专利名称：输送系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及输送绝缘性工件的输送系统。
背景技术：
在例如薄型显示装置的制造工序等工序中，需要输送以玻璃基板为 代表的绝缘性物品(工件)的技术。并且，输送此类工件的装置， 一般 可以使用在输送方向上排列了多个辊的传送带装置。
当在传送带装置中输送玻璃基板时，有时会随着与辊的摩擦在基板 表面产生静电。在上述情况下，有时空气中的灰尘和垃圾(所谓的粒子) 附着于基板表面或者基板电路产生缺陷。
以往为了解决上述的问题而提出有对基板进行除电的技术。例如在 专利文献l中辊的至少与基板接触的部分由导电性柔软的部件形成，还 将导电性柔软材料接地。
专利文献'l:日本特开2002 - 274642号>^才艮
然而，上述以往的传送带装置具有如下所示的问题。
即，即使使用导电性的辊也仅能对辊和基板接触部分除电。即，除 电的程度不充分，因此无法避免上述问题。
另外，近年玻璃基板朝大型化发展，因此其有可能进一步增加带电量。
发明内容
本发明是解决上述以往课题的，其目的在于提供一种可以抑制输送 绝缘体工件时的带电的输送系统。
技术方案1中所述的输送系统是输送绝缘性工件的输送系统，具备托盘和多个辊。托盘载置工件。多个辊为输送托盘而排列并配置于输送 方向。在辊和托盘中至少双方接触的接触部具有导电性。接触部接地。
在上述系统中，在输送托盘时，将托盘和辊的摩擦产生的静电更可 靠地放电。即，抑制输送绝缘性工件时的带电。其结果是，例如难于发 生粒子被吸引到工件上等问题。
技术方案2所述的输送系统中，在技术方案l的基础上，托盘是由 导电性材料形成的。
在上述系统中，由于托盘是由导电性材料而形成的，因此能够将在 辊直接接触部分以外蓄积的静电也进行放电。
技术方案3所述的输送系统，在技术方案1或2的基础上，辊是由 含有规定量的导电性材料的树脂形成的。
在上述系统中，使用树脂制的辊，因此在输送时不易损伤托盘。
技术方案4所述的输送系统，在技术方案3的基础上，辊含有1~ 50wt。/。的导电性材料。
在上述系统中，可以充分地确保为抑制工件的带电量而辊所需要的 导电性。
技术方案5中所述的输送系统，在技术方案4的基础上，辊含有1 ~ 30wt。/。的导电性材料。
在上述系统中，可以充分地确保为抑制工件的带电量而辊所需要的 导电性。
根据本发明涉及的输送系统，能够抑制输送绝缘体工件时的带电。
图l是本发明一实施方式的输送系统的外观图。 图2本发明一实施方式的输送系统的横剖视图。
4图3是图l及图2所包含的辊周边的放大剖视图。
图4是由图1的输送系统输送的输送托盘的外观图。
图5是由图1的输送系统输送的输送托盘的俯视图。
图6是利用以往输送方法输送玻璃基板情况下的带电电位的测量结果。
图7是表示进行图6的测量时的速度曲线(无加减速度)的曲线图。
图8是表示进行图6的测量时的速度曲线(有加减速度)的曲线图。
图9是利用以往输送方法输送各种输送媒介情况下的带电电位的测 量结果。
图10的(a)是表示进行图9的测量时SUS托盘的速度曲线的曲线 图，图10的(b)是表示进行图9的测量时铝托盘的速度曲线的曲线图。
图ll是改变托盘及辊的材质来测量情况下的带电电位的测量结果。
图12是将玻璃基板载置于铝托盘来输送情况下的带电电位的测量 结果。
图13是表示进行图12的测量时的速度曲线(15m/min有加减速度) 的曲线图。
图14是表示进行图12的测量时的速度曲线(30m/min有加减速度) 的曲线图。
