1.本技术涉及划片机领域，具体为一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机。
背景技术：
2.划片机也叫晶圆切割机，主要用于半导体晶圆、集成电路、qfn、发光二极管、led芯片、太阳能电池、电子基片等的划切，适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。半导体料匣主要是用于存放晶圆和电子基片等材料，通常侧边开口用于平放晶圆和电子基片，而划片机在划切上料时通常采用机械手将基片抓取到工作台上进行加工。然而，由于目前现有的机械手通常采用机械吸盘，而机械吸盘在操作时无法从开口处将基片从料匣中取出，针对于此，我们研究了一种能够用于将基片从料匣一侧取出的上料夹持机构，以解决上述所提到的问题。
技术实现要素：
3.本技术的目的在于提供一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机，具有能够将基片从料匣中取出的优点。
4.为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种划片机上料夹持机构，包括：用于提供水平夹持驱动力的第一驱动件，所述第一驱动件的一侧设置有感应料片的第一感应开关；用于提供旋转驱动力的第二驱动件，所述第二驱动件的输出轴上安装有与所述第一驱动件连接的支撑组件，所述支撑组件受所述第二驱动件所提供的旋转驱动力带动所述第一驱动件翻转；以及，用于检测所述支撑组件正向或反向旋转的检测组件。
5.实现上述技术方案，第一感应开关用于感应第一驱动件夹持区是否有料片，第二驱动件用于驱动第一驱动件进行翻转，检测组件用于检测第一驱动件翻转的位置，以便于通过上料机上的吸盘组件抓取料片。
6.作为本技术的一种优选方案，所述第一驱动件采用手指气缸，所述手指气缸上安装有与夹爪连接的夹块。
7.实现上述技术方案，利用夹爪驱动夹块夹持料片。
8.作为本技术的一种优选方案，所述第二驱动件采用旋转摆动气缸，所述旋转摆动气缸的一侧设置有与上料机连接的固定块。
9.实现上述技术方案，利用固定块将第二驱动件固定于上料机。
10.作为本技术的一种优选方案，所述支撑组件包括横向连接于所述第二驱动件两侧输出轴上的第一支撑块以及竖直连接于所述第一支撑块的第二支撑块，所述第二支撑块远离所述第一支撑块的一侧与所述第一驱动件连接。
11.实现上述技术方案，利用支撑组件将第一驱动件安装在第二驱动件一侧的下方。
12.作为本技术的一种优选方案，所述检测组件包括设于所述第一支撑块上的感应件以及用于检测所述感应件正向或反向旋转的第二感应开关和第三感应开关，所述感应件受所述第一支撑块进行旋转与所述第二感应开关或所述第三感应开关连接，以实现对所述支撑组件正向或反向旋转检测。
13.实现上述技术方案，用于检测支撑组件的旋转方向以及控制支撑组件的旋转。
14.作为本技术的一种优选方案，所述第一感应开关、所述第二感应开关和所述第二感应开关包括微动开关或光电开关。
15.一种划片机上料机，包括上料机以及如上述所述的上料夹持机构。
16.作为本技术的一种优选方案，所述上料机包括：用于提供水平移动驱动力的直线模组；设于所述直线模组、并用于提供竖直移动驱动力的滚珠丝杆直线模组；以及，设于所述滚珠丝杆直线模组底部、并用于真空吸附料片的吸盘组件，所述吸盘组件的一侧设置有上料夹持机构。
17.实现上述技术方案，由直线模组驱动所连接的滚珠丝杆直线模组以及滚珠丝杆直线模组上的吸盘组件进行水平方向横向移动，而滚珠丝杆直线模组用于驱动所连接的吸盘组件进行竖直方向移动，而上料夹持机构用于随吸盘组件进行横向移动，以进入到料匣夹取料片，并将料片从料匣中拖出到一侧的对中机构上，由吸盘组件将其抓取到工作台上。
