一种多功能吊具的制作方法

1.本技术涉及吊具领域，尤其是涉及一种多功能吊具。


背景技术：

2.水冷盘组件的上定盘零件表面贴抛光垫后，实际抛光硅片要求保证晶格完整性，高的平整度及洁面性，装配水冷盘组件时需要修盘机辅助修整上定盘的表面。而水冷盘组件重达2.5t，水冷盘组件是在工装台上装配完成后，将水冷盘组件与调心机构组件、上盘固定盘装配成一个装配体后才能进行修盘，再利用吊杆工装将其吊装到修盘机上。
3.现有技术中，因每次修盘后需要上下吊装测量上定盘表面，安装拆卸存在不方便，且容易损伤调心机构组件的轴承座内的轴承。
4.因此，现有技术的技术问题在于：水冷盘吊装不便。


技术实现要素：

5.本技术提供一种多功能吊具，解决了水冷盘吊装不便的技术问题；达到提高水冷盘吊装便捷度的技术效果。
6.本技术提供的一种多功能吊具，采用如下的技术方案：
7.一种多功能吊具，作用于水冷盘组件，所述水冷盘组件包括上盘固定盘、连接件以及水冷盘，所述吊具包括：支架，所述支架上具有至少三个第一连接部，所述连接部用于连接于所述上盘固定盘上，所有所述连接部形成于一虚拟圆上；主轴，所述主轴呈竖直布置且位于所述虚拟圆的圆心上，所述主轴转动连接于所述支架上，使得所述主轴可相对于所述支架发生绕轴旋转；所述主轴上具有第二连接部，所述第二连接部用于连接于修盘机。
8.可选的，所述支架包括：座体，所述座体上下贯通，所述座体的内部容置所述主轴；轴承，所述轴承位于所述座体内部，所述轴承套设于所述主轴上且连接于所述座体。
9.可选的，所述支架还包括：支杆，所述支杆具有多个，所述支杆固定连接于所述座体上，每个所述支杆上对应连接有一第一连接部。
10.可选的，所述支杆之间连接有加固杆。
11.可选的，所述第一连接部包括：连接座，所述连接座呈水平布置，所述连接座固定连接于所述支杆上，所述连接座用于可拆卸的连接于所述上盘固定盘上。
12.可选的，所述主轴的内部具有流道，所述流道竖直贯穿于所述主轴，通过所述流道向修盘机的盘面注入介质。
13.可选的，所述吊具还包括导流组件，所述导流组件包括：第一管，所述第一管的第一端连接于所述主轴的顶部，且所述第一管与所述流道连通，所述第一管的第二端连接外部介质源；第二管，所述第二管的第一端连接于所述主轴的底部，且所述第二管与所述流道连通，所述第二管的第二端通向修盘机的盘面。
14.可选的，所述第二连接部包括：支撑盘，所述支撑盘连接于所述主轴的顶部，所述支撑盘用于与修盘机固定连接，使得所述吊具整体固定。
15.可选的，所述座体上连接有第一吊环，所述第一吊环具有多个，所述第一吊环均匀分布于所述座体的顶部边缘。
16.可选的，所述主轴的顶部连接有吊装组件，所述吊装组件包括：吊带，所述吊带可柔性形变，所述吊带的一端固定连接于主轴的顶部；第二吊环，所述第二吊环固定连接于所述吊带的第二端，所述第二吊环用于与所述第一吊环连接配合，使得所述吊带形成环形以吊装。
17.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
18.1、本技术通过支架上的第一连接部与水冷盘组件进行连接，再通过主轴将支架与修盘机之间转动连接，方便水冷盘组件与修盘机之间的连接，同时通过吊装实现水冷盘组件与修盘机之间相对旋转，解决了水冷盘吊装不便的技术问题；达到提高水冷盘吊装便捷度的技术效果。
19.2、吊具提供吊装功能的同时，通过主轴内部的流道向修盘机通入介质，内置简化介入引流结构，无需外部增设用于引流介质的引流结构。
附图说明
20.图1是本技术所述吊具的立体示意图；
21.图2是图1中a的放大图；
22.图3是吊具和修盘机的俯视图；
23.图4是图3中a-a向的剖视图；
24.图5是图4中b的放大图。
25.附图标记说明：101、修盘机主体；102、吊臂；103、盘面；201、水冷盘组件；300、支架；301、座体；302、轴承；303、支杆；304、加固杆；305、第一连接部；3051、连接盘；400、主轴；401、支撑盘；402、流道；500、导流组件；501、第一管；502、第二管；600、吊装组件；601、第一吊环。
具体实施方式
26.本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本技术所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
27.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
