变形例5的把持结构h1中，通过将设置于把持部40的圆柱状的突起95插入设置于被把持部71b的贯通孔93，而使被把持部71b保持于把持部40。需要说明的是，把持部40以及被把持部71b以外的结构与上述的实施方式以及变形例1～4共通，因此对共通的构成要素标注相同的附图标记，并省略其说明。
[0211]
在搬运对象a1的主体70，以在第二方向dr1上排列的方式设置有两个被把持部71b。被把持部71b包括板状构件79a。在板状构件79a设置有在第二方向dr1上贯穿板状构件79a的贯通孔93。
[0212]
另一方面，在搬运装置x1的主体10，以能够沿着第二方向dr1移动的状态设置有与两个被把持部71b分别对应的两个把持部40。把持部40具备设置于滑块54中的与被把持部71b对置的对置部分的基部94、以及从基部94向被把持部71b侧突出的圆柱状的突起95。在突起95的前端设置有圆锥状的引导部96。
[0213]
在此，在利用把持部40把持被把持部71b的情况下，在搬运装置x1接近搬运对象a1的状态下，使两个把持部40向两个把持部40的间隔相互扩宽的方向移动。当把持部40所具备的突起95的引导部96与被把持部71b的贯通孔93的缘部相抵时，突起95被引导部96向进入贯通孔93的位置引导，通过突起95插入贯通孔93而成为把持部40把持被把持部71b的状态。需要说明的是，如图39所示，供突起95插入的贯通孔93形成为在第一方向dr11上较长的长孔形状，因此搬运对象a1能够在第一方向dr11上相对于搬运装置x1进行相对位移。另外，插入贯通孔93的突起95形成为圆柱状，因此绕着沿着第二方向dr1的旋转轴ax而能够实现搬运对象a1相对于搬运装置x1的相对旋转。因此，利用把持部40的突起95和被把持部71b的贯通孔93构成分别允许第一方向dr11上的相对位移和绕着旋转轴ax的相对旋转的位移允许部90。
[0214]
需要说明的是，在图38所示的把持部40设置有半径恒定的圆柱状的突起95，但突起95的形状并不限定于圆柱形状。例如，如图41所示，也可以在各把持部40设置形成为左右方向上的中间部比左右方向上的两端部大径的球面形状的突起95a。
[0215]
在图38以及图40所示那样的圆柱状的突起95插入贯通孔93的情况下，当一侧的把持部40的突起95插入贯通孔93时，由于突起95与贯通孔93的嵌合，搬运装置x1难以绕着z轴移动。如图40所示，在由于制造时的误差等而在左右两个被把持部71b中贯通孔93的位置在前后方向上错开的情况下，由于当第一把持部40r的突起95插入贯通孔93时搬运装置x1难以绕着z轴移动，因此第二把持部40l的突起95难以进入贯通孔93。与此相对地，在将突起95a的周面设为球面形状的情况下，与圆柱状的突起95相比，即使在突起95a插入到贯通孔93的状态下，搬运装置x1也容易绕着z轴旋转。因此，即使由于制造时的误差等而左右两个被把持部71b的贯通孔93的位置在前后方向上错开，在突起95a插入到贯通孔93的状态下，搬运装置x1也能够绕着z轴旋转，因此左右的把持部40的突起95a容易进入左右的被把持部71的贯通孔93。由此，能够利用两个把持部4分别顺利地保持对应的被把持部71b。
[0216]
需要说明的是，在把持部40具备圆柱状的突起95的情况下，如图42所示，也可以通过对设置于被把持部71b的贯通孔93的开口缘实施倒圆角加工等而使贯通孔93的端面形成为突曲面。通过使贯通孔93的端面形成为突曲面，具有即使在把持部40的突起95为圆柱状的情况下，搬运装置x1也容易在突起95a插入到贯通孔93的状态下绕着z轴旋转这样的优点。
[0217]
需要说明的是，在变形例5中，在把持部40设置有突起95、95a，在被把持部71b设置有供突起95、95a插入的贯通孔93，但也可以在被把持部71b设置突起，在把持部40设置供突起插入的贯通孔。
[0218]
(4.6)其他变形例
[0219]
在上述实施方式中，设置于搬运装置x1的把持部40具有辊部42，被把持部71具有设置有供辊部42插入的凹部74的板状构件79，但也可以是把持部40具有板状构件79，被把持部71具有辊部42。
[0220]
在上述实施方式中，搬运装置x1具备第一把持部40r以及第二把持部40l各一个，但第一把持部40r以及第二把持部40l的数量也可以是两个以上。
[0221]
另外，在上述实施方式中，也可以是，第一把持部40r以及第二把持部40l的一方在第二方向dr上不发生位移，仅第一把持部40r以及第二把持部40l的另一方能够移动。并且，也可以是，通过第一把持部40r以及第二把持部40l的另一方移动并与对应的被把持部71接触，而使第一把持部40r以及第二把持部40l双方与对应的被把持部71接触。
