一种金属溅射靶材保护装置的制作方法

1.本实用新型涉及金属靶材技术领域，具体为一种金属溅射靶材保护装置。


背景技术：

2.金属靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，有金属类、合金类、氧化物类等等，简单说的话，例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜......铝膜等，更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
3.在金属溅射靶材出货时，需要对靶材进行保护，但现有的保护装置，在运输的过程中无法有效的对靶材进行防护，同时靶材的螺纹接口容易造成磨损，影响安装使用，且外部灰尘容易进入靶材的内部，对靶材的使用造成影响。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种金属溅射靶材保护装置，以解决上述背景技术中提出现有的保护装置，在运输的过程中无法有效的对靶材进行防护，同时靶材的螺纹接口容易造成磨损，影响安装使用，且外部灰尘容易进入靶材的内部，对靶材的使用造成影响的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种金属溅射靶材保护装置，包括箱体，所述箱体的上端活动安装有箱盖，所述箱盖下端的后端固定安装有转轴，所述箱盖上端的前端固定安装有锁芯，所述箱体上端的前端固定安装有锁舌，所述箱盖下端的前端固定设置有锁孔，所述箱体的中部固定安装有隔板一，所述隔板一的上端固定设置有卡合槽，所述箱盖下端的中部固定安装有隔板二，所述隔板二的下端固定安装有卡条，所述箱体内部的前后两端固定安装有支撑底座，所述支撑底座的上端活动安装有缓震杆，所述缓震杆的上端固定安装有承载板，所述缓震杆的下端位于支撑底座的内部固定安装有限位环，所述限位环的下端固定安装有缓震弹簧，所述承载板的内端固定安装有橡胶保护套，所述箱盖下端的前后两端固定安装有压合板，所述压合板的上端固定安装有连接杆，所述连接杆的上端固定安装有气囊，所述箱体内部的左右两端固定安装有托架一，所述箱体左端的前后两端活动安装有按钮，所述按钮的右端固定安装有限位块，所述限位块的右端固定安装有拉杆，所述拉杆右端的外端活动安装有固定环，所述固定环与限位块之间活动安装有按压弹簧，所述箱体内部的左端位于托架一的内端活动安装有左封口盘，所述左封口盘的右端固定安装有橡胶垫，所述橡胶垫的右端固定安装有硅胶圆盘，所述左封口盘的左端固定安装有对接杆，所述箱体内部的右端位于托架一的内端固定安装有右封口盘，所述箱盖下端的左右两端固定安装有托架二。
6.优选的，所述转轴的下端与箱体固定连接，所述锁孔与锁舌相适配，所述卡条与卡合槽相适配，所述支撑底座在箱体内部的前后两端均匀分布，通过钥匙转动锁芯将锁舌进行锁定，使箱体与箱盖之间进行锁定。
7.优选的，所述缓震杆的下端延伸至支撑底座的内部，所述缓震弹簧的下端与支撑
底座固定连接，通过安装缓震弹簧可将运输过程中产生的震动进行过滤，使旋转金属靶材运输时更加的稳定。
8.优选的，所述压合板在箱盖下端的前后两端均匀分布，所述压合板与承载板为相同结构，所述压合板与承载板相适配，压合板与承载板的内端安装有橡胶保护套，可对旋转金属靶材的外端进行保护，避免在运输过程中旋转金属靶材因碰撞出现损坏。
9.优选的，所述气囊与箱盖固定连接，所述托架一在箱体内部的左右两端前后对称分布，气囊具有较好的支撑韧性，可在运输时，将压合板与承载板进行契合，避免旋转金属靶材在运输过程中出现位移，造成外表磨损损坏。
10.优选的，所述拉杆的右端延伸至箱体的内部，所述固定环位于箱体的内部，所述固定环与箱体固定连接，所述按压弹簧位于拉杆的外端，通过安装拉杆可将左封口盘与旋转金属靶材的左端进行对接密封，使其内部保持密封状态，避免灰尘进入旋转金属靶材的内部，造成清理困难。
