一种聚四氟乙烯提手的制作方法

1.本实用新型涉及到半导体器件生产制造技术领域的一种四、五、六英寸片篮可以通用的新型聚四氟乙烯提手。


背景技术：

2.目前国内大功率半导体分立器件中最常见的就是四、五、六英寸器件，而片篮和提手是器件芯片工艺生产过程中最不可或缺的工艺器具，且需求数量巨大。目前，器件生产厂家采用的提手尺寸都是与片篮尺寸一一对应的，即四英寸片篮需要配置四英寸提手，五英寸片篮需要配置五英寸提手，六英寸片篮需要配置六英寸提手。在大功率半导体分立器件工艺生产过程中，经常会出现四、五、六英寸芯片交叉生产的情况，而在芯片自动清洗和腐蚀工艺操作时，装有芯片的片篮通过提手装在机械臂上进行自动清洗和腐蚀，经常拆卸更换提手，严重影响大规模生产的工艺效率和经济效益。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种新型的四、五、六英寸片篮可以通用的聚四氟乙烯提手，方便操作、安全可靠、节约成本。
4.本实用新型采用的技术方案是：一种聚四氟乙烯提手，包括横梁和把手，横梁中部设有竖直向上的把手，横梁上设有三个凹槽a、b、 c，最内侧凹槽c放置四英寸片篮，中间凹槽b放置五英寸片篮，最外侧凹槽a放置六英寸片篮。
5.横梁中部设有横向加强筋。
6.把手中部设有纵向加强筋。
7.本实用新型解决了大功率半导体分立器件工艺清洗及腐蚀等生产过程中，由于片篮和提手不匹配造成的操作复杂、效率低下的问题，本实用新型可以做到一个聚四氟乙烯提手通用四、五、六英寸3种规格片篮，并具有防止片篮在使用过程中脱落的设计，保证工艺操作过程的可靠性，同时大大节约了生产成本。本实用新型方便操作、安全可靠、节约成本。本实用新型目前已经应用于实际工艺生产过程中，可以完全兼容四、五、六英寸片篮，操作方便，特别适应批量化工艺生产，且安全可靠、节约成本，效果良好。
附图说明
8.图1是本实用新型结构示意图。
具体实施方式
9.一种聚四氟乙烯提手，包括横梁7和把手8，横梁7中部设有竖直向上的把手8，横梁7上设有三个凹槽a1、b2、c3，最内侧凹槽 c3放置四英寸片篮6，中间凹槽b2放置五英寸片篮，最外侧凹槽a1 放置六英寸片篮。横梁7中部设有横向加强筋4。把手8中部设有纵向加强筋5。
10.1、本实用新型的设计要点：
11.(1)凹槽a1由于其厚度h1小于六英寸片篮用于放置提手的厚度h 且左右两边皆有定位凹槽，所以完全可以用于放置六英寸片篮，并起到定位六英寸片篮且防止片篮脱落的作用。(2)凹槽b2由于其厚度h2 小于五英寸片篮用于放置提手的厚度h且左右两边皆有定位凹槽，所以完全可以用于放置五英寸片篮。(3)凹槽c3由于其厚度h3小于四英寸片篮用于放置提手的厚度h且左右两边皆有定位凹槽，所以完全可以用于放置四英寸片篮。(4)横向加强筋4目的是提高提手的强度。 (5)纵向加强筋5用于提高提手的强度。
12.2、实际效果
13.本实用新型目前已经应用于实际工艺生产过程中，可以完全兼容四、五、六英寸片篮，操作方便，特别适应批量化工艺生产，且安全可靠、节约成本。
14.3、结论
15.本实用新型解决了大功率半导体分立器件工艺清洗及腐蚀等生产过程中，由于片篮和提手不匹配造成的操作复杂、效率低下的问题，同时大大节约了生产成本。目前已经应用在实际工艺生产过程中，效果良好。


技术特征：
1.一种聚四氟乙烯提手，包括横梁(7)和把手(8)，横梁(7)中部设有竖直向上的把手(8)，其特征在于：横梁(7)上设有三个凹槽a、b、c(1、2、3)，最内侧凹槽c(3)放置四寸片篮(6)，中间凹槽b(2)放置五寸片篮，最外侧凹槽a(1)放置六寸片篮。2.如权利要求1所述的聚四氟乙烯提手，其特征在于：横梁(7)中部设有横向加强筋(4)。3.如权利要求1所述的聚四氟乙烯提手，其特征在于：把手(8)中部设有纵向加强筋(5)。

技术总结
本实用新型公开了一种聚四氟乙烯提手，包括横梁和把手，横梁中部设有竖直向上的把手，横梁上设有三个凹槽A、B、C，最内侧凹槽C放置四寸片篮，中间凹槽B放置五寸片篮，最外侧凹槽A放置六寸片篮。横梁中部设有横向加强筋。把手中部设有纵向加强筋。本实用新型可以做到一个聚四氟乙烯提手通用四、五、六英寸3种规格片篮，并具有防止片篮在使用过程中脱落的设计，保证工艺操作过程的可靠性，同时大大节约了生产成本。本实用新型方便操作、安全可靠、节约成本。本实用新型目前已经应用于实际工艺生产过程中，可以完全兼容四、五、六英寸片篮，操作方便，特别适应批量化工艺生产，且安全可靠、节约成本，效果良好。效果良好。效果良好。


技术研发人员：赵卫 赵田 周成 马常龙 王智远 姚楠楠 刘育彰
受保护的技术使用者：西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
技术研发日：2022.04.15
技术公布日：2022/9/29