专利名称：基材处理装置和使用该基材处理装置的基材处理方法
技术领域：
本发明涉及基材处理装置和使用该基材处理装置的基材处理方法。
背景技术：
在液晶显示装置和有机EL显示装置等的制造工序中，存在有将基 板曝光的生产线、将已曝光的基板蚀刻的生产线、清洗蚀刻后的基板 的生产线等各种处理生产线。
近年来，代替玻璃基板和硅晶片基板等硬的基板，而用塑料基板 和金属薄膜基板那种富有柔软性和耐冲击性的可挠性基板的液晶显示 装置和有机EL显示装置的研究正在盛行。这种富有柔软性的可挠性基 板不能由基板自身保持形状。因此，在用有富有柔软性的可挠性基板 的显示装置的制造工序中，将基板作成胶带状，在施加有张力的状态 下搬送。这时，采用从巻轴状向巻轴状搬送的巻对巻搬送(例如，专 利文献1或2)。
而且，为了提高制造效率等，有时在各种处理生产线上按这种巻 对巻搬送的方式将可挠性基板一次搬送。
专利文献1:日本特开2005-185884号公报 专利文献2:日本特开2002-087665号公报
发明内容
但是，在通过巻对巻搬送方式搬送塑料基板等可挠性基材时，当 连接各处理生产线的路径为一条时，在处理装置中发生不良情况时， 不仅必须停止维修对象的处理装置，而且必须停止所有的处理装置。 因此，制造效率变差。
另外，当连接各处理生产线的路径为一条时，在因急需增产而必 须增大处理生产线时，不能取得充分的对应。另外，当连接各处理生产线的路径不连续而终止规定的处理生产 线的处理时，在必须使长尺状可挠性基材向下一处理生产线移动的情 况下，每当在各处理生产线上进行处理时，用辊状的巻绕器具等将可 挠性基材巻绕，向下一处理生产线自此巻开搬送。在这种处理方法中， 从辊状的巻绕器具等巻开的可挠性基材从最后进行处理的部分巻幵而 构成下一处理。因此，在长尺状可挠性基材内发生待处理时间(滞留 时间)的差。该差尤其是在可挠性基材长时会更大，可能成为基材处 理不良的原因。
本发明是鉴于这些问题点而研发的，其目的在于，提供一种基材 处理装置和使用该基材处理装置的基材处理方法，在用连结的多条制 造生产线对长尺状的可挠性基材进行处理时，在故障发生时不使整个 生产线停止而继续基材处理，由此使处理效率良好。
本发明的基材处理装置设置在生产线数相互不同的第1和第2生 产线间，对被搬送的长尺状的可挠性基材进行处理并进行生产线连接， 其特征在于，包括第1基材搬送部，其从第1生产线接收并搬送处 理对象的可挠性基材；基材分割部，其将由第1基材搬送部从第1生 产线搬送的可挠性基材分割；路径切换部，其从由基材分割部分割而 产生的基材始端接收可挠性基材，将可挠性基材的搬送路径切换到第2 生产线；和第2基材搬送部，其设置在第2生产线的前段，用于保持 处理对象的可挠性基材，将可挠性基材向该第2生产线搬送。
根据这种结构，进行第1生产线和第2生产线的生产线连接的基 材处理装置具备切换可挠性基材的搬送路径的路径切换部，因此在第1 生产线或第2生产线上发生了故障等时，可以向分开准备好的代替生 产线切换搬送路径。因此，当在一部分生产线上发生了故障等时，不 需要停止整个生产线。另外，当急需增产时，通过用例如第1生产线 和第2生产线增加处理速度更慢的生产线的生产线数，且在它们之间 切换搬送路径，可以提高可挠性基材的处理效率，可以与增产对应。 另外，由于连接各处理生产线的路径连续，因此每当在各处理生产线 上进行处理时，可以不用辊状的巻绕器具等巻绕可挠性基材且向下一 处理生产线自此巻开搬送等。因此，在长尺状的可挠性基材内，不会 发生待处理时间(滞留时间)的差，能够抑制基材处理不良的发生。根据本发明，能够提供一种基材处理装置和使用该基材处理装置 的基材处理方法，在用连结的多条制造生产线对长尺状的可挠性基材 进行处理时，在故障发生时不使整个生产线停止而继续基材处理，由 此使处理效率良好。
图1是将第1生产线一第2生产线间连接且向第2B生产线搬送路 径切换部保持的塑料基材时的基材处理装置的模式图。
图2是基材处理装置和各处理生产线的位置关系图。
图3是将第1生产线一第2A生产线间连接且将切换部保持的塑料 基材全部送出时的基材处理装置的模式图。
图4是在分割塑料基材后第2A基材供给调整部縮小时的基材处理 装置的模式图。
图5是路径切换部从第2B基材搬送部的前段移动到第1基材搬送 部的后段时的基材处理装置的模式图。
图6是路径切换部从第1基材搬送部接收并保持塑料基材时的基 材处理装置的模式图。
图7是路径切换部在保持由基材分割部分割的塑料基材的状态下 从第1基材搬送部的后段移动到第2B基材搬送部的前段时的基材处理 装置的模式图。
图8是第2A基材供给调整部向第1基材搬送部延伸将所保持的塑
料基材的终端和由图7的被分割而产生的塑料基材的始端连接时的基
材处理装置的模式图。
图9是本发明的实施方式2涉及的基材处理装置的模式图。 图10是本发明的实施方式3涉及的基材处理装置的模式图。 图11是实施方式3涉及的基材处理装置的基材供给部的模式图。 图12是将第2A生产线一第3生产线间连接且来自第2B生产线
的塑料基材被路径切换部保持在内部时的基材处理装置的模式图。
图13是路径切换部在保持由第2基材分割部分割的塑料基材的状
态下从第1B基材搬送部的后段移动到第3基材供给调整部的前段时的
基材处理装置的模式图。图14是将路径切换部保持的塑料基材全部送出时的基材处理装置 的模式图。
图15是路径切换部移动且第2A基材供给调整部延伸将保持的塑 料基材的始端和由图13的被分割而产生的塑料基材的终端连接时的基 材处理装置的模式图。
图16是从第1B基材搬送部向路径切换部搬送塑料基材时的基材 处理装置的模式图。
图17是路径切换部保持从第1B基材搬送部送来的塑料基材时的 基材处理装置的模式图。
符号说明
10、 200、 210、 300 基材处理装置
14 第1基材搬送部
15 基材分割部 15a 第1基材分割部 15b 第2基材分割部 16a 第2A基材搬送部 16b 第2B基材搬送部 16c 第2C基材搬送部 17 基材连接部
17a 第1基材连接部 17b 第2基材连接部 18a 第2A基材供给调整部 18b 第2B基材供给调整部 18c 第2C基材供给调整部 19 路径切换部 20a 第3A基材供给调整部 20b 第3B基材供给调整部 20c 第3C基材供给调整部
21 腔室
22 塑料基材 31 34 第1 第4搬送辊41 49 第1 第9夹持搬送辊
50 分割台
51 刀具
55 第1基材供给调整部
70、 73 连接台
71、 74 连接胶带粘贴部 72 连接胶带
90 第10夹持搬送辊
91 第11夹持搬送辊
92 第4基材供给调整部
105 136第5 第36搬送辊
201基材分割部
202基材连接部
211基材回收部
212基材供给部
213基材分割部
214基材连接部
301a第1A基材供给调整部
301b第1B基材供给调整部
302a第2A基材供给调整部
302b第2B基材供给调整部
303第3基材供给调整部
310a第1A基材搬送部
310b第1B基材搬送部
具体实施例方式
下面，关于用长尺状且可挠性的塑料基材作为基材，由此制造显 示装置的情况，用附图对本发明的实施方式涉及的基材处理装置和使 用该基材处理装置的基材的处理方法进行详细的说明。另外，本发明 并不限定于以下的实施方式。
(实施方式l)(基材处理装置10的结构)
图1是表示本发明的实施方式1涉及的基材处理装置10的模式图。 如图2所示，基材处理装置10设置在多个处理生产线中相邻的两个处 理生产线(第1生产线11和第2生产线12)间。另外，第2生产线 12分别进行同一处理，且由并列设置的第2A生产线12a和第2B生产 线12b构成。
基材处理装置10由具备第1基材供给调整部55的第1基材搬送 部14、基材分割部15、第1基材连接部17a、具备第2A基材供给调 整部18a和第3A基材供给调整部20a的第2A基材搬送部16a、第2 基材连接部17b、具备第2B基材供给调整部18b和第3B基材供给调 整部20b的第2B基材搬送部16b、路径切换部19、腔室21和未图示 的控制部等构成。
第1基材搬送部14设置在首先接收来自第1生产线11的塑料基 材22的位置。第1基材搬送部14由第1基材供给调整部55、和分别 以从其两面侧夹持搬送的塑料基材22的方式成对的第1 第3夹持搬 送辊41、 42、 43构成。
第1基材供给调整部55由接收从第1生产线11搬送的塑料基材 22的第1搬送辊31、将从第1搬送辊31送出的塑料基材22依次搬送 的第2、第3和第4搬送辊32、 33、 34构成。接收塑料基材22的第1 搬送辊31、和送出塑料基材22的第4搬送辊34被固定配置。第2和 第3搬送辊32、 33构成为分别在与塑料基材22的搬送方向交叉的方 向，相互同时且往返移动同距离。另外，第2和第3搬送辊32、 33也 可以构成为分别非对称地往返移动。第1 第4搬送辊31、 32、 33、 34分别一边与塑料基材22的表面抵接一边对该塑料基材22进行旋转 搬送。第1基材供给调整部55通过这些构成要素将基材接收并保持后 送出该基材，或接收并送出该基材。
