一种用于FAB车间的扶手载车的制作方法

本申请涉及半导体辅助设备，具体涉及一种用于fab车间的扶手载车。

背景技术：

1、在半导体制造工艺中，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。在晶圆制造车间中，传统晶圆载车的扶手都是固定高度及角度的，难以满足不同身高人员的使用需求，身高较高者，脚容易踢到推车底部，长期以往容易造成人员受伤，甚至有造成推车侧翻、晶圆摔碎等风险，从而导致不必要的损失，这种情况需要改变。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种用于fab车间的扶手载车，使得扶手载车的扶手高度可调，以提高晶圆运载的便捷性和安全性。

2、为实现以上目的，采用的技术方案为：

3、一种用于fab车间的扶手载车，应用于晶圆运载，包括：

4、车身主体以及设于所述车身主体上的扶手组件；

5、所述扶手组件包括第一扶手杆、第二扶手杆以及连接所述第二扶手杆的握持横杆，所述第一扶手杆对称设于所述车身主体的一端，所述第二扶手杆通过偏心挤压机构套设在所述第一扶手杆内，且所述第二扶手杆相对于所述第一扶手杆的套设长度通过所述偏心挤压机构调节；

6、所述偏心挤压机构包括卡箍、凸轮件以及与所述凸轮件通过转轴连接的压块，所述卡箍套设在所述第一扶手杆的一端，所述凸轮件设于所述卡箍上且驱动所述压块压紧所述第二扶手杆或与所述第二扶手杆保持有距离。

7、本申请进一步设置为：所述凸轮件包括支撑座、转接在所述支撑座上的凸轮以及与所述凸轮一体连接的挤压手柄，所述支撑座一体连接在所述卡箍上，所述压块通过所述转轴与所述凸轮活动连接，且所述转轴相对于所述凸轮呈偏心设置。

8、本申请进一步设置为：所述转轴设于所述压块的一端且与所述压块固定连接，所述压块的另一端一体连接有呈球状体结构设置的压紧球头。

9、本申请进一步设置为：所述第二扶手杆设有延展至所述第二扶手杆两端的锁位凹槽，所述压紧球头与所述锁位凹槽过盈连接或所述压紧球头与所述锁位凹槽保持有距离。

10、本申请进一步设置为：所述压紧球头的外表面均匀排列有硅胶颗粒。

11、本申请进一步设置为：所述车身主体包括承载底板和设于所述承载底板上的防护框架，所述承载底板的一端一体连接有受力座，所述第一扶手杆通过棘轮合页与所述受力座限位转接。

12、本申请进一步设置为：所述承载底板背离所述防护框架的一侧设有若干个行走轮，若干个所述行走轮对称排列在所述承载底板的顶角。

13、本申请进一步设置为：所述承载底板上呈矩阵排列有若干个用于固定晶圆载具的固定座，在所述承载底板上且位于所述固定座的中心处设有与所述晶圆载具相配合的对位槽。

14、本申请进一步设置为：所述握持横杆上设有防护纹或套设有防滑胶套。

15、本申请进一步设置为：所述第一扶手杆、所述第二扶手杆以及所述握持横杆由金属铝合金材料或金属碳钢材料制成。

16、综上所述，与现有技术相比，本申请公开了一种用于fab车间的扶手载车，通过扶手组件拖拽、控制和驱动车身主体，其中，扶手组件的第二扶手杆套设在第一扶手杆内，且第二扶手杆通过偏心挤压机构套设在第一扶手杆内，用于调节第二扶手杆相对于第一扶手杆的套设长度，偏心挤压机构包括卡箍、凸轮件以及与凸轮件通过转轴连接的压块，凸轮件设于卡箍上且驱动压块压紧第二扶手杆或与第二扶手杆保持有距离，即通过上述设置，使得扶手载车的扶手高度可调，提高了晶圆运载的便捷性和安全性。

技术特征：

1.一种用于fab车间的扶手载车，应用于晶圆运载，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的用于fab车间的扶手载车，其特征在于，所述凸轮件包括支撑座、转接在所述支撑座上的凸轮以及与所述凸轮一体连接的挤压手柄，所述支撑座一体连接在所述卡箍上，所述压块通过所述转轴与所述凸轮活动连接，且所述转轴相对于所述凸轮呈偏心设置。

3.如权利要求2所述的用于fab车间的扶手载车，其特征在于，所述转轴设于所述压块的一端且与所述压块固定连接，所述压块的另一端一体连接有呈球状体结构设置的压紧球头。

4.如权利要求3所述的用于fab车间的扶手载车，其特征在于，所述第二扶手杆设有延展至所述第二扶手杆两端的锁位凹槽，所述压紧球头与所述锁位凹槽过盈连接或所述压紧球头与所述锁位凹槽保持有距离。

5.如权利要求4所述的用于fab车间的扶手载车，其特征在于，所述压紧球头的外表面均匀排列有硅胶颗粒。

6.如权利要求1所述的用于fab车间的扶手载车，其特征在于，所述车身主体包括承载底板和设于所述承载底板上的防护框架，所述承载底板的一端一体连接有受力座，所述第一扶手杆通过棘轮合页与所述受力座限位转接。

7.如权利要求6所述的用于fab车间的扶手载车，其特征在于，所述承载底板背离所述防护框架的一侧设有若干个行走轮，若干个所述行走轮对称排列在所述承载底板的顶角。

8.如权利要求6所述的用于fab车间的扶手载车，其特征在于，所述承载底板上呈矩阵排列有若干个用于固定晶圆载具的固定座，在所述承载底板上且位于所述固定座的中心处设有与所述晶圆载具相配合的对位槽。

9.如权利要求1所述的用于fab车间的扶手载车，其特征在于，所述握持横杆上设有防护纹或套设有防滑胶套。

10.如权利要求1至9任一项所述的用于fab车间的扶手载车，其特征在于，所述第一扶手杆、所述第二扶手杆以及所述握持横杆由金属铝合金材料或金属碳钢材料制成。

技术总结
本申请涉及半导体辅助设备技术领域，公开了一种用于FAB车间的扶手载车，应用于晶圆运载，包括：车身主体以及设于车身主体上的扶手组件；扶手组件包括第一扶手杆、第二扶手杆以及连接第二扶手杆的握持横杆，第一扶手杆对称设于车身主体的一端，第二扶手杆通过偏心挤压机构套设在第一扶手杆内，且第二扶手杆相对于第一扶手杆的套设长度通过偏心挤压机构调节；偏心挤压机构包括卡箍、凸轮件以及与凸轮件通过转轴连接的压块，卡箍套设在第一扶手杆的一端，凸轮件设于卡箍上且驱动压块压紧第二扶手杆或与第二扶手杆保持有距离。本申请提高了晶圆运载的便捷性和安全性。

技术研发人员：郭兴传
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20230510
技术公布日：2024/1/14