振动盘的制作方法

1.本技术属于半导体加工设备技术领域，更具体地说，是涉及一种振动盘。


背景技术：

2.现有的一种方形器件，其形状大致为正方体，其重心位于方形器件远离标记面的一侧，该方形器件在振动盘上输出时需要标记面朝向靠近振动盘之轴线的方向，以便于控制方形器件的检测和包装。
3.现有的振动盘在对方形器件上料时，是通过检测器在振动盘的输送轨道的输出端检测器件姿态，通过吹针将与预设姿态不一致的器件吹落至盘底。由于方形器件的各面尺寸基本一致，且其重心远离标记面，使得方向器件输出时标记面朝向靠近振动盘之轴线的方向的概率极低，需要吹回振动盘底部的器件数量众多，在检测器处输送轨道上大量的方形器件被吹出落回振动盘的盘底，致使输送轨道上方形器件输出时的间距大，输出效率低，影响上料效率。


技术实现要素：

4.本技术实施例的目的在于提供一种振动盘，以解决现有技术中存在的输送轨道上方形器件输出时的间距大，输出效率低，影响上料效率的技术问题。
5.为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种振动盘，包括盘体、设于所述盘体上的环形壁和用于依次输出器件的输入轨道，所述输入轨道设于所述环形壁靠近所述盘体之轴线的一侧，所述输入轨道呈螺旋状，所述输入轨道的入料端与所述盘体相连；所述振动盘还包括：
6.调节轨道，用于引导所述输入轨道输入的所述器件移动，所述调节轨道设于所述环形壁靠近所述盘体之轴线的一侧，所述调节轨道的入料端与所述输入轨道的出料端相连；
7.第一检测器，用于检测所述调节轨道上的器件的姿态；
8.所述环形壁上开设有第一吹气孔，所述第一吹气孔用于吹动所述调节轨道上与预设姿态不符合的器件翻转，以调整该器件的姿态。
9.通过采用第一检测器检测调节轨道上器件的姿态，当调节轨道上器件的姿态与预设姿态不一致时，第一吹气孔吹动该器件，使得该器件翻转，以实现对器件姿态的调节，使得器件姿态调整为预设姿态；当第一检测器检测到器件的姿态与预设姿态一致时，第一吹气孔不吹气，不对器件的姿态进行调节，器件向下游传输。这样减小了吹落至盘体的器件的数量，既增大了振动盘输出器件时器件的密度，减小了器件之间的间距，也提高了调节轨道上呈预设姿态的器件的比例，提高了输出效率和上料效率。
10.在一个实施例中，所述调节轨道上具有沿所述调节轨道的长度方向设置的第一台阶面、由所述第一台阶面靠近所述盘体之轴线的侧边朝向靠近所述盘体的方向延伸设置的阶梯面、由所述阶梯面靠近所述盘体的侧边朝向靠近所述盘体之轴线方向延伸设置的第二
台阶面、用于引导所述第一台阶面上的器件与所述第二台阶面上的器件合并成一列的过渡面，所述第一台阶面的入料端与所述输入轨道的上表面相连，所述过渡面由所述第一台阶面的出料端朝向所述盘体的方向延伸至所述第二台阶面的出料端。
11.通过采用上述技术手段，便于控制器件翻转。
12.在一个实施例中，所述阶梯面的宽度与所述第一台阶面的宽度的比值范围为0.2-0.6；和/或，所述第二台阶面的宽度与所述第一台阶面的宽度的比值范围为1.0-1.5。
13.通过采用上述技术手段，便于控制器件翻转90
°
，并平稳落于第二台阶面上。
14.在一个实施例中，所述过渡面与所述第二台阶面之间形成的夹角的范围为5
°‑
20
°
。
15.通过采用上述技术手段，能够使得第一台阶面上的器件和第二台阶面上的器件合并成一列。
16.在一个实施例中，所述调节轨道的出料端设有第一窄道段，所述第一窄道段靠近所述盘体之轴线的一侧设有第一开槽。
17.通过采用上述技术手段，能够防止器件呈两列并行。
18.在一个实施例中，所述调节轨道的数量为三个，三个所述调节轨道依次相连，所述第一检测器的数量为三个，所述第一吹气孔的数量为三个；
19.处于两端的所述调节轨道对应的所述第一检测器为光纤聚焦镜，所述光纤聚焦镜位于相应所述调节轨道远离所述盘体的一侧；处于中部的所述调节轨道对应的所述第一检测器为光纤反射传感器，所述光纤反射传感器嵌设于所述环形壁上邻近相应所述第一吹气孔的位置。
20.通过采用上述技术手段，能够将三种姿态的器件调节为预设姿态。