11.优选的，所述右封口盘与左封口盘为相同结构，所述对接杆的左端延伸至箱体的内部，所述对接杆与拉杆的右端活动连接，通过安装右封口盘与左封口盘可将旋转金属靶材的内部进行密封，避免在运输过程中灰尘进入旋转金属靶材的内部。
12.优选的，所述托架二在箱盖下端的左右两端前后对称分布，所述托架二与托架一相适配，托架一与托架二可将旋转金属靶材两端的螺纹接口进行防护，避免在运输过程中因震动导致螺纹接口损坏。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、该金属溅射靶材保护装置，将旋转金属靶材放置在承载板与压合板之间，利用缓震弹簧与气囊可使承载板与压合板始终保持贴合，且气囊具有较好的韧性支撑，在缓震弹簧缓时，可对承载板进行压合支撑，避免缓震弹簧因颠簸出现震颤，使旋转金属靶材出现抖动造型成损坏，有效的提高了对旋转金属靶材的运输保护能力；
15.2、该金属溅射靶材保护装置，将左封口盘与右封口盘塞入旋转金属靶材的两端，可避免外界的灰尘进入旋转金属靶材的内部，对后期使用造成影响，有效的提高了便捷性，且降低了灰尘对旋转金属靶材的侵袭；
16.3、该金属溅射靶材保护装置，将旋转金属靶材的螺纹接口置于托架一与托架二之间，托架一与托架二可对螺纹接口进行保护，避免在运输的过程中因颠簸导致螺纹接口损坏，使得后期无法使用，有效的提高了对螺纹接口的保护能力。
附图说明
17.图1为本实用新型立体结构示意图；
18.图2为本实用新型立体结构示意图；
19.图3为本实用新型支撑底座剖面结构示意图；
20.图4为本实用新型气囊剖面结构示意图；
21.图5为本实用新型左封口盘立体结构示意图；
22.图6为本实用新型拉杆立体结构示意图。
23.图中：1、箱体；2、箱盖；3、转轴；4、锁芯；5、锁舌；6、锁孔；7、隔板一；8、卡合槽；9、隔板二；10、卡条；11、支撑底座；12、缓震杆；13、承载板；14、限位环；15、缓震弹簧；16、橡胶保
护套；17、压合板；18、连接杆；19、气囊；20、托架一；21、按钮；22、限位块；23、拉杆；24、固定环；25、按压弹簧；26、左封口盘；27、橡胶垫；28、硅胶圆盘；29、对接杆；30、右封口盘；31、托架二。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种金属溅射靶材保护装置，包括箱体1，箱体1的上端活动安装有箱盖2，箱盖2下端的后端固定安装有转轴3，箱盖2上端的前端固定安装有锁芯4，箱体1上端的前端固定安装有锁舌5，箱盖2下端的前端固定设置有锁孔6，箱体1的中部固定安装有隔板一7，隔板一7的上端固定设置有卡合槽8，箱盖2下端的中部固定安装有隔板二9，隔板二9的下端固定安装有卡条10，箱体1内部的前后两端固定安装有支撑底座11，支撑底座11的上端活动安装有缓震杆12，缓震杆12的上端固定安装有承载板13，缓震杆12的下端位于支撑底座11的内部固定安装有限位环14，限位环14的下端固定安装有缓震弹簧15，承载板13的内端固定安装有橡胶保护套16，箱盖2下端的前后两端固定安装有压合板17，压合板17的上端固定安装有连接杆18，连接杆18的上端固定安装有气囊19，箱体1内部的左右两端固定安装有托架一20，箱体1左端的前后两端活动安装有按钮21，按钮21的右端固定安装有限位块22，限位块22的右端固定安装有拉杆23，拉杆23右端的外端活动安装有固定环24，固定环24与限位块22之间活动安装有按压弹簧25，箱体1内部的左端位于托架一20的内端活动安装有左封口盘26，左封口盘26的右端固定安装有橡胶垫27，橡胶垫27的右端固定安装有硅胶圆盘28，左封口盘26的左端固定安装有对接杆29，箱体1内部的右端位于托架一20的内端固定安装有右封口盘30，箱盖2下端的左右两端固定安装有托架二31。
