撕膜机及其张力缓冲机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种撕膜机及其张力缓冲机构。


背景技术：

2.随着半导体技术领域的高速发展，复合膜(例如覆晶薄膜)由于其较优地可挠折性而被广泛的应用于电子产品(例如液晶电视、手机、电脑等)上。在复合膜生产及加工的过程中，为防止复合膜在收卷时因张力大于应力而拉扯，则需将复合膜的张力控制在一定范围内。因此，在复合膜每次收卷之前，需要在复合膜上放置一重力球，重力球将复合膜下压一段距离，以使得复合膜在收卷之前具有一定的收卷缓冲量。
3.然而，在实际作业的过程中，由于复合膜前后两侧不在同一水平线上容易翻料，导致重力球容易从复合膜上掉落，继而造成复合膜拉扯，甚至扯断。如此，复合膜耗损严重且人员操作更加麻烦。


技术实现要素：

4.基于此，有必要针对上述复合膜收卷工作时复合膜耗损严重且人员操作更加麻烦的技术问题，提供一种可以降低复合膜耗损且人员操作更简单的撕膜机及其张力缓冲机构。
5.一种张力缓冲机构，配接于撕膜机的机体上，所述张力缓冲机构包括：
6.滑座，配接于所述机体上；以及
7.重力导轮，滑动配接于所述滑座，并与复合膜顶面两侧的齿轮孔抵接；
8.其中，所述重力导轮能够在自身重力的作用下带动所述复合膜相对所述滑座下滑，且所述重力导轮在下滑之前承托于所述复合膜上。
9.在其中一实施例中，所述滑座包括座体、导杆及配重滑块，所述座体配接于所述机体，所述导杆配接于所述座体并沿重力方向延伸，所述配重滑块滑动设置于所述导杆，所述重力导轮固接于所述配重滑块。
10.在其中一实施例中，所述导杆为两条，所述配重滑块为两个，两条所述导杆沿与所述重力方向垂直的水平方向间隔布设于所述重力导轮相对的两侧并与两个所述配重滑块一一对应。
11.在其中一实施例中，还包括缓冲件，所述缓冲件配接于所述座体并在所述重力方向上与所述重力导轮对齐。
12.在其中一实施例中，所述缓冲件包括固定主体及第一弹性部，所述固定主体固接于所述座体，所述第一弹性部设置于所述固定主体面向所述重力导轮的一侧。
13.在其中一实施例中，所述缓冲件还包括第二弹性部，所述第二弹性部连接于所述固定主体与所述第一弹性部之间。
14.在其中一实施例中，还包括配接于所述机体的检测组件，所述检测组件被配置为用于检测所述重力导轮的当前位置，所述撕膜机的收卷电机被配置为用于在所述当前位置
为第一极限位置时关闭，并被配置为用于在所述当前位置为第二极限位置时开启并持续至所述当前位置为第一极限位置；
15.其中，所述第二极限位置间隔设置于所述第一极限位置的下方。
16.在其中一实施例中，所述张力缓冲机构还包括配接于所述机体的报警器，所述报警器被配置为用于在所述当前位置为第三极限位置时发出报警信号；
17.其中，所述第三极限位置间隔设置于所述第二极限位置的下方。
18.在其中一实施例中，还包括配接于所述机体的两个引导轮，两个所述引导轮沿与重力方向垂直的水平方向间隔设置于所述滑座相对的两侧，且关于所述重力导轮沿重力方向延伸的中心轴线成轴对称分布。
19.一种撕膜机，包括如上述任意一项所述的张力缓冲机构。
20.上述撕膜机及其张力缓冲机构，作业时，重力导轮能够在自身重力的作用下带动复合膜相对滑座下滑，以使得复合膜每次收卷之前均具有一定的收卷缓冲量，从而可防止复合膜在收卷时发生拉扯。而由于重力导轮滑动配接于滑座上并与复合膜抵接，因此，可防止重力导轮在撕膜机及其张力缓冲机构运行的过程中从复合膜上掉落，从而能够降低复合膜耗损且人员操作更简单。
附图说明
21.图1为本实用新型一实施例中重力导轮位于第一极限位置时张力缓冲机构的结构示意图；
22.图2为本实用新型一实施例中重力导轮位于第二极限位置时张力缓冲机构的结构示意图。
23.附图标号：
24.100、张力缓冲机构；10、滑座；11、座体；13、导杆；15、配重滑块；20、重力导轮；30、缓冲件；31、固定主体；33、第一弹性部；35、第二弹性部；40、检测组件；41、第一检测件；43、第二检测件；45、第三检测件；50、引导轮；200、复合膜；300、机体。
具体实施方式
25.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
26.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
