吊装机械臂的制作方法

1.本实用新型涉及机械臂技术领域，具体涉及一种吊装机械臂。


背景技术：

2.现有的等离子体刻蚀设备在使用过程中，需要对其待吊装部件进行起吊作业，通过现有的机械臂进行起吊作业需要配合使用吊车，吊车能够保持现有的机械臂在负重状态下的稳定性。
3.但是，吊车的体积大，在fab(半导体制造车间)中，使用这一类工具作为辅助设备，会增加占用的空间，增加fab的成本，另外，为了增加吊车的稳定性，还需在吊车上匹配配重器等，这会大大增加吊车的重量，使用时需要来回移动吊车，需多人协作，有较高的人力成本。


技术实现要素：

4.为了解决上述技术中存在的问题，本实用新型提供了一种吊装机械臂，能够安装在等离子体刻蚀设备上，便于待吊装部件的拆卸，减小因操作不便带来的使用风险。
5.本实用新型提供了一种吊装机械臂，该吊装机械臂用于安装在等离子体刻蚀设备上，包括：平移装置和起吊装置；所述起吊装置的一端与所述平移装置的一端连接安装，所述平移装置的另一端与等离子体刻蚀设备相连，待吊装部件安装于所述起吊装置的另一端；所述起吊装置带动所述待吊装部件在垂直方向移动；所述平移装置通过起吊装置使所述待吊装部件在水平面上移动。
6.可选地，所述平移装置包括第一平移臂和与所述第一平移臂的一端连接的第一转动结构；所述第一平移臂的另一端连接安装所述起吊装置，所述第一平移臂可围绕所述第一转动结构在水平面上转动。
7.可选地，所述平移装置还包括第二平移臂和与所述第二平移臂的一端连接的第二转动结构；所述第二平移臂的另一端与所述第一转动结构固定连接，所述第二平移臂可围绕所述第二转动结构在水平面上转动。
8.可选地，所述平移装置还包括依次设置的至少两个第二平移臂和至少两个第二转动结构；相邻的两个所述第二平移臂之间通过一所述第二转动结构连接；在所述至少两个第二平移臂中，位于所述平移装置第一侧端部的一所述第二平移臂与所述第一转动结构固定连接，位于所述平移装置第二侧端部的另一所述第二平移臂与另一所述第二转动结构连接；每个所述第二平移臂可围绕与其连接的第二转动结构在水平面上转动。
9.可选地，所述第二平移臂为镂空结构。
10.可选地，所述第一转动结构和/或所述第二转动结构上设置有定位结构。
11.可选地，该吊装机械臂还包括基座；所述平移装置通过所述基座安装于等离子体刻蚀设备。
12.可选地，所述第二转动结构通过所述基座安装在等离子体刻蚀设备上。
13.可选地，该吊装机械臂还包括基座；所述平移装置通过所述基座安装于等离子体刻蚀设备。
14.可选地，位于所述平移装置第二侧端部的一个所述第二转动结构通过所述基座安装在等离子体刻蚀设备。
15.可选地，所述起吊装置包括支撑结构、鼓轮、绳体、定滑轮和第三驱动机构；所述支撑结构的一端连接第一平移臂，另一端安装定滑轮；所述第三驱动机构安装在所述第一平移臂上，且其输出端与所述鼓轮连接；所述绳体的一端固定绕设于所述鼓轮，另一端绕设于所述定滑轮后连接待吊装部件；所述第三驱动机构驱动所述鼓轮转动，带动绳体另一端上的待吊装部件上升或下降。
16.可选地，所述第三驱动机构为手动第三驱动机构和/或电动第三驱动机构。
17.可选地，所述第三驱动机构上设置有防尘罩。
18.可选地，所述第三驱动机构上设置有自锁机构。
19.可选地，所述支撑结构包括通过固定件连接的多个连接架体。
20.可选地，所述鼓轮、和/或定滑轮、和/或绳体为非金属材料。
21.可选地，所述第一平移臂、第二平移臂和/或支撑结构为铝合金材料。
22.本实用新型提供的技术方案至少包括以下有益效果：
23.(1)本实用新型中的吊装机械臂直接安装在等离子体刻蚀设备上，能够在等离子体刻蚀设备上直接操作，更容易地实现对待吊装部件的拆卸，无需多人协作，降低人力成本，减小因操作不便带来的使用风险；