26.进一步的，转轴3的下端与箱体1固定连接，锁孔6与锁舌5相适配，卡条10与卡合槽8相适配，支撑底座11在箱体1内部的前后两端均匀分布，在使用时，将旋转金属靶材放置在承载板13的内端，然后将旋转金属靶材的右端与右封口盘30进行对接，使右封口盘30塞入旋转金属靶材的内部进行密封，然后按动按钮21，按钮21推动拉杆23，同时限位块22对按压弹簧25进行压缩，与此同时拉杆23与对接杆29接触，推动对接杆29，对接杆29推动左封口盘26，左封口盘26右端的硅胶圆盘28塞入旋转金属靶材的右端进行密封，当将旋转金属靶材放置好后，将箱盖2进行翻转，使其与箱体1闭合，同时锁舌5插入锁孔6的内部，通过钥匙转动锁芯4将锁舌5进行锁定，当箱盖2闭合后，压合板17与承载板13契合将旋转金属靶材进行固定，同时托架二31与托架一20契合，将旋转金属靶材两端的螺纹接口进行保护，在运输过程中，当出现颠簸时，承载板13下端的缓震杆12向支撑底座11的内部进行压缩，支撑底座11内部的缓震弹簧15对缓震杆12进行缓震，同时压合板17上端的气囊19对压合板17进行支撑，使其与承载板13支撑保持贴合状态，有效的提高了该保护装置的保护性能。
27.进一步的，缓震杆12的下端延伸至支撑底座11的内部，缓震弹簧15的下端与支撑底座11固定连接，通过安装缓震弹簧15可将运输过程中产生的震动进行过滤，使旋转金属
靶材运输时更加的稳定。
28.进一步的，压合板17在箱盖2下端的前后两端均匀分布，压合板17与承载板13为相同结构，压合板17与承载板13相适配，压合板17与承载板13的内端安装有橡胶保护套16，可对旋转金属靶材的外端进行保护，避免在运输过程中旋转金属靶材因碰撞出现损坏。
29.进一步的，气囊19与箱盖2固定连接，托架一20在箱体1内部的左右两端前后对称分布，气囊19具有较好的支撑韧性，可在运输时，将压合板17与承载板13进行契合，避免旋转金属靶材在运输过程中出现位移，造成外表磨损损坏。
30.进一步的，拉杆23的右端延伸至箱体1的内部，固定环24位于箱体1的内部，固定环24与箱体1固定连接，按压弹簧25位于拉杆23的外端，通过安装拉杆23可将左封口盘26与旋转金属靶材的左端进行对接密封，使其内部保持密封状态，避免灰尘进入旋转金属靶材的内部，造成清理困难。
31.进一步的，右封口盘30与左封口盘26为相同结构，对接杆29的左端延伸至箱体1的内部，对接杆29与拉杆23的右端活动连接，通过安装右封口盘30与左封口盘26可将旋转金属靶材的内部进行密封，避免在运输过程中灰尘进入旋转金属靶材的内部。
32.进一步的，托架二31在箱盖2下端的左右两端前后对称分布，托架二31与托架一20相适配，托架一20与托架二31可将旋转金属靶材两端的螺纹接口进行防护，避免在运输过程中因震动导致螺纹接口损坏。
33.工作原理：在使用时，将旋转金属靶材放置在承载板13的内端，然后将旋转金属靶材的右端与右封口盘30进行对接，使右封口盘30塞入旋转金属靶材的内部进行密封，然后按动按钮21，按钮21推动拉杆23，同时限位块22对按压弹簧25进行压缩，与此同时拉杆23与对接杆29接触，推动对接杆29，对接杆29推动左封口盘26，左封口盘26右端的硅胶圆盘28塞入旋转金属靶材的右端进行密封，当将旋转金属靶材放置好后，将箱盖2进行翻转，使其与箱体1闭合，同时锁舌5插入锁孔6的内部，通过钥匙转动锁芯4将锁舌5进行锁定，当箱盖2闭合后，压合板17与承载板13契合将旋转金属靶材进行固定，同时托架二31与托架一20契合，将旋转金属靶材两端的螺纹接口进行保护，在运输过程中，当出现颠簸时，承载板13下端的缓震杆12向支撑底座11的内部进行压缩，支撑底座11内部的缓震弹簧15对缓震杆12进行缓震，同时压合板17上端的气囊19对压合板17进行支撑，使其与承载板13支撑保持贴合状态，有效的提高了该保护装置的保护性能。
34.最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。