28.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
31.请参阅图1，本技术提供一种撕膜机，撕膜机包括机体300、脱膜机构、张力缓冲机构100及收卷机构，脱膜机构、张力缓冲机构100及收卷机构均配接于机体300上，脱膜机构用于分离复合膜200与承载膜，并将分离后的复合膜200向张力缓冲机构100输送，收卷机构用于收卷分离后的复合膜200，张力缓冲机构100用于切断脱膜机构与收卷机构两者施加于复合膜200上的张力。优选地，撕膜机还包括控制器，控制器与脱膜机构、张力缓冲机构100及收卷机构电连接，并用于自动控制脱膜机构、张力缓冲机构100及收卷机构分别作业，从而能够实现脱膜及收卷的自动化。
32.具体地，复合膜200可以为覆晶薄膜，初始时，复合膜200承载于承载膜上。脱膜机构工作时，在脱膜机构的作用下，复合膜200与承载膜分离，且分离后的复合膜200能够向张力缓冲机构100输送。接着，复合膜200在张力缓冲机构100的作用下沿重力方向下滑，以使得复合膜200具有一定的收卷缓冲量。当复合膜200的收卷缓冲量达到预设量时，收卷机构启动，并对复合膜200进行收卷。由于收卷缓冲量的设置，可防止复合膜200在收卷的过程中由于脱膜机构的送料速度与收卷机构的收卷速度不一致而导致复合膜200被拉扯，从而可防止复合膜200上的晶片变形。
33.值得一提的是，在本技术中，撕膜机作业时，脱膜机构持续作业，而张力缓冲机构100及收卷机构则均为间断式的作业。也就是说，脱膜机构持续向张力缓冲机构100输送分离的复合膜200，而张力缓冲机构100则在收卷机构未工作时，带动脱离后的复合膜200下滑并具有收卷缓冲量。而当复合膜200的收卷缓冲量达到预设量时，收卷机构才启动并对复合膜200进行收卷。在复合膜200收卷的过程中，复合膜200的收卷缓冲量逐渐减小，且在此过程中张力缓冲机构100对复合膜200的收卷缓冲量不构成影响。当收卷缓冲量为零或者接近于零时，张力缓冲机构100重新带动复合膜200下滑并增加复合膜200的收卷缓冲量。
34.请一并参阅图2，其中，张力缓冲机构100包括滑座10及重力导轮20，滑座10配接于机体300上，并相对机体300固定，重力导轮20滑动配接于滑座10，并与复合膜200顶面两侧的齿轮孔抵接。其中，重力导轮20能够在自身重力的作用下带动复合膜200相对滑座10下滑，且重力导轮20在下滑之前承托于复合膜200上。
35.也就是说，收卷机构未工作时，重力导轮20与复合膜200抵接，且重力导轮20在自身重力的作用下带动复合膜200下滑，以使得复合膜200具有一定的收卷缓冲量。当收卷缓冲量达到预设量时，收卷机构工作并对复合膜200进行收卷，则复合膜200的收卷缓冲量逐渐减少。对应地，复合膜200带动重力导轮20逐渐升高，直至收卷缓冲量达到零或者接近零。当收卷缓冲量达到零或者接近零时，收卷机构停止作业，复合膜200在重力导轮20的作用下重新下滑并循环。在本技术中，由于重力导轮20滑动配接于滑座10上并与复合膜200抵接，因此，可防止重力导轮20在上下滑动的过程中从复合膜200上掉落，进而可防止复合膜发生拉扯甚至折断，故能够降低复合膜的耗损且人员操作更简单。
36.其中，人员操作更简单的原因在于：一方面，在现有技术中，重力球掉落后，需要重新拾起重力球并将重力球放置于复合膜200上，而在本技术中，无需人工操作重力导轮20。另一方面，在现有技术中，重力球容易掉落导致复合膜200扯断，如此，需要人工操作扯断的复合膜200重新被收卷。而在本技术中，由于复合膜200不易扯断，故也无需人工操作。
37.可以理解地，由于重力导轮20的安装更稳定，则在撕膜机及其张力缓冲机构100运行的过程中，重力导轮20能够始终稳定地与复合膜200稳定地抵接，从而也可使得复合膜200的前后两侧能够保持在同一水平线上(表示不存在高度差)。其中，复合膜200的前侧及后侧是指复合膜200的顶面上沿复合膜200的宽度方向依次设置的两侧边缘。
38.值得一提的是，在重力导轮20上下滑动的过程中，重力导轮始终与复合膜200抵接。此外，为防止重力导轮20抵压复合膜200时导致复合膜200发生拉扯，则在复合膜200顶面的中部布设晶片，复合膜200朝向重力导轮20的顶面的前后两侧边缘均设置有沿复合膜200的长度方向延伸的齿轮孔线。重力导轮20沿复合膜200的宽度方向相对设置的两端分别于复合膜200顶面的前后两侧的齿轮孔线上的齿轮孔抵接。在复合膜200下滑或者收卷的过程中，重力导轮20沿齿轮孔线的延伸方向移动，但重力导轮20处两端之外的部分与复合膜200顶面中部的晶片不接触，从而可防止晶片受损。
