外层体的剥离方法及剥离装置的制作方法

专利名称：外层体的剥离方法及剥离装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及外层体的剥离方法以及剥离装置，该外层体的剥离方法将 粘贴于基板上的多层薄膜的外层体从所述基板剥离。
背景技术：
例如，在液晶面板用基板、印刷配线用基板、PDP面板用基板中，在 基板表面上粘贴有具有感光材料(感光性树脂)层的感光性片材(感光性 织物)。感光性片材(感光性〉一 卜体)在柔韧性塑料支承体上层叠有感光 材料层和保护薄膜。
该种感光性片材在局部或全面剥离保护薄膜后，在玻璃基板或树脂基 板等基板上粘贴感光材料层。接着，从基板剥离支承体，由此得到粘贴有 感光材料层的粘贴基板。
例如，特开2002—234667号公报公开的薄膜的剥离方法及剥离装置， 如图15所示，具备基板吸附手2，其吸附并移动玻璃基板l;第一箝位 器(clamper) 3，其夹持并剥离粘贴于所述玻璃基板1上的薄膜F (外层 体)；气缸4，其使所述第一箝位器3在图15中左右移动；水平导轨5a， 其使该气缸4沿前后方向移动；垂直导轨5b，其使该气缸4沿上下方向移 动；第二箝位器6，其夹持剥离后的所述薄膜F;薄膜推动器7，其将所述 剥离后的所述薄膜F向水平方向推广。
于是，首先将基板吸附手2配置成图15中双点划线所示的水平姿势， 放置玻璃基板1时，该基板吸附手2吸附所述玻璃基板1而立起。
接着，第一箝位器3把持从玻璃基板1向外部突出的薄膜F的一部分， 所述第一箝位器3经由气缸4向任意方向移动。因此，薄膜F从玻璃基板 1的角部剥离。
另外，第一箝位器3在水平导轨5a及垂直导轨5b的引导作用下，沿 箭头方向移动，在从玻璃基板l剥离薄膜F后，该薄膜F被转移到第二箝位器6。此时，被剥离后的薄膜F经由薄膜推动器7，向水平方向推广，
而叠加收容各薄膜F。
如图16所示，在所述的目前技术中，在从剥离开始到时间T1的期间， 玻璃基板l以速度V1上升，另一方面，第一箝位器3以速度(V2—V1) 下降。由此，薄膜F实质上以速度V2的剥离速度被剥离。
另外，在从时间Tl到时间T3的期间，第一箝位器3停止，另一方面， 玻璃基板l以速度V2上升。因此，剥离中维持相对速度V2。
但是，在所述的目前技术中，在薄膜剥离开始时(时间零附近)，由 于玻璃基板1的上升和第一箝位器3的下降而对薄膜F施加有急剧的剥离 开始动作。因此，当对薄膜F尤其是感光性树脂层施加急剧的力时，在该 感光性树脂层上容易发生凝集破坏。而且，有可能感光性树脂层的破损了 的部分变成尘埃附着在基板等上。
另外，对薄膜F，按照具有弯曲部的直线状的剥离速度模式施加有剥 离动作。因此，在薄膜F的剥离作业中，与弯曲部相对应存在有速度急剧 变化的变化点P1、 P2及P3。从而，在这些变化点P1、 P2及P3，薄膜F 的剥离状态急剧发生变化，在感光性树脂层的表面发生条纹。该问题在保 持加速度或减速度为一定而剥离薄膜F时，也同样发生。

发明内容
本发明为解决这种问题的发明，其目的在于，提供一种外层体的剥离 方法及剥离装置，该外层体的剥离方法能够以简单的工序及构成，将外层 体从基板良好地分离，并且可靠地得到高品质的剥离面。
本发明涉及外层体的剥离方法及剥离装置，该外层体的剥离方法将粘 贴于基板的多层薄膜的外层体从所述基板剥离。
该剥离方法具有剥离开始工序，通过把持机构把持外层体，使所述 把持机构按照S字曲线的速度模式或加速度模式移动；剥离工序，在所述 剥离开始工序后、到从基板剥离所述外层体整体之前的期间，设定速度、 加速度或减速度变化的变化区域，在所述变化区域内，使所述把持机构按 照弯曲的速度模式、加速度模式或减速度模式移动。
在此，所谓"弯曲的速度模式"是指没有速度的急剧变化点，即没有弯曲部的速度模式。另外，弯曲的加速度模式及弯曲的减速度模式也同样。 另外，剥离装置具备基板保持机构，其将所述基板保持为水平姿势; 把持机构，其把持外层体，并将所述外层体从所述基板剥离；移动控制机
构，其在剥离开始时，使所述把持机构按照s字曲线的速度模式或加速度
模式移动，另一方面，在所述剥离开始工序后、到从所述基板剥离所述外 层体整体之前的期间，设定速度、加速度或减速度变化的变化区域，在所 述变化区域内，使所述把持机构按照弯曲的速度模式、加速度模式或减速 度模式移动。
本发明中，在外层体的剥离开始时，使把持机构按照s字曲线的速度
模式或加速度模式移动。因此，不会一开始就急剧剥离外层体，例如能够 良好地阻止感光性树脂层的凝集破坏，且尽可能地阻止破损引起的尘埃发
生。另一方面，在开始剥离外层体后，速度或加速度沿s字曲线急速上升，
