一种取晶车的制作方法

本实用新型涉及单晶制造辅助设备，特别涉及一种取晶车。

背景技术：

单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶，所谓拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化，再用子晶向上拉引，慢慢形成一个长筒状的单晶棒，在单晶棒从单拉晶炉中出来的时候需要采用取晶车进行接送。

取晶车通常包括车架，在车架上会设置有接收晶棒的支撑架，所述支撑架呈长条状设置，在支撑架的底部设置有用于定位晶棒的支撑座，所述支撑架整体可以沿车架从平行于车架的方向旋转至垂直于车架方向，在支撑架垂直于车架的时候，所述车架上还设置有用于推动支撑架在垂直方向上升降的升降机构，在支撑架上升至与拉晶炉高度相仿处将晶棒承接住后，支撑架再退回至原位，在旋转至与车架平行的状态，通过外部的液压机械手将晶棒从支撑架内取出。

如申请号为201520065572.8公开的一种晶棒装卸车，该专利中记载了晶棒框通过滚珠丝杠的方式带动拉杆连接件去驱动旋转架完成旋转动作，滚珠丝杠是一种高精度精密传送件，而且滚珠丝杠在造价上高昂并不是适用于大量市场推广，另外的话，拉杆连接件带动晶棒框运动不平稳。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种取晶车，提高了运动的平稳性，并且降低造价成本，便于推广。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种取晶车，包括有车架以及支撑架，所述车架上设置有用于推动支撑架升降的驱动组件，所述车架上设置有驱动支撑架转动的翻转组件，所述翻转组件固定于车架上的基板以及轴向定位于基板上的转轴且所述转轴可周向旋转，所述驱动组件包括驱动底板，所述驱动底板转动连接于转轴上，所述驱动底板与车架之间设置有推动驱动底板翻转的液压油缸，所述液压油缸一端铰接于车架上，另一端则铰接于驱动底板上。

进一步的，所述基板上设置有两个轴承座，所述转轴轴向定位于两个轴承座之间，所述驱动底板上设置有两个与转轴连接的连接座，所述连接座上设置有与转轴配合的贯穿孔，所述贯穿孔与转轴之间间隙配合。

进一步的，所述驱动底板上设置有与液压油缸铰接连接的铰接座，所述铰接座位于两个连接座的中心位置处且所述铰接座位于连接座的上方。

进一步的，所述车架相对于翻转组件的另一侧端部设置有支撑组件，所述支撑组件包括有固定于车架上的支撑座以及定位于支撑座内支撑杆，所述支撑座内设置有轴向位移孔，所述支撑杆定位于位移孔内，所述支撑杆上设置有抵接环，所述抵接环与位移孔的孔径相配合，所述支撑杆上套设有缓冲弹簧且所述缓冲弹簧位于限位环与支撑座的底部之间。

进一步的，所述支撑杆于外侧端部呈球面设置。

进一步的，所述支撑座上设置有行程开关，所述行程开关与支撑杆高度相同。

进一步的，所述支撑组件设置有两组，且两组所述支撑组件沿车架的宽度方向间隔设置。

采用上述结构，驱动组件控制支撑架整体的升降，而液压油缸推动驱动底板绕转轴旋转，液压油缸的伸缩端的伸长可以推动支撑架从水平方向翻转至90度的垂直方向，液压油缸的伸缩端的缩短，液压油缸绕其在车架一端的铰接点旋转，使得液压油缸趋于与车架平行从而使得支撑架实现从90度到水平位置的切换，采用液压油缸替代滚珠丝杠，液压油缸具有运动平稳的优点，另外简化了现有技术中结构，降低了造价。

附图说明

图1是立体结构示意图；

图2是另一视角立体结构示意图；

图3是支撑组件爆炸结构示意图。

图中，1、车架；2、支撑架；21、定位板；22、基座；23、承接座；24、连接杆；25、槽钢；26、连接组件；3、翻转组件；31、基板；32、转轴；33、轴承座；4、驱动组件；41、驱动底板；42、铰接座；43、连接座；44、贯穿孔；5、液压油缸；6、支撑组件；61、行程开关；62、支撑杆；63、抵接环；64、盖体；65、缓冲弹簧；66、支撑座；67、位移孔。

具体实施方式

一种取晶车，包括车架1以及用于存放晶棒的支撑架2，所述车架1上设置有带动支撑架2升降的驱动组件4，所述驱动组件4包括有驱动底板41以及设置于驱动底板41上的导槽，所述支撑架2包括有基座22以及定位板21，所述基座22与定位板21之间通过设置连接组件26形成一体，所述连接组件26包括有焊接于基座22上的槽钢25以及固定于槽钢25上的连接杆24，所述连接杆24一端固定于槽钢25上另一端固定于定位板21上，所述基座22、定位板21以及连接组件26之间形成有用于放置晶棒的空间，所述定位板21与基座22之间设置有用于支撑晶棒的承接座23，所述承接座23固定于定位板21上，所以带动基座22运动便可以带动支撑架2整体升降。

所述车架1上设置有驱动支撑架2转动的翻转组件3，所述翻转组件3包括有固定于车架1上的基板31、固定于基板31上的两个轴承座33以及轴向定位于轴承座33之间的转轴32，所述驱动底板41上设置有两个连接座43，所述连接座43上设置有贯穿孔44，所述连接座43通过贯穿孔44套设于转轴32上，所述贯穿孔44与转轴32之间间隙配合，所述连接座43的数量为两个，两个连接座43位于转轴32的两个轴端，所述驱动组件4整体可以绕转轴32周向旋转，所述驱动底板41与车架1之间还设置有液压油缸5，所述驱动底板41在两个连接座43的中心位置处设置有铰接座42，所述铰接座42与两个连接座43之间呈三角状设置，所述液压油缸5的一端与铰接座42铰接，所述液压油缸5的另一端则与车架1铰接连接。

为了保证支撑架2从垂直于车架1方向翻转至平行于车架1方向的位置时的稳定性，在车架1相对于翻转组件3的另一端设置有支撑组件6，所述支撑组件6包括带有位移孔67的支撑座66以及套设于位移孔67内的支撑杆62，所述位移孔67沿轴向方向设置，所述支撑杆62上设置有直径大于支撑杆62的抵接环63，所述抵接环63与位移孔67的直径相配合，所述位移孔67内设置有缓冲弹簧65，所述缓冲弹簧65套设于支撑杆62于抵接环63与支撑座66底部之间，所述支撑杆62位于外部的端部设置为球面，在支撑杆62受到支撑架2的基座22的挤压时，起到缓冲作用，所述支撑座66外还通过螺栓固定连接有封闭位移孔67的盖体64，所述盖体64上设置有行程开关61，所述行程开关61控制液压油缸5的启停，所述行程开关61的高度与支撑杆62的高度相同，所述行程开关61的高度可以略低于支撑杆62的高度，在支撑架2绕翻转组件3运动至水平位置时，支撑架2便会与支撑杆62抵触，支撑杆62在轴向方向上下降，当支撑架2与行程开关61触碰后，行程开关61控制液压油缸5停止，表示支撑架2运动到位，实现对于支撑架2位置的控制，优选的，为了提高对于支撑架2的稳定支撑，可以设置两组支撑组件6，两组支撑组件6之间沿车架1的宽度方向间隔设置。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。