24.(2)本实用新型中的吊装机械臂直接安装在等离子体刻蚀设备上，无需再为该吊装机械臂匹配对应的吊装车和配置器等，简化实体结构，同时也减小该吊装机械臂的体积；
25.(3)本实用新型只需为该吊装机械臂和等离子体刻蚀设备设计用于转接支持的基座，即可实现该吊装机械臂与等离子体刻蚀设备的结合，本实用新型中的吊装机械臂具有很好的兼容性；
26.(4)本实用新型中的第一平移臂、第二平移臂和支撑结构等结构均为铝合金，吊装机械臂用在等离子体刻蚀设备上之后，不会给等离子体刻蚀设备带来fe、ni和gr等金属污染物，也就不会影响等离子体刻蚀设备的正常工作。
27.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。
附图说明
28.为了更清楚地说明本实用新型专利实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型专利的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1为本实用新型一种吊装机械臂的结构示意图；
30.图2为本实用新型一种第三驱动机构处的结构示意图。
具体实施方式
31.下面将参照附图更详细地描述本实用新型的实施方式。虽然附图中显示了本实用新型的实施方式，但是应该理解的是，可以以各种形式实现本实用新型而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本实用新型更加透彻和完整，并且能够将本实用新型的范围完整地传达给本领域的技术人员。
32.在本实用新型使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本实用新型。在本实用新型和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
33.应当理解，尽管在本实用新型可能采用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本实用新型范围的情况下，第一信息也可以被称为第二信息，类似地，第二信息也可以被称为第一信息。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
34.图1为本实用新型一种吊装机械臂的结构示意图。
35.本发明实施例提供了一种安装于等离子体刻蚀设备的吊装机械臂，用于维护现有等离子体刻蚀设备。技术人员能够在现有的等离子体刻蚀设备上直接操作吊装机械臂，进而更容易地实现对待吊装部件的安装和拆卸，无需多人协作，降低人力成本，减小因操作不便带来的使用风险。
36.其中，该待吊装部件是待安装部件或待拆卸部件。下面以待吊装部件为待安装部件进行举例说明：
37.在现有技术中，在安装待安装部件时，需要多人协作。具体地，在安装待安装部件时，需要一至两人将待安装部件提起，还需要一至两人控制待安装部件，以使待安装部件不会摆动；另外，如果待安装部件上有附属部件(例如，电线、光纤、水管或气管等)需要从等离子体刻蚀设备的腔体内穿过，还需要一至两人将这些附属部件从腔体中拉出。
38.而本发明实施例中的吊装机械臂只需一人即可完成安装待安装部件的整个过程，无需多人协作。具体地，在安装待安装部件时，先将待安装部件吊起，然后转动吊装机械臂的吊臂(例如，附图1中的第一平移臂111和第二平移臂113)，将待安装部件移动至目标位置的上方，固定吊装机械臂上的铰链(例如，附图1中的第一转动结构112和第二转动结构114)上的固定销使吊装机械臂无法转动，将待安装部件上的附属部件穿出等离子体刻蚀设备的腔体。
39.类似地，当待吊装部件为待拆卸部件时，待拆卸部件的拆卸过程与上述的安装过程是相反的，但同样无需多人协作，在此不再赘述。
40.该吊装机械臂能够直接安装在等离子体刻蚀设备上，无需再为该吊装机械臂匹配对应的吊装车和配置器等，简化实体结构，同时也减小该吊装机械臂的体积。