除完成良好的剥离作业外，还实现该剥离作业的效率化。因此，通过简单 的工序及构成，不会使感光性树脂层发生凝集破坏，而能够在有效剥离外 层体的并且，容易实现剥离作业的效率化。
另外，在剥离开始工序后、到从基板剥离外层体整体之前的期间，设 定速度、加速度或减速度变化的变化区域，在所述变化区域内，使所述把 持机构按照弯曲的速度模式、加速度模式或减速度模式移动。由此，在外 层体的剥离动作中，剥离状态不会急剧地发生变化，例如能够良好地防止 在感光性树脂层的表面发生条纹等，且能够可靠地得到高品质的剥离面 (感光性树脂层)。
通过附图和协同的下面的最佳的实施例的说明，将会进一步明确所述 目的及其它目的、特征及优点。


图1是组装有本发明的第一实施方式的支承体剥离装置的制造装置的
概略构成图2是所述制造装置中使用的长条状感光性织物(感光性々工:/)的剖
面图3是在所述长条状感光性织物上粘接了粘接标记的状态的说明图；图4是所述支承体剥离装置的概略立体说明图； 图5是所述支承体剥离装置的主要部分立体说明图； 图6是所述支承体剥离装置的动作说明图； 图7是在橡胶辊之间配置玻璃基板时的动作说明图； 图8是所述玻璃基板的后端从所述橡胶辊之间离开时的动作说明图； 图9是第一实施方式的剥离速度模式的说明图； 图IO是目前方法和第一实施方式的品质评价说明图； 图11是适用于本发明的第二实施方式的外层体的剥离方法的剥离速 度模式的说明图12是适用于本发明的第三实施方式的外层体的剥离方法的剥离速 度模式的说明图13是本发明的第四实施方式的支承体剥离装置的概略立体说明图； 图14是本发明的第五实施方式的支承体剥离装置的概略立体说明图； 图15是目前技术中公开的薄膜的剥离方法及剥离装置的说明图； 图16是所述目前技术的速度模式的说明图。
具体实施例方式
图1是组装有本发明第一实施方式的外层体的剥离装置的制造装置 20的概略构成图。该制造装置20在液晶或有机EL用彩色滤光器等制作 工序中，进行将长条状感光性织物(长条状织物)22的感光性树脂层(后 述)热转印在玻璃基板24上的作业。
图2是制造装置20中使用的感光性织物22的剖面图。该感光性织物 22，由柔韧性基体薄膜(外层体)26、缓冲层(热可塑性树脂层)27、中 间层(隔氧膜)28、感光性树脂层29以及保护薄膜30层叠而构成。另外， 感光性织物22也可以由基体薄膜26、感光性树脂层29以及保护薄膜30 构成。
基体薄膜26由聚苯二甲酸乙二醇酯(PET)形成，缓冲层27由乙烯 和氧化乙烯共聚合物形成，中间层由聚乙烯醇形成，感光性树脂层29由 含有碱可溶性粘合剂、单体、光聚合开始材、着色剂的着色感光性树脂组 成物形成，保护薄膜30由聚乙烯或聚丙烯等形成。如图1所示，制造装置20具备织物输送机构32，其收容将感光性
织物22巻绕成辊状的感光性织物辊22a，并从该感光性织物辊22a输出上述感光性织物22;半切断机构36，其在所输出的上述感光性织物22的保护薄膜30上形成可沿宽度方向切断的半切断部位34;标记粘接机构40，其使局部具有非粘接部38a的粘接标记38 (参照图3)与保护薄膜30粘接。另外，半切断机构36也可以在箭头A方向上离开规定的间隔配设两套，并且在两个地方形成半切断部位34。
在标记粘接机构40的下游配设有用于将感光性织物22从间歇运送变更为大致连续运送的储存机构42、使保护薄膜30以规定的长度间隔从上述感光性织物22剥离的保护薄膜剥离机构44、在将玻璃基板24加热到至规定温度的状态下而搬运到粘贴位置的加热机构45、将因上述保护薄膜30的剥离而露出来的感光性树脂层29粘贴于上述玻璃基板24的粘贴机构46。另外，以下将通过粘贴机构46将感光性织物22粘贴在基板24上形成的层叠体，称之为"粘贴基板24a"。
在粘贴机构46的粘贴位置的上游附近，配设直接检测感光性织物22的交界位置即半切断部位34的检测机构47，并且在上述粘贴机构46的下游，配置有切断各玻璃基板24之间的上述感光性织物22的基板间织物切断机构48。在该基板间织物切断机构48的上游设置有运转开始时以及运转结束时使用的织物切断机构48a。
在织物输送机构32的下游附近，配设有使大致使用完的感光性织物22的后端和新使用的感光性织物22的前端接合的接合台49。在该接合台49的下游配设有薄膜端位置检测器51，以便控制因感光性织物辊22a的巻绕偏离而引起的宽度方向的偏离。
半切断机构36配设在用于计算被织物输送机构32收容巻绕的感光性织物辊22a的辊径的一对辊50的下游。半切断机构36具备沿与感光性织物22的搬运方向(箭头A方向)正交的方向进退自如的滑动台52。在该滑动台52上固接有旋转圆刀(切断器)54，并且在与上述旋转圆刀54对置的位置以夹住感光性织物22而配设有切断接受台56。