21.在一个实施例中，所述输入轨道的上表面于所述盘体的轴向面上的截面线呈中部朝向靠近所述盘体方向凸出的弧线。
22.通过采用上述技术手段，能够使得器件在输入轨道的输出端时大多重心位于器件的下侧。
23.在一个实施例中，所述环形壁于所述输入轨道对应的输送路径上安装有用于将叠置的所述器件吹落至所述盘体上的吹针。
24.通过采用上述技术手段，
25.在一个实施例中，所述输入轨道的出料端设有与所述调节轨道相连的第二窄道段，所述第二窄道段靠近所述盘体之轴线的一侧开设有第二开槽。
26.通过采用上述技术手段，
27.在一个实施例中，所述振动盘还包括用于引导所述器件传送的输出轨道，所述输出轨道设于所述环形壁靠近所述盘体之轴线一侧，所述输出轨道的入料端与所述调节轨道的出料端相连，所述环形壁上安装有用于检测所述输出轨道上器件的姿态的第二检测器，所述环形壁上开设有用于将与预设姿态不一致的所述器件吹落至所述盘体的第二吹气孔。
28.通过采用上述技术手段，能够保障输出轨道输出端的器件姿态与预设姿态相一致。
附图说明
29.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
30.图1为本技术实施例提供的振动盘的立体结构示意图一；
31.图2为图1中a处的放大图；
32.图3为图1中b处的放大图；
33.图4为图1中c处的放大图；
34.图5为本技术实施例提供的振动盘的立体结构示意图二。
35.其中，图中各附图标记：
36.11-盘体；12-环形壁；1201-第一吹气孔；1202-第二吹气孔；13-输入轨道；131-第二窄道段；1310-第二开槽；14-吹针；15-调节轨道；151-第一台阶面；152-阶梯面；153-第二台阶面；154-过渡面；155-第一窄道段；1550-第一开槽；16-输出轨道；
37.21-第一检测器；21a-光纤聚焦镜；21b-光纤反射传感器；22-第二检测器；30-器件；301-标记面。
具体实施方式
38.为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
39.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
40.需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
41.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
42.请一并参阅图1至图3，现对本技术实施例提供的振动盘进行说明。振动盘包括盘体11、环形壁12和输入轨道13，环形壁12设于盘体11上，输入轨道13用于依次输送器件30，输入轨道13呈螺旋状，输入轨道13的入料端与盘体11相连，输入轨道13设于环形壁12靠近盘体11的轴线的一侧；振动盘还包括调节轨道15和第一检测器21，调节轨道15用于引导输入轨道13输入的器件30移动，调节轨道15设于环形壁12靠近盘体11之轴线的一侧，调节轨道15的入料端与输入轨道13的出料端相连；第一检测器21用于检测调节轨道15上的器件30的姿态；环形壁12上开设有第一吹气孔1201，在第一检测器21检测到调节轨道15上的器件
30与预设姿态不一致时，第一吹气孔1201用于吹动该器件30，使得该器件30翻转，以调整该器件30的姿态。这样通过第一检测器21检测调节轨道15上器件30的姿态，当调节轨道15上器件30的姿态与预设姿态不一致时(即，标记面301不在器件30靠近盘体11轴线的一侧)，第一吹气孔1201吹动该器件30，使得该器件30翻转，以实现对器件30姿态的调节，使得器件30的姿态调整为预设姿态；当第一检测器21检测到器件30的姿态与预设姿态一致时，第一吹气孔1201不吹气，不对器件30的姿态进行调节，器件30向下游传输。这样减小了吹落至盘体11的器件30的数量，既增大了振动盘输出器件30时器件30的密度，减小了器件30之间的间距，避免了将器件30从调节轨道15吹出，导致器件30之间间距过大，也提高了调节轨道15上呈预设姿态的器件30的比例，提高了输出效率和上料效率。其中，器件30的预设姿态可以是标记面301朝向盘体11之轴线，调节轨道15的宽度大于器件30的宽度。
