存放一或多个探针卡的容器及用于容器的探针卡支撑嵌件的制作方法

本文中所揭示的具体实施例是关于用于存放及输送一或多个探针卡的技巧。此类技巧包括：用于存放一或多个探针卡的探针卡支撑嵌件、包括该探针卡支撑嵌件的容器、包括该容器及该探针卡支撑嵌件用于输送一或多个探针卡的系统、以及用于存放及输送一或多个探针卡的方法。

背景技术

大体上，半导体制作程序涉及各种程序设备及制作程序步骤以在晶圆中组建个别集成电路。该等个别集成电路各在晶圆表面的表面上设有一或多个金属接垫。透过一或多个金属接垫将信号传递至及自该等个别集成电路的各者。

半导体制作程序包括晶圆测试步骤，其中晶圆中的个别集成电路是为了功能缺陷而受测。晶粒制备步骤之前先进行晶圆测试步骤，晶粒制备步骤将晶圆切割成单独晶粒，各晶粒包括半导电性材料，而该半导电性材料上组建有给定集成电路。

在晶圆测试步骤中，使用电子测试系统、点测器、以及探针卡来测试晶圆中的个别集成电路。通过电子测试系统所发送的一系列电气测试信号来测试晶圆中的个别集成电路。探针卡为介于电子测试系统与晶圆之间的接口。探针卡在电子测试系统与晶圆中的个别集成电路的金属接垫之间提供电路径，从而允许在电子测试系统与晶圆中的集成电路之间传递信号。探针卡实际上是一种自定义连接器(customconnector)，其采用给定电子测试系统的通用型样并变换信号以连接至晶圆的表面上的金属接垫。探针卡包括多个探针尖部，可移动该等探针尖部与晶圆的表面上的金属接垫电接触及机械接触。电子测试系统与晶圆的集成电路之间的信号是透过通过探针尖部及金属接垫所形成的电连接来传递。集成电路对透过由探针尖部及集成电路的金属接垫所形成的电连接从电子测试系统传递至集成电路的测试信号的响应指出集成电路是否制作正确或不正确。探针卡可具有多个探针尖部以允许有效率地且同时测试晶圆上的多个集成电路。接着可在晶粒制备步骤中移除制作不正确的集成电路。

在晶圆测试步骤中，点测器持固晶圆及探针卡，并且对准晶圆与探针卡，使探针尖部与晶圆的表面上的金属接垫电接触及机械接触。举一实施例来说，对于设在晶圆上的动态随机存取内存(dram)装置及闪存装置，各该金属接垫每一侧可具有大约40微米至90微米的尺寸。要与对应的金属接垫接触的探针卡的各探针尖部的所具尺寸小于金属接垫的尺寸。

以高精确度制造探针卡，以便确保多个探针尖部的各者与受测晶圆上对应且较小金属接垫之间的机械接触及电接触精确度高。由于探针尖部尺寸小，因此探针卡可能易碎且容易损坏。探针卡的制造成本大约为6千至25万美元。再者，取决于探针卡的复杂度，再制造及修复损坏的探针卡可能需要数天到数周的时间。

数种习知方法是用于存放探针卡。探针卡可存放在持固多个探针卡的卡架上。亦可将单独探针卡存放在成型探针卡保护器中，以保护探针卡免受意外损坏。探针卡保护器可在输送期间保护探针卡，并且可保护探针卡免于与卡架直接接触。再者，探针卡保护器可提供保护环境，以减少所存放探针卡对环境污染物的曝露。

在半导体制作程序中，有时需要将探针卡从一个无尘室设施输送至另一个无尘室设施。探针卡的输送可以是多步骤手动程序。在该多步骤手动程序的一实施例中，穿着第一无尘室服装的技术人员可从第一无尘室取回探针卡，离开第一无尘室，脱下第一无尘室服装，将探针卡手动输送至不同位置，穿上第二无尘室服装，擦拭探针卡，进入第二个无尘室，并将探针卡装载至点测器或将探针卡存放在第二无尘室中的架子中。此手动程序举例而言，可能需要30分钟。

需要替代技术才能以降低一或多个探针卡受损可能性的方式存放该一或多个探针卡。再者，需要替代技术才能更有效率地输送一或多个探针卡，同时降低输送期间损坏一或多个探针卡的可能性。