18.作为本技术的一种优选方案，所述吸盘组件包括：水平设置的真空吸盘；以及，设于所述真空吸盘顶部、并与所述滚珠丝杆直线模组连接的底座，所述底座的一侧与所述上料夹持机构连接。
19.实现上述技术方案，由滚珠丝杆直线模组驱动所连接的底座，使底座以及底座上的上料夹持机构和真空吸盘进行竖直移动。
20.一种划片机，包括划片机以及如上述所述的划片机上料机。
21.本技术的有益效果是：1.本实施例中的一种划片机上料夹持机构，包括：用于提供水平夹持驱动力的第一驱动件，所述第一驱动件的一侧设置有感应料片的第一感应开关； 用于提供旋转驱动力的第二驱动件，所述第二驱动件的输出轴上安装有与所述第一驱动件连接的支撑组件，所述支撑组件受所述第二驱动件所提供的旋转驱动力带动所述第一驱动件翻转；以及，用于检测所述支撑组件正向或反向旋转的检测组件。本技术中的第一驱动件不仅可用于在料匣中夹持料片，而且能够在第一感应开关的作用下防止第一驱动件夹空，并且能够在第二驱动件的作用下进行翻转，以防止真空吸盘抓取料片时第一驱动件与料匣或对中机构进行碰撞，以保护第一驱动件，且本技术结构简单、使用方便，便于操作。
22.2. 本实施例中的一种划片机上料机，包括：用于提供水平移动驱动力的直线模组；设于所述直线模组、并用于提供竖直移动驱动力的滚珠丝杆直线模组；以及，设于所述滚珠丝杆直线模组底部、并用于真空吸附料片的吸盘组件，所述吸盘组件的一侧设置有上料夹持机构。本技术结构简单、使用方便，不仅能够通过上料夹持机构进入到料匣夹取料片，并将料片从料匣中拖出到一侧的对中机构上，而且能够通过吸盘组件将夹取出来的料
片抓取到工作台上。
23.3.本实施例中的一种划片机，具有结构简单、可便于安装和装配的上料机以及便于夹持料片的上料夹持机构。
附图说明
24.图1为本技术涉及的示意图。
25.图2为本技术涉及的上料机示意图。
26.图3为本技术涉及的上料夹持机构示意图。
27.图中：1、第一驱动件；101、夹块；2、第二驱动件；201、固定块；3、支撑组件；301、第一支撑块；302、第二支撑块；4、第一感应开关；5、检测组件；501、感应件；502、第二感应开关；503、第三感应开关；6、上料机；601、直线模组；602、滚珠丝杆直线模组；603、吸盘组件；6031、真空吸盘；6032、底座；7、上料夹持机构；8、料片；9、对中机构；10、料匣；11、上料机构；12、划片机工作台。
具体实施方式
28.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
29.实施例一：一种划片机上料夹持机构，参照图2和图3，包括用于提供水平夹持驱动力的第一驱动件1，第一驱动件1的一侧安装有第一感应开关4。在本实施例中，第一驱动件1采用手指气缸，手指气缸的夹爪上安装有夹持料片8的夹块101，夹块101由聚氨酯材料制成，聚氨酯不仅具有隔热、隔音、抗震、防毒性能良好，而且耐油、耐磨、耐低温、耐老化、硬度高、有弹性，能够在使用时保护基片，防止基片受伤；而第一感应开关4采用槽型光电开关，槽型光电开关的开槽位于夹块101的一侧，以感应两侧夹块101之间的料片。在其它实施例中，夹块101可采用橡胶或具有弹性缓冲的绝缘材料，第一感应开关4可采用微动开关，触碰两侧夹块101之间的料片8。
30.参照图1、图2和图3，为了能够驱动第一驱动件1进行翻转，防止第一驱动件1在上料机6抓取料片8时与一侧的对中机构9或料匣10碰撞，第一驱动件1通过支撑组件3与第二驱动件2连接，第二驱动件2用于安装在上料机6，通过提供的旋转驱动力驱动支撑组件3所连接的第一驱动件1进行翻转，以避开对中机构9或料匣10。
31.在本实施例中，第二驱动件采用180度旋转摆动气缸，旋转摆动气缸的缸体通过固定块201安装于上料机6，而支撑组件3上安装有与上料机6连接的检测组件5，用于检测支撑组件3正向或反向旋转，以避免上料机6抓料导致第一驱动件1与对中机构9或料匣10碰撞。