第1 第3夹持搬送辊41、 42、 43分别一边与塑料基材22的表面 抵接一边对该塑料基材22进行旋转搬送。
基材分割部15设置在第1夹持搬送辊41的后段。基材分割部15 设置有对搬送的塑料基材22的对准功能。基材分割部15由分割台50、 配置在分割台50的上方的刀具51等构成。另外，在分割台50的上方也可以不是刀具51而是配置有激光照射部或喷出高压的水的高压水喷 出部等。
第1基材连接部17a设置在第2夹持搬送辊42的后段。在第1基 材连接部17a设置有对搬送的塑料基材22的对准功能。第1基材连接 部17a由连接台70和配置在连接台70的上方的连接胶带粘贴部71构 成。在连接胶带粘贴部71中具备耐药品性或耐热性等的连接胶带72。 另外，也可以代替连接胶带粘贴部71设置使塑料基材22热熔接的热 熔接部。另外，连接胶带72也可以粘贴在塑料基材22的背侧、或两 侧。作为连接胶带72的粘接材料，使用通常的粘接材料，并且也可以 使用粘接力因紫外光或热而下降的材料。在这种情况下，作为基材分 割部，可以作成紫外线照射部和胶带回收机构的结构、或胶带加热部 和胶带回收机构的结构。当作成该结构时，与刀具等的切断相比，可 以简化机构，可以作成紧凑的结构，因此容易进行设置。
第2A基材搬送部16a由第2A基材供给调整部18a、第3A基材供 给调整部20a和第4 第6夹持搬送辊44、 45、 46构成。
第2A基材供给调整部18a设置在第4夹持搬送辊44和第5夹持 搬送辊45之间。第2A基材供给调整部18a由第5 第12搬送辊105 112构成。接收塑料基材22的第5搬送辊105、和送出塑料基材22的 第12搬送辊112能够分别沿塑料基材22的搬送方向往返移动。另外， 这些辊也可以构成为分别非对称地往返移动。第6 第11搬送辊106 111构成为分别在与塑料基材22的搬送方向交叉的方向，相互同时且 往返移动同距离。另外，第6 第11搬送辊106 111也可以构成为分 别非对称地往返移动。第6 第11搬送辊106 111也可以构成为分别 沿着塑料基材22的搬送方向往返移动。第5 第12搬送辊105 112 分别一边与塑料基材22的表面抵接一边对该塑料基材22进行旋转搬 送。
第5和第6夹持搬送辊45、 46分别被固定配置，第4夹持搬送辊 44构成为可沿塑料基材22的搬送方向往返移动。
第3A基材供给调整部20a设置在第2A基材供给调整部18a的后 段且第2A生产线12a的前段，即设置在第5夹持搬送辊45和第6夹 持搬送辊46之间。第3A基材供给调整部20a由接收从第2A基材供
16给调整部18a搬送的塑料基材22的第13搬送辊113、将接收到的塑料 基材22接连不断地搬送的第14、第15和第16搬送辊114、 115、 116 构成。接收塑料基材22的第13搬送辊113、和送出塑料基材22的第 16搬送辊116被固定配置。第14和第15搬送辊114、 115构成为分别 在与塑料基材22的搬送方向交叉的方向，相互同时且往返移动同距离。 另外，它们也可以分别构成为相互非对称地往返移动。第13 第16 搬送辊113 116分别一边与塑料基材22的表面抵接一边对该塑料基 材22进行旋转搬送。第3A基材供给调整部20a通过这些构成要素将 基材接收并保持后送出该基材，或接收并送出该基材。
第2基材连接部17b、以及具备第2B基材供给调整部18b和第3B 基材供给调整部20b的第2B基材搬送部16b分别依次设置在第2B生 产线的前段。
第2基材连接部17b由连接台73和配置在连接台73的上方的连 接胶带粘贴部74构成。在第2基材连接部17b中设置有对搬送的塑料 基材22的对准功能。在第2基材连接部17b的连接胶带粘贴部74具 备耐药品性或耐热性等的连接胶带72。另外，也可以代替连接胶带粘 贴部74而设置使塑料基材22热熔接的热熔接部。另外，连接胶带72 也可以粘贴在塑料基材22的背侧、或两侧。
第2B基材搬送部16b由第2B基材供给调整部18b、第3B基材供 给调整部20b和第7 第9夹持搬送辊47、 48、 49构成。
第2B基材供给调整部18b设置在第7夹持搬送辊47和第9夹持 搬送辊49之间。第2B基材供给调整部18b由第17 第24搬送辊117 124构成。接收塑料基材22的第17搬送辊117、和送出塑料基材22 的第24搬送辊124分别被固定配置。第18 第23搬送辊118 123构 成为分别在与塑料基材22的搬送方向交叉的方向，相互同时且往返移 动同距离。另外，它们也可以分别构成为相互非对称地往返移动。第 17 第24搬送辊117 124分别一边与塑料基材22的表面抵接一边对 该塑料基材22进行旋转搬送。
第7 第9夹持搬送辊47、 48、 49分别被固定配置。
第3B基材供给调整部20b设置在第2B基材供给调整部18b的后 段且第2B生产线的前段，即设置在第8夹持搬送辊48和第9夹持搬送辊49之间。第3B基材供给调整部20b由接收从第2B基材供给调整 部18b搬送的塑料基材22的第25搬送辊125、将接收到的塑料基材 22接连不断地搬送的第26、第27和第28搬送辊126、 127、 128构成。 接收塑料基材22的第25搬送辊125、和送出塑料基材22的第28搬送 辊128被固定配置。第26和第27搬送辊126、 127构成为分别在与塑 料基材22的搬送方向交叉的方向，相互同时且往返移动同距离。另外， 它们也可以分别构成为相互非对称地往返移动。第25 第28搬送辊 125 128分别一边与塑料基材22的表面抵接一边对该塑料基材22进 行旋转搬送。第3B基材供给调整部20b通过这些构成要素将基材接收 并保持后送出该基材，或接收并送出该基材。
路径切换部19由第10夹持搬送辊90、第11夹持搬送辊91、和 设置在它们之间的第4基材供给调整部92构成。
第10夹持搬送辊90和第11夹持搬送辊91被固定配置在路径切 换部19内的搬送路径的两端。
第4基材供给调整部92由接收从第1基材搬送部14搬送的塑料 基材22的第29搬送辊129、将接收到的塑料基材22接连不断地搬送 的第30 第36搬送辊130 136构成。接收塑料基材22的第29搬送 辊129、和送出塑料基材22的第36搬送辊136被固定配置在路径切换 部19内的搬送路径上。第30 第35搬送辊130 135构成为分别在与 路径切换部19内的塑料基材22的搬送方向交叉的方向，同时且往返 移动同距离。另外，它们也可以分别构成为相互非对称地往返移动。 第30 第36搬送辊130 136分别一边与塑料基材22的表面抵接一边 对该塑料基材22进行旋转搬送。路径切换部19通过这些构成要素将 基材接收并保持后送出该基材，或接收并送出该基材。路径切换部19 构成为可以从连接第1生产线11和第2A生产线12a的搬送路径上 的第1基材连接部17a和第2A基材搬送部16a之间的位置，在向第2B 生产线12b连接的搬送路径上的第2基材连接部17b的前段位置之间 往返移动。
腔室21设为将上述的第1基材搬送部14、基材分割部15、第1 基材连接部17a、第2A基材搬送部16a、第2基材连接部17b、第2B 基材搬送部16b和路径切换部19全部收容在内部。腔室21内大致设
18定为大气气氛。另外，腔室21其内部也可以根据所希望的处理条件进 行密闭，并设置吹扫功能、吸引功能等。
另夕卜，上述的第1 第9夹持搬送辊41 49可以不从两表面侧夹 持塑料基材22，也可以按照相对于搬送的基材只与基材的非处理侧的 表面抵接的方式，由只设置在其搬送路径的一侧的多个搬送辊构成。 另外，第1 第9夹持搬送辊41 49在从两表面侧夹持塑料基材22 的情况下，也可以为基材的处理面侧只夹持塑料基材的两端部的结构， 或为基材的处理面侧成为喷出气体的构造的非接触的搬送辊构造。
此外，如果搬送的塑料基材具有刚性，则即使没有基材连接部， 也可以将塑料基材搬送到下一工序，因此，也可以没有上述的基材连 接部。在这种情况下，由于将搬送辊间的距离縮小配置不易发生搬送 不良，所以更优选。
(使用基材处理装置10的显示装置的制造方法)
下面，对使用本发明的实施方式1涉及的基材处理装置10的显示 装置的制造方法进行详细的说明。
如图1所示，将一表面成膜的长尺状的塑料基材22 (可挠性基材) 从第1生产线11向第2生产线12搬送，在这两个第1生产线11和第 2生产线12间设置有基材处理装置10。在本实施方式中，对第1生产 线11的搬送速度是第2生产线12的搬送速度的2倍，且第2生产线 由分别并列配置的第2A生产线12a和第2B生产线12b构成时的显示 装置的制造方法进行说明。另外，第1生产线11、第2A生产线12a 和第2B生产线12b分别作成不停止地连续搬送塑料基材22的生产线。