如图2所示，在半切断部位34至少需要切断保护薄膜30，实际上为了可靠地切断该保护薄膜30以便切入到感光性树脂层29 中间层28，要设定旋转圆刀54的切入深度。半切断部位34也可以采用通过代替旋转圆刀54的例如除使用固定圆刀或超声波的切断方式之外的刮刀、后述的带状挤压刀(汤姆逊刀)等形成的方式。另外，挤压刀除了垂直方向的挤压构成外，还包含斜方向的挤压构成。
半切断部位34为设定玻璃基板24间隔的部位，例如在两侧的上述玻璃基板24上分别设定在各进入10mm的位置。由玻璃基板24之间的半切断部位34夹着的部分，在后述的粘贴机构46上具有作为在将感光性树脂层29框架状粘贴于上述玻璃基板24上时的掩模的功能。
对标记粘接机构40来说，由于与玻璃基板24之间相对应而残留保护薄膜30的残存部分30b，所以供给连结剥离侧前方的剥离部分30aa和剥离侧后方的剥离部分30ab的粘接标记38。如图2所示，保护薄膜30夹着残存部分30b，设定先被剥离的部分为前方的剥离部分30aa，另一方面，设定后被剥离的部分为后方的剥离部分30ab。
如图3所示，粘接标记38呈长方形状构成，例如由与保护薄膜30相同的树脂材料形成。粘接标记38在中央部具有没有涂敷粘接剂的非粘接部(包含微粘接)38a，并且在该非粘接部38a的两侧，即上述粘接标记38的长度方向两端部具有与前方的剥离部分30aa粘接的第一粘接部38b、和与后方的剥离部分30ab粘接的第二粘接部38c。
如图1所示，标记粘接机构40具备能够将最大五个粘接标记38隔开规定间隔粘贴的吸附垫58a 58e，并且在上述吸附垫58a 58e的上述粘接标记38的粘贴装置上升降自如地配置有用于从下方保持感光性织物22的接受台59。
储存机构42吸收上游侧的感光性织物22的间歇搬运和下游侧的上述感光性织物22的连续搬运的速度差，而且，为了防止张力变动，最好具备由摇动自如的两个辊60构成的储线器(dancer) 61。另外，辊60也可以根据预定量为一套或三套以上。
保护薄膜剥离机构44配置在储存机构42的下游，并且具备吸入筒62和夹住感光性织物22与该吸入筒62接触的剥离辊64。经由剥离辊64从感光性织物22以锐角的剥离角被剥离的保护薄膜30除残存部分30夕卜，均被巻取到保护薄膜巻取轴66上。保护薄膜巻取轴66为了给保护薄膜30施加规定的张力，例如与转矩电动机68连结。
在保护薄膜剥离机构44的下游侧配设有可对感光性织物22施加张力的张力控制机构76。张力控制机构76具备气缸78，在该气缸78的驱动作用下，张力捡拾辊(tension pick-up roller) 80摇动变位，由此能够调整该张力捡拾辊80滑接的感光性织物22的张力。另外，张力控制机构76根据需要可使用，也可去掉。
检测机构47具备激光传感器或光敏器件等光电传感器82，上述光电传感器82直接检测半切断部位34的楔状的槽形状部或保护薄膜30的厚度产生的台阶、或它们的组合的变化，设定该检测信号为交界位置信号。光电传感器82与支撑辊(backup roller) 83对置配置。另外，也可以替代光电传感器82而使用非接触变位计或CCD相机等图像检查机构等。
加热机构45具备用于将玻璃基板24沿箭头C方向搬运的搬运机构84，该搬运机构84具有沿箭头C方向排列的多个树脂制圆板状搬运辊86。在搬运机构84的沿箭头C方向的上游侧设置有接受玻璃基板24的接受部88。在接受部88的下游侧排列有多个加热炉90。
在加热机构45的上游设置有收容多个玻璃基板24的基板储料器100。在储料器100的投入及取出口以外的三个侧面上付设除尘用风扇组件(或通道组件)102。风扇组件102向储料器100内吹出除电净化空气。收容于基板储料器100的各玻璃基板24被吸附在设于机器人104的手部104a的吸附垫106而取出，并被搬入到接受部88。
粘贴机构46具备上下配设且加热到规定温度的层压用橡胶辊110a、110b。支撑辊112a、 112b与橡胶辊110a、 110b滑接，并且上述支撑辊112b经由辊夹紧部114向橡胶辊110b侧挤压。
在橡胶辊110a的附近配设有用于防止感光性织物22与上述橡胶辊110a接触的接触防止辊116。该接触防止辊116经由未图示的驱动器可以移动。
在粘贴机构46和基板间织物切断机构48之间配设有薄膜搬运辊118a和基板搬运辊118b。在基板间织物切断机构48的下游侧，沿排列多个辊119a的搬运系统119配置冷却机构120，并且在该冷却机构120的下游侧配置第一实施方式的支承体剥离装置122。冷却机构120在经由基板间织物切断机构48切断粘贴基板24a间的感光性织物22后，对该切断粘贴基板24a供给冷风实施冷却处理。具体地说，在冷风温度为l(TC下，设定风速为1.0 2.0m/min。另外，也可以不使用冷却机构120，而通过后述的感光性层叠体储料器156进行自然冷却。