图15是表示进行图12的测量时的速度曲线(45m/min有加减速度) 的曲线图。
图16是表示进行图12的测量时的速度曲线(45m/min无加减速度) 的曲线图。
图17是本发明另一实施方式中的辊周边的放大剖视图附图文字l...输送托盘(托盘)；2…外框；2a…框部件；4…横条； 4a…载置销；ll...外侧凸缘(接触部)；12…内侧凸缘；13…倾斜部；20... 输送带；21…支承框；21a…主体；21b…支承腿；25…辊(接触部)；26… 轴；100...输送系统。
具体实施例方式
关于本发明实施方式之一的输送系统100，利用图1~图5说明如下。
整体构成
如图1及图2所示，输送系统100是将薄板状工件载置于输送托盘 l(以下将记为"托盘1")且沿着输送路径输送到规定位置的装置。利 用本实施方式的输送系统100输送的薄板状工件，例如有用于电子显示 装置(液晶显示器和等离子显示器等)的板状工件、用于有机EL的树 脂板等。
输送带20:
输送带20如图1及图2所示具备支承框21、辊25及驱动装置(未 图示)。
支承框21是由导电性材料形成的，并且具有收纳辊25的驱动力传 递机构的主体21a、以及将主体21a支承于地面上方的支承腿21b。
将辊25沿着输送方向配置多个。具体而言，辊25是由一对沿着输 送方向配置的辊组构成的。将各个辊25通过导电性的轴26安装于主体 21a。轴26借助配置在主体21a内的轴承(未图示)可旋转地支承，并 且还与配置在主体21a内的驱动装置(未图示)连结。辊25是由加碳 的MC尼龙形成的。在本实施方式中，含有1 50wt。/。的碳黑，因此辊 25可以确保规定的导电性。
输送托盘1:
图4是表示输送托盘1的一个实施方式的构成的立体图，图5是托盘1的俯视图。
托盘l用于栽置并输送薄板状工件。托盘l主要具备矩形形状的 外框2以及多个架设在外框2相对置的框部件之间的横条4。另外，这 里使用玻璃基板W作为薄板状工件进行说明。
外框2是由四根框部件2a构成的。在本实施方式中，框部件2a使
用具有一定板厚的铝制挤压件，框部件2a是由两根长边框部件和两根短 边框部件构成的。
框部件2a具备外侧凸缘(接触部)11、以及形成在比外侧凸缘 11高的位置上的内侧凸缘12，并且在外侧凸缘11和内侧凸缘12之间 设置有倾斜部13。内侧凸缘12从倾斜部13的上端部向内侧延伸，外侧 凸缘11从倾斜部13的下端部向外侧延伸。倾斜部13按照在形成外框2 时向下方扩展的形状设定角度。
横条4在外框2相对置的框部件2a之间架设多条，并且构成玻璃 基板W的载置部。横条4可以使用具有一定板厚的铝制挤压件。
横条4具有用于支承玻璃基板W的多个载置销4a。载置销4a是由 耐磨损性高的聚醚醚酮(PEEK)形成的，即使反复搭载玻璃基板W基 本上也不产生因磨损带来的粉尘，因而不污染玻璃基板W。另外，由于 和玻璃基板W的接触面较小，因此能够抑制托盘1和玻璃基板W的摩 擦或因剥离引起的带电。
当用输送带20输送托盘1时，如图1所示将托盘1的左右两侧放 置在辊25的各辊组上。更具体而言，如图3所示将托盘1的外侧凸缘 11放置在辊25上。
在上述状态下，若利用未图示的驱动装置来旋转辊25,则托盘l在 多个辊25上输送。
支承框21在上述构造中通过支承腿21b接地。由此，辊25通过轴 26及支承框21接地。另外，托盘1也被载置在辊25上，因此借助辊 25、轴26及支承框21而接地。通过上述接地构造，可以抑制因输送托盘1和辊25时接触而引起的带电。
在这样的系统中，托盘l是由导电性材料形成的，因此也可以将辊 25直接接触部分以外蓄积的静电进行放电。
