一种曝光机放卷纠偏机构的制作方法

1.本实用新型涉及曝光机，具体是一种曝光机放卷纠偏机构。


背景技术：

2.放卷机一般应用于加工生产线的放料部分，把原材料装夹在放卷机上通过机械方式驱动放料或通过牵引作用进行拉料，广泛运用在纸卷、布卷、塑料卷、金属卷材等的放料工作。
3.例如，在进行芯片封装生产过程中，为了提高芯片封装的集成化程度，采用曝光机通过掩膜在晶圆上曝光打标去除晶圆表面的保护膜以便后续蚀刻出电路，而放卷机可方便的向曝光机中传送掩膜料带，然而，在放卷过程中若发生料带偏移则容易影响掩膜料带的对位精度。


技术实现要素：

4.本实用新型为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。
5.一种曝光机放卷纠偏机构，包括主体底座以及设置于主体底座上的主体机架，
6.主体机架的背面固定安装有电机支架，电机支架上固定安装有驱动电机，主体机架的前面安装有与之垂直并由驱动电机驱动旋转的转动轴，转动轴上安装有装夹卡盘，装夹卡盘上安装有放卷料筒，主体机架上安装有与转动轴平行设置的换向滚筒，主体机架上还固定安装有偏移检测器；
7.主体底座上固定安装有主体纠偏滑轨，主体机架滑动安装有主体纠偏滑轨上，主体机架的底板上设有一避位镂空，主体底座上固定安装有从避位镂空处露出并与之间隙配合的推杆底座，推杆底座的顶部固定安装有与主体纠偏滑轨平行且伸缩杆与主体机架的侧板固定连接的主体纠偏推杆；
8.主体底座上固定安装有料筒纠偏滑轨以及与料筒纠偏滑轨平行的料筒纠偏推杆，电机支架滑动安装于料筒纠偏滑轨上并与料筒纠偏推杆的伸缩杆固定连接；
9.主体纠偏推杆、料筒纠偏推杆与偏移检测器信号连接。
10.进一步的，偏移检测器为超声波探测器。
11.进一步的，装夹卡盘上固定安装有加强摩擦力的摩擦条。
12.进一步的，装夹卡盘上固定安装有限位挡块。
13.进一步的，主体机架的顶部固定安装有接料架，接料架上固定安装有接料气缸，接料气缸的伸缩杆上固定连接有接料压片。
14.进一步的，主体机架上安装有若干与之转动连接且与转动轴平行的张紧滚筒。
15.与现有技术相比，本实用新型取得的有益效果为：基于上述结构，本实用新型采用偏移检测器配合主体纠偏推杆、料筒纠偏推杆，在发生料带偏移时，由电动推杆驱动主体机架、电机支架整体调整位置进行纠偏，进而保证送料精度。
16.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述
中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本实用新型的结构示意图。
19.图2为图1中a处的局部放大图。
20.图3为图1中b处的局部放大图。
21.图4为本实用新型中电机机架的示意图。
具体实施方式
22.下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1～4，一种曝光机放卷纠偏机构，包括主体底座1以及设置于主体底座1上的主体机架2，
24.主体机架2的背面固定安装有电机支架3，电机支架3上固定安装有驱动电机4，主体机架2的前面安装有与之垂直并由驱动电机4驱动旋转的转动轴5，转动轴5上安装有装夹卡盘6，装夹卡盘6上安装有放卷料筒7，主体机架2上安装有与转动轴5平行设置的换向滚筒8，主体机架2上还固定安装有偏移检测器9；
25.主体底座1上固定安装有主体纠偏滑轨10，主体机架2滑动安装有主体纠偏滑轨10上，主体机架2的底板上设有一避位镂空11，主体底座1上固定安装有从避位镂空11处露出并与之间隙配合的推杆底座12，推杆底座12的顶部固定安装有与主体纠偏滑轨10平行且伸缩杆与主体机架2的侧板固定连接的主体纠偏推杆13；
26.主体底座1上固定安装有料筒纠偏滑轨14以及与料筒纠偏滑轨14平行的料筒纠偏推杆15，电机支架3滑动安装于料筒纠偏滑轨14上并与料筒纠偏推杆15的伸缩杆固定连接；
27.主体纠偏推杆13、料筒纠偏推杆15与偏移检测器9信号连接。基于上述结构，本实用新型采用偏移检测器9配合主体纠偏推杆13、料筒纠偏推杆15，在发生料带偏移时，由电动推杆驱动主体机架2、电机支架3整体调整位置进行纠偏，进而保证送料精度。另外，以上机构同样适用于曝光机的收卷机构中以获得同等的纠偏效果。
28.进一步的，偏移检测器9为超声波探测器。如图3所示，偏移检测器9为呈c型的超声波探测器，其两端之间形成超声波信号场，当料带从中经过即将部分信号削弱，配合计算机技术计算被削弱区域与预设定值的偏差即得偏移值，随后生成信号控制电动推杆进行纠偏调整，操作简单高效，自动化程度高。
29.进一步的，装夹卡盘6上固定安装有加强摩擦力的摩擦条16。摩擦条16有利于加强装夹卡盘6与收卷滚筒的内壁之间的摩擦系数，防止打滑。
30.进一步的，装夹卡盘6上固定安装有限位挡块17。限位挡块17方便进行收卷滚筒的定位安装。
31.进一步的，主体机架2的顶部固定安装有接料架18，接料架18上固定安装有接料气缸19，接料气缸19的伸缩杆上固定连接有接料压片20。
32.进一步的，主体机架2上安装有若干与之转动连接且与转动轴5平行的张紧滚筒21。张紧滚筒21的设置有利于拉紧料带，防止料带的中段下垂影响曝光精度。
33.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。