如图4所示，支承体剥离装置122具备框构件124，在该框构件124上，沿与粘贴基板24a的搬运方向(箭头C方向)正交的箭头D方向延伸的上部导轨126a 126b彼此离开规定的间隔而平行延伸。在上部导轨126a、 126b的下方，比其短的下部导轨128a、 128b同样沿箭头D方向延伸且彼此平行设置。在上部导轨126a、 126b上，经由电动机130a、 130b支承有沿箭头D方向可进退的自动式可动构件132a、 132b。
如图4 图6所示，可动构件132a、 132b沿垂直方向(箭头E方向)延伸，在彼此对置的侧面上设置有沿垂直方向延伸的导轨134a、 134b。在导轨134a、 134b上支承有升降台136a、 136b，并且上述升降台136a、 136b经由电动机138a、 138b可以升降。
在升降台136a、 136b上朝向水平方向地安装有电动机140a、 140b，在上述电动机140a、 140b的旋转轴(未图示)上固接有卡盘(把持机构)142a、 142b。卡盘142a、 142b旋转自如地构成，并且在粘贴基板24a的基体薄膜剥离位置，可以将从构成上述粘贴基板24a的玻璃基板24的搬运方向两端向外部突出的基体薄膜26的两侧部调整位置为把持自由的位置。
电动机130a、 130b、 138a、 138b、 140a及140b使用可控制速度或加速度的各种旋转驱动源。例如，除伺服电动机或直动线性电动机之外，还可以采用直动机器人等。
如图4所示，在下部导轨128a、 128b支承有滑动基体144a、 144b，并且在上述滑动基体144a、 144b上可升降地支承有仿形辊146的两端。滑动基体144a、 144b与可动构件132a、 132b在箭头D方向的规定位置之间可进退地一体构成。另外，仿形辊146可根据需要设置，也可以不需要。
如图1所示，支承体剥离装置122具备基板保持机构149，该基板保持机构149设有在从粘贴基板24a剥离基体薄膜26时，以水平姿势吸附保持上述粘贴基板24a的多个吸附垫148。在该支承体剥离装置122的附近，配设有用于把持从玻璃基板24剥离后的基体薄膜26并向规定的排出
口等(未图示)排出的机器人手(未图示)。
在支承体剥离装置122的下游，设置有收容多个层叠体基板150的感 光性层叠体储料器156。通过支承体剥离装置122从粘贴基板24a剥离了 基体薄膜26及残存部分36b的层叠体基板150被吸附在设于机器人152 手部152a的吸附垫154而取出，并被收容于感光性层叠体储料器156。
在感光性层叠体储料器156的投入及取出口之外的三个侧面上付设除 尘用风扇组件(或通道组件)102。风扇组件102向感光性层叠体储料器 156内吹出除电净化空气。
制造装置20中，在粘贴机构46的上方配置有织物输送机构32、半切 断机构36、标记粘接机构40、储存机构42、保护薄膜剥离机构44、张力 控制机构76及检测机构47。与此相反，也可以在上述粘贴机构46的下方 配置从上述织物输送机构32到上述检测机构47，且感光性织物22上下倒 置，感光性树脂层29粘贴于玻璃基板24的下侧，此外，也可以在直线上 构成上述制造装置20。
制造装置20经由层压工序控制部160而被整体控制，在该制造装置 20的每个功能部，设有例如层压控制部162、基板加热控制部164及基体 剥离控制部166等，这些机构通过工序内网络而相连。
层压工序控制部160与工厂网络相连，根据来自未图示的工厂CPU 的指示信息(条件设定或生产信息)的生产管理或运转管理等，进行用于 生产的信息处理。
层压控制部162作为工序整体的总控制对各功能部进行控制，基于通 过检测机构47检测出的感光性织物22的半切断部位34的位置信息，例 如构成控制加热机构45的控制机构。
基体剥离控制部166对从由粘贴机构46供给的粘贴基板24a剥离基 体薄膜26以及在下游工序中排出层叠体基板150的动作进行控制，并且 处理控制上述粘贴基板24a及上述层叠体基板150的信息。
如后所述，基体剥离控制部166构成移动控制机构，该移动控制机构 在基体薄膜26剥离开始时，使夹盘142a、 142b按照S字曲线的速度模式 或加速度模式移动，另一方面，在上述剥离开始工序后、到将上述基体薄膜26整体从粘贴基板24a剥离之前的期间，设定速度、加速度或减速度 变化的变化区域，并在上述变化区域内，使上述夹盘142a、 142b按照弯 曲的速度模式、加速度模式或减速度模式移动。
另外，以下所谓基体薄膜26的剥离速度、剥离加速度及剥离减速度 实质上，是指夹盘142a、 142b移动的速度、加速度及减速度。