首先，如图1所示，将由例如厚度200um、宽度105mm的聚酰 亚胺形成的处理对象的长尺状塑料基材22从第1生产线11搬入基材 处理装置10，分别通过具备第1基材供给调整部55的第1基材搬送部 14、具备第2A基材供给调整部18a和第3A基材供给调整部20a的第 2A基材搬送部16a向第2A生产线搬送。第1基材供给调整部55的第 2和第3搬送辊32、 33分别按照在与塑料基材22的搬送方向交叉的方 向(图1的上下方向)上相互远离的方式移动，保持塑料基材22。第 2A基材供给调整部18a的第5 第12搬送辊105 112分别按照在塑 料基材22的搬送方向上相互远离的方式移动，水平地搬送塑料基材22。第3A基材供给调整部20a的第14和第15搬送辊114、 115分别 按照在与塑料基材22的搬送方向交叉的方向(图1的上下方向)上相 互远离的方式移动，保持塑料基材22。
第2B基材供给调整部18b的第17 第24搬送辊117 124为了 水平地搬送用于向第2B生产线12b搬送的塑料基材22而分别夹着塑 料基材22配置为两列。第3B基材供给调整部20b的第26和第27搬 送辊126、 127分别按照在与塑料基材22的搬送方向交叉的方向(图1 的上下方向)上相互远离的方式移动，保持塑料基材22。
路径切换部19配置在第2B基材搬送部16b的前段。第4基材供 给调整部92的第30 第35搬送辊130 135分别按照在与塑料基材 22的搬送方向交叉的方向(图1的上下方向)上相互远离的方式移动， 保持塑料基材22。
接着，如图3所示，第2A基材供给调整部18a的第5 第12搬 送辊105 112分别按照在与塑料基材22的搬送方向交叉的方向上相 互远离的方式移动，保持塑料基材22。这样，在第l生产线ll、和搬 送速度为其一半的第2A生产线12a之间进行塑料基材22的搬送速度 的调整。
另外，这时，路径切换部19的第4基材供给调整部92的第30 第35搬送辊130 135通过分别在与塑料基材22的搬送方向交叉的方 向上相互接近，将保持的塑料基材22向第2B基材搬送部16b送出。 从路径切换部19搬入塑料基材22的第2B基材搬送部16b，其第2B 基材供给调整部18b的第17 第24搬送辊117 124分别按照在与塑 料基材22的搬送方向交叉的方向上相互远离的方式移动，保持塑料基 材22。
接着，如图4所示，利用基材分割部15在规定的位置分割塑料基 材22。
接着，第2A基材供给调整部18a的第5 第12搬送辊105 112 分别在塑料基材22的搬送方向上以接近第3A基材供给调整部20a的 方式移动，将相互的距离縮小。
在此，在上述的第5 第12搬送辊105 112的间隔縮小的同时， 路径切换部19在第1基材连接部17a和縮小的第2A基材供给调整部18a之间移动。另外，第2B基材供给调整部18b的第17 第24搬送 辊117 124分别按照接近与塑料基材22的搬送方向交叉的方向的方 式移动，将塑料基材22送出。
接着，如图5所示，路径切换部19从第1基材搬送部14接收塑 料基材22。另外，第2A基材供给调整部18a的第5 第12搬送辊105 112分别按照在与塑料基材22的搬送方向交叉的方向接近的方式移动， 将塑料基材22送出。另外，第2B基材供给调整部18b的第17 第24 搬送辊117 124也继续图4的状态分别按照沿与塑料基材22的搬送 方向交叉的方向接近的方式移动，将塑料基材22送出。
接着，如图6所示，路径切换部19通过将第4基材供给调整部92 的第30 第35搬送辊130 135分别在与塑料基材22的搬送方向交叉 的方向上相互远离，可将从第1基材搬送部14搬送的塑料基材22保 持。另外，第2A基材供给调整部18a的第5 第12搬送辊105 112 和第2B基材供给调整部18b的第17 第24搬送辊117 124继续图5 的状态分别按照沿与塑料基材22的搬送方向交叉的方向接近的方式移 动，将塑料基材22送出。
接着，如图7所示，利用基材分割部15在规定的位置将塑料基材 22分割。
接着，路径切换部19将塑料基材22保持在内部的状态下移动至 第2B基材搬送部16b的前段。
接着，由第2基材连接部17b将移动的路径切换部19保持的塑料 基材22的始端、和第2B基材供给调整部18b保持的塑料基材22的终 端连接。另外，第2B基材供给调整部18b的第17 第24搬送辊117 124继续图6的状态分别按照沿与塑料基材22的搬送方向交叉的方向 接近的方式移动，将塑料基材22送出。
接着，如图8所示，第2A基材供给调整部18a的第5 第12搬 送辊105 112移动，相互的间隔变大。而且，将由第2A基材供给调 整部18a保持的塑料基材22的终端接近由基材分割部15被分割而产 生的第1基材搬送部14的塑料基材22的始端，通过第1基材连接部 17a将它们连接。另外，这时，从路径切换部19向第2B基材搬送部 16b送出塑料基材22，返回到图l的状态。这样，通过用基材处理装置10从第1生产线将塑料基材22相互 分配并分别向搬送速度减半的第2A生产线12a和第2B生产线12b搬 送，可以不需要停止搬送速度慢的第2A生产线12a和第2B生产线12b 任一方就有效地连续地进行生产线间连接。
多条生产线的配置(第2A生产线、第2B生产线)可以平面状地 并列配置，也可以上层和下层的立体地配置。通过立体地配置，可以 有效利用空间。
(实施方式2)
下面，使用图9对本发明的实施方式2涉及的基材处理装置200 进行说明。
如图9所示，基材处理装置200从第1生产线11起，在将三条以 上的生产线(第2A生产线12a、第2B生产线12b、第2C生产线12c) 并列配置而构成的第2生产线12间进行生产线连接。即使第2生产线 由这样三条生产线以上的生产线构成，也可以和实施方式1同样，通 过由路径切换部19分配来自第1生产线的塑料基材22，可以连续且有 效地进行塑料基材22的搬送。
在此，基材处理装置200和实施方式1的基材处理装置10同样， 设置有具备第1基材供给调整部55的第1基材搬送部14、基材分割部 15、第1基材连接部17a、具备第2A基材供给调整部18a和第3A基 材供给调整部20a的第2A基材搬送部16a、具备第2B基材供给调整 部18b和第3B基材供给调整部20b的第2B基材搬送部16b、路径切 换部19、腔室21和未图示的控制部。另外，在基材处理装置200上设 置有具备对应于第2C生产线12c的第2C基材供给调整部18c和第3C 基材供给调整部20c的第2C基材搬送部16c。另外，在对应于第2A 生产线12a、第2B生产线12b、第2C生产线12c等的连接生产线上， 在设置路径切换部19的位置和第2A基材搬送部16a、第2B基材搬送 部16b和第2C基材搬送部16c等之间设置有基材分割部201和基材连 接部202。在基材处理装置200中，路径切换部19从第1基材搬送部 14接收塑料基材22，在保持接收到的塑料基材22的状态下，在第2A 基材搬送部16a、第2B基材搬送部16b和第2C基材搬送部16c等的 各前段位置之间移动，将塑料基材22向第2生产线12的多条生产线
22分配搬送。
(实施方式3)
其次，作为使用本发明涉及的基材处理装置的基材处理方法，分 别对(A)在第2生产线12上发生了故障时的基材处理方法、和(B) 在第l生产线ll上发生了故障时的基材处理方法进行说明。另外，在 此，使用在第2生产线内并列配置有三条以上的生产线时进行第1生 产线和第2生产线间的生产线连接的基材处理装置210加以说明，但 并不限定于此，也可以使用在第2生产线内并列配置有两条生产线的 结构的基材处理装置10。
基材处理装置210如图10所示，在上述实施方式2的基材处理装 置200中还设置有基材回收部211和基材供给部212。
基材回收部211在第3夹持搬送辊43的后段，且设置在塑料基材 22的搬送路径的上方。基材回收部211由接收塑料基材22并向上方搬 送的多个导向辊85、从导向辊85接收且可巻绕并储存塑料基材22的 巻绕辊86构成。在巻绕辊86上形成有将从导向辊85接收的塑料基材 22的始端夹入保持的夹持部87。
基材供给部212在第2A基材供给调整部18a和第3A基材供给调 整部20a之间、第2B基材供给调整部18b和第3B基材供给调整部20b 之间、以及第2C基材供给调整部18c和第3C基材供给调整部20c之 间，且在塑料基材22的搬送路径的下方分别设置。如图11所示，基 材供给部212具有巻绕辊88，巻绕并储存有用于向搬送路径供给的塑 料基材22或虚拟基材。在此，作为虚拟基材23，例如是与处理对象的 塑料基材22分开准备的可挠性基材、可以由与处理对象的塑料基材22 不同的材质构成，或者也可以由相同的材质构成但具有缺陷等不良的 材质。另外，当然也可以用没有缺陷等不良的塑料基材22。基材供给 部212还具有用于将从巻绕辊88供给的塑料基材22或虚拟基材导向 搬送路径的多个导向辊89、基材分割部213和基材连接部214。另外， 在第3夹持搬送辊43的一搬送辊上按照以该一搬送辊为中心联动的方 式固定有支承搬送塑料基材22的辅助搬送辊219。
基材回收部211和基材供给部212分别相对于塑料基材22的搬送 路径配置在不同的侧。在这样的配置时，基材回收部211和基材供给部212可以互不干扰地配置，可以实现空间的有效利用。