39.具体地，滑座10包括座体11、导杆13及配重滑块15，座体11配接于机体300且为两个，两个座体11沿重力方向间隔设置，导杆13配接于座体11并沿重力方向延伸，且导杆13相对的顶端及底端分别与两个座体11连接。配重滑块15滑动设置于导杆13，重力导轮20固接于配重滑块15。复合膜200的收卷缓冲量为零或者接近零时，滑轨位于导杆13的顶端，重力导轮20被复合膜200承托于导杆13的顶端。接着，由于配重滑块15与导杆13为滑动配合，重力导轮20在自身重力的作用下带动复合膜200下滑。当复合膜200的收卷缓冲量达到预设值时，收卷机构启动，在复合膜200的作用下，重力导轮20上滑。通过设置导杆13及配重滑块15，可使得重力导轮20能够相对滑座10稳定地进行滑动，从而可防止重力导轮20滑动速度过快而导致复合膜200受到拉扯。
40.优选地，导杆13为两条，配重滑块15为两个，两条导杆13沿与重力方向垂直的水平方向间隔布设于重力导轮20相对的两侧并与两条配重滑块15一一对应。因此，两个配重滑块15能够从重力导轮20的两侧对重力导轮20进行作用，从而能够进一步提升重力导轮20滑
动的稳定性。
41.在一些实施例中，张力缓冲机构100还包括缓冲件30，缓冲件30配接于座体11并在重力方向上与重力导轮20对齐。具体地，缓冲件30可以为一个，一个缓冲件30可以设置于重力导轮20的上方或者下方。缓冲件30位于重力导轮20上方时，缓冲件30用于在收卷机构故障(例如收卷复合膜200过紧时)且复合膜200带动重力导轮20上滑的距离过大时对重力导轮20进行缓冲，以防止重力导轮20与座体11发生刚性接触而损坏。缓冲件30位于重力导轮20下方时，缓冲件30用于在脱膜机构故障(例如输送至脱膜机构的复合膜200速度过快)且导致重力导轮20及复合膜200下滑的距离过大时对复合膜200进行缓冲，以防止复合膜200与座体11发生刚性接触而导致其上的晶片受损。
42.优选地，缓冲件30为两个，两个缓冲件30分别设置于重力导轮20的上方及下方。可以理解地，在整个撕膜机正常工作时，每个缓冲件30与重力导轮20及复合膜200均为间隔设置。通过设置两个缓冲件30，可防止撕膜机故障时复合膜200及重力导轮20受损，从而使得撕膜机具有较佳的工作可靠性。
43.其中，缓冲件30包括固定主体31及第一弹性部33，固定主体31固接于座体11，第一弹性部33设置于固定主体31面向重力导轮20的一侧。固定主体31用于固定第一弹性部33。第一弹性部33对重力导轮20或复合膜200进行缓冲。可选地，第一弹性部33可以使用硅胶、聚氨酯等柔性材料制作。
44.进一步地，缓冲件30还包括第二弹性部35，第二弹性部35连接于固定主体31与第一弹性部33之间。第二弹性部35的设置可进一步增强缓冲件30的缓冲性能，从而保证了复合膜200及重力导轮20在与缓冲件30接触后依然能够保持较佳的工作可靠性。优选地，第二弹性部35为回弹性能优于第一弹性部33的回弹性能。例如，第二弹性部35可以为弹簧。
45.在一些实施例中，张力缓冲机构100还包括配接于机体300的检测组件40，检测组件40被配置为用于检测重力导轮20的当前位置，撕膜机的收卷电机被配置为用于在当前位置为第一极限位置时关闭，并被配置为用于在当前位置为第二极限位置时开启并持续至当前位置为第一极限位置。其中，第二极限位置间隔设置于第一极限位置的下方。
46.具体地，收卷机构包括收卷电机及收卷轮，收卷电机与收卷轮电连接并用于控制收卷轮旋转，以使得复合膜200能够收卷于收卷轮上。当检测组件40检测到重力导轮20的当前位置为第一极限位置时，说明复合膜200的收卷缓冲量为零或者接近零。此时，收卷电机关闭可防止复合膜200继续收卷而被拉扯。进而，重力导轮20由第一极限位置下滑至第二极限位置，在此过程中，收卷电机均维持关闭。当检测组件40检测到重力导轮20的当前位置为第二极限位置时，说明复合膜200的收卷缓冲量达到预设量。此时，收卷电机开启可对复合膜200进行收卷。进而，在收卷电机的作用下，复合膜200带动重力导轮20上移，重力导轮20由第二极限位置逐渐向第一极限位置靠近。在此过程中，收卷电机均保持开启，直至重力导轮20移动至第一极限位置。由此可见，通过设置检测组件40，可使得收卷电机能够实时根据检测的重力导轮20的当前位置并动作，从而使得收卷机构的工作更精准且可靠，还可防止复合膜200被拉扯。