在制造装置20内，通过隔壁170隔开成第一洁净室172a和第二洁净 室172b。在第一洁净室172a内收容从织物输送机构32到张力控制机构 76，并且在第二洁净室172b内收容检测机构47之后的机构。第一洁净室 172a和第二洁净室172b经由贯通部174而连通。
有关该制造装置20的动作，因与第一实施方式的剥离方法有关，所 以以下进行说明。
首先，如图1所示，从安装于织物输送机构32的感光性织物辊22a 抽出感光性织物22，感光性织物22该被送到半切断机构36。
在半切断机构36上，滑动台52沿感光性织物22的宽度方向(与搬 运方向正交的方向)移动。因此，旋转圆刀54在对感光性织物22的半切 断部位34切入到所希望的深度的状态下， 一边移动一边旋转。由此，在 感光性织物22上形成有从保护薄膜30切入到所希望深度的半切断部位34 (参照图2)。
如图1所示，经过半切断处理后的感光性织物22在根据保护薄膜30 的残存部分30b的尺寸沿箭头A方向被搬运后，暂时停下来，在旋转圆刀 54的行走作用下，形成下一个的半切断部位34。因此，在感光性织物22 上夹着残存部分30b设有前方剥离部分30aa和后方剥离部分30ab (参照 图2)。
进而，感光性织物22被搬运到标记粘接机构40，保护薄膜30的规定 的粘贴部位配置在接受台59上。标记粘接机构40中，通过吸附垫58a 58e而吸附保持规定数量的粘接标记38，各粘接标记38跨过保护薄膜30 的残存部分30b，与前方剥离部分30aa和后方剥离部分30ab —体粘接(参 照图3)。
例如，粘接了五个粘接标记38的感光性织物22，如图1所示，经由 储存机构42防止输出侧的张力变动后，被连续地搬运到保护薄膜剥离机构44。
在保护薄膜剥离机构44中，感光性织物22被吸入筒62和剥离辊64 夹持，上述感光性织物22的基体薄膜26被吸附保持于上述吸入筒62。在 该状态下，在旋转吸入筒62的同时，经由转矩电动机68对保护薄膜30 施加规定的转矩。
因此，保护薄膜30残留残存部分30b，被从感光性织物22剥离，经 由剥离辊64而巻绕在保护薄膜巻绕轴66上。另外，优选向剥离部位吹附 除电空气。
在保护薄膜剥离机构44的作用下，保护薄膜30残留残存部分30b而 被从基体薄膜26剥离后，感光性织物22借助张力控制机构76对张力进 行调整，进而检测机构47通过光电传感器82检测半切断部位34。
感光性织物22基于半切断部位34的检测信息，运转开始时，在薄膜 搬运辊118a的旋转作用下，其后在夹持粘贴基板24a的基板搬运辊118b 的旋转作用下，被定量搬运到粘贴机构46。此时，接触防止辊116在上方 待机，并且橡胶辊110b被配置在下方。
另一方面，加热机构45中，根据粘贴机构46的层压温度而设定各加 热炉90内的加热温度。于是，机器人104把持被收容于基板储料器100 的玻璃基板24，并将该玻璃基板24搬入到接受部88。玻璃基板24在构 成搬运机构84的搬运辊86的旋转作用下，依次间歇地从接受部88搬运 到各加热炉90。
在箭头C方向后段配置的加热炉90中，玻璃基板24准确地停止于规 定的停止位置，并且该玻璃基板24与感光性织物22的感光性树脂层29 的粘贴部分相对应，暂时配置于橡胶辊110a、 110b之间(参照图7)。
在该状态下，经由辊夹紧部114使支撑辊112b及橡胶辊110b上升， 由此在辊110a、 110b间以规定的挤压压力夹住玻璃基板24。进而，在辊 110a的旋转作用下，在该玻璃基板24上加热熔融转写(层压)感光性树 脂层29。
在此，作为层压条件，速度为1.0m/min 10.0m/min，橡胶辊HOa、 110b的温度为80。C 140。C，上述橡胶辊110a、110b的橡胶硬度为40度 90度，该橡胶辊110a、 110b的挤压压力(线压)为50N/cm 400N/cm。如图8所示，当经由橡胶辊110a、 110b在玻璃基板24上层压一张感 光性织物22结束时，上述橡胶辊110a的旋转停止。另一方面，在玻璃基 板24上层压了感光性织物22的粘贴基板24a由基板搬运辊118b夹紧。 而且，橡胶辊110b向从橡胶辊110a离开的方向退避而解除夹紧。
由此，在一张的层压处理结束，到开始下一次的层压处理之前的时间 当中，通过加热机构45加热到规定温度了的玻璃基板24被搬运到橡胶辊 110a、 110b间地配置，并且，微动运送与上述橡胶辊110a滑接的感光性 织物22。
如图1所示，在玻璃基板24上粘贴了感光性织物22的粘贴基板24a 沿箭头C方向定量搬运。而且，经由基板间织物切断机构48切断各玻璃 基板24间的感光性织物22后的粘贴基板24a，在通过冷却机构20冷却后， 被移送到支承体剥离装置122。