另外，基材回收部211和基材供给部212也可以分别相对于塑料
基材22的搬送路径配置在同侧，还可以分别配置在比基材分割部15
靠向上方的位置。
另外，如果不需要基材供给功能，则基材供给部212也可以不设
置在基材处理装置210上。
(A) 在第2生产线12上发生了故障时的基材处理方法
在第2生产线12的任一条生产线上发生处理故障而必须中断第2 生产线的该生产线和向该生产线的塑料基材22的搬送时，首先，用基 材分割部15将从第1生产线11搬入的塑料基材22分割。
接着，固定在第3夹持搬送辊43的一搬送辊上的辅助搬送辊219 以该一搬送辊为中心向下方联动移动，并且基材回收部211降下。降 下来的基材回收部211通过导向辊85将由基材分割部15被分割而产 生的塑料基材22的始端引到夹持部87，夹入保持且回收。另外，其间， 从基材供给部212向第2生产线12的发生有处理故障的生产线搬送的 塑料基材22的终端供给虚拟基材。
接着，用基材连接部214将从基材供给部212供给的虚拟基材的 始端和由被分割而产生的塑料基材22的终端连接并继续搬送，进入规 定路径后，中断第2生产线12和向第2生产线12的塑料基材22的搬 送。
因此，可以将来自第1生产线11的塑料基材22连续搬入，且可 以中断发生有处理故障的第2生产线和塑料基材22向第2生产线12 的搬送。在此，在故障为短期且已修理好的情况下，也可以不中断搬 送，而将虚拟基材和来自第1生产线11的塑料基材22连接立刻流动。
(B) 在第1生产线11上发生了故障时的基材处理方法
在第1生产线11上发生了处理故障时，首先，停止第1生产线11 和来自第1生产线11的塑料基材22的搬入。
接着，用基材分割部15将从第1生产线11搬入的塑料基材22分 割。这时，在因第1生产线的处理故障而在塑料基材22上产生处理不 良部的情况下，通过设于基材分割部15的位置检测单元将搬送的塑料 基材22在该处理不良部的正前面分割。因此，可以高效地回收塑料基材22的构成正常处理的部分。
接着，从基材供给部212向被分割而产生的塑料基材22的终端预 先供给在第1生产线11处理后的另外的塑料基材22或虚拟基材。
接着，用基材连接部214将从基材供给部212供给的另外的塑料 基材22的始端和由被分割而产生的塑料基材22的终端连接，向第2 生产线12搬送。
因此，例如在第l生产线ll上发生了处理故障时，可以向第2生 产线12连续搬送塑料基材22，且可以停止第1生产线11和来自第1 生产线11的塑料基材22向第2生产线12的搬送。
另外，基材处理装置210如上所述，不仅可以在第1和第2生产 线的故障发生时，而且在维修时，也可以同样高效地用于基材处理。 (实施方式4)
接着，使用附图对本发明的实施方式4涉及的基材处理装置300 和用该基材处理装置的基材处理方法进行详细的说明。另外，对于与 上述实施方式1同样的构成要素标注相同符号，并省略其说明。
图12是表示本发明的实施方式4涉及的基材处理装置300的模式 图。如图2所示，基材处理装置300设置在多条处理生产线中相邻的 两条处理生产线(第2生产线12和第3生产线13)间。另外，第2 生产线12由分别进行同一处理且并列设置的第2A生产线12a和第2B 生产线12b构成。
基材处理装置300由具备第1A基材供给调整部301a和第2A基 材供给调整部302a的第1A基材搬送部310a、第1基材分割部15a、 基材连接部17、第3基材供给调整部303、具备第1B基材供给调整部 301b和第2B基材供给调整部302b的第1B基材搬送部310b、第2基 材分割部15b、路径切换部19、腔室21和未图示的控制部等构成。
第1A基材搬送部310a设置在开始接收来自第2A生产线12a的塑 料基材22的位置。第1A基材搬送部310a由第1A基材供给调整部 301a、第2A基材供给调整部302a、和第1夹持搬送辊41构成。
第1A基材供给调整部301a由第1 第4搬送辊31、 32、 33、 34 构成。
第2A基材供给调整部302a设置在第1夹持搬送辊41和第2夹持搬送辊42之间。第2A基材供给调整部302a由第5 第12搬送辊105 112构成。
第1基材分割部15a设置在第2夹持搬送辊42的后段。第1基材 分割部15a设置有对搬送的塑料基材22的对准功能。第1基材分割部 15a由分割台50、配置在分割台50的上方的刀具51等构成。
基材连接部17设置在第3夹持搬送辊43的后段。在基材连接部 17设置有对搬送的塑料基材22的对准功能。基材连接部17由连接台 70和配置在连接台70的上方的连接胶带粘贴部71构成。
第3基材供给调整部303设置在第1A基材搬送部310a的后段且 第3生产线13的前段。第3基材供给调整部303由第13 第16搬送 辊113、 114、 115、 116构成。
第1B基材搬送部310b由第1B基材供给调整部301b、第2B基材 供给调整部302b和第5 7夹持搬送辊45 47构成。
第1B基材供给调整部301b和第1A基材供给调整部301a同样， 由第1 第4搬送辊31、 32、 33、 34构成。
第2B基材供给调整部302b设置在第6夹持搬送辊46和第7夹持 搬送辊47之间。第2B基材供给调整部18b由第17 第24搬送辊117 124构成。
第2基材分割部15b设置在第1B基材搬送部310b的后段。第2 基材分割部15b设置有对搬送的塑料基材22的对准功能。第2基材分 割部15b由分割台50、配置在分割台50的上方的刀具51等构成。 (使用基材处理装置300的显示装置的制造方法)
接着，对用本发明的实施方式4涉及的基材处理装置300的显示 装置的制造方法进行详细说明。
如图12所示，将一表面成膜的长尺状的塑料基材22(可挠性基材) 从第2生产线12向第3生产线13搬送，在这两个第2生产线12和第 3生产线13间设置有基材处理装置300。在本实施方式中，对第3生 产线13的搬送速度是第2生产线12的搬送速度的2倍，且第2生产 线由分别并列配置的第2A生产线12a和第2B生产线12b构成时的显 示装置的制造方法进行说明。另外，第2A生产线12a、第2B生产线 12b和第3生产线13分别作成不停止地连续搬送塑料基材22的生产
26线。
首先，如图12所示，在路径切换部19配置在第IB基材搬送部 310b的后段的状态下，将由例如厚度200um、宽度105mm的聚酰亚 胺形成的处理对象的长尺状的塑料基材22从第2A生产线12a和第2B 生产线12b搬入基材处理装置300。
搬入第2A生产线12a的塑料基材22通过第1A基材搬送部310a 的第1A基材供给调整部301a和第2A基材供给调整部302a、还有第3 基材供给调整部303向第3生产线搬送。
搬入到第2B生产线12b的塑料基材22通过第1B基材搬送部310b 的第1B基材供给调整部301b和第2B基材供给调整部302b保持在路 径切换部19。
接着，用第1基材分割部15a将来自第2A生产线12a的塑料基材 22、用第2基材分割部15b将来自第2B生产线12b的塑料基材22分 别分割。
接着，如图13所示，第2A基材供给调整部302a的第5 第12 搬送辊105 112分别按照在塑料基材22的搬送方向上接近第1A基材 供给调整部301a的方式移动，将相互的距离縮小，且分别按照在塑料 基材22的搬送方向相互远离的方式移动，保持塑料基材22。
另外，在上述的第5 第12搬送辊105 112的间隔縮小的同时， 路径切换部19在縮小的第2A基材供给调整部302a和第1基材分割部 15a之间移动。
接着，由基材连接部17将移动的路径切换部19保持的塑料基材 22的始端、和由第1基材分割部15a的被分割而产生的塑料基材22的 终端连接。
这时，由第1B基材供给调整部301b保持从第2B生产线12b连续 搬送的塑料基材22。
接着，如图14所示，路径切换部19的第4基材供给调整部92的 第30 第35搬送辊130 135通过分别在与塑料基材22的搬送方向交 叉的方向上相互接近，将保持在第3基材供给调整部303的塑料基材 22送出。
这时，由第2A基材供给调整部302a保持从第2A生产线12a连续搬送的塑料基材22，另外，继续由第lB基材供给调整部301b保持从 第2B生产线12b连续搬送的塑料基材22。
接着，如图15所示，将保持的塑料基材22全部送出的路径切换 部19向第1B基材供给调整部310b的后段移动。
接着，第2A基材供给调整部302a的第5 第12搬送辊105 112 移动而增大相互的间隔，使保持的塑料基材22的始端接近由第3基材 供给调整部303保持的塑料基材22的终端，由基材连接部17将它们 连接。
接着，如图16所示，第2B基材供给调整部302b的第17 第24 搬送辊117 124分别按照沿与塑料基材22的搬送方向交叉的方向接 近的方式移动，将塑料基材22向路径切换部19送出。