技术实现要素：

在本发明的一态样中，提供一种用于存放及输送一或多个探针卡的容器。用于存放一或多个探针卡的容器具有含内部表面的容器本体，该内部表面是组配成用来界定：用于罩覆该一或多个探针卡的内部空间、以及经调整尺寸而容许将该一或多个探针卡插入及移出该内部空间的开口；组配成用来以可卸除方式装配至该容器本体的该开口以闭合该开口的罩盖；以及与该容器本体的该内部表面连接的一或多个探针卡支撑嵌件，其中，该一或多个探针卡支撑嵌件各具有一或多个探针卡支撑表面，其是组配成用来支撑该容器本体的该内部空间中所罩覆的该一或多个探针卡的第一者，其中，该容器本体的该内部表面及该一或多个探针卡支撑嵌件的该各者是组配成用来以可卸除方式连接。

在本发明的另一态样中，提供一种用于与容器配合使用的探针卡支撑嵌件，其中该容器具有：包含内部表面的容器本体，该内部表面是组配成用来界定：用于罩覆该一或多个探针卡的内部空间，以及开口，其是经调整尺寸而容许将该一或多个探针卡插入及移出该内部空间；以及罩盖，其是组配成用来以可卸除方式装配至该容器本体的该开口以闭合该开口，以及其中该探针卡支撑嵌件具有：支撑壳体，其是组配成用来以可卸除方式连接至该容器本体的内部表面；以及连接至该支撑壳体的一或多个支撑表面，其中该一或多个支撑表面各是组配成用来支撑对应的一或多个探针卡。

在本发明的另一态样中，提供了一种用于输送一或多个探针卡的系统。

在本发明的另一态样中，提供一种用于存放及输送一或多个探针卡的方法。

本发明的优点将会在以下说明中提出，而且部分将会在本说明书中明显揭示，或者可通过实际演练本发明来学习。

附图说明

本说明书结论部分特别指出并且清楚地主张本发明的一或多项态样。本发明的前述及其它目的、特征、以及优点经由下文的详细说明配合附图将显而易知，其中：

图1绘示容器的透视图，其包括外部容器及探针支撑嵌件，用于持固及输送一或多个探针卡及/或一或多个成型探针卡保护器。

图2绘示外部容器的透视图。

图3a至3e绘示探针卡支撑嵌件。图3a绘示探针卡支撑嵌件的俯视图。图3b绘示探针卡支撑嵌件的透视图。图3c绘示探针卡支撑嵌件的正视图。图3d绘示探针卡支撑嵌件的右侧视图，其中探针卡支撑嵌件的左侧视图为右侧视图的镜像。图3e绘示探针卡支撑嵌件的后视图。

图4绘示薄板支撑嵌件的透视图。

图5绘示用于输送一或多个探针卡的系统。

图6绘示用于输送一或多个探针卡的方法。

图7绘示组配具有探针卡支撑嵌件的外部容器的方法。

图8绘示控制自动化输送系统的方法，用以将存放在外部容器中的一或多个探针卡从设施a输送至设施b。

符号说明：

100容器

300外部容器

302容器本体

304开口

306罩盖

308夹持部

310a,310b,310c,310d侧壁

310e背板

312c1切口

312c2对准销

314悬臂卡扣

316悬臂卡扣

500探针卡支撑嵌件

502支撑表面

504支撑壳体

506a,506b侧壁

508a,508b向外延展凸缘

510a,510b向内延展凸缘

512a,512b突起物

514a,514b对准销孔

700系统

702自动化输送系统

704控制器

706用户接口

708悬吊式输送载具

800薄板支撑嵌件

802a,802b支撑面板

804支撑板

806支撑件

808支撑板侧面板

810向外延展凸缘

812突起物

814对准销孔

s10～s58步骤。

具体实施方式

将说明用于存放及输送一或多个探针卡的容器100。将参照图1至3说明该设备。

容器100可包括外部容器300及一或多个探针卡支撑嵌件500，其是组配成用来以可卸除方式受罩覆于外部容器300内。

下文将参照图2说明外部容器300的结构。

外部容器300可包括形成为盒状且在一端具有开口304的容器本体302；用于将容器本体302的开口304气密地覆盖以使容器本体302的内部与外部环境隔离的罩盖306；组配成用来受转移系统的转移臂夹持以提起外部容器300的夹持部308，以及由技术人员用手夹持以提起外部容器300的一或多个握把(图未示)。