43.在本技术的一个实施例中，请参阅图1至图3，调节轨道15上具有第一台阶面151、阶梯面152、第二台阶面153和过渡面154，第一台阶面151、阶梯面152和第二台阶面153分别沿调节轨道15的长度方向设置，阶梯面152由第一台阶面151靠近盘体11之轴线的侧边朝向靠近盘体11的方向延伸设置，第二台阶面153由阶梯面152靠近盘体11的侧边朝向靠近盘体11之轴线方向延伸设置，过渡面154用于引导第一台阶面151上的器件30与第二台阶面153上的器件30合并成一列，第一台阶面151的入料端与输入轨道13的上表面相连，过渡面154由第一台阶面151的出料端朝向盘体11的方向延伸至第二台阶面153的出料端。这样在第一吹气孔1201吹动器件30时，由于第二台阶面153与第一台阶面151的高度差，便于控制器件30翻转，以便于在调节轨道15上完成对器件30姿态的调节，并避免器件30沿调节轨道15的宽度方向滑动掉落至盘体11上。
44.可选地，可以控制第一台阶面151的宽度与器件30的边长的比值范围为0.55-0.9，这样便于在吹动器件30时，控制器件30翻转落于第二台阶面153上。第一台阶面151的宽度与器件30的宽度的比值可以是0.6、0.7或0.8等。
45.在本技术的一个实施例中，请参阅图1至图3，阶梯面152的宽度与第一台阶面151的宽度的比值范围为0.2-0.6。这样控制了第二台阶面153与第一台阶面151的落差，能够防止器件30在翻转跌落至第二台阶面153之后发生滚动，从而有利于控制器件30翻转角度呈90
°
，且阶梯面152能够阻挡翻转后的器件30，防止翻转后的器件30立即朝向远离盘体11之轴线的方向移动，干扰器件30方向的调节。可选地，阶梯面152的宽度与器件30边长的比值范围为0.11-0.54，如此便于控制器件30翻转90
°
，阶梯面152的宽度与器件30边长的比值可以是0.2、0.3或0.4等。
46.在本技术的一个实施例中，请参阅图1至图3，第二台阶面153的宽度与第一台阶面151的宽度的比值范围为1.0-1.5。这样能够控制第二台阶面153的宽度大致能够容纳一列器件30，避免器件30发生滚动翻转180
°
，保障第二台阶面153上的器件30是由第一吹气孔1201吹动器件30翻转90
°
，使得一次调节刚好翻转90
°
。可选地，第二台阶面153的宽度与第一台阶面151的宽度的比值可以为1.1、1.2、1.3或1.4等。
47.在本技术的一个实施例中，请参阅图1至图3，阶梯面152的宽度与第一台阶面151的宽度的比值范围为0.2-0.6；第二台阶面153的宽度与第一台阶面151的宽度的比值为1.0-1.5。这样既控制了第二台阶面153与第一台阶面151的落差，能够防止器件30在翻转跌落至第二台阶面153之后发生滚动，有利于控制器件30翻转角度呈90
°
，也能够避免器件30
翻转角度超过90
°
时停留在第二台阶面153上。
48.在本技术的一个实施例中，请参阅图1至图3，过渡面154与第二台阶面153之间形成的夹角的范围为5
°‑
20
°
。这样便于控制第一台阶面151与第二台阶面153上的两列器件30合并呈一列。可选地，第一台阶面151平行于第二台阶面153，第二台阶面153的出料端位于第一台阶面151的出料端远离第一台阶面151的入料端的一侧，过渡面154由第一台阶面151的入料端至其出料端呈朝向靠近盘体11的方向倾斜设置，如此便于控制第二台阶面153上器件30并入到被吹出第一台阶面151时的间隙处，避免第二台阶面153上的器件30与第一台阶面151上的器件30干扰发生偏转。
49.在本技术的一个实施例中，请参阅图1至图3，调节轨道15的出料端设有第一窄道段155，第一窄道段155靠近盘体11之轴线的一侧设有第一开槽1550，使得第一窄道段155之上表面的中部(对应第一开槽1550的位置)的宽度小于第一窄道段155之上表面的两端的宽度。通过第一开槽1550能够减小第一窄道段155的宽度，可控制第一窄道段155在第一开槽1550仅容纳一列器件30通过，从而避免未并入一列的器件30通过。具体地，第一窄道段155的入料端与第二台阶面153的出料端和过渡面154的出料端相连，如此，使得第二台阶面153输出的器件30若未并入第一台阶面151上输出的一列器件30则会从第一开槽1550处掉落，避免形成两列并行的器件30。
