半导体光罩盒储存设备的制作方法

本实用新型关于一种半导体光罩盒储存设备，特别是关于一种当设备在上升或下降时可避免设备不平衡或错位而导致受损的半导体光罩盒储存设备。

背景技术：

在半导体制造过程中普遍使用光罩于微影制程中，一般光罩为使用平坦的石英或玻璃板，并在石英或玻璃板的一侧面沉积一层铬制造而成。在黄光微影制程中，会将光罩上的图案转移成一图像至一晶圆上。现阶段为了制造出更微小的电子组件以提高集成电路的密度，必须使线宽越来越小。然而，在线宽逐渐缩小的情况下，在光径上所出现的污染更容易被转移至晶圆上，而造成晶圆良率下降。如此，对于高精准的光罩特别容易受影响而产生缺陷，因此，现阶段保持光罩的清洁及储存是一项重要的课题。

在黄光微影制程中，光罩扮演了重要的角色，而光罩雾状污染(hazedefect)是造成良率下降的主要因素。光罩雾状污染主要成分为硫酸铵，这类型的污染除了来自光罩保护膜之外，还有其他影响因子如，光罩清洗过程的残留物质、光罩储存环境及时间、制程环境或曝光剂量与缺陷数量间的关系等。其次，除了保持光罩清洁问题之外，光罩的储存亦是一项重要课题，传统光罩储存盒可减少光罩因碰撞或晃动导致的受损。

目前一般半导体工厂也使用半导体光罩储存设备来储存光罩以保持光罩的完整度，然而，目前所使用的设备可储放光罩的数量较少，且设备使用一段时间后由于设备经常需要上升、下降而造成滑轨高处容易越变越紧，使得马达轴心容易断裂。此外，传统所使用的光罩储存设备仅具有单面的滑轨，因此容易造成设备不平衡的问题。

有鉴于此，本发明人投入众多研发能量与精神，不断于本领域突破及创新，盼能以新颖的技术手段解决已知技术的不足，除带给社会更为良善的产品，亦能促进产业发展。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的是，提供一种半导体光罩储存设备，本创作具有对称的滑轨及滑块设计，可达到在运作的过程中设备平衡的目的。此外，本创作的滑轨系锁固于位移构件上，可避免设备在上升下降过程造成滑轨位置错位的问题，进而可克服马达轴心断裂的问题。

为达成上述目的，本创作提供一种半导体光罩盒设备，其特征在于，其包含：一底座，具有一固定座及一承载构件，该固定座固定于该承载构件上；升降构件，具有一连接块、数个滑轨及数个滑块，该连接块上设有数个凹槽以固定该些滑轨，该些滑块滑设于该些滑轨上，并分别固定于一第一位移构件及一第二位移构件，且该第二位移构件固定于该底座上；马达，与该升降构件电性连接以输出动力，使该升降构件的第一位移构件及连接块上下移动；以及上下位移平台，与该升降构件的第一位移构件顶部相连接，通过该些滑块与该些滑轨上相对滑动以带动该上下位移平台上下位移。

