一种转运平台及传送装置的制作方法

本发明涉及搬运技术领域，尤其涉及一种转运平台及传送装置。

背景技术：

随着玻璃基板的逐渐大型化，搬运玻璃基板逐渐变的困难，尤其是在玻璃基板的生产过程中，通常需要将玻璃基板从一个站点转移到另一个站点，或者从一台设备转移到另一台设备。

如图1所示，为现有的一种转运平台的结构示意图，目前用于玻璃基板99传送的转运平台90包括吸附板91，在吸附板91上安装有多个真空吸嘴92，转运平台90对玻璃基板99托起并被吸附板91上的真空吸嘴92吸附后进行传送，图1中箭头方向表示玻璃基板99的传送方向。由于玻璃基板99尺寸变大，重量变重，若仍然使用当前的搬送方式，极易造成玻璃基板99破损或因摩擦太大造成品质异常；同时，在搬送过程中，由于设置一个吸附板91对一个玻璃基板99进行传送，玻璃基板99两边因转运平台的结构差异性会受到不同程度的阻力，两边位置出现偏差，会影响下一阶段制程。

因此，有必要提供一种新的转运平台及传送装置，以克服现有技术中存在的问题。

技术实现要素：

本发明的主要目的在于，提供一种转运平台及传送装置，通过设置有吸附面积更大的真空吸盘结构从而增加了吸附基板的受力面积，并通过成对设置转运平台减少了基板受力不均，避免出现两边偏差异常。

为了实现上述目的，本发明提供一种转运平台，其包括吸附板，用于托起并吸附一基板，在所述吸附板上设有多个真空吸嘴以及至少一真空吸盘，其吸附面积大于所述真空吸嘴的吸附面积，用于增加吸附所述基板的受力面积。

进一步地，所述真空吸盘的开口与所述真空吸嘴的开口位于同一平面内。

进一步地，所述真空吸盘的开口呈圆形，所述真空吸盘的圆形开口的直径为1cm-5cm。

进一步地，所述吸附板呈长方形，所述吸附板沿长度方向分为第一区和第二区；所述真空吸盘设置为两个，两个所述真空吸盘分别位于所述第一区和所述第二区的中部。

进一步地，位于所述第一区和所述第二区的所述真空吸盘与所述真空吸嘴的中心点处于一条直线上。

进一步地，所述转运平台还包括缓冲胶垫，贴附设于所述吸附板上；其中，所述缓冲胶垫设有第一通孔以及第二通孔；所述第一通孔与所述真空吸盘相对设置，所述第一通孔不遮蔽所述真空吸盘；所述第二通孔与所述真空吸嘴相对设置，所述第二通孔不遮蔽所述真空吸嘴。

进一步地，所述第二通孔呈条形，沿所述吸附板的宽度方向延伸。

进一步地，所述第二通孔的长度值等于所述第一通孔的直径值。

进一步地，所述真空吸盘凸出于所述吸附板，所述缓冲胶垫的厚度等于所述真空吸盘凸出于所述吸附板的高度。

本发明还提供一种传送装置，包括至少两个所述转运平台、安装架以及吸气管；所述安装架设于所述转运平台背离所述基板的一侧；所述转运平台对称固定连接至所述安装架，用于带动所述转运平台及所述基板移动；所述吸气管与所述转运平台的所述真空吸嘴及所述真空吸盘相连通，用于吸气使所述真空吸嘴及所述真空吸盘产生吸附负压。

本发明的有益效果在于，提供一种转运平台及传送装置，通过设置真空吸盘增加了吸附基板的受力面积，并通过成对设置转运平台减少了基板受力不均，避免出现两边偏差异常。并进一步设置缓冲胶垫增加了转运平台与基板的接触面积和吸附能力，同时起防撞缓冲作用。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有的一种转运平台的结构示意图；

图2为本发明第一实施例中一种转运平台的结构示意图；

图3为本发明第二实施例中一种转运平台的结构示意图；

图4为本发明实施例中一种传送装置的俯视图；

图5为本发明实施例中所述传送装置的正视图。

图中部件标识如下：

1、吸附板，10、转运平台，11、真空吸嘴，12、真空吸盘，

2、缓冲胶垫，20、基板，21、第一通孔，22、第二通孔，

30、安装架，100、传送装置，101、第一区，102、第二区。

具体实施方式

在本发明中，相同或相对应的部件用相同的附图标记表示而与图号无关，在说明书全文中，当“第一”、“第二”等措辞可用于描述各种部件时，这些部件不必限于以上措辞。以上措辞仅用于将一个部件与另一部件区分开。