容器本体302整体可形成为大致立方体形状。容器本体302可包括四个侧壁310a、310b、310c及310d、以及背板310e，并且可在与背板310e对立的前部设有开口304。与容器本体302的底端对应的侧壁310b的外侧可包括对准用具(图未示)，例如要在里面装配一或多个对应运动销的一或多个凹槽。夹持部308可设于与容器本体302的顶端对应的侧壁310a的外侧上。一或多个握把可设于侧壁310c及侧壁310d的外侧上，其可从侧壁310b朝向侧壁310a大致垂直延展。

在容器本体302的各别侧壁310a至310d的末端部分(对应于开口304)处，提供要在里面装配罩盖306的罩盖接收部分310g。在罩盖接收部分310g中，提供装配部分，其为内凹部分，装配有罩盖306的闩锁机构，用以将罩盖306紧固至容器本体302。

罩盖306为用于将容器本体302的开口310f覆盖的构件。罩盖306是形成为大致平坦的板材形状，并且是装配至容器本体302的罩盖接收部分310g。罩盖306与容器本体302之间设有用于固定罩盖306的闩锁机构。罩盖306的外表面上可提供用于操作闩锁机构的机构。

密封材料可设于罩盖306与容器本体302之间。密封材料使容器本体302的内部与外部环境气密地隔离。密封材料可设于罩盖306的内表面上，用于与容器本体302在其整个周界周围的罩盖接收部分310g毗连接触以密封容器本体302的内部。

下文将参照图1至3说明探针卡支撑嵌件500的结构、以及外部容器300的结构，用于将探针卡支撑嵌件500导引到容器本体302的内部、以及用于使探针卡支撑嵌件500固定在容器本体302的内部里。

可设定探针卡支撑嵌件500的外尺寸，以使得可将探针卡支撑嵌件500以可卸除方式插入容器本体302的内部。再者，外部容器300及探针卡支撑嵌件500可组配成可将探针卡支撑嵌件500紧固至侧壁310a至310d的内部侧中的一或多者、以及背板310e的内部侧。再者，探针卡支撑嵌件500可组配成用来支撑一或多个探针卡，或持固一或多个对应探针卡的一或多个成型塑料探针卡保护器。再进一步，探针卡支撑嵌件500可组配成用来使一或多个探针卡相对于外部容器300的移动达到最小，同时一或多个探针卡是由容器内部本体302的内部里的探针卡支撑嵌件500所支撑。

下文将参照图3说明探针卡支撑嵌件500的一实施例。

探针卡支撑嵌件500可包括一或多个支撑表面502及支撑壳体504。一或多个支撑表面502及支撑壳体504各可由诸如聚碳酸酯、铝或不锈钢的材料所构成。

一或多个支撑表面502各可包括直接支撑上有置放探针卡或成型探针卡保护器的上表面、以及与该上表面对置的下表面。一或多个支撑表面502中各者的上表面可实质平坦。

支撑壳体504将一或多个支撑表面502顺着为置放于其上的一或多个探针卡或成型探针卡保护器提供支撑的取向持固。一或多个支撑表面502可通过例如焊接或粘结以固定方式附接至支撑壳体504。或者，一或多个支撑表面502可通过诸如螺丝及扣件的各种附接结构以可卸除方式附接至支撑壳体504。再者，一或多个支撑表面502可包括附接结构，该附接结构与提供至支撑壳体504的所选对应嵌合结构嵌合，以在探针卡支撑嵌件500是设置于容器本体302的内部里时，改变一或多个支撑表面502的下表面与侧壁310b的内表面之间的距离。通过改变一或多个支撑表面502的下表面与侧壁310b的内表面之间的距离，可调整支撑表面502以容纳其上所支撑具有不同形状(例如：垂直尺寸)的探针卡及成型探针卡保护器。