所述凹槽垂直设置于该连接块的正反两面，以形成相互对称设置的该些凹槽。

述凹槽的上下顶端处具有对称的一凸块，使该些滑块在小于该些滑轨长度的范围中上下位移。

所述凸块相对于该连接块垂直设置于该些滑轨上，使得该些滑块可抵靠在该凸块上并停止上下位移。

所述设备更包括一固定件，该固定件的一端锁固于该底座的该承载构件上，另一端锁固于该第二位移构件上。

所述第一位移构件的表面具有数个卡槽，该些卡槽以一固定的间隔距离固设于该第一位移构件的一侧边，可将数个光罩盒储存于该些卡槽中。

所述位移构件具有一抵靠件，该抵靠件固设于该第一位移构件相对于该些卡槽的另一侧边。

所述连接块及该承载构件上设有数个通孔。

附图说明

图1为本实用新型半导体光罩盒设备的立体分解图。

图2为本实用新型半导体光罩盒设备的45°立体侧视图。

图3为本实用新型半导体光罩盒设备的立体前视图。

图4为本实用新型半导体光罩盒设备的立体图。

图5为本实用新型的升降构件垂直位移动作示意图。

图6为本实用新型的升降构件的另一垂直位移动作示意图。

符号说明：

1半导体光罩盒设备10底座

101固定座102承载构件

20升降构件201连接块

202滑轨203滑块

204凹槽205第一位移构件

2051卡槽2052抵靠件

206第二位移构件207凸块

208通孔30马达

40上下位移平台50固定件。

具体实施方式

以下藉由具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域普通技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。此外，本实用新型亦可藉由其他不同具体实施例加以施行或应用，在不悖离本实用新型的精神下进行各种修饰与变更。

请参照图1、图2及图3所示，图1为本实用新型半导体光罩盒设备的立体分解图；图2为本实用新型半导体光罩盒设备的45°立体侧视图；以及图3为本实用新型半导体光罩盒设备的立体前视图。

如图1、图2及图3所示，本实用新型为一种半导体光罩盒设备1，包含一底座10、一升降构件20、一马达30以及一上下位移平台40。首先，该底座10具有一固定座101及一承载构件102，该固定座101固定于该承载构件102上。其次，该升降构件20具有一连接块201、数个滑轨202及数个滑块203，该连接块201的相反面上对应设有数个凹槽204，该些凹槽204用以锁固该些滑轨202，该些滑块203的一面滑设于该些滑轨202上，另一面则分别固定于一第一位移构件205及一第二位移构件206上，且该第二位移构件206固定于该底座10上。再者，该马达30与该升降构件20电性连接以输出动力，以带动该升降构件20的第一位移构件205及连接块201上下移动。接着，该升降构件20的第一位移构件205顶部固定于该上下位移平台40上，通过该些滑块203与该些滑轨202之间的上下滑动带动该上下位移平台40上下位移。此外，半导体光罩盒设备1更包括一固定件50，该固定件50的一端固定于该底座10的该承载构件102上，另一端固定于该第二位移构件206上。

请参照图4所示，图4为本实用新型半导体光罩盒设备的立体示意图。

如图1及图4所示，该些凹槽204相对于该底座10垂直设置于该连接块201的正反两面，以形成相互对称设置的该些凹槽204。其次，该些凹槽204两侧的上下顶端处分别设有对应的凸块207，使该些滑块203受限于在该些滑轨202上上下滑动。此外，如图4所示，该连接块201及该承载构件102上具有数个通孔208以减轻该半导体光罩盒设备1的总重量；其中，该些通孔208的形状及大小可依使用者的需求任意变化，本实用新型并不局限于此。

请参照图5及图6所示，图6为本实用新型的升降构件于另一垂直位移件的立体示意图。

如图5及图6所示，该第一位移构件205的表面具有数个卡槽2051，该些卡槽2051以一固定的间隔距离固设于该第一位移构件205的一侧边，可将数个光罩盒储存于该些卡槽2051中，此外，该第一位移构件205具有一抵靠件2052，该抵靠件2052设于该第一位移构件205上相对于该些卡槽2051的另一侧，使该些光罩盒放置在该半导体光罩盒设备1中，于该升降构件20上升、下降时，不会因为上下震动而使该些光罩盒晃动。其次，如图5所示，其中，当第一位移构件205上移时，带动固定于该第一位移构件205上的滑块203在该些滑轨202上滑动；如图6所示，当第一位移构件205上移带动连接块201上移时，使第二位移构件侧的滑轨202相对于固定于该第二位移构件206上的该些滑块203相对滑动。相较于现有的半导体光罩储存设备而言，现有的半导体光罩储存设备仅单侧具有滑轨及滑块，因此，当该设备在上下位移时会产生不平衡的问题。而且，本实用新型的连接块201的正反两面皆具有对称的滑轨202及滑块203，可避免该升降构件20上升、下降时造成该该半导体光罩盒设备1不平衡的问题。

但以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，非意欲局限本实用新型的专利保护范围，故举凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的等效变化，均同理皆包含于本实用新型的权利保护范围内，合予陈明。