接着，如图17所示，路径切换部19的第4基材供给调整部92的 第30 第35搬送辊130 135通过分别在与塑料基材22的搬送方向交 叉的方向上相互远离，来保持从第2B基材供给调整部302b送来的塑 料基材22。
另外，在图16和图17的状态下，来自第2A生产线12a的塑料基 材22通过第1A基材搬送部310a和第3基材供给调整部303向第3生 产线13被连续搬送。
接着，第2A基材供给调整部18a的第5 第12搬送辊105 112 通过分别在与塑料基材22的搬送方向交叉的方向上相互接近，将保持 的塑料基材22向第3基材供给调整部303送出，恢复图12的状态。
这样，用基材处理装置300将从第2A生产线12a和第2B生产线 12b向搬送速度为2倍的第3生产线13的塑料基材22的搬送相互切换， 由此，不需要停止搬送速度慢的第2A生产线12a和第2B生产线12b 中任一方，可以连续而高效地进行生产线间连接。
另夕卜，本发明的基材处理装置可以有效地用于LCD (liquidcrystal display panel;液晶显示器)、PD (plasma display panel;等离子体显示 器)、有机EL (organic electroluminescence)、或SED (surface-conduction electron-emitter display;表面电场显示器)等显示装置的制造。另外， 即使是显示装置以外，只要是通过巻对巻搬送处理可挠性基材来制造 的装置，怎样的装置都可以。另外，基材处理装置也可以在基材分割部的后段还具有清洗塑料
基材22的清洗部。
另外，基材处理装置的基材分割部也可以具备检测基材分割位置 的位置检测单元。
另外，路径切换部19也可以不构成为如上述那样可在各搬送路径 间移动，例如也可以将多个搬送辊组合构成，通过改变它们的位置来 切换搬送路径。
另外，上述的第1 第3生产线11、 12 (12a、 12b、 12c)、 13的 各生产线结构至少分别由一台装置构成，根据需要，也可以成为多个 装置连结的构成。
另外，在上述实施方式中，对于处理对象的可挠性基材使用塑料 基材22，但也可以使用有机基材(聚酯砜(PES)、聚萘二甲酸乙二醇 酯(PEN)、聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚丙烯酸酯(PA)、聚 对苯二甲酸乙二醇酯(PET))、和金属箔基材(不锈钢、镍铬铁耐热耐 蚀合金、因瓦合金、其它)、无机/有机复合基材等。
另外，在上述实施方式中，作为与处理对象的可挠性基材连接的 另外的可挠性基材，用由聚酰亚胺形成的虚拟基材，但只要是具有可 挠性的基材，就可以用有机基材、无机/有机复合基材、金属箔基材等。
一作用效果一
下面，对本发明涉及的基材处理装置和基材处理方法的作用效果 进行说明。
本发明涉及的基材处理装置设置在生产线数相互不同的第1和第 2生产线间，对被搬送的长尺状的可挠性基材进行处理并进行生产线连 接，其特征在于，具备第1基材搬送部，从第1生产线接收并搬送 处理对象的可挠性基材；基材分割部，将由第1基材搬送部从第1生 产线搬送的可挠性基材分割；路径切换部，其从由基材分割部分割而 产生的基材始端接收可挠性基材，将可挠性基材的搬送路径切换到第2 生产线；和第2基材搬送部，其设置在第2生产线的前段，保持处理 对象的可挠性基材，将可挠性基材向该第2生产线搬送。
根据这种结构，由于进行第1生产线和第2生产线的生产线连接 的基材处理装置具备切换可挠性基材的搬送路径的路径切换部，所以
29在第1生产线或第2生产线上发生了故障等时，可以向分开准备好的 代替生产线切换搬送路径。因此，当一部分生产线上发生了故障等时， 不需要停止整个生产线。另外，当急需增产时，通过用例如第1生产 线和第2生产线增加处理速度更慢的生产线的生产线数，且在它们之 间切换搬送路径，从而可以提高可挠性基材的处理效率，可以与增产 对应。另外，由于连接各处理生产线的路径连续，因此每当在各处理 生产线上进行处理时，可以不用辊状的巻绕器具等巻绕可挠性基材且 向下一处理生产线自此巻幵搬送等。因此，在长尺状的可挠性基材内， 不会发生待处理时间(滞留时间)的差，能够抑制基材处理不良的发 生。
另外，本发明的基材处理装置也可以还具有第1基材连接部，该 第1基材连接部将由路径切换部切换了路径的可挠性基材的基材始端、 与由第2基材搬送部保持的可挠性基材的基材终端连接。
根据这种结构，由于还具有将由路径切换部切换了路径的可挠性 基材的基材始端、与由第2基材搬送部保持的可挠性基材的基材终端 连接的第1基材连接部，因此能够更可靠地连续搬送切换了路径的可 挠性基材和由第2基材搬送部保持的可挠性基材。
另外，本发明的基材处理装置也可以构成为基材分割部将路径 切换部接收并保持的可挠性基材在规定位置分割，路径切换部能够在 保持由基材分割部分割的可挠性基材的状态下，在各搬送路径间移动。
根据这种结构，由于基材分割部将路径切换部接收并保持的可挠 性基材在规定位置分割，路径切换部在保持由基材分割部分割的可挠 性基材的状态下，可在各搬送路径间移动，所以即使是例如将从第1 生产线接收的可挠性基材进行分配的第2生产线内的生产线存在多个 时，也可以圆滑地进行可挠性基材的分配。另外，即使是第1生产线 内的生产线存在多个且切换这些生产线并接连不断地向第2生产线搬 送时，也可以圆滑地进行可挠性基材的切换。
另外，本发明的基材处理装置也可以还具有第2基材连接部，其 将分割路径切换部接收并保持的可烧性基材而产生的来自第1生产线 的可挠性基材的基材始端、与由该路径切换部切换路径前搬送的可挠 性基材的基材终端连接。根据这种结构，由于还具有第2基材连接部，将分割路径切换部接收并保持的可挠性基材而产生的来自第1生产线的可挠性基材的基材始端、与由该路径切换部切换路径前搬送的可挠性基材的基材终端连接，所以将搬送的可挠性基材的路径切换后，可以将生产线间连接恢复到原来的状态。
另外，本发明的基材处理装置也可以在第1基材连接部和/或第2基材连接部设置有基材供给调整部，该基材供给调整部，在接收并保持来自第1生产线的可挠性基材之后将该可挠性基材送出或接收并将该可挠性基材送出。
根据这种结构，可以由基材供给调整部任意地调整来自第1生产线的可挠性基材的搬入速度、和向第2生产线输出的可挠性基材的输出速度。因此，即使是例如为了维修而停止第1和第2生产线之一，且之后开始运转，也可以将另一生产线的基材搬送速度保持一定。另外，即使是在第1和第2生产线的处理速度相互不同的情况下，也可以通过由基材供给调整部调整可挠性基材的输出速度来圆滑地进行各生产线间的连接。
另外，本发明的基材处理装置也可以在基材供给调整部设置有基材供给调整辊，该基材供给调整辊构成为边与可挠性基材的表面抵接边旋转，同时在与可挠性基材的搬送方向交叉的方向上往返移动，由此改变该可挠性基材的搬送路径。
根据这种结构，在基材供给调整部设置有基材供给调整辊，该基材供给调整辊构成为边与可挠性基材的表面抵接边旋转，同时在与可挠性基材的搬送方向交叉的方向上往返移动，由此改变该可挠性基材的搬送路径，因此可以通过简易的机构进行基材供给调整。
另外，本发明的基材处理装置的基材供给调整辊也可以构成为-能够在可挠性基材的搬送方向上调整相互的间隔。
根据这种结构，通过基材供给调整辊拉近相互的间隔，可以将路径切换部在保持由基材分割部分割的可挠性基材的状态下圆滑地收容在连接生产线上。另外，路径切换部在保持由基材分割部分割的可挠性基材的状态下从连接生产线向另一生产线移动后，通过使基材供给调整辊相互的间隔远离，由此可以将来自第1生产线的可挠性基材的基材始端和由路径切换部切换路径前搬送的可挠性基材的基材终端圆滑地连接。
另外，本发明的基材处理装置的基材供给调整辊也可以构成为-对于搬送的可挠性基材，只与可挠性基材的非处理侧的表面抵接。
根据这种结构，基材供给调整辊构成为对于搬送的可挠性基材，只与可挠性基材的非处理侧的表面抵接，因此，可以抑制可挠性基材的处理面的损伤等。
另外，本发明的基材处理装置也可以在上述第1基材搬送部和/或第2基材搬送部设置有搬送辊，该搬送辊在与可挠性基材的表面抵接的同时进行旋转，对该可挠性基材进行搬送。
根据这种结构，由于在第1基材搬送部和/或第2基材搬送部设置有搬送辊，该搬送辊在与可挠性基材的表面抵接的同时进行旋转，对该可挠性基材进行搬送，因此可以通过简易的机构搬送可挠性基材。
另外，本发明的基材处理装置的搬送辊也可以构成为相对于搬送的可挠性基材，只与可挠性基材的非处理侧的表面抵接。
根据这种结构，搬送辊构成为相对于搬送的可挠性基材，只与可挠性基材的非处理侧的表面抵接，因此可以抑制可挠性基材的处理面的损伤等。
另外，本发明的基材处理装置的基材分割部也可以用激光或刀具分割可挠性基材。
根据这种结构，由于基材分割部用激光或刀具分割可挠性基材，因此可以有效地分割可挠性基材。
另外，本发明的基材处理装置的基材分割部也可以利用水压分割可挠性基材。
根据这种结构，由于基材分割部利用水压分割可挠性基材，因此可以有效地分割可挠性基材且除去异物。