技术特征：
1.一种曝光机放卷纠偏机构，包括主体底座以及设置于主体底座上的主体机架，其特征在于，主体机架的背面固定安装有电机支架，电机支架上固定安装有驱动电机，主体机架的前面安装有与之垂直并由驱动电机驱动旋转的转动轴，转动轴上安装有装夹卡盘，装夹卡盘上安装有放卷料筒，主体机架上安装有与转动轴平行设置的换向滚筒，主体机架上还固定安装有偏移检测器；主体底座上固定安装有主体纠偏滑轨，主体机架滑动安装有主体纠偏滑轨上，主体机架的底板上设有一避位镂空，主体底座上固定安装有从避位镂空处露出并与之间隙配合的推杆底座，推杆底座的顶部固定安装有与主体纠偏滑轨平行且伸缩杆与主体机架的侧板固定连接的主体纠偏推杆；主体底座上固定安装有料筒纠偏滑轨以及与料筒纠偏滑轨平行的料筒纠偏推杆，电机支架滑动安装于料筒纠偏滑轨上并与料筒纠偏推杆的伸缩杆固定连接；主体纠偏推杆、料筒纠偏推杆与偏移检测器信号连接。2.根据权利要求1所述一种曝光机放卷纠偏机构，其特征在于，偏移检测器为超声波探测器。3.根据权利要求1所述一种曝光机放卷纠偏机构，其特征在于，装夹卡盘上固定安装有加强摩擦力的摩擦条。4.根据权利要求1所述一种曝光机放卷纠偏机构，其特征在于，装夹卡盘上固定安装有限位挡块。5.根据权利要求1所述一种曝光机放卷纠偏机构，其特征在于，主体机架的顶部固定安装有接料架，接料架上固定安装有接料气缸，接料气缸的伸缩杆上固定连接有接料压片。6.根据权利要求1所述一种曝光机放卷纠偏机构，其特征在于，主体机架上安装有若干与之转动连接且与转动轴平行的张紧滚筒。

技术总结
本实用新型涉及曝光机，具体是一种曝光机放卷纠偏机构。一种曝光机放卷纠偏机构，包括主体底座以及设置于主体底座上的主体机架，主体机架的背面固定安装有电机支架，主体机架上安装有与转动轴平行设置的换向滚筒，主体机架上还固定安装有偏移检测器；主体底座上固定安装有主体纠偏滑轨，主体机架滑动安装有主体纠偏滑轨上，主体机架的底板上设有一避位镂空，主体底座上固定安装有从避位镂空处露出并与之间隙配合的推杆底座，推杆底座的顶部固定安装有与主体纠偏滑轨平行且伸缩杆与主体机架的侧板固定连接的主体纠偏推杆；主体底座上固定安装有料筒纠偏滑轨以及与料筒纠偏滑轨平行的料筒纠偏推杆，电机支架滑动安装于料筒纠偏滑轨。偏滑轨。偏滑轨。


技术研发人员：段涛
受保护的技术使用者：东莞市正凯机电设备有限公司
技术研发日：2021.04.15
技术公布日：2021/11/17