通过支承体剥离装置122，粘贴基板24a的玻璃基板24侧在吸附垫 148的吸引作用下被保持，另一方面，各夹盘142a、 142b配置在从玻璃基 板24的搬运方向两端向内方突出的基体薄膜26的箭头D方向的一端侧 (参照图6)。
于是，可动构件132a、 132b在电动机130a、 130b的作用下移动到粘 贴基板24a侧，并且各夹盘142a、 142b开闭而把持基体薄膜26的搬运方 向两端部。进而，夹盘142a、 142b在电动机140a、 140b的作用下旋转， 另一方面，升降台136a、 136b及可动构件132a、 132b沿规定方向被驱动控制。
因此，如图5及图6所示，夹盘142a、 142b沿规定的剥离轨迹移动， 被上述夹盘142a、 142b把持的基体薄膜26从缓冲层27分离，而从粘贴 基板24a剥离。此时，仿形辊146与可动构件132a、 132b—体地沿箭头D 方向移动到规定的位置，从而使基体薄膜26圆滑且良好地剥离。通过从 粘贴基板24a剥离基体薄膜26，而得到层叠体基板150。
该情况下，在第一实施方式中，通过夹盘142a、 142b把持住基体薄 膜26后，从粘贴基板24a剥离该基体薄膜26时的剥离速度按照图9所示 的速度模式，按照如下所述进行控制。
首先，在基体薄膜26的剥离开始时，夹盘142a、 142b在从时间0到时间T1之间，按照S字曲线180a的速度模式移动。接着，在该剥离开始 工序结束后，从时间Tl到时间T2期间，设定向速度连续上升的方向变更 的变化区域，在该变化区域内，夹盘142a、 142b按照弯曲的速度模式(以 下，称作弯曲速度模式)180b移动。
另外，在从时间T2到时间T3之间，设定向速度连续减少的方向变更 的变化区域，在该变化区域内，夹盘142a、 142b按照弯曲速度模式180c 被移动控制。另外，在弯曲速度模式180c的移动途中的时间T3，基体薄 板26整体从粘贴基板24a剥离。另外，在从时间T4到时间T5之间，即 在剥离动作结束工序中，夹盘142a、 142b按照S字曲线180d的速度模式 移动、之后停止。
于是，进行了如下实验对进行图9所示的速度控制的情况(第一实 施方式)、和进行特开2002 234667号公报(目前)的速度控制的情况的 品质进行评价，得到了图10所示的结果。
艮P，在第一实施方式中，在基体薄膜26的剥离开始时，按照S字曲 线180a控制剥离速度即夹盘142a、 142b的移动速度。因此，不会一开始 就从粘贴基板24a上急剧剥离基体薄膜26，而且也不会对感光性树脂层 29急剧地施加力。因此，能够尽可能地阻止感光性树脂层29尤其从设有 半切断部位34的端面部脆弱的地方发生凝集破坏。
与此相反，目前方法中，在基体薄膜26的剥离开始时，设定成急剧 的剥离速度模式。所以，感光性树脂层29从设有半切断部位34的端面部 发生了凝集破坏。而且，因感光性树脂层29的破坏而发生尘埃，该尘埃 例如附着在粘贴基板24a上。
进而，在第一实施方式中，在S字曲线180a的剥离开始工序后，夹 盘142a、 142b可按照连续变更的弯曲速度模式180b、 180c移动，由此将 基体薄膜26从粘贴基板24a上完全剥离。
因此，在基体薄膜26的剥离作业当中，剥离速度不会发生急剧的变 化，从而能够统一维持上述基体薄膜26的剥离状态。由此，例如不会在 感光性树脂层29的表面发生条纹等，而能够高品质地维持该感光性树脂 层29的表面。
另一方面，目前方法中，由于夹盘142a、 142b按照具有弯曲部的直线状速度模式移动，所以在基体薄膜26的剥离途中，产生了与上述弯曲
部对应的急剧的速度变化点(参照图16中的变化点P1、 P2及P3)，从而 在感光性树脂层29的表面发生了条纹。
另外，在第一实施方式中，粘贴基板24a经由基板保持机构149保持 成水平姿势。因此，在使用比较大型的，例如1100mmX 1350mm (厚度 0.7mm)的玻璃基板24时，能够维持平面性且准确可靠地保持上述玻璃基 板24。
另外，在第一实施方式中，对夹盘142a、 142b的基体薄膜26的剥离 速度进行了说明，但能够同样设定上述基体薄膜26的剥离加速度或剥离 减速度。
图11是适用于本发明的第二实施方式的外层体的剥离方法的速度模 式(或加速度模式、或减速度模式)的说明图。
在该第二实施方式中，在基体薄膜26的剥离开始时，在使夹盘142a、 142b按照S字曲线182a移动到时间Tl后，按照向速度连续上升的方向 变更的弯曲速度模式182b，而移动到时间T2。
另外，从时间T2到剥离动作结束时的时间T3，夹盘142a、 142b按 照向速度连续下降的方向变更的弯曲速度模式182c移动。