50.在本技术的一个实施例中，请参阅图1及图5，调节轨道15的数量为三个，三个调节轨道15依次相连，第一检测器21的数量为三个，第一吹气孔1201的数量为三个。如此，可以实现对不符合预设姿态的器件30进行三次调节，能够将三种姿态的器件30调节成预设姿态并输出，这样可使得输入轨道13输出的六种姿态的器件30减少至三种姿态，使得大部分器件30能够呈预设姿态输出。
51.可选地，请一并参阅图2及图3，处于两端的调节轨道15对应的第一检测器21为光纤聚焦镜21a，光纤聚焦镜位21a于相应调节轨道15远离盘体11的一侧；处于中部的调节轨道15对应的第一检测器21为光纤反射传感器21b，光纤反射传感器21b嵌设于环形壁12上邻近相应第一吹气孔1201的位置。当器件30进入第一个调节轨道15时，若其标记面301位于器件30的底部，这样在第一调节轨道15进行调节后，其标记面301会朝向背离盘体11之轴线的方向，这样会被环形壁12遮挡，而第二个调节轨道15采用光纤反射传感器21b则能够正对标记面301，将标记面301识别出来，以便于控制第二个吹气孔对标记面301朝向背离盘体11之轴线的方向的器件30进行一次调节。
52.在本技术的一个实施例中，请参阅图1及图5，输入轨道13的上表面于盘体11的轴向面上的截面线呈弧线，该弧线中部朝向靠近盘体11方向凸出。即，输入轨道13的纵向截面上，其上表面形成的截面线为弧线，该弧线中部向下凹陷。由于器件30的重心位于器件30远离标记面301的一侧，当器件30在输入轨道13的上表面滑动时，若其重心不处于最低状态，则容易侧翻，这样最终使得大多数器件30的姿态会被调节成标记面301朝上的状态，以便于使得进入调节轨道15的器件30姿态大多保持一致。
53.在本技术的一个实施例中，请参阅图1及图5，环形壁12上安装有吹针14，吹针14位于输入轨道13对应的输送路径上，吹针14用于将输入轨道13上叠置的器件30吹落至盘体11。这样便于将器件30分散开，以便于控制器件30在输入轨道13上调节姿态，并呈一列输入到调节轨道15。
54.在本技术的一个实施例中，请参阅图1及图5，输入轨道13的出料端设有第二窄道段131，第二窄道段131上开设有第二开槽1310，第二开槽1310位于第二窄道段131靠近盘体11之轴线的一侧。这样可以通过第二开槽1310，控制并列的器件30掉落，以保障单列器件30通过第二窄道段131，使得器件30分散陈单列向下游传输。
55.可选地，请参阅图1及图5，输入轨道13的数量为两个，两个输入轨道13依次相连，各输入轨道13的输出端设有第二窄道段131，位于远离盘体11一端的第二窄道段131与调节轨道15相连。在盘体11的底部，在器件30较多时，下侧的输入轨道13和第二窄道段131，可减少器件30的堆叠和并行，使得器件30呈一列输出，而上侧的输入轨道13和第二窄道段131能够对器件30的姿态进行控制，使得输出的器件30的姿态大多一致。
56.在本技术的一个实施例中，请参阅图1、图4及图5，振动盘还包括输出轨道16，输出轨道16用于引导器件30传送，输出轨道16设于环形壁12靠近盘体11之轴线一侧，输出轨道16的入料端与调节轨道15的出料端相连，环形壁12上安装有第二检测器22，第二检测器22用于检测输出轨道16上器件30姿态，环形壁12上开设有第二吹气孔1202，第二吹气孔1202用于将与预设姿态不一致的器件30吹落至盘体11。由于器件30具有六个面，则存在标记面301位于器件30行进方向的两端的两种姿态，这两种姿态的器件30无法通过调节轨道15调整为预设姿态，而输出时，通过第二吹气孔1202直接将这两种姿态的器件30吹出输出轨道16，从而保障输出轨道16输出的器件30姿态一致。可选地，第二检测器22为光纤聚焦镜。
57.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。