一种硅料加热载具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种硅料加热载具。


背景技术：

2.为了防止金属对硅料产生污染，现有硅料加热和水爆载具都是采用石英材质。然而石英材质本身价格较高，导致载具制备成本高昂，并且石英的脆性较高，硅料自重又较大，在使用过程中极易造成石英载具破碎。此外由于石英的脆性，很难加工成特定结构，因此现有载具结构大多数为平面结构，硅料在载具中只能简单堆叠，自动化夹具难以对堆叠的硅料进行抓取，需要人工进行辅助。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、强度较高、成本低廉和能够与自动化夹具适配的硅料加热载具。
4.为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案为：
5.一种硅料加热载具，包括金属材质的底板和用于隔离底板的垫块，所述底板上设有多个用于放置单条硅料的放置槽，所述放置槽用于接触硅料的托持面上设置垫块。
6.作为上述技术方案的进一步改进：
7.所述垫块为由碳化钨材质制成的块状结构。
8.所述底板上设有突出于其表面的多个支架，至少两个所述支架作为支撑单条硅料的一组支撑结构以共同形成放置槽，且两个所述支架沿同一直线间隔布置。
9.所述支架的顶部设有v形槽口，所述v形槽口的两侧壁各设有一块垫块。
10.所述v形槽口的最大开口宽度小于硅料的直径。
11.一组中的各所述支架之间的最大间距小于硅料的长度。
12.所述底板上还开设有镂空孔。
13.与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
14.本实用新型的硅料加热载具，采用金属材质制成，为了避免金属污染硅料，在放置槽的托持面上设置了隔离用垫块，因此既能够保证硅料的品质，又能够加强载具自身的强度，使其能够用于自重较重的硅料，避免载具的破碎。且相比于石英来说，可以采用价格低廉的各类高强度金属，因此制备成本大大降低，还能够加工成具有单独放置各条硅料的放置槽，可以使用机械手或其他自动化机构进行夹取、放置物料，从而完全实现自动化生产。
附图说明
15.图1是本实用新型的硅料加热载具的立体结构示意图；
16.图2是本实用新型的硅料加热载具的侧面示意图；
17.图3和图4是硅料放置在本实用新型的硅料加热载具上的示意图。
18.图例说明：1、底板；11、放置槽；12、支架；121、v形槽口；13、镂空孔；2、垫块；3、硅
料。
具体实施方式
19.为了便于理解本实用新型，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本实用新型做更全面、细致地描述，但本实用新型的保护范围并不限于以下具体实施例。
20.实施例：
21.如图1和图2所示，本实施例的硅料加热载具，包括金属材质的底板1和用于隔离底板1的垫块2，底板1上设有多个用于放置单条硅料3的放置槽11，放置槽11用于接触硅料3的托持面上设置垫块2。本实施例的载具采用金属材质制成，为了避免金属污染硅料，在放置槽11的托持面上设置了垫块2，因此既能够保证硅料的品质，又能够加强载具自身的强度，使其能够用于自重较重的硅料，避免载具的破碎。且相比于石英来说，可以采用价格低廉的各类高强度金属，因此制备成本大大降低，还能够加工成具有单独放置各条硅料的放置槽11，可以使用机械手或其他自动化机构进行夹取、放置物料，从而完全实现自动化生产。
22.本实施例中，各放置槽11之间可以具有一定的间隔并均匀排布，以方便机械手等设备进行抓取。
23.本实施例中，垫块2为由碳化钨材质制成的块状结构，碳化钨与硅料3可直接接触，不会造成污染，且块状结构具有一定的厚度，能够将硅料3从金属的底板1垫起，进一步提高隔离效果。
24.本实施例中，底板1上设有突出于其表面的多个支架12，至少两个支架12作为支撑单条硅料3的一组支撑结构以共同形成放置槽11，如图3和图4所示，且两个支架12沿同一直线间隔布置。突出于底板1表面的支架12能够将硅料3撑起，既减少了金属污染的可能性，又避免大面积使用垫块2，节省了大量成本。
25.本实施例中，支架12的顶部设有v形槽口121，v形槽口121的两侧壁各设有一块垫块2。v形结构可以对圆柱状的硅料3进行滚动限位，同时又不会影响夹具等设备抓取硅料3。
26.本实施例中，v形槽口121的最大开口宽度小于硅料3的直径，因此可以最大程度上暴露硅料3，保证加热水爆效果。且还能将支架12本身隐藏在硅料3的下方，避免夹具与支架12干涉。
27.本实施例中，一组支架12为两个，两支架12之间的间距小于硅料3的长度，使硅料3的两端伸出于支架12外，避免夹具与支架12干涉。
28.本实施例中，底板1上还开设有镂空孔13，一方面减轻载具重量，另一方面用于水爆后泄水。
29.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例。对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型的技术构思前提下所得到的改进和变换也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种硅料加热载具，其特征在于：包括金属材质的底板(1)和用于隔离底板(1)的垫块(2)，所述底板(1)上设有多个用于放置单条硅料(3)的放置槽(11)，所述放置槽(11)用于接触硅料(3)的托持面上设置垫块(2)。2.根据权利要求1所述的硅料加热载具，其特征在于：所述垫块(2)为由碳化钨材质制成的块状结构。3.根据权利要求1或2所述的硅料加热载具，其特征在于：所述底板(1)上设有突出于其表面的多个支架(12)，至少两个所述支架(12)作为支撑单条硅料(3)的一组支撑结构以共同形成放置槽(11)，且两个所述支架(12)沿同一直线间隔布置。4.根据权利要求3所述的硅料加热载具，其特征在于：所述支架(12)的顶部设有v形槽口(121)，所述v形槽口(121)的两侧壁各设有一块垫块(2)。5.根据权利要求4所述的硅料加热载具，其特征在于：所述v形槽口(121)的最大开口宽度小于硅料(3)的直径。6.根据权利要求3所述的硅料加热载具，其特征在于：一组中的各所述支架(12)之间的最大间距小于硅料(3)的长度。7.根据权利要求1所述的硅料加热载具，其特征在于：所述底板(1)上还开设有镂空孔(13)。

技术总结
本实用新型公开了一种硅料加热载具，包括金属材质的底板和用于隔离底板的垫块，所述底板上设有多个用于放置单条硅料的放置槽，各放置槽之间具有间隔且均匀排布；所述放置槽用于接触硅料的托持面上设置垫块。本实用新型的硅料加热载具具有结构简单、强度较高、成本低廉和能够与自动化夹具适配等优点。和能够与自动化夹具适配等优点。和能够与自动化夹具适配等优点。


技术研发人员：谭夏智 彭序言 向阳
受保护的技术使用者：湖南微朗科技有限公司
技术研发日：2022.03.11
技术公布日：2022/9/9