一种立体仓储装置的制作方法

本实用新型涉及半导体行业晶圆自动化制程中晶圆盒摆放定位设备技术领域，更具体地，涉及一种用于晶圆类产品的立体仓储装置。

背景技术：

在半导体行业自动化制程中，经常需要将foup(前开式晶圆盒)上料位置固定在一侧，以便操作工进行上下料。

然而，对于有些厂家，因为厂房大小的问题，无法做到将很多foup平铺于很长的一层空间，这会造成设备宽度过于宽，而进不去厂房，或者与厂房的承重柱子之间发生干涉。

所以，需要设计一种新型的晶圆类产品的立体仓储装置，以占用较小的厂房层空间，并让foup上料更为便捷，定位更加精确。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种立体仓储装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种立体仓储装置，包括：

多层存储架，每层的所述存储架并列设有多个定位工装板，每个所述定位工装板上独立存储一个位置被限定的产品盒；

搬运机构，设于所述存储架的正面，用于以直线传输方式，将所述产品盒搬运至所述存储架前，以便进一步将所述产品盒推送至目标所述定位工装板上。

进一步地，所述存储架为两层结构，每层设有三个所述定位工装板，共存储六个所述产品盒。

进一步地，每层的所述存储架底部设有水平固定板，所述定位工装板设于所述水平固定板上，相邻所述定位工装板之间通过多个六角等高支柱相隔离，以在每个所述定位工装板上方形成一个所述产品盒的存储仓。

进一步地，所述定位工装板的四个角部通过螺钉与下方水平固定板安装连接。

进一步地，所述定位工装板表面上设有助推机构。

进一步地，所述助推机构为多个万向滚珠。

进一步地，所述定位工装板的后侧表面上设有定位机构。

进一步地，所述定位机构为止回块。

进一步地，位于每个存储的所述产品盒上方的所述存储架上设有rfid读取机构。

进一步地，所述搬运机构为x-y二轴向直线模组，每个所述直线模组采用电缸驱动的传动结构，所述电缸的电机为伺服电机。

从上述技术方案可以看出，本实用新型通过采用2层配置，每层各有三个定位工装板，工装板上设有万向滚珠(牛眼)，可以让人方便地把产品盒(foup)推进去，推到位之后,在工装板后方还设有个止回块，产品盒推到位后弹起卡住，起到最终定位的效果。foup上方还可设有rfid读取，可以知道foup的编码号，从而达到数字化的效果，让过程可追溯。还可以配合外部的xy模组,加上2个伺服电机驱动进行长距离的仓储搬运工作。一般如采用机器人的话，其臂展可能要很大了，为了防撞还得避开其最小的活动范围；而本实用新型的搬运机构采用直线模组，节约了前后空间，配合2层的设计，可以更加多地节约更多的空间。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例的一种立体仓储装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。

在以下本实用新型的具体实施方式中，请参考图1，图1是本实用新型一较佳实施例的一种立体仓储装置结构示意图。如图1所示，本实用新型的一种立体仓储装置，包括：立体形式的多层存储架和用于搬运产品盒的搬运机构等主要组成部分。

请参考图1。存储架为多层结构，例如图示的两层存储架结构。每层的存储架上并列设有多个定位工装板4；每个定位工装板4上用于独立存储一个位置被限定的产品盒1。产品盒1例如可以是foup(前开式晶圆盒)1。图示为存储架的后侧。

上述两层的存储架结构中，每层可设有三个定位工装板4，这样一共可存储六个产品盒1。

请参考图1。在每层的存储架底部都设有水平固定板6，定位工装板4就设于水平固定板6上。相邻定位工装板4之间通过多个六角等高支柱3相隔离，以在每个定位工装板4上方形成一个产品盒1的存储仓。六角等高支柱3将每层的水平固定板6固定起来，形成一个框架形的存储架。

作为可选的实施方式，定位工装板4的四个角部可通过螺钉与下方水平固定板6进行安装连接，形成可拆卸式结构。

作为一优选的实施方式，在定位工装板4表面上可设有助推机构2。助推机构2例如可采用多个万向滚珠(牛眼)2，这可以让操作人员上料时更为方便，只要将foup1推进去就好了。

请参考图1。作为一优选的实施方式，在定位工装板4的后侧表面上还可设有定位机构5。定位机构5例如可采用一个止回块5。利用止回块5的弹起，对foup1起到一个限位作用。

作为其他优选的实施方式，在位于每个存储的产品盒1上方的存储架上还可设有rfid读取机构。即每层每个存储仓中的rfid读取机构可安装在上一层水平固定板6的下表面(天花板)上。

搬运机构设于存储架的正面，用于以直线传输方式，将产品盒1搬运至存储架前，以便进一步将产品盒1推送至目标定位工装板4上。搬运机构可采用一个x-y二轴向直线模组，每个直线模组可采用电缸驱动的传动结构。其中，电缸的电机可采用伺服电机。

本实用新型工作时，首先，可由前方机构对foup1定位完毕；当foup1达到指定位置后，后方止回块5弹起，起到一个限位作用。在foup1推动进去的过程中，下方的牛眼2也可以提供更方便的操作，减少摩擦力。

本实用新型整个机构紧凑，可以安装在自动化生产线上做一个上料精确定位功能，也可以使上料更简便。由于可完全保证foup的定位，可以有效地防止foup偏移导致的取盘歪斜的情况。整个机构占地小，占地面积比起普通的减少了二分之一，可以达到节约更多空间的效果。整个定位过程结构简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

综上所述，本实用新型通过采用2层配置，每层各有三个定位工装板，工装板上设有万向滚珠(牛眼)，可以让人方便地把产品盒(foup)推进去，推到位之后,在工装板后方还设有个止回块，产品盒推到位后弹起卡住，起到最终定位的效果。foup上方还可设有rfid读取，可以知道foup的编码号，从而达到数字化的效果，让过程可追溯。还可以配合外部的xy模组,加上2个伺服电机驱动进行长距离的仓储搬运工作。一般如采用机器人的话，其臂展可能要很大了，为了防撞还得避开其最小的活动范围；而本实用新型的搬运机构采用直线模组，节约了前后空间，配合2层的设计，可以更加多地节约更多的空间。

以上的仅为本实用新型的优选实施例，实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。