47.优选地，控制器与检测组件40及收卷电机电连接，检测组件40将检测的当前位置发送至控制器，控制器将当前位置与第一极限位置及第二极限位置进行比较，若当前位置为第一极限位置，则控制器控制收卷电机关闭并持续至当前位置为第二极限位置。若当前
位置为第二极限位置，则控制器控制收卷电机开启并持续至当前位置为第一极限位置。
48.进一步地，张力缓冲机构100还包括配接于机体300的报警器，报警器被配置为用于在当前位置为第三极限位置时发出报警信号；其中，第三极限位置间隔设置于第二极限位置的下方。当重力导轮20位于第三极限位置时，说明重力导轮20的收卷缓冲量大于预设量，则表示撕膜机故障(例如，脱膜机构的送料速度过快)。此时，报警器发出报警信号可提示作业人员对撕膜机进行检查，并在故障解除后重新启动撕膜机。由此可见，通过设置报警器，还可及时提示作业人员发生故障，从而便于及时解除撕膜机的故障。值得一提的是，在重力导轮20于第二极限位置与第三极限位置之间滑动的过程中，收卷电机保持开启。
49.优选地，报警器也与控制器电连接，若当前位置为第三极限位置，而控制器控制报警器发出报警信号。具体地，第三极限位置与第二极限位置较为接近。重力导轮20在第二极限位置与第三极限位置之间滑动的过程中，控制器控制报警器关闭。
50.具体地，检测组件40可以仅包括一个检测件，一个检测件的检测区域与重力导轮20由第一极限位置滑动至第三极限位置的滑动区域重叠。优选地，检测组件40包括三个检测件，分别为第一检测件41、第二检测件43及第三检测件45，第一检测件41、第二检测件43及第三检测件45依次沿重力方向间隔设置，且第一检测件41及第二检测件43的检测区域之和与重力导轮20由第一极限位置滑动至第二极限位置的滑动区域重叠，第三检测件45的检测区域与重力导轮20由第二极限位置滑动至第三极限位置的滑动区域重叠。当第一检测件41检测到重力导轮20的当前位置为第一极限位置时，控制器控制收卷电机关闭，当第二检测件43检测到重力导轮20的当前位置为第二极限位置时，控制器控制收卷电机开启，当第三检测件45检测到重力导轮20的当前位置为第三极限位置时，控制器控制报警器打开。通过设置多个检测件，可使得检测组件40的检测更精准。
51.在一些实施例中，张力缓冲机构100还包括配接于机体300的两个引导轮50，两个引导轮50沿与重力方向垂直的水平方向间隔设置于滑座10相对的两侧，且关于重力导轮20沿重力方向延伸的中心轴线成轴对称分布。具体地，在重力方向上，两个引导轮50的高度一致，且均位于重力导轮20的上方。在重力导轮20及两个引导轮50的作用下，复合膜200被引导形成m形。以图2为例，由脱膜机构输送过来的复合膜200依次经位于重力导轮20左侧的引导轮50、重力导轮20、位于重力导轮20右侧的引导轮50而被收卷机构收卷。通过设置两个引导轮50，一方面，可对复合膜200进行引导，以使得复合膜200始终能够保持舒展，从而可方便卷绕。另一方面，在两个引导轮50的作用下，还使得分布于重力导轮20两侧的复合膜200受力较为均匀，从而可防止重力导轮20两侧的复合膜200相互拉扯而导致晶片损坏。
52.进一步地，在两个引导轮50及重力导轮20的配合下，复合膜200在下滑或者收卷的过程中，复合膜200还不容易晃动。如此，还可进一步提升重力导轮20下滑的稳定性。进而，检测组件40检测的精准度也更高。
53.上述撕膜机及其张力缓冲机构100，作业时，重力导轮20能够在自身重力的作用下带动复合膜200相对滑座10下滑，以使得复合膜200每次收卷之前均具有一定的收卷缓冲量，从而可防止复合膜200在收卷时发生拉扯。而由于重力导轮20滑动配接于滑座10上并与复合膜200抵接，因此，可防止重力导轮20在撕膜机及其张力缓冲机构100运行的过程中从复合膜上掉落，从而能够降低复合膜耗损且人员操作更简单。
54.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实
施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
55.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。