[0222]
在上述实施方式中，对基板进行规定的作业的制造装置是向基板安装部件的安装主体(支架装置)82，但制造装置并不限定于安装主体82，也可以是进行焊料印刷作业的印刷装置等。
[0223]
另外，在上述实施方式中，作为搬运对象a1的功能模块是馈送器台车81，但功能模块并不限定于馈送器台车81。功能模块只要能够对制造装置提供规定的功能即可，能够适当变更。在对安装主体82供给部件安装于带而成的卷盘的情况下，规定的功能可以包含将取下部件后的带从安装主体82回收的功能。另外，在对安装主体82供给载置有部件的托盘的情况下，规定的功能可以包含将取出部件后的托盘从安装主体82回收的功能。另外，规定的功能例如可以包含对作为制造装置的印刷装置供给焊料、掩模的功能以及从印刷装置回收废弃物的功能中的至少一方。另外，规定的功能可以包含对制造装置供给基板的功能、从制造装置回收基板的功能、回收卷盘部件的切屑等的功能、从制造装置回收维护对象部件
的功能以及使维护对象部件回到制造装置的功能中的至少一方。
[0224]
在此，功能模块是向制造装置提供规定的功能的模块，例如有部件供给模块、托盘供给模块、废弃物回收模块、基板供给模块、基板回收模块、维护模块、馈送器补充模块等。部件供给模块是用于对制造装置供给安装于基板的多个部件的模块。部件供给模块向制造装置供给的多个部件可以是块状的状态，也可以是安装于卷绕于卷盘的带的状态，也可以是安装于无卷盘型的带卷体的状态，也可以是除此之外的形态(例如，多个部件收容于壳体的状态等)。托盘供给模块是用于向制造装置供给载置有多个部件等的多个托盘的模块。废弃物回收模块是用于回收从制造装置排出的废弃物的模块。基板供给模块是用于对制造装置供给作为作业对象的多个基板的模块。基板回收模块是用于从制造装置回收进行了作业后的多个基板的模块。维护模块提供向制造装置提供用于基板的制造的材料的功能、从制造装置回收维护对象部件的功能以及使维护对象部件回到制造装置的功能中的至少一个。维护模块例如向制造装置提供焊料膏剂、掩模、放入有溶解焊料膏剂的溶剂的溶剂罐以及用于擦去附着于掩模的焊料膏剂的纸张等以作为用于基板的制造的材料。需要说明的是，纸张在制造装置中是用于执行湿式清洁的材料，通过利用涂布有溶剂的纸张来擦拭掩模，从而擦去附着于掩模的焊料膏剂。馈送器补充模块是用于对制造装置补充馈送器的模块。馈送器补充模块例如可以对制造装置供给盒式的馈送器，也可以对制造装置供给保持一个或多个馈送器的单元。另外，馈送器补充模块也可以是以相对于制造装置能够连结的方式设置的一并更换台车模块。一并更换台车模块是用于对制造装置供给多个种类的部件的台车，通过更换连接于制造装置的一并更换台车模块，从而能够一并更换向制造装置供给的多个种类的部件。
[0225]
(总结)
[0226]
如以上说明的那样，第一方案的把持结构(h1)具备多个被把持部(71)、多个把持部(40)以及位移允许部(90)。多个被把持部(71)设置于在移动面(b1)上行驶的搬运对象(a1)。多个把持部(40)以与多个被把持部(71)分别对应的方式设置于在移动面(b1)上行驶的搬运装置(x1)的主体(10)。多个把持部(40)分别能够保持多个被把持部(71)中的对应的被把持部(71)。位移允许部(90)在多个把持部(40)分别保持多个被把持部(71)的把持状态下，允许搬运对象(a1)在与移动面(b1)交叉的第一方向(dr11)上相对于主体(10)的相对位移。位移允许部(90)在把持状态下，允许搬运对象(a1)绕着沿着移动面(b1)的第一旋转轴(ax、ay)而相对于主体(10)的相对旋转。
[0227]
根据本方案，位移允许部(90)允许第一方向(dr11)上的搬运对象(a1)相对于主体(10)的相对位移以及绕着第一旋转轴(ax、ay)的搬运对象(a1)相对于主体(10)的相对旋转，因此不易脱离把持状态。因此，即使在搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置或姿态发生了变化的情况下，也能够把持搬运对象(a1)。
[0228]
在第二方案的把持结构(h1)中，在第一方案的基础上，在把持状态下，多个把持部(40)以及多个被把持部(71)沿沿着移动面(b1)的第二方向(dr1)排列。位移允许部(90)包括能够在第二方向(dr1)上发生弹性变形的弹性变形部(42)。弹性变形部(42)设置于多个把持部(40)各自与多个被把持部(71)各自中的至少一方。