支撑壳体504可包括侧壁506a、侧壁506b、向外延展凸缘508a、向外延展凸缘508b、向内延展凸缘510a以及向内延展凸缘510b。

侧壁506a的内部表面可采固定方式或采可脱离方式连接至一或多个支撑表面502中各者的第一边缘，并且侧壁506b的内部表面可采固定方式或采可脱离方式连接至一或多个支撑表面502中各者的第二边缘，用来将一或多个支撑表面顺着为置放于其上的一或多个探针卡或成型探针卡保护器提供支撑的取向持固。

下文将说明导引探针卡支撑嵌件500插入容器本体302的内部、以及将探针卡支撑嵌件500与容器本体302的内部对准的结构。

向外延展凸缘508a可远离侧壁506a的外部表面延展，而向外延展凸缘508b可远离侧壁506b的外部表面延展。当探针卡支撑嵌件500是设置于容器本体302内时，向外延展凸缘508a可安置于侧壁506a将与容器本体302的开口310f最接近的一个端部上。类似的是，当探针卡支撑嵌件500是设置于容器本体302内时，向外延展凸缘508b可安置于侧壁506b将与容器本体302的开口310f最接近的一个端部上。

向内延展凸缘510a可远离侧壁506a的内部表面延展，而向内延展凸缘510b可远离侧壁506b的内部表面延展。当探针卡支撑嵌件500是设置于容器本体302内时，向内延展凸缘510a可安置于侧壁506a将与容器本体302的背板310e的内部表面最接近的一个端部上。类似的是，当探针卡支撑嵌件500是设置于容器本体302内时，向内延展凸缘510b可安置于侧壁506b将与容器本体302的背板310e的内部表面最接近的一个端部上。

向外延展凸缘508a远离侧壁506a的外部表面延展的前缘可界定一或多个切口及/或一或多个突起物512a。向外延展凸缘508b远离侧壁506b的外部表面延展的前缘可界定一或多个切口及/或一或多个突起物512b。

再者，向外延展凸缘508a可包括一或多个对准销孔514a，而向外延展凸缘508b可包括一或多个对准销孔514b。

容器本体302的侧壁310c的内部表面可包括与向外延展凸缘508a的一或多个切口512a对应的一或多个突起物312c1、以及与向外延展凸缘508a的一或多个突起物512a对应的一或多个切口312c1。容器本体302的侧壁310d的内部表面可包括与向外延展凸缘508b的一或多个切口512b对应的一或多个突起物312d1、以及与向外延展凸缘508b的一或多个突起物512b对应的一或多个切口312d1。

再者，容器本体302的侧壁310c可包括与支撑壳体504的向外延展凸缘508a的一或多个对准销孔514a对应的一或多个对准销312c2，而容器本体302的侧壁310d可包括对应于一或多个对准销孔514b的一或多个对准销312d2。

在探针卡支撑嵌件500插入容器本体302的内部空间期间，向外延展凸缘508a及508b可通过突起物及切口312c1与312c2、以及容器本体302的对准销312c2与312d2来导引。

下文将说明以可卸除方式连接外部容器300及探针卡支撑嵌件500的结构。

外部容器300可包括悬臂卡扣314及悬臂卡扣316。悬臂卡扣314与316各可包括梁柱及突出部分。悬臂卡扣314的梁柱的基端可固定连接至容器本体302的侧壁310c的内部表面，并且悬臂卡扣314的梁柱的前端可朝向容器本体302的开口304延展。悬臂卡扣314的突出部分可从悬臂卡扣314的梁柱的前端径向凸出。悬臂卡扣316具有类似结构。悬臂卡扣316的梁柱的基端可固定连接至容器本体302的侧壁310d的内部表面，并且悬臂卡扣316的梁柱的前端可朝向容器本体302的开口304延展。悬臂卡扣316的突出部分可从悬臂卡扣314的梁柱的前端径向凸出。

当探针卡支撑嵌件500正在插入并受导引到容器本体302的内部空间时，向外延展凸缘508a与508b的突起物512a与512b接合容器本体302的悬臂卡扣314。亦即，向外延展凸缘508a的突起物512a接合悬臂卡扣314的突出部分的入口侧，以使悬臂卡扣314的梁柱偏离梁柱的松弛位置。当探针卡支撑嵌件500受导引朝向容器本体302的背板310e时，突起物512a持续接合突出部分，直到突起物512a伸抵突出部分的回缩侧，以允许悬臂卡扣314的梁柱返回到该松弛位置，从而将向外延展凸缘508a紧固至容器本体302。透过突起物512b与悬臂卡扣316的突出部分的接合，以类似方式使向外延展凸缘508b紧固至容器本体302。

