Amhs暂存区系统的制作方法

Amhs暂存区系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种AMHS暂存区系统，其包括至少一个设于AMHS系统暂存区内的暂存设备，暂存设备具有回转式的回形暂存平台，暂存平台由传动装置驱动而回形转动，暂存平台上具有多个用于放置硅片盒的暂存托架。本发明采用回转式的回形暂存平台，实现暂存区各个位置硅片盒的移动，再通过设置硅片盒抓取装置，可以快捷取放输送车上的硅片盒、实现硅片盒在暂存平台任意位置或不同暂存平台之间的移动，节省输送车存取行驶过程中的时间，从而提高了AMHS系统整体的效率。
【专利说明】AMHS暂存区系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体集成电路物料输送设备【技术领域】，尤其涉及一种自动化物料传输系统的暂存区系统。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的发展,300mm娃片已经逐步取代200mm娃片成为主流,每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统(Automated Material HandlingSystems,简称AMHS)作为连接各个制造模块之间输送娃片的纽带的重要性也日益凸显出来。
[0003]现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的0ΗΤ输送车，往返于各个机台之间(tool to tool输送模式),或往返于机台与暂存区Stocker之间(走道间系统interbay与走道内系统intrabay)。如图1所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有娃片盒堆叠部20 (load port), 0ΗΤ输送车70 (overhead hoist transport)能抓起堆叠部20上的娃片盒30,并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110,而娃片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用0ΗΤ输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。
[0004]可见，现有技术中暂存区内暂存的硅片盒都是靠0ΗΤ输送车存取，比如输送车A将硅片盒拾取后暂存于暂存区的P位置，位于远离P位置的Q位置走道的机台需要使用该硅片盒，那么输送车B就需要至少行驶P — Q的距离(假定输送车B已在P位置)，再加上路径中可能有的其他输送车，输送车B需要耗费很多时间来拾取该硅片盒。
[0005]因此，如何在暂存区内实现各个位置硅片盒的移动，来节省输送车存取行驶过程中的时间，提高AMHS系统整体的效率，是技术人员需要解决的技术问题之一。

【发明内容】

[0006]本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的AMHS暂存区系统。
[0007]为实现上述目的，本发明提供一种AMHS暂存区系统，其包括至少一个设于AMHS系统暂存区内的暂存设备，该暂存设备具有回转式的回形暂存平台，该暂存平台由传动装置驱动而回形转动，该暂存平台上具有多个用于放置硅片盒的暂存托架。
[0008]进一步地，该暂存平台具有两段平行的直段和连接该两段直段两端的连接段。
[0009]进一步地，该至少一个直段的两侧设有至少一个硅片盒抓取装置。
[0010]进一步地，该硅片盒抓取装置设于该直段的延长线上。[0011]进一步地，该回形暂存平台的中间也设有至少一个硅片盒抓取装置。
[0012]进一步地，该暂存区系统包括至少两个暂存设备，该两个暂存设备之间还设有至少一个硅片盒抓取装置。
[0013]进一步地，该硅片盒抓取装置包括可伸展的机械臂和抓取硅片盒的抓手。
[0014]进一步地，该暂存托架上设有硅片盒探测器，以探测该暂存托架上是否放置了硅片盒。
[0015]进一步地，该回形暂存平台沿顺时针或逆时针方向回形转动。
[0016]本发明采用以上技术方案，提供一种新的AMHS暂存区系统，其具有回转式的回形暂存平台，实现暂存区各个位置硅片盒的移动，再通过设置硅片盒抓取装置，可以快捷取放输送车上的硅片盒、实现硅片盒在暂存平台任意位置或不同暂存平台之间的移动，节省输送车存取行驶过程中的时间，从而提高了 AMHS系统整体的效率。
【专利附图】

【附图说明】
[0017]为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中:
[0018]图1是现有AMHS系统的结构示意图；
[0019]图2是本发明第一实施例的AMHS暂存区系统平面示意图；
[0020]图3是本发明第二实施例的AMHS暂存区系统平面示意图；
[0021]图4是本发明第二实施例中的硅片盒抓取装置结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]第一实施例
[0023]请参阅图2，本实施例的AMHS暂存区系统包括:其包括一个设于AMHS系统暂存区内的暂存设备1，暂存设备1具有回转式的回形暂存平台11，暂存平台11由传动装置(未图示)驱动而回形转动，暂存平台11上具有多个用于放置硅片盒的暂存托架12。
[0024]其中，暂存平台11具有两段平行的直段13和连接直段13两段的两段连接段14，形成一个回字形，运转时，暂存平台11可沿着顺时针或逆时针方向回形转动，图2中箭头所示顺时针的转动方向。
[0025]本实施例中，暂存托架12上还设有硅片盒探测器，以探测本暂存托架上是否放置了硅片盒。该硅片盒探测器可以设于暂存托架表面的中心位置。
[0026]第二实施例
[0027]请参阅图3，本实施例的AMHS暂存区系统包括:两个第一实施例中的暂存设备1，该两个暂存设备1的两个直段分别位于同一直线上，该直线即AMHS系统悬吊轨道的路径位置，使得输送车在经过暂存设备时可以恰好将硅片盒投放到或拾取于暂存设备直段上的暂存托架。
[0028]本实施例中，该两个暂存设备两段直段的两侧各设有一个硅片盒抓取装置31，即总计6个硅片盒抓取装置31，用以快捷在输送车和其邻近的暂存托架之间输送硅片盒，以及在两个暂存设备的暂存托架之间输送硅片盒，因此其位置需设于直段的延长线上，即AMHS轨道的路径上。[0029]本实施例中，每个暂存设备暂存平台的中间各设有一个硅片盒抓取装置，用于在同一暂存平台间实现不同暂存托架上硅片盒的移动。
[0030]请继续参阅图4，本实施例中的硅片盒抓取装置包括底座51、可伸展的机械臂52和抓手53。
[0031]在其他实施例中，为了增加暂存区内硅片盒的转移效率，可以调整暂存设备、硅片盒抓取装置的数量。
【权利要求】
1.一种AMHS暂存区系统，其特征在于，其包括:至少一个设于AMHS系统暂存区内的暂存设备，该暂存设备具有回转式的回形暂存平台，该暂存平台由传动装置驱动而回形转动，该暂存平台上具有多个用于放置硅片盒的暂存托架。
2.根据权利要求1所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该暂存平台具有两段平行的直段和连接该两段直段两端的连接段。
3.根据权利要求2所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该至少一个直段的两侧设有至少一个硅片盒抓取装置。
4.根据权利要求3所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该硅片盒抓取装置设于该直段的延长线上。
5.根据权利要求3所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该回形暂存平台的中间也设有至少一个硅片盒抓取装置。
6.根据权利要求3所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该暂存区系统包括至少两个暂存设备，该两个暂存设备之间还设有至少一个硅片盒抓取装置。
7.根据权利要求3至6所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该硅片盒抓取装置包括可伸展的机械臂和抓取硅片盒的抓手。
8.根据权利要求7所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该暂存托架上设有硅片盒探测器，以探测该暂存托架上是否放置了硅片盒。
9.根据权利要求8所述的AMHS暂存区系统，其特征在于:该回形暂存平台沿顺时针或逆时针方向回形转动。
【文档编号】B65G49/07GK103693445SQ201310739705
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年12月27日 优先权日:2013年12月27日
【发明者】钱刚 申请人:上海集成电路研发中心有限公司