在这样的系统中，使用树脂制的辊25，因此输送时不易损伤托盘。
实施例1:
为了确认在本发明的输送系统100中的绝缘性工件的带电抑制效 果，针对下述所示项目进行了试验。
另外，在以下的试验中，使用单程输送距离0.5m的托盘耐久试验 装置和小型的试验用托盘进行试验，并且在室温25度、湿度45%的环 境实验室下进行测量。另外，使用240mm、或400mm的玻璃基板作为 绝缘性工件进行试验。另外，利用表面电位计来进行玻璃基板的带电量 的测量，通过贴付在小型试验用托盘及玻璃基板上的刻度尺(25mm间 隔)和摄像传感器进行输送速度的测量。另外，利用一体地安装在辊旋 转轴的脉冲圆板和摄像传感器来测量辊的转速。
另外，关于本试验用托盘，其除了尺寸以外的构成由与上述托盘同 样的构成要素构成。
(1)在以单体形式输送玻璃基板情况下的带电电位的测量(现有 技术)
首先，在以往的输送方法，即，使玻璃基板与接地的导电性辊(例 如加碳的MC尼龙)接触来输送的情况下，测量在玻璃基板上产生的带 电电位。
具体而言，将玻璃基板载置于辊上后充分除电，按照辊加减速有的 情况和无的情况的条件来反复往返输送玻璃基板，测量玻璃基板的上面 和下面的带电电位(V)。这里，无加减速时的速度曲线如图7所示，有 加减速时的速度曲线如图8所示。即，在辊无加减速的情况下，在辊和 玻璃基板之间发生滑动，在有加减速时，在辊和玻璃基板之间没有发生滑动，因此可知不会产生摩擦而被输送。
其结果是，如图6所示可以确认即使在任何条件(有加减速的情况 和无的情况)下测量时，玻璃基板的带电电位都与输送距离成比例地增 大。即，可以确认当玻璃基板与辊接触并输送时，即使与玻璃基板接触 的辊由导电性材料形成并且接地也没有足够的除电效果。这被认为是仅 所输送的玻璃基板为绝缘性是不能避免因与辊的摩擦而导致的带电，另 外，即使想使用接地的导电性的辊进行除电，实际上只有辊与玻璃基板 的接触部分能够除电。即，在上述以往输送方法中，无法够充分地抑制 玻璃基板的带电。
(2) 按照输送物种类的带电电位的测量(本发明与现有技术的比较)。
接着，对于接地的导电性辊，按每种输送物的种类分别测量玻璃基 板的上面和下面的带电电位(V)。输送物为以下三种。
(a )玻璃基板单体(现有技术)
(b) 载置于铝托盘的玻璃基板(本发明)
(c) 载置于SUS托盘的玻璃基板(本发明)
这里，输送玻璃基板单体(玻璃尺寸400mm)时的速度曲线为图 7所示，输送被载置于SUS托盘的玻璃基板(玻璃尺寸240mm)、输 送被载置于铝托盘的玻璃基板(玻璃尺寸240mm)时的速度曲线分别 如图10 (a)、图10 (b)所示。
其结果是，如图9所示可以确认与输送玻璃基板单体时相比，在使 用SUS托盘、铝托盘输送玻璃基板时，玻璃基板的带电电位极小。而 且，当输送距离增大时其差异显著。由此可以确认为了抑制在接地的导 电性辊上输送时被输送物体的带电，不只是输送玻璃基板单体，而且用 由导电性材料构成的托盘输送玻璃基板也是有利的。
(3) 按照托盘及辊材质的带电电位的测量(本发明与其它的技术的比较)。接着，以使用托盘输送玻璃基板(玻璃尺寸240mm)为前 提，对托盘及辊导电性的有无的各组合，测量玻璃基板的带电电位(V)。 组合为以下三种。
(a) UPE (超高分子量聚乙烯)的辊(绝缘性)和铝的凸缘(导 电性)的组合(本发明以外的技术)
(b) 加碳的MC尼龙辊(导电性)和铝的凸缘(导电性)的组合 (本发明)
(c )加碳的MC尼龙辊(导电性)和表面贴付了 PVC带的凸缘(绝 缘性)的组合(本发明以外的技术)
