一种转移上料装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工辅助设备相关技术领域，尤其涉及一种转移上料装置。


背景技术：

2.晶圆棒为芯片加工中的一种初级产品，其主要是将二氧化硅进行高温融化，将籽晶放置在二氧化硅熔融液中，接着进行使得二氧化硅盛放器件向下运动，在向下运动时，二氧化硅盛放器还需要进行转动，最终将二氧化硅成形为棒状结构。
3.晶圆棒制备完成后还需要对其外壁进行打磨以及分切为若干个晶圆盘，而具体地在进行晶圆棒加工时还需要进行晶圆棒的转移，而晶圆棒具有容易破损和易折的特点，因此给晶圆棒的转移运输造成了一定的影响，而现有的晶圆棒转移装置存在着自动化程度较低，同时在转移时还存在着稳定性差，常在转移时发生掉落的现象。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种转移上料装置，以解决上述现有技术的不足，在进行晶圆棒的加工时，方便进行晶圆棒的转移以及上料操作，在转移时能对晶圆棒进行固定，在转移时避免出现掉落的现象，同时在上料时还能调节晶圆棒的倾斜角度，从而方便进行晶圆棒的上料操作，具有较强的实用性。
5.为了实现本实用新型的目的，拟采用以下技术：
6.一种转移上料装置，包括滑动机构，滑动机构一端设有支撑构件，滑动机构的上端设有放置机构，放置机构两侧均设有一对调节机构，调节机构的下端均安装于滑动机构，放置机构的一端设有端固构件，放置机构用于晶圆棒的放置，以及晶圆棒的推出，调节机构与支撑构件相互配合用于放置机构倾斜角度的调节，端固构件用于晶圆棒一端的固定；
7.放置机构包括下撑台，下撑台的上端设有弧形板，下撑台的下壁安装有一对推出轴承座，推出轴承座之间设有多根推出导杆，其中一个推出轴承座安装有推出电机，推出电机的输出轴连接有推出丝杆，推出丝杆设有推出座，推出座上端穿于下撑台，推出座的上端设有推出圆板，推出圆板位于弧形板内。
8.进一步地，滑动机构包括基板，基板向下延伸地安装有一对下伸座，下伸座的下端均穿有转杆，转杆的两端均设有滚轮。
9.进一步地，支撑构件包括安装于基板的转动座，转动座铰接有转动板，转动板的上端设有凹形铰接架，凹形铰接架的上端均穿有转轴，转轴的内侧端均安装于下撑台的一端。
10.进一步地，调节机构包括安装于基板另一端设有折形上延板，折形上延板成形有调节孔，折形上延板外壁的上下两端均安装有调节轴承座，调节轴承座之间设有多根调节导杆，位于上端的调节轴承座安装有调节电机，调节电机的输出轴连接有调节丝杆，调节丝杆设有调节座，调节座的内侧端均穿于调节孔，调节座的内侧端安装有安装凹形板，安装凹形板安装有调节横板，调节横板成形有键形孔，键形孔内穿有活动杆，活动杆的内侧端安装
于下撑台的一侧。
11.进一步地，端固构件包括安装于弧形板一端一侧的铰接座，铰接座铰接有转动凸板，转动凸板的另一端端部垂直地设有内伸连板，内伸连板的另一端设有端固弧板，端固弧板的另一端设有外伸端板，外伸端板的端部设有弹簧销，弹簧销的外侧端套设有弹簧，弹簧的内侧端设有键形板，键形板的上端套设于弹簧销，键形板的下端向内延伸地设有定位杆，定位杆穿有外伸凸台，外伸凸台安装于弧形板。
12.上述技术方案的优点在于：
13.本实用新型在进行晶圆棒的加工时，方便进行晶圆棒的转移以及上料操作，在转移时能对晶圆棒进行固定，在转移时避免出现掉落的现象，同时在上料时还能调节晶圆棒的倾斜角度，从而方便进行晶圆棒的上料操作，具有较强的实用性。
附图说明
14.图1示出了其中一种实施例的立体结构图一。
15.图2示出了其中一种实施例的立体结构图二。
16.图3示出了a处放大图。
具体实施方式
17.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
18.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
20.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
21.术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
22.术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直，而是可以稍微倾斜。如“平行”仅仅是指其方向相对“垂直”而言更加平行，并不是表示该结构一定要完全平行，而是可以稍微倾斜。
23.此外，“大致”、“基本”等用语旨在说明相关内容并不是要求绝对的精确，而是可以有一定的偏差。例如：“大致等于”并不仅仅表示绝对的等于，由于实际生产、操作过程中，难以做到绝对的“相等”，一般都存在一定的偏差。因此，除了绝对相等之外，“大致等于”还包
括上述的存在一定偏差的情况。以此为例，其他情况下，除非有特别说明，“大致”、“基本”等用语均为与上述类似的含义。