为了将各向外延展凸缘508a及508b从容器本体302释放，可使悬臂卡扣314的突出部分、及悬臂316的突出部分凹陷，以使悬臂卡扣314与316的梁柱偏斜，而向外延展凸缘508a与508b则受导引远离容器本体302的背板310e以通过容器本体302的开口304。

下文将说明当支撑表面502上置放一或多个探针卡或成型探针卡保护器时，使该一或多个探针卡或该一或多个成型探针卡保护器的移动达到最小的结构。

向内延展凸缘510a远离侧壁506a的内部表面延展的前缘、及向内延展凸缘510b远离侧壁506b的内部表面延展的前缘可界定切口及突起物518a与518b，其对应于由支撑表面502支撑的一或多个成型探针卡保护器的外轮廓。

再者，背板310e的内表面可包括与向内延展凸缘510a的外表面、及向内延展凸缘510b的外表面接触的一或多个突起物，以界定介于向内延展凸缘510a及510b与背板310e的内表面之间的空间。

当一或多个成型探针卡保护器由支撑表面502支撑时，一或多个成型探针卡保护器的一部分是朝向背板310e通过向内延展凸缘510a与510b插入介于向内延展凸缘510a及510b与背板310e的内表面之间的空间。在此一配置中，一或多个成型探针卡保护器的外轮廓的一部分可接触由向内延展凸缘510a与510b的前缘所界定的切口及突起物，以使一或多个成型探针卡保护器、及顺着远离支撑表面502且横切支撑表面502延展的方向受持固于其中的探针卡的移动达到最小。

再者，作为各支撑表面502的平坦上表面的一替代方案，各支撑表面502的上表面可透过例如成型来形成，以具有与受支撑探针卡的外部轮廓的底端、或受支撑成型探针卡保护器的外部轮廓的底端相符的轮廓，其可使受支撑探针卡或受支撑成型探针卡保护器的移动达到最小。

如以上所述，可在容器本体302内以可卸除方式罩覆探针卡支撑嵌件500。容器本体302亦可组配成用来罩覆其它嵌件结构。在一项实施例中，容器本体302可组配成用来罩覆薄板支撑嵌件800。

薄板支撑嵌件800是组配成用来支撑一或多个薄板。薄板的一实施例可包括但不限于半导体晶圆、磁性记录媒体碟、光学记录媒体碟，用于液晶的玻璃基板、或用于可挠性显示设备的薄膜基板。

薄板支撑嵌件800是进一步组配成用来以可脱离方式附接至容器本体302。

下文将参照图式中的图4说明薄板支撑嵌件800的一实施例。

薄板支撑嵌件800可包括支撑面板802a及支撑面板802b。支撑面板802b的结构可以是支撑面板802a的结构的镜像。

支撑面板802a可包括支撑板804及多个支撑件806。

支撑板804是组配成用来以可脱离方式附接至侧壁310a、侧壁310b、侧壁310c、侧壁310d及背板310e中的一或多者的内部表面。再者，支撑板804是组配成用来在多个支撑件806是以预定间隔平行布置的状态下支撑多个支撑件806。