[0229]
根据本方案，即使在搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置或姿态发生了变化的情况下，也能够把持搬运对象(a1)。
[0230]
在第三方案的把持结构(h1)中，在第一或第二方案的基础上，多个被把持部(71)包括在沿着移动面(b1)的第二方向(dr1)上排列的两个被把持部(71)。多个把持部(40)包括与两个被把持部(71)分别对应的两个把持部(40)。两个把持部(40)通过以两个把持部(40)的间隔发生变化的方式移动，从而能够在第一位置与第二位置之间沿着移动面(b1)移动。第一位置是两个把持部(40)分别离开两个被把持部(71)的位置，第二位置是两个把持部(40)分别保持两个被把持部(71)的位置。即使在把持状态下，两个被把持部(71)也分别能够相对于两个把持部(40)中的对应的把持部(40)而向与对应的把持部(40)所接触的方向相反的方向移动。
[0231]
根据本方案，即使在搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置或姿态发生了变化的情况下，也能够把持搬运对象(a1)。
[0232]
在第四方案的把持结构(h1)中，在第一至第三方案中的任一方案的基础上，位移允许部(90)包括用于降低第一方向(dr11)上的摩擦系数的滑动构件(42)。滑动构件(42)设置于多个把持部(40)各自与多个被把持部(71)各自中的至少一方。
[0233]
根据本方案，即使在搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置或姿态发生了变化的情况下，也能够把持搬运对象(a1)。
[0234]
在第五方案的把持结构(h1)中，在第一至第四方案中的任一方案的基础上，多个被把持部(71)包括在沿着移动面(b1)的第二方向(dr1)上排列的两个被把持部(71)。多个把持部(40)包括与两个被把持部(71)分别对应的两个把持部(40)。位移允许部(90)在把持状态下分别允许同相位的位移和逆相位的位移。同相位的位移是两个被把持部(71)相对于两个把持部(40)在第一方向(dr11)上的位移成为相同朝向的位移。逆相位的位移是两个被把持部(71)相对于两个把持部(40)在第一方向(dr11)上的位移成为彼此相反的朝向的位移。
[0235]
根据本方案，即使在搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置或姿态发生了变化的情况下，也能够把持搬运对象(a1)。
[0236]
在第六方案的把持结构(h1)中，在第一至第五方案中的任一方案的基础上，在把持状态下，多个把持部(40)以及多个被把持部(71)在沿着移动面(b1)的第二方向(dr1)上排列。第一旋转轴(ax、ay)包含沿着第二方向(dr1)的旋转轴(ax)。位移允许部(90)允许搬运对象(a1)绕着沿着第二方向(dr1)的旋转轴(ax)而相对于搬运装置(x1)的相对旋转。
[0237]
根据本方案，即使在搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置或姿态发生了变化的情况下，也能够把持搬运对象(a1)。
[0238]
在第七方案的把持结构(h1)中，在第一至第六方案中的任一方案的基础上，多个把持部(40)各自的与多个被把持部(71)中的对应的被把持部(71)接触的接触部位的第一方向(dr11)上的尺寸比第一方向(dr11)上的搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位移的允许尺寸小。
[0239]
根据本方案，即使在搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置或姿态发生了变化的情况下，也能够把持搬运对象(a1)。
[0240]
第八方案的搬运方法是搬运装置(x1)搬运搬运对象(a1)的搬运方，其包括接触工序、保持工序以及搬运工序。在接触工序中，使以与搬运对象(a1)所具有的多个被把持部(71)分别对应的方式设置于搬运装置(x1)的多个把持部(40)与多个被把持部(71)接触。在