24.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.如图1-图3所示，一种转移上料装置，包括滑动机构1，滑动机构1一端设有支撑构件2，滑动机构1的上端设有放置机构3，放置机构3两侧均设有一对调节机构4，调节机构4的下端均安装于滑动机构1，放置机构3的一端设有端固构件5，放置机构3用于晶圆棒的放置，以及晶圆棒的推出，调节机构4与支撑构件2相互配合用于放置机构3倾斜角度的调节，端固构件5用于晶圆棒一端的固定。
26.该装置通过滑动机构1、支撑构件2、放置机构3、调节机构4以及端固构件5方便进行晶圆棒的转移以及上料操作。其中，滑动机构1方便进行晶圆棒的转移操作，提高了晶圆棒转移的灵活性。支撑构件2和调节机构4相互配合在进行晶圆棒上料时，方便对放置机构3的倾斜角度进行调节，当在进行晶圆棒的转移时，使得晶圆棒的呈倾斜状态，进而确保晶圆棒转移时的稳定性，当在进行晶圆棒的上料时，能使晶圆棒呈水平状态，从而方便进行晶圆棒的上料操作。放置机构3在晶圆棒转移时，方便对晶圆棒的一端进行支撑，并确保晶圆棒转移时的稳定性，同时，还方便进行晶圆棒上料操作，从而提高了晶圆棒上料的自动化程度，端固构件5能对晶圆棒的一端进行夹持定位，从而确保晶圆棒转移的安全性。在操作中，将晶圆棒置于放置机构3中，而后通过端固构件5对晶圆棒的一端进行固定，当晶圆棒在固定完成后，通过调节机构4对放置机构3的倾斜角度进行调节，调节完成后，通过滑动机构1对晶圆棒进行转移，当晶圆棒转移至合适的位置后，调节机构4对晶圆棒的倾斜角度进行调节，使得晶圆棒呈水平状态，而后将晶圆棒从放置机构3中推出。
27.滑动机构1包括基板10，基板10向下延伸地安装有一对下伸座11，下伸座11的下端均穿有转杆12，转杆12的两端均设有滚轮13。该机构中滚轮13的设置方便进行晶圆棒的转移。
28.支撑构件2包括安装于基板10的转动座20，转动座20铰接有转动板21，转动板21的上端设有凹形铰接架22，凹形铰接架22的上端均穿有转轴23，转轴23的内侧端均安装于下撑台30的一端，该构件方便对放置机构3的倾斜角度进行调节，并在调节时能对放置机构3的一端进行支撑。
29.放置机构3包括安装于转轴23的内侧端下撑台30，下撑台30的上端设有弧形板31，下撑台30的下壁安装有一对推出轴承座32，推出轴承座32之间设有多根推出导杆33，其中一个推出轴承座32安装有推出电机34，推出电机34的输出轴连接有推出丝杆35，推出丝杆35设有推出座36，推出座36上端穿于下撑台30，推出座36的上端设有推出圆板37，推出圆板37位于弧形板31内。该机构中的弧形板31在晶圆棒放置时，能对晶圆棒起着限位的作用，从而确保晶圆棒的转移时的安全性，避免出现掉落的现象。而其中的推出圆板37对晶圆棒的一端起着支撑作用，并且也方便将晶圆棒从弧形板31中推出。在推出时，启动推动电机34，在推出电机34的带动下推出丝杆35进行转动，推出丝杆35在转动时将带动推出座36沿着推
出导杆33的轴向进行运动，并最终将晶圆棒从弧形板31中推出，这种推出方式提高了推出的精度和推出的稳定性。
30.调节机构4包括安装于基板10另一端设有折形上延板40，折形上延板40成形有调节孔400，折形上延板40外壁的上下两端均安装有调节轴承座41，调节轴承座41之间设有多根调节导杆42，位于上端的调节轴承座41安装有调节电机43，调节电机43的输出轴连接有调节丝杆44，调节丝杆44设有调节座45，调节座45的内侧端均穿于调节孔400，调节座45的内侧端安装有安装凹形板46，安装凹形板46安装有调节横板47，调节横板47成形有键形孔470，键形孔470内穿有活动杆48，活动杆48的内侧端安装于下撑台30的一侧。该机构和支撑构件2相互配合对晶圆棒的倾斜角度进行调节时，启动调节电机43，在调节电机43的带动下调节丝杆44进行转动，调节丝杆44在转动时将带动调节座45沿着调节导杆42的轴向进行运动，而调节座45在运动时将对调节横板47的高度完成调节，而在调节的过程中活动杆48将在键形孔470内进行运动，并最终完成了晶圆棒倾斜角度的调节。其中，当调节座45向上运动时，将使得晶圆棒的倾斜角度减小，而后进行晶圆棒的上料操作，而当调节座45向下运动时，将使得晶圆棒的倾斜角度增大，此时，晶圆棒将绕着支撑构件2进行转动，最终完成了晶圆棒的角度调节。
31.端固构件5包括安装于弧形板31一端一侧的铰接座50，铰接座50铰接有转动凸板，转动凸板的另一端端部垂直地设有内伸连板51，内伸连板51的另一端设有端固弧板52，端固弧板52的另一端设有外伸端板53，外伸端板53的端部设有弹簧销54，弹簧销54的外侧端套设有弹簧55，弹簧55的内侧端设有键形板56，键形板56的上端套设于弹簧销54，键形板56的下端向内延伸地设有定位杆57，定位杆57穿有外伸凸台58，外伸凸台58安装于弧形板31。该构件中的端固弧板52能和弧形板31相互配合完成晶圆棒一端的固定，而为了方便进行晶圆棒一端的固定，因此设置了定位杆57，在固定时，将定位杆57穿于外伸凸台58上，而提高锁定的稳定性，因此设置了弹簧55，通过弹簧55的作用能够确保定位杆57始终穿于外伸凸台58上。
32.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限制本实用新型，显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。