另外，本发明的基材处理装置也可以在基材分割部的后段还具有清洗可挠性基材的清洗部。
根据这种结构，由于在基材分割部的后段还具有清洗可挠性基材的清洗部，因此可以除掉附着在分割后的基材上的基材碎片等，制造利用率等良好。
32另外，本发明的基材处理装置也可以还具有将第1和第2基材搬送部、基材分割部、路径切换部和第l基材连接部收容在内部的腔室。
根据这种结构，由于还具有将第1和第2基材搬送部、基材分割部、路径切换部和第1基材连接部收容在内部的腔室，因此可以高效地抑制来自外部的异物等向基材的附着，制造利用率等良好。
另外，本发明的基材处理装置也可以还具有调整第1基材连接部连接的基材连接位置的对准单元。
根据这种结构，由于还具有调整第1基材连接部连接的基材连接位置的对准单元，因此可以在所希望的位置正确地进行基材的连接。
另外，本发明的基材处理装置也可以还具有调整由基材分割部分割的基材分割位置的对准单元。
根据这种结构，由于还具有调整由基材分割部分割的基材分割位置的对准单元，因此可以在所希望的位置正确地进行基材的分割。
另外，本发明的基材处理装置也可以还具有基材回收部，其从由基材分割部分割而产生的基材始端回收可挠性基材；基材供给部，其向由基材分割部分割而产生的基材终端，供给可挠性基材和/或与该可挠性基材分开准备的可挠性基材；和第3基材连接部，其将基材终端、和从基材供给部供给的可挠性基材和/或与该可挠性基材分开准备的可挠性基材的基材始端连接。
根据这种结构，例如，在第2生产线上发生处理故障必须停止第2生产线和基材向第2生产线的搬送时，首先，分割从第1生产线搬送的可挠性基材。其次，由基材回收部将经过第1生产线分别搬送的可挠性基材从分割后的可挠性基材的始端回收。其间，将分开准备的可挠性基材(例如，由另外的基材构成的虚拟基材、和在相同的材料上具有缺陷等不良的可挠性基材)与向第2生产线搬送的可挠性基材的终端连接并继续搬送，进入规定路径后，停止第2生产线和基材向第2生产线的搬送。因此，可以使来自第l生产线的可挠性基材连续搬入，且使处理故障发生后的第2生产线和可挠性基材向第2生产线的搬送停止。另外，在第1生产线上发生了处理故障时，使第1生产线停止的同时，将从第1生产线搬入的可挠性基材分割。接着，从基材供给部向被分割而产生的可挠性基材的终端供给可挠性基材和/或虚拟基材，将该基材始端连接且向第2生产线搬送。因此，即使将来自发生了处理故障的第1生产线的可挠性基材的搬入停止，也可以连续地进行可挠性基材向第2生产线的搬送。
另外，本发明的基材处理装置的基材回收部也可以具备巻绕辊，该巻绕辊将回收的可挠性基材巻绕并储存。
根据这种结构，由于基材回收部具备巻绕并储存所回收的可挠性基材的巻绕辊，因此可以紧凑地构成基材回收部。
另外，本发明的基材处理装置的基材供给部也可以具备巻绕并储存用于供给的可挠性基材和/或虚拟基材的巻绕辊。
根据这种结构，由于基材供给部具备巻绕并储存用于供给的可挠性基材和/或与该可挠性基材分开准备的可挠性基材的巻绕辊，因此可以紧凑地构成基材供给部。
另外，本发明的基材处理装置的基材回收部也可以设置在比基材分割部的基材分割位置更靠向上方的位置。
根据这种结构，由于基材回收部设置在比基材分割部的基材分割位置更靠向上方的位置，所以可以高效地抑制基材分割时产生的基材碎片等落下附着在回收的基材上，能够以良好的状态再利用所回收的基材。
另外，本发明的基材处理装置的基材供给部也可以设置在比基材分割部的基材分割位置更靠向上方的位置。
根据这种结构，由于基材供给部设置在比基材分割部的基材分割位置更靠向上方的位置，所以可以高效地抑制基材分割时产生的基材碎片等落下附着在供给的基材上，能够以良好的状态利用供给的基材。
另外，本发明的基材处理装置的基材回收部和基材供给部也可以分别相对于可挠性基材和虚拟基材的搬送路径设置在同侧。
根据这种结构，由于基材回收部和基材供给部分别相对于可挠性基材和虚拟基材的搬送路径设置在同侧，因此可以容易地将由基材回收部回收的基材向基材供给部移送，制造效率变得良好。
另外，本发明的基材处理装置的基材分割部也可以还具有检测基材分割位置的位置检测单元。
根据这种结构，由于基材分割部还具有检测基材分割位置的位置检测单元，因此例如在第1生产线上发生处理故障且可挠性基材上产生处理不良部的情况下，可以在该处理不良部的正前面分割搬送的可挠性基材。因此，可以高效地回收构成可挠性基材的正常处理的部分。本发明的基材处理装置设置在由单一的生产线构成的第1生产线
和由多条生产线构成的第2生产线间，对被搬送的长尺状的可挠性基材进行处理并进行生产线连接，其特征在于，具备第1基材搬送部，其从第1生产线接收并搬送处理对象的可挠性基材；基材分割部，其将由第1基材搬送部从第1生产线搬送的可挠性基材分割；路径切换部，其从由基材分割部分割而产生的基材始端接收可挠性基材，将可挠性基材的搬送路径切换到第2生产线；和多个第2基材搬送部，其设置在第2生产线的多条生产线的各自的前段，用于保持各处理对象的可挠性基材，将可挠性基材向该第2生产线搬送。
根据这种结构，进行第1生产线和第2生产线的生产线连接的基材处理装置具备切换可挠性基材的搬送路径的路径切换部，因此，在第2生产线内的规定生产线上发生了故障等时，可以向分开准备好的第2生产线内的代替线切换搬送路径。因此，当在一部分生产线上发生了故障等时，不需要停止整个生产线。另外，当急需增产时，通过将第2生产线内的生产线数增加，且在它们之间切换搬送路径，可以提高可挠性基材的处理效率，可以与增产对应。另外，由于连接各处理生产线的路径连续，因此每当在各处理生产线上进行处理时，可以不用辊状的巻绕器具等巻绕可挠性基材且向下一处理生产线自此巻开搬送等。因此，在长尺状的可挠性基材内，不会发生待处理时间(滞留时间)的差，能够抑制基材处理不良的发生。
本发明的基材处理装置设置在由多条生产线构成的第1生产线和由单一的生产线构成的第2生产线间，对被搬送的长尺状的可挠性基材进行处理并进行生产线连接，其特征在于，具备多个第1基材搬送部，其从第1生产线的对应的生产线接收并搬送处理对象的可挠性基材；基材分割部，其分别将由多个第1基材搬送部从第1生产线搬送的可挠性基材分割；路径切换部，其从由基材分割部分割而产生的基材始端接收可挠性基材，将可挠性基材的搬送路径切换到第2生产线；和第2基材搬送部，其设置在第2生产线的前段，用于保持处理对象的可挠性基材，将可挠性基材向第2生产线搬送。
根据这种结构，进行第1生产线和第2生产线的生产线连接的基材处理装置具备切换可挠性基材的搬送路径的路径切换部，因此，在第1生产线上发生了故障等时，可以向分开准备好的代替线切换搬送路径。因此，当在一部分生产线上发生了故障等时，不需要停止整个生产线。另外，当急需增产时，通过将第l生产线内的生产线数增加，且在它们之间切换搬送路径，可以提高可挠性基材的处理效率，可以与增产对应。另外，由于连接各处理生产线的路径连续，因此每当在各处理生产线上进行处理时，可以不用辊状的巻绕器具等巻绕可挠性基材且向下一处理生产线自此巻开搬送等。因此，在长尺状的可挠性基材内，不会发生待处理时间(滞留时间)的差，能够抑制基材处理不良的发生。
本发明的基材处理方法设置在生产线数相互不同的第1和第2生产线间，对处理对象长尺状的可挠性基材进行处理并进行生产线连接，其特征在于，具备第1基材搬送步骤，其从第1生产线接收并搬送处理对象的可挠性基材；第1基材分割步骤，其将在第1基材搬送步骤从第1生产线搬送的可挠性基材分割；路径切换步骤，其从通过第1基材分割步骤分割而产生的可挠性基材的基材始端接收可挠性基材，将可挠性基材的搬送路径切换到第2生产线；和搬送准备步骤，在第2生产线的前段，为了将可挠性基材向第2生产线搬送而将其保持。
根据这种结构，当进行第1生产线和第2生产线的生产线连接时，由于具备切换搬送路径的路径切换步骤，因此在第1生产线或第2生产线上发生了故障等时，可以向分开准备好的代替线切换搬送路径，因此，当在一部分生产线上发生了故障等时，不需要停止整个生产线。此外，当急需增产时，通过用例如第1生产线和第2生产线增加处理速度更慢的生产线的生产线数，且在它们之间切换搬送路径，可以提高可挠性基材的处理效率，可以与增产对应。另外，由于连接各处理生产线的路径连续，因此每当在各处理生产线上进行处理时，可以不用辊状的巻绕器具等巻绕可挠性基材且向下一处理生产线自此巻开搬送等。因此，在长尺状的可挠性基材内，不会发生待处理时间(滞留时间)的差，能够抑制基材处理不良的发生。进而，本发明的基材处理方法也可以还具有第1基材连接步骤，在该第1基材连结步骤中，将通过路径切换步骤切换了路径的可挠性基材的基材始端、与通过搬送准备步骤保持的可挠性基材的基材终端连接。
根据这种结构，由于还具有将通过路径切换步骤切换了路径的可挠性基材的基材始端、与通过搬送准备步骤保持的可挠性基材的基材终端连接的第1基材连接步骤，所以可以更可靠地连续搬送切换了路
径的可挠性基材和由第2基材搬送部保持的可挠性基材。