保持工序中，在允许搬运对象(a1)在与供搬运装置(x1)以及搬运对象(a1)移动的移动面(b1)交叉的第一方向(dr11)上相对于搬运装置(x1)的相对位移的状态下，搬运装置(x1)保持搬运对象(a1)。另外，在保持工序中，在允许搬运对象(a1)绕着第一旋转轴(ax、ay)而相对于搬运装置(x1)的相对旋转的状态下，搬运装置(x1)保持搬运对象(a1)。在搬运工序中，搬运装置(x1)在保持有搬运对象(a1)的状态下进行移动，从而搬运搬运对象(a1)。
[0241]
根据本方案，分别允许第一方向(dr11)上的搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位移以及绕着第一旋转轴(ax、ay)的搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对旋转，因此不易脱离多个把持部(40)保持多个被把持部(71)的把持状态。因此，即使在搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置或姿态发生了变化的情况下，也能够把持搬运对象(a1)。
[0242]
在第九方案的搬运方法中，在第八方案的基础上，接触工序包括接近工序，在该接近工序中，在多个把持部(40)能够保持多个被把持部(71)的准备状态下，使搬运装置(x1)沿着与多个被把持部(71)排列的第二方向(dr1)交叉的接近方向(dr2)接近搬运对象(a1)。在保持工序中，在搬运装置(x1)接近搬运对象(a1)到能够保持搬运对象(a1)的位置的状态下，使多个把持部(40)中的至少一个沿着第二方向(dr1)移动。在保持工序中，通过使多个把持部(40)分别与多个被把持部(71)中的对应的被把持部(71)接触，从而使搬运装置(x1)保持搬运对象(a1)。
[0243]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0244]
在第十方案的搬运方法中，在第九方案的基础上，准备状态是在接近方向(dr2)上多个把持部(40)分别存在于避开与多个被把持部(71)中的对应的被把持部(71)发生干涉的位置的状态。
[0245]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0246]
在第十一方案的搬运方法中，在第九或第十方案的基础上，在保持工序中，多个把持部(40)中的至少两个把持部(40)在第二方向(dr1)上向彼此相反的朝向移动。
[0247]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0248]
在第十二方案的搬运方法中，在第九至第十一方案中的任一方案的基础上，该搬运方法还包括位置调整工序。在位置调整工序中，在保持工序中多个把持部(40)分别与多个被把持部(71)中的对应的被把持部(71)接触的状态下，以使多个把持部(40)的中间位置与搬运装置(x1)的主体的规定位置在第二方向(dr1)上一致的方式对搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置进行调整。
[0249]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0250]
在第十三方案的搬运方法中，在第十二方案的基础上，在位置调整工序中，使搬运对象(a1)沿着第二方向(dr1)移动，从而对搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置进行调整。
[0251]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0252]
在第十四方案的搬运方法中，在第十二方案的基础上，在位置调整工序中，搬运装置(x1)沿着第二方向(dr1)移动，由此对搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置进行调整。
[0253]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0254]
在第十五方案的搬运方法中，在第九至第十四方案中的任一方案的基础上，在保持工序中，位于多个被把持部(71)之间的多个把持部(40)以彼此的间隔扩宽的方式移动，从而与多个被把持部(71)中的对应的被把持部(71)接触。
[0255]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0256]