对于以上三例，测量载置于托盘的玻璃基板的上面和下面的带电电 位(V)。这里，托盘中的与辊的接触部分为凸缘(相当于图4中的外侧 凸缘ll )。
其结果是，如图11所示可以确认辊和凸缘双方接触的导电性部件 时，即上述(b)的组合时，玻璃基板的带电电位极小。另一方面，(a)、 (c)的组合时，与(b)相比玻璃基板的带电电位增大。
根据以上结果，可以确认为了抑制使用托盘输送绝缘性的玻璃基板 时的带电电位，托盘及辊两方(至少是接触部分)为导电性的情况是有 效的。
(4)将玻璃基板载置于铝托盘输送情况下的带电电位的测量(本 发明)
最后，将玻璃基板载置于铝托盘，测量改变输送速度和加减速度输 送时的玻璃基板的带电电位(V)。具体而言，如图13~图16所示的速 度曲线，测量在15m/min有加减速度(参照图13)、 30m/min有加减速 度(参照图14)、 45m/min无加减速度(参照图16)的条件下，输送时 的玻璃基板的上面和下面的带电电位(V)。
其结果是，如图12所示可以确认在任何条件下测量的情况下，与用玻璃M单体输送的情况(参照图6)相比，可以较大地抑制带电电位的上 升。
根据以上(1) ~ (4)的测量，可以确认在由传送带装置等的辊输 送绝缘性工件的情况下，将绝缘工件载置于导电性托盘，使托盘和接地 的导电性辊接触输送的方法是有效的。
另外，在(2) ~ (4)使用的托盘的载置销都是PEEK制、绝缘体。
(5)玻璃基板栽置于托盘时的带电电位的测量(本发明)
实际使用时有将玻璃基板拿出放进托盘的工序。即，从托盘下方贯 通横条之间突出销或者辊升降，由此将玻璃基板反复进行托盘载置销的 接触、分离。
因此，对于将玻璃基板载置于托盘时的带电电位，相互改变载置销、 突出销及辊的材质进行玻璃基敗的带电电位(V)的测量。具体而言，
(a) PEEK (聚醚醚酮树脂)的载置销及突出销(绝缘性)和加碳 MC尼龙的辊(导电性)的组合；
(b )巻绕了铝箔的PEEK (聚醚醚酮树脂)的载置销及突出销和加碳 MC尼龙的辊(导电性)的组合；
(c) PEEK (聚醚醚酮树脂)的载置销及突出销(绝缘性)和表面贴 付了 PVC带的辊(绝缘性)的组合；
(d )对于巻绕了铝箔的PEEK(聚醚醚酮树脂)的载置销及突出销(导 电性)和贴付了 PVC带的辊(绝缘性)的组合，通过激光位移仪来测量 升^il度，并且在将托盘载置于辊的状态下，通it^横条间升降的突出销 使玻璃基板升降。此时，玻璃141位于载置销上时与突出销分离，位于突 出销上时与载置销分离。即，反复进行与^4肖的接触/分离。而且，测量载 置于各自托盘的玻璃基板的上面和下面的带电电位(V)。另外，玻璃M 在带了正(+ )或负(-)lkV以上电荷之后开始测量。另外，突出销的升 降速度为无加减速的1.0m/min。其结果是，无论在任何条件下即偵反复升降，带电电位也基本没有变 化，因而不能确认剥离带电现象。这被认为是由于玻璃M和载置销的接 触面积非常小的原因。由此，可以确认没有因在托盘上载置、取出玻璃基 板带来的缺陷。
另 一实施方式
以上，对于本发明的一个实施方式进行了说明，然而本发明不局限 于上述的实施方式，在不脱离本发明宗旨的范围内可以进行各种变更。
(A)
在上述实施方式的输送系统100中，以输送绝缘性玻璃基板W的 托盘l，具有图4及图5所示的横条4为例进行了说明。然而本发明不 限定于此。
例如，载置玻璃aw的部分，也可以由导电性的平板而形成。
(B)
在上述实施方式的输送系统100中，以辊25的全体由导电性材料 形成为例进行了说明。然而本发明不限定于此。