另外，图12是适用于本发明的第三实施方式的外层体的剥离方法的 剥离速度模式(或加速度模式、或减速度模式)的说明图。
在该第三实施方式中，在基体薄膜26的剥离开始时，在使夹盘142a、 142b按照S字曲线184a的速度模式移动后，在从时间Tl到时间T2之间 设定的速度变化区域内，夹盘142a、 142b按照弯曲速度模式184b移动。
接着，在从时间T2到时间T3之间，剥离速度按照恒速度模式184c 维持成一定速度V2后，在从时间T3到时间T4之间设定的速度变化区域 内，夹盘142a、 142b按照弯曲速度模式184d移动。即，在从时间T2到 时间T4期间，剥离速度被设定成具有弯曲部的直线状速度模式。而且， 夹盘142a、 142b按照S字曲线184e，从时间T4移动到时间T5而停止。
这样，在第二及第三实施方式中，按照S字曲线182a、 184a开始剥 离基体薄膜26，并且在到全部剥离该基体薄膜26之前的期间，速度(或 加速度、或减速度)不会发生急剧的变化。由此，尽可能地阻止感光性树脂层29的凝集破坏或尘埃的发生、以及上述感光性树脂层29表面的条纹
等不良，而得到与上述第一实施方式同样的效果。
另外，在第三实施方式中，在基体薄膜26的剥离结束时，设定有S 字曲线184e，但也可以不利用该S字曲线184e，而以弯曲速度模式184d 使夹盘142a、 142b的移动停止。
另外，支承体剥离装置22构成为沿与粘贴基板24a粘贴的粘贴方向 即搬运方向(箭头C方向)交叉的箭头D方向剥离基体薄膜26，但也可 以将上述基体薄膜26的剥离方向设定为与上述粘贴基板24a的搬运方向 平行的箭头C方向。
图13是本发明的第四实施方式的支承体剥离装置190的概略立体说 明图。另外，对与第一实施方式的支承体剥离装置122相同的构成要素使 用相同的参照符号，并省略其详细的说明。另外，以下说明的第五实施方 式也同样，其详细的说明省略。
支承体剥离装置190具备张力施加结构192，该张力施加结构192在 将基体薄膜26从粘贴基板24a剥离时，沿与玻璃基板24粘贴的粘贴方向 (箭头C方向)对上述基体薄膜26施加张力。
张力施加结构192具备自如把持从粘贴基板24a的搬运方向前端侧 向外部突出的基体薄膜26的前端部26a的可动夹盘构件194a、 196a、 198a 及200a;自如把持向上述粘贴基板24a的搬运方向后方侧突出的上述基体 薄膜26的后端部26b的可动夹盘构件194b、 196b、 198b及200b。
夹盘构件194a、194b彼此在箭头C方向上对置，其它的夹盘构件196a、 196b、 198a、 198b及200a、 200b各自彼此在箭头C方向上对置配置。夹 盘构件194a 200a及196b 200b各自开闭自如且相对基体薄膜26可进 退地构成。另外，在第四实施方式中也可以不使用仿形辊146。
在该第四实施方式中，当粘贴基板24a配置在基体剥离位置时，构成 张力施加结构192的夹盘构件194a 200a，把持基体薄膜26的前端部26a， 并且，夹盘构件196b 200b把持上述基体薄膜26的后端部26b。在该状 态下，向彼此离开的方向转矩控制夹盘构件194a 200a和夹盘构件196b 200b，由此对基体薄膜26沿箭头C方向施加规定的张力。
于是，夹盘142a、 142b把持基体薄膜26的前端部26a及后端部26b的端部，沿规定的剥离轨迹而向箭头D1方向移动。此时，对基体薄膜26
沿箭头C方向施加有规定的张力，从而能够将基体薄膜26圆滑且可靠地 从玻璃基板24剥离。
图14是构成本发明的第五实施方式的制造装置的支承体剥离装置 210的概略立体说明图。
支承体剥离装置210具备张力施加结构212，该张力施加结构212在 从粘贴基板24a剥离基体薄膜26时，沿与上述粘贴基板24a粘贴的粘贴 方向对上述基体薄膜26施加张力。
张力施加结构212具备可把持向粘贴基板24a的搬运方向前端侧突 出的基体薄膜26的前端部26a的前端夹盘214;可把持向上述粘贴基板 24a的搬运方向后方突出的上述基体薄膜26的后端部26b的后端夹盘216。 前端夹盘214及后端夹盘216沿箭头D方向宽幅构成，而可在大致宽度方 向全面上分别把持基体薄膜26的前端部26a和后端部26b。
前端夹盘214安装在电动机140a、 140b上，前端夹盘214的移动方 向设定为与夹盘142a、 142b的移动方向(箭头D方向)正交的箭头C方 向。另外，在第五实施方式中使用仿形辊146。
在该第五实施方式中，当粘贴基板24a搬运到基体剥离位置时，向该 粘贴基板24a的前端侧突出的基体薄膜26的前端部26a被前端夹盘214 把持。另一方面，向粘贴基板24a的后端侧突出的基体薄膜26的后端部 26b被后端夹盘216把持。