在第十六方案的搬运方法中，在第九至第十五方案中的任一方案的基础上，在保持工序中，多个把持部(40)分别沿着第二方向(dr1)呈直线状地移动，从而多个把持部(40)分别与多个被把持部(71)中的对应的被把持部(71)接触。
[0257]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0258]
在第十七方案的搬运方法中，在第九至第十五方案中的任一方案的基础上，在保持工序中，多个把持部(40)分别以第二旋转轴(a3)为中心旋转，从而多个把持部(40)分别与多个被把持部(71)中的对应的被把持部(71)接触。
[0259]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0260]
第十八方案的搬运装置(x1)具备搬运装置(x1)的主体(10)以及位移允许部(91)。在搬运装置(x1)的主体(10)设置有与搬运对象(a1)所具有的多个被把持部(71)分别对应的多个把持部(40)。位移允许部(91)在把持状态下，允许搬运对象(a1)在第一方向(dr11)上相对于主体(10)的相对位移，且允许搬运对象(a1)绕着沿着移动面的第一旋转轴(ax、ay)而相对于主体(10)的相对旋转。把持状态是多个把持部(40)分别保持多个被把持部(71)的状态。第一方向(dr11)是与供搬运装置(x1)以及搬运对象(a1)移动的移动面(b1)交叉的方向。
[0261]
根据本方案，位移允许部(91)分别允许第一方向(dri1)上的搬运对象(a1)相对于主体(10)的相对位移以及绕着第一旋转轴(ax、ay)的搬运对象(a1)相对于主体(10)的相对旋转，因此不易脱离把持状态。因此，即使在搬运对象(a1)相对于搬运装置(x1)的相对位置或姿态发生了变化的情况下，也能够把持搬运对象(a1)。
[0262]
在第十九方案的搬运装置(x1)中，在第十八方案的基础上，该搬运装置(x1)具备移动机构(20)、驱动部(50)以及控制部(11)。移动机构(20)使主体(10)移动。驱动部(50)驱动多个把持部(40)。控制部(11)对移动机构(20)以及驱动部(50)进行控制。控制部(11)在多个把持部(40)能够保持多个被把持部(71)的准备状态下，对移动机构(20)进行控制，使搬运装置(x1)沿着与多个被把持部(71)排列的第二方向(dr1)交叉的接近方向(dr2)接近搬运对象(a1)。控制部(11)在搬运装置(x1)接近搬运对象(a1)到能够保持搬运对象(a1)的位置的状态下，对驱动部(50)进行控制，使多个把持部(40)沿着第二方向(dr1)移动。控制部(11)通过使多个把持部(40)分别与多个被把持部(71)中的对应的被把持部(71)接触，而使搬运装置(x1)保持搬运对象(a1)。控制部(11)在搬运装置(x1)保持有搬运对象(a1)的状态下对移动机构(20)进行控制而使主体(10)移动，从而搬运搬运对象(a1)。
[0263]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0264]
第二十方案的制造系统(w1)包括对基板进行规定的作业的制造装置(82)、以及对制造装置(82)提供规定的功能的功能模块(81)。功能模块(81)是被第十八或第十九方案的搬运装置(x1)搬运至制造装置(82)的搬运对象(a1)。
[0265]
根据本方案，能够提高搬运对象(a1)所具有的被把持部(71)的位置的自由度。
[0266]
并不限于上述方案，上述的实施方式的搬运装置(x1)的各种结构(包括变形例)能
够通过搬运装置(x1)的搬运方法、(计算机)程序、或记录有程序的非暂时性记录介质等来具体化。
[0267]
对于第二至第七方案的结构而言，不是把持结构(h1)所必须的结构，可以适当省略。对于第九至第十七方案的结构而言，不是搬运装置(x1)的搬运方法所必须的结构，可以适当省略。对于第十九方案的结构而言，不是搬运装置(x1)所必须的结构，可以适当省略。
[0268]
附图标记说明
[0269]
10主体；11控制部；20移动机构；40把持部；42辊部(滑动构件、弹性变形部)；50驱动部；71被把持部；80部件安装机；81馈送器台车(功能模块)；82安装主体；90位移允许部；91第一位移允许部(位移允许部)；a1搬运对象；a3第二旋转轴；ax、ay旋转轴(第一旋转轴)；b1移动面；dr1第二方向；dr2接近方向；dr11第一方向；h1把持结构；w1部件安装系统(制造系统)；x1搬运装置。