一种碳化硅衬底片封装装置的制作方法

文档序号:30618812发布日期:2022-07-02 01:50阅读:86来源:国知局
一种碳化硅衬底片封装装置的制作方法

1.本实用新型属于碳化硅技术领域,尤其涉及一种碳化硅衬底片封装装置。


背景技术:

2.碳化硅是一种无机物,是用石英砂、石油焦、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅是现今最受关注的第三代半导体材料之一,其在高温、高压、高频等条件下性能优异,在半导体照明光电器件、电力电子、射频微波器件、激光器和探测器件、太阳能电池和生物传感器等其他器件等方面展现出了巨大的潜力,碳化硅衬底片通常采用电镀金刚线切割碳化硅晶棒的方法来制备,并且在制备后需要相应的装置封装,传统的简单封装装置存在着脱落的风险,并且封装后难以拆卸,所以市场上急需一种可以方便安装碳化硅衬底片的封装装置。
3.公告号为cn214453648u,公告日为2021-10-22的中国实用新型专利公开了一种便于提取碳化硅晶片的包装盒,属于晶体运输设备领域,是针对现有晶片在存储和运输过程中易损毁、不便提取的缺陷所提出,其包括:盒体内并列开设有多个存放槽、位于存放槽下方的空腔和用来将单个晶片从存放槽内取出的取片机构,存放槽的底部与空腔连通,取片机构包括提取按钮、滑槽、传动杆和支撑座,滑槽设置在盒体外侧,提取按钮沿滑槽的长度方向滑动安装在滑槽内,滑槽的开槽方向与存放槽的开槽方向垂直,支撑座设置在存放槽下方的空腔内,在支撑座上转动安装有多个传动杆,传动杆对应设在每个滑槽下方,传动杆的一端位于存放槽中部的下方,另一端位于滑槽内,位于提取按钮的下方。
4.虽然该实用新型具有结构简单、操作便捷的优点;但是该实用新型还存在没有推动卡合式限位结构,连接不够紧密的缺点。


技术实现要素:

5.本实用新型目的是提供一种碳化硅衬底片封装装置,本实用新型通过用于盛装衬底片的盒体单元,以及设置在盒体单元上的盒盖单元;盒体单元包括卡合柱,盒盖单元包括用于卡合在卡合柱上的按压柱起到了方便安装碳化硅衬底片的技术效果。本实用新型具有结构简单,安装方便,通过一次按压操作即可实现盒盖与盒体连接密封操作简单,同时仅通过一次推动的方式即可实现盒盖与盒体脱离,并且采用了斜面插入提升柱体使其与卡合柱脱离卡合状态的方式较为省力,以及设置了弹簧复位装置使得按压柱与推动柱均可实现自动复位功能的优点。
6.本实用新型解决上述问题采用的技术方案是:一种碳化硅衬底片封装装置,包括用于盛装衬底片的盒体单元,以及设置在所述盒体单元上的盒盖单元;所述盒体单元包括卡合柱,所述盒盖单元包括用于卡合在所述卡合柱上的按压柱。
7.进一步优选的技术方案在于:所述盒体单元还包括用于盛装衬底片的盒体,以及设置在所述盒体上并用于安装所述按压柱的按压槽;所述盒盖单元还包括盒盖,以及设置在所述盒盖上并用于安装所述按压柱的按压孔。
8.进一步优选的技术方案在于:所述盒盖单元还包括设置在所述按压柱上并用于卡合所述卡合柱的半球块。
9.进一步优选的技术方案在于:所述盒体单元还包括设置在所述盒体上且与所述按压槽连通的推动柱孔,设置在所述推动柱孔上的推动柱,以及设置在所述推动柱上并用于向上顶起所述按压柱的上斜面块。
10.进一步优选的技术方案在于:所述盒盖单元还包括设置在所述按压柱上并用于向下顶起所述上斜面块的下斜面块。
11.进一步优选的技术方案在于:所述盒体单元还包括设置在所述按压槽内侧底面上并用于安装所述下斜面块的斜面槽。
12.进一步优选的技术方案在于:所述盒体单元还包括设置在所述盒体上并与所述推动柱孔连通的限位槽,以及设置在所述推动柱并安装在所述限位槽中的限位板。
13.进一步优选的技术方案在于:所述盒体单元还包括设置在所述限位槽中并用于顶起所述限位板的限位板弹簧。
14.进一步优选的技术方案在于:所述盒盖单元还包括设置在所述按压柱上的弹簧板,设置在所述按压柱上的按压柱弹簧,设置在所述按压孔内侧面上并用于向上顶起所述按压柱弹簧的弹簧托板,以及设置在所述按压孔内侧面上并用于向下顶起所述弹簧板的阻挡块。
15.进一步优选的技术方案在于:所述盒盖单元还包括设置在所述按压柱上的按压板。
16.本实用新型通过用于盛装衬底片的盒体单元,以及设置在盒体单元上的盒盖单元;盒体单元包括卡合柱,盒盖单元包括用于卡合在卡合柱上的按压柱起到了方便安装碳化硅衬底片的技术效果。本实用新型具有结构简单,安装方便,通过一次按压操作即可实现盒盖与盒体连接密封操作简单,同时仅通过一次推动的方式即可实现盒盖与盒体脱离,并且采用了斜面插入提升柱体使其与卡合柱脱离卡合状态的方式较为省力,以及设置了弹簧复位装置使得按压柱与推动柱均可实现自动复位功能的优点。
附图说明
17.图1为本实用新型中封装装置安装碳化硅衬底片的结构示意图。
18.图2为本实用新型中按压柱与卡合柱处于卡合状态的结构示意图。
19.图3为本实用新型中按压柱与卡合柱处于脱离状态的结构示意图。
具体实施方式
20.以下所述仅为本实用新型的较佳实施例,并非对本实用新型的范围进行限定。
21.实施例:如附图1、2以及附图3所示,一种碳化硅衬底片封装装置,包括用于盛装衬底片(a)的盒体单元(1),以及设置在所述盒体单元(1)上的盒盖单元(2);所述盒体单元(1)包括卡合柱(101),所述盒盖单元(2)包括用于卡合在所述卡合柱(101)上的按压柱(201)。
22.在本实施例中,所述盒体单元(1)和所述盒盖单元(2)中的所有部件均采用绝缘材料制备而成,并且均为透明材料以便观察内部衬底片(a)的状态,当所述盒盖单元(2)安装在所述盒体单元(1)上时,按压所述按压柱(201)便与所述卡合柱(101)卡合在一起,从而使
得所述盒盖单元(2)固定在所述盒体单元(1)上不会脱落。
23.所述盒体单元(1)还包括用于盛装衬底片(a)的盒体(102),以及设置在所述盒体(102)上并用于安装所述按压柱(201)的按压槽(103);所述盒盖单元(2)还包括盒盖(202),以及设置在所述盒盖(202)上并用于安装所述按压柱(201)的按压孔(203)。
24.在本实施例中,所述按压柱(201)可在所述按压孔(203)中上下移动,并且在所述按压槽(103)中于所述卡合柱(101)卡合在一起。
25.此外,所述按压孔(203)在所述盒盖(202)的四角处各设置一个,所述按压槽(103)设置在所述按压孔(203)的正下方,并且每个所述按压孔(203)均设置有一个所述按压柱(201),同时每个所述按压槽(103)中均设有两个所述卡合柱(101)。
26.所述盒盖单元(2)还包括设置在所述按压柱(201)上并用于卡合所述卡合柱(101)的半球块(204)。
27.在本实施例中,所述半球块(204)设置在所述按压柱(201)的侧面,左右各设置一个,这样当按下所述按压柱(201)后,所述半球块(204)便会被挤到所述卡合柱(101)的下方,使得所述按压柱(201)不会轻易的向上移动,最终使得所述盒盖(202)固定在所述盒体(102)上。
28.所述盒体单元(1)还包括设置在所述盒体(102)上且与所述按压槽(103)连通的推动柱孔(104),设置在所述推动柱孔(104)上的推动柱(105),以及设置在所述推动柱(105)上并用于向上顶起所述按压柱(201)的上斜面块(106)。
29.在本实施例中,若想让所述半球块(204)脱离与所述卡合柱(101)的卡合状态,则向内推动所述推动柱(105),使得所述上斜面块(106)从所述按压柱(201)地面插入,所述上斜面块(106)靠近所述推动柱(105)一侧较厚,远离所述推动柱(105)一侧较薄,这样随着所述上斜面块(106)的插入,所述按压柱(201)被不断的抬高,从而使得所述半球块(204)被挤到所述卡合柱(101)的上方,从而解除了所述半球块(204)与所述卡合柱(101)的卡合状态。
30.所述盒盖单元(2)还包括设置在所述按压柱(201)上并用于向下顶起所述上斜面块(106)的下斜面块(205)。
31.在本实施例中,所述下斜面块(205)靠近所述推动柱(105)一侧较薄,远离所述推动柱(105)一侧较厚,这样与所述上斜面块(106)的斜面斜率相匹配,使得所述上斜面块(106)的插入过程更加轻松。
32.所述盒体单元(1)还包括设置在所述按压槽(103)内侧底面上并用于安装所述下斜面块(205)的斜面槽(107)。
33.在本实施例中,所述斜面槽(107)内侧底面的斜面斜率与所述下斜面块(205)底面斜率相匹配,使得所述下斜面块(205)具有底部的支撑面,降低对所述按压槽(103)内侧底面的压强。
34.所述盒体单元(1)还包括设置在所述盒体(102)上并与所述推动柱孔(104)连通的限位槽(108),以及设置在所述推动柱(105)并安装在所述限位槽(108)中的限位板(109)。
35.在本实施例中,所述限位板(109)卡合在所述限位槽(108)中,使得所述推动柱(105)在左右移动的过程中不会滑出所述推动柱孔(104)或者被推入所述按压槽(103)中。
36.所述盒体单元(1)还包括设置在所述限位槽(108)中并用于顶起所述限位板(109)的限位板弹簧(110)。
37.在本实施例中,所述限位板弹簧(110)使得不推动所述推动柱(105)时被弹出,起到自动复位的效果。
38.所述盒盖单元(2)还包括设置在所述按压柱(201)上的弹簧板(206),设置在所述按压柱(201)上的按压柱弹簧(207),设置在所述按压孔(203)内侧面上并用于向上顶起所述按压柱弹簧(207)的弹簧托板(208),以及设置在所述按压孔(203)内侧面上并用于向下顶起所述弹簧板(206)的阻挡块(209)。
39.在本实施例中,当解除了所述半球块(204)与所述卡合柱(101)的卡合状态时,所述按压柱弹簧(207)通过向上顶起所述按压柱弹簧(207)的方式将所述按压柱(201)向上抬起,起到了自动复位的技术效果。
40.此外,所述阻挡块(209)与所述弹簧板(206)卡合,防止所述按压柱(201)被所述压柱弹簧(207)弹出所述按压孔(203)
41.所述盒盖单元(2)还包括设置在所述按压柱(201)上的按压板(210)。
42.在本实施例中,所述按压板(210)面积较大,提高与手指的接触面积,减小压强,方便安装过程。
43.上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明,但是本实用新型不限于上述实施方式,在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种修改。这些都是不具有创造性的修改,只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
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