41.该吊装机械臂具有很好的兼容性和安全性，只需为该机械臂设计对应的转接支持结构，即可实现该吊装机械臂与现有的等离子体刻蚀设备的结合。
42.下文将结合附图对本实用新型实施例的技术方案进行详细描述。
43.请参阅图1，本发明实施例提供了一种吊装机械臂100，该吊装机械臂100安装于等离子体刻蚀设备；该吊装机械臂100包括平移装置110和起吊装置120；所述起吊装置120的一端与所述平移装置110的一端连接安装，所述平移装置110的另一端与等离子体刻蚀设备(附图中未示出)相连，吊装结构200安装于所述起吊装置120的另一端，吊装结构200用于连接待吊装部件。所述起吊装置120带动所述待吊装部件在垂直方向移动；所述平移装置110通过起吊装置120带动所述待吊装部件在水平面上移动。
44.当平移装置110和起吊装置120在一条直线上时，二者的长度即该吊装机械臂100的最大整体长度；该吊装机械臂100能够在以该吊装机械臂100的最大整体长度为半径的圆内的任意位置取吊待吊装部件。
45.优选地，吊装结构200为吊钩或锁扣；通过吊钩或锁扣能够更加稳定地连接待吊装部件，使其不易脱离。
46.在其他实施例中，起吊装置的另一端也可以直接与待吊装部件连接，而不再设置上述实施例的吊装结构，使该实施例中的吊装机械臂的结构更加简单，成本更低。
47.本实施例中，所述平移装置110包括第一平移臂111和与所述第一平移臂111的一端连接的第一转动结构112；所述第一平移臂111的另一端连接安装所述起吊装置120，所述第一平移臂111可围绕所述第一转动结构112在水平面上转动。当需要在水平面上移动待吊装部件时，通过第一转动结构112可使第一平移臂111转动，进而使待吊装部件移动至目标位置。
48.可选地，第一转动结构112为铰链，第一平移臂111能够绕该铰链转动；平移装置110还包括对应的第一驱动机构，第一驱动机构用于驱动第一平移臂111产生相对于铰链的转动，进而使待吊装部件移动至目标位置。
49.本实施例中，所述平移装置110还包括第二平移臂113和与所述第二平移臂113的一端连接的第二转动结构114；所述第二平移臂113的另一端与所述第一转动结构112固定连接，所述第二平移臂113可围绕所述第二转动结构114在水平面上转动。当需要在水平面上较为精准地移动待吊装部件时，分别通过第一转动结构112和第二转动结构114可使第一平移臂111和第二平移臂113转动，进而使待吊装部件较为精确地移动至目标位置。
50.可选地，第二转动结构114为铰链，第二平移臂113能够绕该铰链转动；平移装置110还包括对应的第二驱动机构，第二驱动机构用于驱动第二平移臂113绕该铰链转动，进而使待吊装部件移动至目标位置。
51.其他实施例中，所述平移装置还包括依次设置的至少两个第二平移臂和至少两个第二转动结构；相邻的两个所述第二平移臂之间通过一所述第二转动结构连接；在所述至少两个第二平移臂中，位于所述平移装置第一侧端部的一所述第二平移臂与所述第一转动结构固定连接，位于所述平移装置第二侧端部的另一所述第二平移臂与另一所述第二转动结构连接；每个所述第二平移臂可围绕与其连接的第二转动结构在水平面上转动。当需要在水平面上更为精准地移动待吊装部件时，分别通过第一转动结构和至少两个第二转动结构可使第一平移臂和至少两个第二平移臂转动，进而使待吊装部件更为精确地移动至目标位置。
52.采用多段设计的平移装置能够减小吊装机械臂100的操作空间，减小等离子体刻蚀设备的使用空间，降低等离子体刻蚀设备的成本。
53.本实施例中，所述第一转动结构112和所述第二转动结构114上分别设置有定位结构。当待吊装部件移动至目标位置后，通过对应的定位结构分别固定第一转动结构112和所述第二转动结构114，进而稳定待吊装部件在水平面上的位置。