接着，转矩控制后端夹盘216、或上述后端夹盘216及前端夹盘214， 对被这些夹持的基体薄膜26沿箭头C方向施加张力。在该状态下，前端 夹盘214沿规定的剥离轨迹移动，由此，施加有规定的张力的基体薄膜26 被从玻璃基板24上圆滑且可靠地剥离。
权利要求
1、一种外层体的剥离方法，将粘贴于基板(24)的多层薄膜的外层体(26)从所述基板(24)剥离，所述外层体的剥离方法的特征在于，具有剥离开始工序，通过把持机构(142a)把持所述外层体(26)，使所述把持机构(142a)按照S字曲线的速度模式或加速度模式移动；剥离工序，在所述剥离开始工序后、到从所述基板(24)剥离所述外层体(26)整体之前的期间，设定速度、加速度或减速度变化的变化区域，并在所述变化区域内，使所述把持机构按照弯曲的速度模式、加速度模式或减速度模式移动。
2、 如权利要求1所述的外层体的剥离方法，其特征在于， 在所述剥离开始工序后、到从所述基板(24)剥离所述外层体(26)整体之前的期间，使所述把持机构(142a)的速度、加速度或减速度连续 地变更。
3、 如权利要求1或2所述的外层体的剥离方法，其特征在于， 在所述基板(24)被保持成水平姿势的状态下，将所述外层体(26)从所述基板(24)剥离。
4、 如权利要求1所述的外层体的剥离方法，其特征在于， 在对所述外层体(26)沿与所述基板(24)粘贴的粘贴方向施加了张力的状态下，将所述外层体(26)沿与所述粘贴方向交叉的方向剥离。
5、 如权利要求1所述的外层体的剥离方法，其特征在于， 在对所述外层体(26)沿与所述基板(24)粘贴的粘贴方向施加了张力的状态下，将所述外层体(26)沿所述粘贴方向剥离。
6、 如权利要求1所述的外层体的剥离方法，其特征在于， 所述多层薄膜至少具有粘贴于所述基板的感光性树脂层(29)及作为所述外层体(26)的基体薄膜(26)，从所述基板(24)剥离所述基体薄膜(26)。
7、 一种外层体的剥离装置，其将粘贴于基板(24)的多层薄膜的外 层体(26)从所述基板(24)剥离，所述外层体的剥离装置的特征在于，具备基板保持机构(149)，其将所述基板(24)保持为水平姿势；把持机构(142a)，其把持所述外层体(26)，并将所述外层体(26) 从所述基板(24)剥离；移动控制机构(166)，其在剥离开始时，使所述把持机构(142a)按 照S字曲线的速度模式或加速度模式移动，另一方面，在所述剥离开始工 序后、到从所述基板(24)剥离所述外层体(26)整体之前的期间，设定 速度、加速度或减速度变化的变化区域，并在所述变化区域内，使所述把 持机构(142a)按照弯曲的速度模式、加速度模式或减速度模式移动。
8、 如权利要求7所述的外层体的剥离装置，其特征在于， 所述外层体的剥离装置具备张力施加结构(192)，该张力施加结构(192)沿与所述外层体(26)的剥离方向交叉的与所述基板(24)粘贴 的粘贴方向，对所述外层体(26)施加张力，所述张力施加结构(192)具备分别把持从所述基板(24)的搬运方 向前端侧及搬运方向后端侧向外侧突出的所述外层体(26)的前端部及后 端部的多个可动夹盘构件U94a、 194b)。
9、 如权利要求7所述的外层体的剥离装置，其特征在于， 所述外层体的剥离装置具备张力施加结构(212)，该张力施加结构(212)沿所述外层体(26)的剥离方向即与所述基板(24)粘贴的粘贴 方向，对所述外层体(26)施加张力，所述张力施加结构(212)具备把持从所述基板(24)的搬运方向前 端侧及搬运方向后端侧向外侧突出的所述外层体(26)的前端部及后端部 的前端夹盘(214)及后端夹盘(216)。
10、 如权利要求7所述的外层体的剥离装置，其特征在于， 所述多层薄膜至少具有粘贴于所述基板的感光性树脂层(29)及作为所述外层体(26)的基体薄膜，从所述基板(24)剥离所述基体薄膜(26)。
全文摘要
本发明提供一种外层体的剥离方法以及剥离装置。在支承体剥离装置(122)中，夹盘(142a、142b)把持基体薄膜(26)，首先所述夹盘(142a、142b)按照S字曲线的速度模式移动，由此开始从粘贴基板(24a)剥离基体薄膜(26)。接着，在直到从粘贴基板(24a)剥离基体薄膜(26)整体之前的期间，夹盘(142a、142b)按照弯曲的速度模式移动，由此结束所述基体薄膜(26)的剥离作业。
文档编号B65H41/00GK101460382SQ200780020110
公开日2009年6月17日 申请日期2007年5月29日 优先权日2006年5月30日
发明者伊本贤一, 末原和芳 申请人:富士胶片株式会社