支撑板804可包括支撑板侧面板808。多个支撑片806是固定连接至要以预定间隔平行布置的支撑板侧面板808的内表面。

支撑板804可进一步包括从支撑板804的外部表面延展的向外延展凸缘810。当支撑面板802a是配置在容器本体302内时，可将向外延展凸缘810置于支撑板侧面板808与容器本体302的开口304最接近的一个端部上。向外延展凸缘810远离支撑板804外部表面延展的前缘可界定一或多个切口及/或一或多个突起物812。再者，向外延展凸缘810可界定一或多个对准销孔814。一或多个切口及或突起物812与一或多个对准销孔814的相对间距可实质等同于一或多个切口及/或突起物512a与一或多个对准销孔514a的相对间距，使得向外延展凸缘810(及支撑面板802a)可在支撑面板802a插入容器本体302的内部空间期间通过容器本体302的上述结构来导引，并且通过容器本体302的上述结构予以紧固至容器本体302。举例而言，在支撑面板802a插入容器本体302的内部空间期间，随着支撑面板802a朝向背板310e通过容器本体302的开口304，可将多个切口及/或突起物812与容器本体的对应突起物及切口312c1对准，并且可将多个对准销孔814与对应的对准销312c2对准，使得突起物及切口312c1导引切口及/或突起物812，并且对准销312c2导引对准销孔814朝向支撑面板802a紧固至容器本体302的位置。随着支撑面板802a受到导引，支撑面板802a接合容器本体302的悬臂卡扣314。亦即，向外延展凸缘810的突起物812接合悬臂卡扣314的突出部分的入口侧，以使悬臂卡扣314的梁柱偏离梁柱的松弛位置。当支撑面板802a受导引朝向容器本体302的背板310e时，突起物812持续接合突出部分，直到突起物812伸抵突出部分的回缩侧，以允许悬臂卡扣314的梁柱返回到该松弛位置，从而将支撑面板802a紧固至容器本体302。

为了将支撑面板802a从容器本体302释放，可使悬臂卡扣314的突出部分凹陷，以使悬臂卡扣314的梁柱偏斜，而支撑面板802a则受导引远离容器本体302的背板310e以通过容器本体302的开口304。

可提供用于将薄板支撑嵌件800连接至容器本体302的其它连接结构。举例而言，支撑板804及容器本体302的侧壁310c的内部表面可设有干涉配合的组件。此一干涉配合可包括位在支撑板804中的多个轴件、以及位在侧壁310c的内部表面中的多个对应孔洞。可将支撑板804中的多个轴件推入侧壁310c中的多个孔洞，藉此通过该等轴件与界定该多个孔洞的侧壁310c的表面之间的摩擦使支撑板804连接至侧壁310c。

多个支撑件806各可具有与通过支撑件806所支撑的薄板的形状相符的形状。举例而言，在将支撑面板802a紧固至容器本体302时，提供支撑件806，以便从最接近背板310e的内区延展至最接近侧壁310c的中间区域，以及从该中间区域延展至最接近开口304的外区。多个支撑件806各具有可对薄板的外周缘区域提供直接接触及支撑的轮廓，同时避开薄板的可用区域。

上述探针卡支撑嵌件500及上述薄板支撑嵌件800可透过连接至诸如悬臂卡扣314与316的公用连接结构而可取代地紧固至相同容器本体302。因此，可预见的是，可将相同容器本体302调适成适于输送诸如薄板及探针卡等不同物项，端视插入及连接至容器本体302的可插入结构(例如：探针卡支撑嵌件500及薄板支撑嵌件800)而定。此一可互换特征是用于下文所述的系统及方法具体实施例中。

接下来，将在下文参照图5说明用于存放及输送一或多个探针卡的系统700。

系统700可包括自动化输送系统702、控制器704、用户接口706、外部容器300以及探针卡支撑嵌件500(及/或可与探针卡支撑嵌件500互换的薄板支撑嵌件800)。

可在包括设施a及设施b的环境中操作系统700。设施a的一实施例可以是用于一或多个探针卡的洁净存放设施。设施b的一实施例可以是进行晶圆测试步骤的洁净测试设施。

自动化输送系统702可包括可基于技术人员透过用户接口706输入的指令通过控制器704来控制的悬吊式输送载具708。

悬吊式输送载具708是组配成用来沿着至少在设施a与设施b之间延展的高架轨道系统行进。悬吊式输送载具708是组配成用来通过例如夹持及释放外部容器300的夹持部308而在设施a与设施b处存取及积存外部容器300。

用户接口706是组配成用来接收来自技术人员用以将一或多个探针卡从设施a输送至设施b的指令。控制器704可组配成用来透过显示器或另一输出装置来指示技术人员取回外部容器300。或者，控制器704可组配成用来控制自动化取回系统(或悬吊式输送载具708)以取回外部容器300。技术人员接着可将外部容器300的罩盖306从容器本体302移除，以使开口304曝露，并且以探针卡支撑嵌件500取代外部容器300中的薄板支撑嵌件800。之后，技术人员可接着将一或多个探针卡及/或一或多个成型探针卡保护器(其中具有一或多个探针卡)装载到要由一或多个支撑表面502来支撑的外部容器300。之后，技术人员可接着将外部容器300的罩盖306紧固至容器本体302以闭合开口304。接下来，技术人员可将外部容器300置入诸如装载端口的区域，在该装载端口处，悬吊式输送载具708可夹持外部容器300的夹持部308。