54.可选地，第一转动结构112和所述第二转动结构114上分别设置的定位结构为固定销。
55.本实施例中，该吊装机械臂100还包括基座115，所述基座115设置在所述第二转动机构114的下方，所述基座115用于该吊装机械臂100与等离子体刻蚀设备之间的转接支持；所述平移装置110通过所述基座115安装于等离子体刻蚀设备。
56.具体地，在平移装置包括一个第二平移臂113和一个第二转动结构114的实施例中，该第二转动结构114通过基座115安装在等离子体刻蚀设备上。
57.在平移装置包括依次设置的至少两个第二平移臂和至少两个第二转动结构的实施例中，位于所述平移装置第二侧端部的一个所述第二转动结构通过所述基座安装在等离子体刻蚀设备。
58.请参阅图1和图2，本实施例中，所述起吊装置120包括支撑结构121、鼓轮122、绳体123、定滑轮124和第三驱动机构125；所述支撑结构121的一端连接第一平移臂111，另一端安装定滑轮124；所述第三驱动机构125安装在所述第一平移臂111上，且其输出端与所述鼓轮122连接；所述绳体123的一端固定绕设于所述鼓轮122，另一端绕设于所述定滑轮124后连接吊装结构200；所述第三驱动机构125驱动所述鼓轮122转动，带动绳体123另一端上的吊装结构200以及待吊装部件上升或下降。当需要在垂直方向上移动待吊装部件时，通过第三驱动机构125或手轮驱动鼓轮122转动，进而使与绳体123端部连接的吊装结构200以及待吊装部件移动至合适的高度。
59.本实施例中，所述第三驱动机构125为手动第三驱动机构和/或电动第三驱动机构，本实施例对此不作具体限定。
60.本实施例中，所述第三驱动机构125上设置有防尘罩126，能够有效地防止给等离子体刻蚀设备带来灰尘等颗粒物，有利于提高等离子体刻蚀设备内工艺的稳定性。
61.本实施例中，所述第三驱动机构125上设置有自锁机构。当待吊装部件移动至合适高度后，通过自锁机构固定第三驱动机构125，进而稳定待吊装部件在垂直方向上的高度。可选地，自锁机构为插销。
62.本实施例中，所述支撑结构121包括通过固定件1212连接的多个连接架体1211。本实施例对于连接架体1211的数量不作具体限定，仅以图1所示的具体数量进行示例性说明；具体地，支撑结构121包括两个连接架体1211，两个连接架体1211通过固定件1212固定连接，左侧连接架体1211的左端通过第三驱动机构125与第一平移臂111连接；可选地，固定件1212为若干个螺栓。
63.本实施例中，所述鼓轮122、和/或定滑轮124、和/或绳体123为非金属材料，其不会脱落导电颗粒物，也就不会导致等离子体刻蚀设备产生由于导电颗粒物而带来的短路风险。
64.可选地，所述鼓轮122、和/或定滑轮124、和/或绳体123为尼龙。
65.本实施例中，所述第二平移臂113为内部中空的镂空结构，能够在保持第二平移臂113的机械强度的前提下，减小第二平移臂113的重量。
66.本实施例中，所述第一平移臂111、第二平移臂113和/或支撑结构121为铝合金材料，其不会给等离子体刻蚀设备带来fe、ni和gr等金属污染物。
67.本实施例中，第一平移臂111、第二平移臂113和支撑结构121等结构为铝合金，结构轻巧；具体地，吊装机械臂100的自身重量约为15kg，可承载60kg。
68.由于第一平移臂111、第二平移臂113和支撑结构121等结构均为铝合金，吊装机械臂100用在等离子体刻蚀设备上之后，不会给等离子体刻蚀设备带来fe、ni和gr等金属污染物，也就不会影响等离子体刻蚀设备的正常工作。
69.以上所述，仅为本实用新型的实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和范围之内做出的任何修改、等同替换和改进等，均包含在本实用新型的保护范围之内。