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

实施例1

请参阅图2所示，本发明第一实施例中提供一种转运平台10，其包括吸附板1，用于托起并吸附一基板20，在所述吸附板1上设有多个真空吸嘴11以及至少一真空吸盘12，所述真空吸盘12的吸附面积大于所述真空吸嘴的吸附面积，用于增加吸附所述基板20的受力面积。设置所述真空吸盘12可避免所述吸附板1上全是小孔的真空吸嘴11吸附所述基板20时，由于单位面积受力过小，所需压力值就变大，受力面积过小，容易出现拉不动所述基板20的情况。

本实施例中，所述真空吸盘12的开口与所述真空吸嘴11的开口位于同一平面内。这样使得所述真空吸盘12的开口与所述真空吸嘴11的开口均与被吸附的所述基板20的表面齐平，能够更好的吸附所述基板20并防止高度不同产生拉伸应力。

本实施例中，所述真空吸盘12的开口呈圆形，所述真空吸盘12的圆形开口的直径为1cm-5cm，优选为2cm、3cm、4cm，所述真空吸盘12的开口大于所述真空吸嘴11的开口，所述真空吸盘12可增加吸附所述基板20的受力面积，从而能够很好的吸附所述基板20。

本实施例中，所述吸附板1呈长方形，所述吸附板1沿长度方向分为第一区101和第二区102；所述真空吸盘12设置为两个，两个所述真空吸盘12分别位于所述第一区101和所述第二区102的中部。这样成对设置所述真空吸盘12可牢固的吸附所述基板20，防止所述基板20产生转动移位。

本实施例中，位于所述第一区101和所述第二区102的所述真空吸盘12与所述真空吸嘴11的中心点处于一条直线上。这样不仅美观，而且便于吸附所述基板20时在一条直线上形成集中的压力区域，能更好的吸附所述基板20。

实施例2

请参阅图3所示，在第二实施例中包括第一实施例中大部分的技术特征，其区别在于，第二实施例中的所述转运平台10还包括缓冲胶垫2，贴附设于所述吸附板1上；设置缓冲胶垫2增加了所述转运平台10与所述基板20的接触面积和吸附能力，同时起防撞缓冲作用。其中，所述缓冲胶垫2设有第一通孔21以及第二通孔22；所述第一通孔21与所述真空吸盘12相对设置，所述第一通孔21不遮蔽所述真空吸盘12；所述第二通孔22与所述真空吸嘴11相对设置，所述第二通孔22不遮蔽所述真空吸嘴11。这样设置能够使得所述真空吸盘12与所述真空吸嘴11均与被吸附的所述基板20的表面贴附，能够吸附所述基板20。

本实施例中，所述第二通孔22呈条形，沿所述吸附板1的宽度方向延伸。由于所述吸附板1带动所述基板20的移动方向为所述吸附板1的长度方向，这样设置所述第二通孔22能在所述基板20的移动方向上形成线段的压力区域，能够更好地吸附所述基板20并带动其移动。

本实施例中，所述第二通孔22的长度值等于所述第一通孔21的直径值。

本实施例中，所述真空吸盘12凸出于所述吸附板1，所述缓冲胶垫2的厚度等于所述真空吸盘12凸出于所述吸附板1的高度。这样所述缓冲胶垫2的所述第二通孔22作为所述真空吸嘴11的开口，实现所述真空吸盘12的开口与所述真空吸嘴11的开口位于同一平面内，能够更好的吸附所述基板20并防止高度不同产生拉伸应力。

请参阅图4、图5所示，本发明还提供一种传送装置100，包括至少两个所述转运平台10、安装架30以及吸气管(未图示)；所述安装架30设于所述转运平台10背离所述基板20的一侧；所述转运平台10对称固定连接至所述安装架30，用于带动所述转运平台10及所述基板20移动，通过成对设置转运平台10减少了所述基板20受力不均，避免所述基板20出现两边偏差异常；所述基板20的移动方向在图4、图5中用箭头表示；所述吸气管与所述转运平台10的所述真空吸嘴11及所述真空吸盘12相连通，用于吸气使所述真空吸嘴11及所述真空吸盘12产生吸附负压。

所述传送装置100可应用于液晶面板制造、半导体制造、芯片制造等各行业。在液晶面板制造中所述基板20优选为玻璃基板。

本发明的有益效果在于，提供一种转运平台10及传送装置100，通过设置真空吸盘增加了吸附基板20的受力面积，并通过成对设置转运平台10减少了基板20受力不均，避免出现两边偏差异常。并进一步设置缓冲胶垫2增加了转运平台10与基板20的接触面积和吸附能力，同时起防撞缓冲作用。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。