32.参照图3，为了便于将第一驱动件1安装在第二驱动件2一侧的下方。在本实施例中，支撑组件3包括横向连接于第二驱动件2两侧输出轴上的第一支撑块301以及竖直连接于第一支撑块301的第二支撑块302，第二支撑块302远离第一支撑块301的一侧与第一驱动件连接。
33.参照图3，为了便于检测支撑组件3旋转的方向，检测组件5包括安装于第一支撑块301上的感应件501以及用于检测感应件501正向或反向旋转的第二感应开关502和第三感应开关503，感应件501受第一支撑块301进行旋转与第二感应开关502或第三感应开关503连接，以实现对支撑组件3正向或反向旋转检测。在本实施例中，感应件501采用片状的遮光件，遮光件通过螺丝锁紧在第一支撑块3上，第二感应开关502和第三感应开关503采用槽型光电开关，遮光件随支撑组件3进行旋转时遮挡其中一侧槽型光电开关中的信号。在其它实施例中，第一感应开关4和第二感应开关502可采用微动开关，用于感应件501与随支撑组件3进行旋转时与其中一侧的微动开关连接触碰。
34.实施例二：一种划片机上料机，参照图1和图2，包括上料机6以及如实施例一的上料夹持机构7。
35.参照图1和图2，上料机6包括用于提供水平移动驱动力的直线模组601，安装于直线模组601、并用于提供竖直移动驱动力的滚珠丝杆直线模组602；以及，设于滚珠丝杆直线模组602底部、并用于真空吸附料片8的吸盘组件603，而上料夹持机构7安装于吸盘组件603的一侧。在本实施例中，直线模组601用于驱动所连接的滚珠丝杆直线模组602以及滚珠丝杆直线模组602上的吸盘组件603进行水平方向横向移动，而滚珠丝杆直线模组602用于驱动所连接的吸盘组件603进行竖直方向移动，而上料夹持机构7用于随吸盘组件603进行横向移动，以进入到一侧上料机构11的料匣10中夹取料片8，并将料片8从料匣10中拖出到一侧的对中机构9上，再由吸盘组件603将其抓取到划片机工作台12上。
36.参照图2和图3，吸盘组件603包括：水平设置的真空吸盘6031；以及，安装于真空吸盘6031顶部、并与滚珠丝杆直线模组602连接的底座6032，而上料夹持机构7固定于底座6032的一侧。在本实施例中，由滚珠丝杆直线模组602驱动所连接的底座6032，使底座6032以及底座6032上的上料夹持机构7和真空吸盘6031一起进行竖直移动。
37.参照图1和图2，为了增加上料机6的上、下料效率，以及与分选机的联动。在本实施例中，直线模组601上安装有多个用于提供竖直移动驱动力的滚珠丝杆直线模组602，分别用于给划片机上料、划切后的基板下料清洗以及给分选机进行上料。
38.实施例三：一种划片机，包括划片机以及如实施例二的划片机上料机6。
39.具体的，在实际使用时，由上料机6上的直线模组601驱动滚珠丝杆直线模组602以及滚珠丝杆直线模组602底部的吸盘组件603和上料夹持机构7进行水平平移，使上料夹持机构7上的第一驱动件1进入到一侧上料机构11的料匣10中，第一驱动件1通过第一感应开关4感应料片8、并将料片8夹持，再由直线模组601驱动水平移动，将夹持后的料片8从料匣10中水平移动到一侧的对中机构9上，然后，由上料夹持机构7中的第二驱动件2驱动第一驱动件1进行翻转，并在完成翻转后，再由直线模组601驱动吸盘组件603移动到对中机构9上方，由滚珠丝杆直线模组602驱动吸盘组件603向下通过真空吸盘6031抓取对中机构9上的料片8，然后在直线模组601和滚珠丝杆直线模组602的联动下将抓取后的料片8放入到划片机工作台12。
40.对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论
从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。