另外，本发明的基材处理方法也可以还具有将通过路径切换步骤接收并保持的可挠性基材在规定位置分割的第2基材分割步骤，在路径切换步骤中，使通过第2基材分割步骤分割的可挠性基材向规定的搬送路径移动。
根据这种结构，还具有将通过路径切换步骤接收并保持的可挠性基材在规定位置分割的第2基材分割步骤，在路径切换步骤中，使通过第2基材分割步骤分割的可挠性基材向规定的搬送路径移动，因此例如，即使将从第1生产线接收的可挠性基材分配的第2生产线内的生产线存在多个时，也可以圆滑地进行可挠性基材的分配。另外，即使第1生产线内的生产线存在多个，且将它们的生产线切换并将可挠性基材接连不断地向第2生产线搬送时，也可以圆滑地进行可挠性基材的切换。
进而，本发明的基材处理方法也可以还具有第2基材连接步骤，在第2基材连接步骤中，将分割通过上述路径切换步骤接收并保持的可挠性基材而产生的来自第1生产线的可挠性基材的基材始端、与在该路径切换步骤切换路径前搬送的可挠性基材的基材终端连接。
根据这种结构，还具有第2基材连接步骤，将分割通过上述路径切换步骤接收并保持的可挠性基材而产生的来自第1生产线的可挠性基材的基材始端、与通过该路径切换步骤切换路径前搬送的可挠性基材的基材终端连接，因此将搬送的可挠性基材的路径切换后，可以将生产线间连接恢复到原来的状态。
另外，本发明的基材处理方法也可以通过热熔接进行可挠性基材的连接。
37根据这种结构，由于通过热熔接进行可挠性基材的连接，因此可以简易且良好地进行可挠性基材的连接。
另外，本发明的基材处理方法也可以通过耐药品性胶带进行可挠性基材的连接。
根据这种结构，由于通过耐药品性胶带进行可挠性基材的连接，
因此在第2生产线上进行蚀刻等的药品的处理时，可以抑制药品侵蚀胶带，可以良好地保持胶带的连接力。
另外，本发明的基材处理方法也可以通过耐热性胶带进行可挠性基材的连接。
根据这种结构，由于通过耐热性胶带进行可挠性基材的连接，因此在第2生产线上进行加热处理时，可以抑制胶带的粘接力因加热而下降，可以良好地保持胶带的连接力。
另外，本发明的基材处理方法也可以还具有基材回收步骤，其
从通过第1或第2基材分割步骤被分割而产生的基材始端回收可挠性基材；基材供给步骤，其向通过第1或第2基材分割步骤被分割而产生的基材终端，供给可挠性基材和/或与该可挠性基材分开准备的可挠性基材；第3基材连接步骤，其将基材终端、和在基材供给步骤供给的可挠性基材和/或与该可挠性基材分开准备的可挠性基材的基材始端连接。
根据这种结构，例如，在第2生产线上发生处理故障而必须停止第2生产线和基材向第2生产线的搬送时，首先，分割从第l生产线搬送的可挠性基材。其次，将经过第1生产线接连不断搬送的可挠性基材从分割后的可挠性基材的始端回收。其间，将与该可挠性基材分开准备的虚拟基材等与向第2生产线搬送的可挠性基材的终端连接并继续搬送，进入规定路径后，停止第2生产线和基材向第2生产线的搬送。因此，可以使来自第1生产线的可挠性基材连续搬入，且使处理故障发生后的第2生产线和可挠性基材向第2生产线的搬送停止。另外，在第1生产线上发生了处理故障时，使第1生产线停止，并且将从第1生产线搬入的可挠性基材分割。接着，向被分割而产生的可挠性基材的终端，供给可挠性基材和/或虚拟基材，将其基材始端连接且向第2生产线搬送。因此，即使将来自发生了处理故障的第1生产线的可挠性基材的搬入停止，也可以连续地进行可挠性基材向第2生产线的搬送。
另外，本发明的基材处理方法也可以检测被搬送的可挠性基材的规定的分割位置，进行第1或第2基材分割步骤的可挠性基材的分割。
根据这种结构，由于检测被搬送的可挠性基材的规定的分割位置而进行第1或第2基材分割步骤的可挠性基材的分割，因此例如在第1生产线上发生处理故障且可挠性基材上产生处理不良部时等，可以将搬送的可挠性基材在该处理不良部的正前面分割。因此，可以高效地回收构成可挠性基材的正常处理的部分。
本发明的基材处理方法，其在由单一的生产线构成的第1生产线和由多条生产线构成的第2生产线间，对被搬送的长尺状可挠性基材进行处理并进行生产线连接，其特征在于，具备基材搬送步骤，其从第1生产线接收并搬送处理对象的可挠性基材；基材分割步骤，其将通过基材搬送步骤从第1生产线搬送的可挠性基材分割；路径切换步骤，其从通过基材分割步骤被分割而产生的基材始端接收可挠性基材，切换该可挠性基材的搬送路径；搬送准备步骤，其在第2生产线的多条生产线的各自的前段，为了将各个处理对象的可挠性基材向该第2生产线搬送而将其保持；和基材连接步骤，其将通过路径切换步骤切换了路径的可挠性基材的基材始端、与通过搬送准备步骤保持的可挠性基材的任一个基材终端连接。
根据这种结构，由于在第1生产线和第2生产线的生产线连接中具备切换可挠性基材的搬送路径的路径切换步骤，因此在第2生产线内的规定线上发生了故障等时，可以向分开准备好的第2生产线内的代替线切换搬送路径。因此，当在一部分生产线上发生了故障等时，不需要停止整个生产线。另外，当急需增产时，通过将第2生产线内的生产线数增加，且在它们之间切换搬送路径，可以提高可挠性基材的处理效率，可以与增产对应。另外，由于连接各处理生产线的路径连续，因此每当在各处理生产线上进行处理时，可以不用辊状的巻绕器具等巻绕可挠性基材且向下一处理生产线自此巻开搬送等。因此，在长尺状的可挠性基材内，不会发生待处理时间(滞留时间)的差，能够抑制基材处理不良的发生。本发明的基材处理方法在由多条生产线构成的第1生产线和由单
一的生产线构成的第2生产线间，对被搬送的长尺状可挠性基材进行处理并进行生产线连接，其特征在于，具备多个基材搬送步骤，其从第1生产线的对应的生产线接收并搬送处理对象的可挠性基材；基材分割步骤，其将通过基材搬送步骤从第1生产线的多条生产线搬送的可挠性基材分别分割；路径切换步骤，其从在基材分割步骤被分割而产生的基材始端接收可挠性基材，切换该可挠性基材的搬送路径；搬送准备步骤，其在第2生产线的前段，为了将可挠性基材向该第2生产线搬送而将其保持；和第1基材连接步骤，其将通过路径切换步骤切换了路径的可挠性基材的基材始端、与在搬送准备步骤保持的可挠性基材的基材终端连接。
根据这种结构，由于在第1生产线和第2生产线的生产线连接中具备切换可挠性基材的搬送路径的路径切换步骤，因此，在第1生产线上发生了故障等时，可以向分开准备好的代替线切换搬送路径。因此，当在一部分生产线上发生了故障等时，不需要停止整个生产线。另外，当急需增产时，通过将第1生产线内的生产线数增加，且在它们之间切换搬送路径，可以提高可挠性基材的处理效率，可以与增产对应。另外，由于连接各处理生产线的路径连续，因此每当在各处理生产线上进行处理时，可以不用辊状的巻绕器具等巻绕可挠性基材且向下一处理生产线自此巻开搬送等。因此，在长尺状的可挠性基材内，不会发生待处理时间(滞留时间)的差，能够抑制基材处理不良的发生。
产业上的可利用性
如上所述，本发明适用于基材处理装置和使用该基材处理装置的基材处理方法。
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权利要求
1.一种基材处理装置，其设置在生产线数相互不同的第1和第2生产线间，对被搬送的长尺状的可挠性基材进行处理并进行生产线连接，其特征在于，包括第1基材搬送部，其从所述第1生产线接收并搬送处理对象的可挠性基材；基材分割部，其将由所述第1基材搬送部从所述第1生产线搬送的所述可挠性基材分割；路径切换部，其从由所述基材分割部分割而产生的基材始端接收所述可挠性基材，将该可挠性基材的搬送路径切换到所述第2生产线；和第2基材搬送部，其设置在所述第2生产线的前段，用于保持处理对象的可挠性基材，并将该可挠性基材向该第2生产线搬送。
2. 如权利要求1所述的基材处理装置，其特征在于 还具有第1基材连接部，该第1基材连接部将由所述路径切换部切换了路径的所述可挠性基材的基材始端、与由所述第2基材搬送部 保持的可挠性基材的基材终端连接。
3. 如权利要求1所述的基材处理装置，其特征在于 所述基材分割部将所述路径切换部接收并保持的可挠性基材在规定位置分割，所述路径切换部构成为，能够在保持由所述基材分割部分割的可 挠性基材的状态下，在各搬送路径间移动。
4. 如权利要求3所述的基材处理装置，其特征在于 还具有第2基材连接部，该第2基材连接部将分割由所述路径切换部接收并保持的可挠性基材而产生的来自第1生产线的可挠性基材 的基材始端、与由该路径切换部切换路径前搬送的可挠性基材的基材 终端连接。
5. 如权利要求1所述的基材处理装置，其特征在于 在所述第1基材搬送部和/或第2基材搬送部设置有基+才供给调整部，该基材供给调整部，在接收并保持来自所述第1生产线的可挠性 基材之后，或者在接收的同时，送出该可挠性基材。
6. 如权利要求5所述的基材处理装置，其特征在于 在所述基材供给调整部设置有基材供给调整辊，该基材供给调整辊构成为在与可挠性基材的表面抵接并进行旋转的同时，在与该可 挠性基材的搬送方向交叉的方向上进行往返移动，由此改变该可挠性 基材的搬送路径。
7. 如权利要求5所述的基材处理装置，其特征在于-所述基材供给调整辊按照能够在可挠性基材的搬送方向上调整相互的间隔的方式构成。
