一种防止晶圆盒倾倒的电子料架的制作方法

1.本实用新型涉及贮存装置技术领域，特别涉及一种防止晶圆盒倾倒的电子料架。


背景技术：

2.现行用于半导厂的电子料架基本上除了rfid办识系统及信息联机能力之外,没有任何防范掉落的工能.如果遇到人为撞击或者地面震动等原因,电子料架上的晶圆盒有可能会倾倒掉落而导致晶圆盒内的晶圆片损毁，还有可能砸伤工人。
3.cn112849872a披露了一种货物自动存放取出装置，包括自动推出托盘和自动弹出装置，这个专利的主要目的在于方便存储和取出货物，但是没有考虑到如何防止货物在震动下掉落的问题。
4.因此有必要提供一种新的电子料架来解决以上问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的主要目的是为了提供一种防止晶圆盒倾倒的电子料架，能够通过将晶圆盒锁止在电子料架上来防止晶圆盒在震动中倾倒，避免了晶圆损毁和砸伤工人的危险。
6.本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：
7.一种防止晶圆盒倾倒的电子料架，包括具有若干储位的架体，每个所述储位上设有用来托承晶圆盒的支撑板，所述晶圆盒连接固定板，所述固定板上设有若干定位孔和至少一个锁孔，所述支撑板上设有配合所述定位孔的定位柱和配合所述锁孔的定位锁。
8.具体的，所述锁孔为腰型孔，所述定位锁包括一个腰形的锁扣以及驱动所述锁扣转动以勾住所述锁孔的伺服电机。
9.具体的，所述储位上设有用来辨认所述固定板上的rfid芯片的rfid辩识器，电子料架的控制系统利用所述rfid辩识器得到的信号控制所述定位锁加解锁。
10.进一步的，所述支撑板的上设有避位所述rfid辩识器的检测范围的缺口。
11.具体的，所述支撑板上设有两个固定圆孔和两个固定长孔，两个固定圆孔横向并排，所述固定长孔竖向延伸并与其一固定长孔纵向共线。
12.具体的，所述支撑板上设有定位标签安装位。
13.具体的，所述储位分多层并排设置于所述架体上。
14.进一步的，每层储位的侧后方均设有档条。
15.具体的，所述架体的底部设有四个用来调平所述架体的地脚。
16.进一步的，所述地脚上还设置有地脚接块，所述地脚接块通过螺丝锁附在地面上。
17.本实用新型的有益效果在于：
18.本实用新型中支撑板不仅能够利用定位柱与定位孔的位置对晶圆盒进行定位，还能够通过定位锁锁住锁孔，使晶圆盒在存放时与电子料架形成一个整体，防止了晶圆盒因受到撞击或地面震动引起倾倒问题，避免了晶圆损毁和工人砸伤风险。
附图说明
19.图1为实施例电子料架部分放置晶圆盒时的立体图；
20.图2为晶圆盒与固定板整体的立体图；
21.图3为支撑板与定位锁整体的立体图；
22.图4为含地脚接块的地脚处的局部放大图。
23.图中数字表示：
24.1-晶圆盒；
25.2-固定板，21-定位孔，22-锁孔，23-rfid芯片；
26.3-架体，31-储位，32-档条，33-地脚；
27.4-支撑板，41-定位柱，42-缺口，43-固定圆孔，44-固定长孔，45-定位标签安装位；
28.5-定位锁，51-锁扣，52-伺服电机；
29.6-地脚接块；
30.7-螺丝。
具体实施方式
31.下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
32.实施例：
33.如图1至图3所示，本实用新型的一种防止晶圆盒倾倒的电子料架，包括具有若干储位31的架体3，每个储位31上设有用来托承晶圆盒1的支撑板4，晶圆盒1连接固定板2，固定板2上设有三个定位孔21和一个锁孔22，支撑板4上设有配合定位孔21的三个定位柱41和配合锁孔22的定位锁5。使用时，晶圆盒1依靠固定板2上的三个定位孔21找到支撑板4上三个定位柱41的位置完成初步定位，此时定位锁5也会靠近锁孔22，随后定位锁5锁住锁孔22，固定板2就不会从支撑板4上脱离。因为晶圆盒1与固定板2已经固定为一体，所以晶圆盒1在支撑板4上也不会随意脱离，晶圆盒1在存放时就与电子料架形成一个整体，防止了晶圆盒1因受到撞击或地面震动引起倾倒问题，避免了晶圆损毁和工人砸伤风险。实际应用中，定位柱41的数目可以根据设计需要改变，定位锁5只要能够锁住锁孔22，数量也可以多于一个。
34.如图2和图3所示，锁孔22为腰型孔，定位锁5包括一个腰形的锁扣51以及驱动锁扣51转动以勾住锁孔22的伺服电机52。伺服电机52能够采用电动的方式来控制锁扣51的转动，当锁扣51的转角与锁孔22匹配时，晶圆盒1可以自支撑板4上取下，当锁扣51转动到其他角度时，晶圆盒1就没法脱离支撑板4。这可以实现定位锁5加解锁的自动控制。具体应用中，电子料架可以自行判断晶圆盒1是否可以取走，如果不可取走，那么就不会解锁，避免操作人员错拿。
35.如图2和图3所示，储位31上设有用来辨认固定板2上的rfid芯片23的rfid辩识器(未画出)，电子料架的控制系统利用rfid辩识器得到的信号控制定位锁5加解锁。支撑板4的上设有避位rfid辩识器的检测范围的缺口42。rfid芯片23的作用是标识晶圆盒1的序号，并可以记录此晶圆盒1的各种状态信息，这样方便电子料架进行统筹管理。支撑板4要防止遮盖rfid芯片23，以便rfid辩识器辨认。
36.如图3所示，支撑板4上设有两个固定圆孔43和两个固定长孔44，两个固定圆孔43横向并排，固定长孔44竖向延伸并与其一固定长孔43纵向共线。支撑板4要利用两个固定圆
孔43和两个固定长孔44固定到架体1上，首先是利用两个固定圆孔43穿螺丝与架体1上的螺丝孔固定，然后固定长孔44可以比较自由地选择锁螺丝的位置，以免架体1上的螺丝孔位置有偏差而不能将支撑板4固定住。
37.如图3所示，支撑板4上设有定位标签安装位45。如果电子料架要配合转移设备，如带有ccd相机的机械手使用，那么可以利用装在定位标签安装位45中的定位标签来定位，因为晶圆盒1就位后，与支撑板4的相对位置比较固定，所以机械手在利用ccd相机定位到定位标签的位置后就能计算出晶圆盒1的抓取位置，这样机械手才能准确抓取到晶圆盒1，免去没抓住而引起晶圆盒1掉落的危险。
38.如图1所示，储位31分多层并排设置于架体3上，每层储位31的侧后方均设有档条32。实施例中设计了3
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4个数的储位31，可以整齐放置12个晶圆盒1。档条32可以防止晶圆盒1放入而未完成锁止的时候从后方掉落架体3。
39.如图1所示，架体3的底部设有四个用来调平架体3的地脚33。地脚33是可上下调节的支撑部件，架体3要稳定一则需要让所有地脚33同时着地，而且还要保证支撑板4的位置水平。这样有助于提高电子料架使用的安全性。
40.如图1和图4所示，地脚33上还设置有地脚接块6，地脚接块6通过螺丝7锁附在地面上。地脚接块6能够将地脚33位置完全与地面固定，使电子料架可以耐受比较大的震动强度，进一步提高使用的安全性。
41.以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。