例如，如图17所示，辊25中与托盘l接触的接触部25a也可以是 由导电性材料形成的。在这种情况下，适当地设定接触部25a,并且只 要接地于某处，就可以获得与上述实施方式涉及的输送系统100同样的 效果o
另外，无需所有的辊都都是导电性，也可以是在获得规定效果的范 围内局部地安装。
(C)
在上述实施方式的输送系统100中，以加碳MC尼龙形成为例进行 了说明。然而本发明不限定于此。
例如，也可以是由含有导电性材料的超高分子量的聚乙烯和聚醚亚胺等树脂形成的。另外，也可以是由导电性金属形成辊。
另外，在本实施例中表示了利用加碳MC尼龙的试验数据，然而可 以确认在加碳UPE中也获得同样的效果。
(D)
在上述实施方式的输送系统100中，以辊25由于含有1 50wt。/。的 碳黑，确保导电性材的MC尼龙而形成为例进行了说明。然而本发明不 限定于此。
例如，也可以在MC尼龙中含有1 50wt。/。的碳纤维。另外，也可以 是含有1 30wt。/。的碳纳管或碳纳纤维。此时，也可以获得与上述实施方 式涉及的输送系统100同样的效果。
(E)
在上述实施方式的输送系统100中，以托盘1的整体由导电性铝挤 压部件形成为例进行了说明。然而本发明不限定于此。
例如，只有作为与辊25接触部分的外侧凸缘11,由导电性材质形成。
另外，即^A图9所示的SUS制的托盘，也可以获得同样的效果，因 此其它的导电性金属或实施了导电性的表面处理的材料，也可以获得同样 的效果。
(F)
在上述实施方式的输送系统IOO中，作为载置于托盘输送的工件以 玻璃基板W为例进行了说明。然而本发明不限定于此。
例如，即使是用于电子显示装置(液晶显示器和等离子显示装置等) 的板状工件以及用于有机EL显示器和照明的树脂板等，也可以获得与 上述实施方式涉及的输送系统100同样的效果。
(G) 在上述实施方式的输送系统100中，以形成在横条4上形成
13的载置销4a为例进行了说明。然而本发明不限定于此。
例如，为了在托盘1和玻璃基板W之间不产生相对移动即滑动，也可 以抑制在传送带20中的托盘1的输M度。在这种情况下，可以抑制在托 盘1和玻璃MW之间产生的摩擦或者因剥离引起的带电。由此，可以提 高抑制输送绝缘型工件时的带电。
权利要求
1. 一种输送系统，其是输送绝缘性工件的输送系统，其特征在于，具备载置上述工件的托盘；以及多个辊，其为了输送上述托盘而排列并配置于输送方向，在上述辊和上述托盘中至少双方接触的接触部具有导电性，上述接触部接地。
2. 根据权利要求l所述的输送系统，其特征在于，上述托盘是由导 电性材料形成的。
3. 根据权利要求2所述的输送系统，其特征在于，上述辊是由树脂 形成的，上述树脂含有规定量的导电性材料。
4. 根据权利要求3所述的输送系统，其特征在于，上述辊含有1~ 50wt%的上述导电性材料。
5. 根据权利要求4所述的输送系统，其特征在于，上述辊含有1~ 30wt%的上述导电性材料。
全文摘要
本发明提供一种可以抑制输送绝缘体工件时的带电的输送系统以及输送带装置。输送系统(100)是将玻璃基板(W)载置于托盘(1)进行输送的输送系统，具备辊(25)和托盘(1)。辊(25)在输送方向上排列配置多个。托盘(1)载置绝缘性的玻璃基板(W)。而且，在托盘(1)和辊(25)中至少双方接触的接触部(外侧凸缘(11)及辊(25))具有导电性并且接触部接地。
文档编号B65G49/06GK101503148SQ20081018882
公开日2009年8月12日 申请日期2008年12月26日 优先权日2008年2月4日
发明者中西秀明, 清水平涉 申请人:村田机械株式会社