8. 如权利要求6或7所述的基材处理装置，其特征在于 所述基材供给调整辊按照相对于搬送的可挠性基材，只与该可挠性基材的非处理侧的表面抵接的方式构成。
9. 如权利要求1所述的基材处理装置，其特征在于 在所述第1基材搬送部和/或第2基材搬送部设置有搬送辊，该搬送辊在与可挠性基材的表面抵接的同时进行旋转，对该可挠性基材进 行搬送。
10. 如权利要求9所述的基材处理装置，其特征在于 所述搬送辊按照相对于搬送的可挠性基材，只与该可挠性基材的非处理侧的表面抵接的方式构成。
11. 如权利要求l所述的基材处理装置，其特征在于 所述基材分割部用激光分割所述可挠性基材。
12.如权利要求l所述的基材处理装置，其特征在于:所述基材分割部用刀具分割所述可挠性基材。
13. 如权利要求1所述的基材处理装置，其特征在于 所述基材分割部利用水压分割所述可挠性基材。
14. 如权利要求l所述的基材处理装置，其特征在于 在所述基材分割部的后段还设置有清洗所述可挠性基材的清洗部。
15. 如权利要求1所述的基材处理装置，其特征在于 还具有腔室，所述腔室将所述第1和第2基材搬送部、所述基材分割部、所述路径切换部收容在内部。
16. 如权利要求1所述的基材处理装置，其特征在于 还具有对准单元，该对准单元调整由所述第1基材连接部决定的基材连接位置。
17. 如权利要求l所述的基材处理装置，其特征在于 还具有对准单元，该对准单元调整由所述基材分割部决定的基材分割位置。
18. 如权利要求l所述的基材处理装置，其特征在于，还包括 基材回收部，其从由所述基材分割部分割而产生的基材始端回收可挠性基材；基材供给部，其向由所述基材分割部分割而产生的基材终端，供 给可挠性基材和/或与该可挠性基材分开准备的可挠性基材；和第3基材连接部，其将所述基材终端、和从所述基材供给部供给 的可挠性基材和/或与该可挠性基材分开准备的可挠性基材的基材始端 连接。
19. 如权利要求18所述的基材处理装置，其特征在于 所述基材回收部具有巻绕辊，该巻绕辊将回收的可挠性基材巻绕并储存。
20. 如权利要求18所述的基材处理装置，其特征在于所述基材供给部具有巻绕辊，该巻绕辊将用于供给的可挠性基材 和/或与该可挠性基材分开准备的可挠性基材巻绕并储存。
21. 如权利要求18所述的基材处理装置，其特征在于 所述基材回收部设置在所述基材分割部的基材分割位置的上方。
22. 如权利要求18所述的基材处理装置，其特征在于 所述基材供给部设置在所述基材分割部的基材分割位置的上方。
23. 如权利要求18所述的基材处理装置，其特征在于 所述基材回收部和所述基材供给部分别设置在相对于所述可挠性基材和与所述该可挠性基材分开准备的可挠性基材的搬送路径的同 侧。
24. 如权利要求18所述的基材处理装置，其特征在于 所述基材分割部还具有检测基材分割位置的位置检测单元。
25. —种基材处理装置，其设置在由单一的生产线构成的第1生 产线和由多条生产线构成的第2生产线间，对被搬送的长尺状的可挠 性基材进行处理并进行生产线连接，其特征在于，包括第1基材搬送部，其从所述第1生产线接收并搬送处理对象的可 挠性基材；基材分割部，其将由所述第1基材搬送部从所述第1生产线搬送 的所述可挠性基材分割；路径切换部，其从由所述基材分割部分割而产生的基材始端接收 所述可挠性基材，将该可挠性基材的搬送路径切换到所述第2生产线; 和多个第2基材搬送部，其设置在所述第2生产线的多条生产线的 各自的前段，用于保持各处理对象的可挠性基材，并将该可挠性基材向该第2生产线搬送。
26. —种基材处理装置，其设置在由多条生产线构成的第1生产 线和由单一的生产线构成的第2生产线间，对被搬送的长尺状的可挠 性基材进行处理并进行生产线连接，其特征在于，包括多个第1基材搬送部，其从所述第1生产线的对应的生产线接收 并搬送处理对象的可挠性基材；基材分割部，其将由所述多个第1基材搬送部从所述第1生产线 搬送的所述可挠性基材分别分割；路径切换部，其从由所述基材分割部分割而产生的基材始端接收 所述可挠性基材，将该可挠性基材的搬送路径切换到所述第2生产线； 和第2基材搬送部，其设置在所述第2生产线的前段，用于保持处 理对象的可挠性基材，并将该可挠性基材向该第2生产线搬送。
27. —种基材处理方法，其在生产线数相互不同的第1和第2生 产线间，对处理对象的长尺状的可挠性基材进行处理并进行生产线连 接，其特征在于，包括第1基材搬送步骤，其从所述第1生产线接收并搬送处理对象的 可挠性基材；第1基材分割步骤，其将在所述基材搬送步骤从所述第1生产线 搬送的所述可挠性基材分割；路径切换步骤，其从通过所述第1基材分割步骤被分割而产生的 所述可挠性基材的基材始端接收该可挠性基材，将该可挠性基材的搬 送路径切换到第2生产线；和搬送准备步骤，其在所述第2生产线的前段，为了将可挠性基材 向该第2生产线搬送而将其保持。
28. 如权利要求27所述的基材处理方法，其特征在于 还具有第1基材连接步骤，其将通过所述路径切换步骤切换了路径的所述可挠性基材的基材始端、与通过所述搬送准备步骤保持的可挠性基材的基材终端连接。
29. 如权利要求27所述的基材处理方法，其特征在于 还具有将通过所述路径切换步骤接收并保持的可挠性基材在规定位置分割的第2基材分割步骤，在所述路径切换步骤中，使通过所述第2基材分割步骤分割的可 挠性基材向规定的搬送路径移动。
30. 如权利要求29所述的基材处理方法，其特征在于 还具有第2基材连接步骤，其将分割通过所述路径切换步骤接收并保持的可挠性基材而产生的来自第1生产线的可挠性基材的基材始 端、与通过该路径切换步骤切换路径前搬送的可挠性基材的基材终端 连接。
31. 如权利要求27所述的基材处理方法，其特征在于 通过热熔接进行所述可挠性基材的连接。
32. 如权利要求27所述的基材处理方法，其特征在于 通过耐药品性胶带进行所述可挠性基材的连接。
33. 如权利要求27所述的基材处理方法，其特征在于 通过耐热性胶带进行所述可挠性基材的连接。
34. 如权利要求28或29所述的基材处理方法，其特征在于，还 包括基材回收步骤，其从通过所述第1或第2基材分割步骤被分割而 产生的基材始端回收可挠性基材；基材供给步骤，其向通过所述第1或第2基材分割步骤被分割而 产生的基材终端，供给可挠性基材和/或与该可挠性基材分开准备的可 挠性基材；第3基材连接步骤，其将所述基材终端、和通过所述基材供给步 骤供给的可挠性基材和/或与该可挠性基材分开准备的可挠性基材的基材始端连接。
35. 如权利要求34所述的基材处理方法，其特征在于 检测被搬送的所述可挠性基材的规定的分割位置，进行所述第1或第2基材分割步骤的可挠性基材的分割。
36. —种基材处理方法，其在由单一的生产线构成的第1生产线 和由多条生产线构成的第2生产线间，对被搬送的长尺状可挠性基材 进行处理并进行生产线连接，其特征在于，包括基材搬送步骤，其从所述第1生产线接收并搬送处理对象的可挠 性基材；基材分割步骤，其将通过所述基材搬送步骤从所述第1生产线搬 送的所述可挠性基材分割；路径切换步骤，其从通过所述基材分割步骤被分割而产生的基材 始端接收所述可挠性基材，切换该可挠性基材的搬送路径；搬送准备步骤，其在所述第2生产线的多条生产线的各自的前段， 为了将各个处理对象的可挠性基材向该第2生产线搬送而将其保持； 和基材连接步骤，其将通过所述路径切换步骤切换了路径的所述可 挠性基材的基材始端、与通过所述搬送准备步骤保持的可挠性基材的 任一个基材终端连接。
37. —种基材处理方法，其在由多条生产线构成的第1生产线和 由单一的生产线构成的第2生产线间，对被搬送的长尺状可挠性基材 进行处理并进行生产线连接，其特征在于，包括多个基材搬送步骤，其从所述第1生产线的对应的生产线接收并 搬送处理对象的可挠性基材；基材分割步骤，其将通过所述基材搬送步骤从所述第1生产线的 多条生产线搬送的所述可挠性基材分别分割；路径切换步骤，其从通过所述基材分割步骤被分割而产生的基材 始端接收所述可挠性基材，切换该可挠性基材的搬送路径；搬送准备步骤，其在所述第2生产线的前段，为了将可挠性基材向该第2生产线搬送而将其保持；和第1基材连接步骤，其将通过所述路径切换步骤切换了路径的所 述可挠性基材的基材始端、与通过所述搬送准备步骤保持的可挠性基 材的基材终端连接。
全文摘要
本发明提供一种基材处理装置和使用该基材处理装置的基材处理方法。该基材处理装置包括第1基材搬送部，其从第1生产线接收并搬送处理对象的可挠性基材；基材分割部，其将由第1基材搬送部搬送的上述可挠性基材分割；路径切换部，其从由基材分割部分割而产生的基材始端接收可挠性基材，将其搬送路径切换到第2生产线；和第2基材搬送部，其设置在第2生产线的前段，用于保持处理对象的可挠性基材并向第2生产线搬送。
文档编号B65H21/00GK101605710SQ20088000440
公开日2009年12月16日 申请日期2008年1月23日 优先权日2007年5月16日
发明者波多野晃继 申请人:夏普株式会社