控制器704可组配成用来控制悬吊式输送载具708，以夹持外部容器300的夹持部308，从设施a移动至设施b，以及释放外部容器300的夹持部308从而将外部容器积存在设施b中。

在以上说明中，控制器704可通过包括一或多个处理器的计算机来实施，该一或多个处理器是组配成用来读取内存中所储存的指令以执行上述功能及控制。再者，用户接口706可通过诸如键盘、鼠标及/或触控屏幕用户接口等装置来实施。

接下来，将在下文参照图6至8说明用于存放及输送一或多个探针卡的方法。

请参阅图6，该方法可包括步骤s10：组配具有探针卡支撑嵌件500的外部容器300；步骤s30：将一或多个探针卡及/或成型探针卡保护器(其中具有一或多个探针卡)装载到内有插入探针卡支撑嵌件500的外部容器300内；以及步骤s50：控制自动化输送系统702以将外部容器300、探针卡支撑嵌件500及一或多个探针卡及/或成型探针卡保护器从设施a输送至设施b。

请参阅图7，组配具有探针卡支撑嵌件500的外部容器300的步骤s10还可包括步骤s12：将外部容器300的罩盖306从容器本体302移除以使开口304曝露。步骤s10还可包括步骤s14：将薄板支撑嵌件800与容器本体302分开并且移除薄板支撑嵌件800。步骤s10还可包括步骤s16：导引探针卡支撑嵌件500穿过开口304并进入容器本体302的内部。步骤s16可包括安置向外延展凸缘508a与508b，使得切口及突起物512a及512b以及对准销孔514a及514b与突起物及切口312c1及312d1以及容器本体302的对准销312c2及312d2对准，并且沿着突起物及切口312c1及312d1以及对准销312c2及312d2朝向容器本体302的背板310e导引探针卡支撑嵌件500。步骤s10还可包括步骤s18：将探针卡支撑嵌件500与附接结构接合，以将探针卡支撑嵌件500以可卸除方式附接至容器体302。步骤s18可包括将探针卡支撑嵌件500的突起物512a及512b与容器本体302的悬臂卡扣314及316接合，以将探针卡支撑嵌件500附接至容器本体302。

接下来，步骤s30可包括将探针卡及/或成型探针卡保护器(其中具有探针卡)的各者置放于探针卡支撑嵌件500的支撑表面502上。再者，可朝向容器本体302的背板310e插入成型探针卡保护器，直到成型探针卡保护器的一部分是配置在背板310e与探针卡支撑嵌件500的向内延展凸缘510a及510b之间的空间中，使得成型探针卡保护器接合向内延展凸缘510a及510b的切口及突起物518a及518b，以使成型探针卡保护器在输送期间的移动达到最小。步骤s30还可包括将外部容器300的罩盖306紧固至容器本体302以使开口304闭合。

请参阅图8，控制自动化输送系统702以将外部容器300、探针卡支撑嵌件500及一或多个探针卡及/或成型探针卡保护器从设施a输送至设施b的步骤s50可包括步骤s52：将装载的外部容器300置入诸如设施a的装载端口的区域以等待输送。接下来，在步骤s54中，控制器704可接收透过用户接口706输入的将装载的外部容器300从设施a输送至设施b的指令。接下来，在步骤56中，控制器704可以控制悬吊式输送载具708以抓住所装载外部容器300的夹持部308，并且沿着高架导轨将抓住的外部容器300从设施a输送至设施b。接下来，在步骤s58中，控制器704可控制悬吊式输送载具708将所装载外部容器300输送至设施b中的指定区域或接收架间，并且释放外部容器300的夹持部308上的夹持部，从而完成将探针卡及/或存放该等探针卡的成型探针卡保护器递送至设施b。

对所属领域技术人员显而易见的是，可对本发明进行各种修改及改变而不脱离本发明的精神与范畴。由于将本发明的精神与要旨并入的所揭示具体实施例可由所属领域技术人员进行修改、组合、次组合及变化，因而应该将本发明解读为包括权利要求及其等同内容的范畴内的所有内容。