28.本技术实施例提供了一种多功能吊具，解决了水冷盘吊装不便的技术问题；达到
提高水冷盘吊装便捷度的技术效果。
29.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
30.在抛光过程中，需要利用修盘机对上定盘进行修盘，以确保硅片具有良好的晶格完整性、平整度以及洁面性。水冷盘组件201是在工装台上装配完成后，将水冷盘组件 201与调心机构组件、上盘固定盘装配成一个装配体后才能进行修盘，再利用吊杆工装将其吊装到修盘机上。
31.一种多功能吊具，如图1所示，用于连接于水冷盘组件201，其中水冷盘组件201 由上盘固定盘、连接件、调心机构以及水冷盘组成，上盘固定盘、连接件以及水冷盘自上而下叠置连接，其中，连接件若干固定杆，用于连接于上盘固定盘和水冷盘之间，调心机构则连接于上盘固定盘的内环，用于在抛光过程中对盘体进行调心；吊具包括支架 300、主轴400、导流组件500以及吊装组件600，支架300作为吊具整体的安装基础，同时作为吊具的支撑结构；主轴400用于吊具与修盘机之间实现转动；导流组件500 用于对修盘机内的介质进行导流；吊装组件600用于吊装水冷盘组件201以吊起移动。
32.支架300，如图1-3以及图5所示，支架300作为吊具整体的安装基础，同时作为吊具的支撑结构。支架300包括座体301、轴承302以及支杆303，座体301呈中空且上下贯通；轴承302容置于座体301的内部，轴承302的外圈与座体301的内壁固定连接；支杆303具有多个，每个支杆303固定连接于座体301的外壁，且支杆303呈圆轴均匀分布，在一个实施例中，每个支杆303均呈水平布置，使得所有支杆303位于同一水平高度上，进一步的，在相邻两个支杆303之间固定连接有一加固杆304，以使得支架300整体强度增加；在每个支架300上对应连接有一组第一连接部305，第一连接部 305用于支架300与上盘固定盘之间的连接，具体的，第一连接部305包括连接座，连接座固定连接于支杆303的底面，在一个实施例中，连接座为连接盘3051，连接盘3051 固定连接于支杆303远离座体301的一端的底面上，且每个第一连接部305中的连接盘 3051均位于同一水平面上，且所有连接盘3051形成于一虚拟圆上，以提高吊具对水冷盘组件201吊装的平衡性，其中，座体301位于该虚拟圆的圆心上；连接盘3051与水冷盘组件201的上盘固定盘直接通过螺钉固定连接，以使得吊具与上盘固定盘(水冷盘组件201)之间的连接。
33.主轴400，如图2和5所示，主轴400用于吊具与修盘机之间实现转动。修盘机具有吊臂102和修盘机主体101，水冷盘组件201通过吊具连接于吊臂102上，以使得水冷盘组件201可在修盘机主体101上进行修盘，主轴400呈柱体，用于支架300和吊臂 102之间的连接，具体的，主轴400容呈竖直布置，且主轴400容置于座体301的内部，主轴400位于该虚拟圆的圆心上，主轴400与座体301之间通过轴承302连接，轴承 302的内圈与主轴400的外壁固定连接，轴承302的外圈与座体301的内壁固定连接，使得主轴400相对于支架300和水冷盘组件201可相对旋转。进一步的，主轴400的顶部具有第二连接部，第二连接部用于主轴400和吊臂102之间的连接，在一个实施例中，第二连接部包括连接于支撑盘401，主轴400穿设于吊臂102，支撑盘401固定连接于主轴400的顶部，支撑盘401与吊臂102之间通过螺栓固定连接，使得主轴400与修盘机的吊臂102之间实现连接。进一步的，主轴400的底部连接水冷盘组件的调心机构(调心机构未图示)，在修盘作业过程中吊具随调心机构组一起运动，避免
调心机构组件的内圈和外圈之间使用螺钉连接，同时可依靠调心机构组件实现自动回转功能。
34.导流组件500，如图3、4所示，导流组件500用于对修盘机内的介质进行导流。在一个实施例中，主轴400的内部具有流道402，流道402呈竖直方向布置，且流道402 贯穿于主轴400的两端，导流组件500包括第一管501和第二管502，第一管501固定连接于主轴400的顶部，第一管501与流道402连通，使得外部的介质源能够通过第一管501运输至主轴400内部的流道402中；第二管502固定连接于主轴400的底部，第二管502与流道402连通，第二管502穿过水冷盘组件201到达修盘机的表面，使得介质经过第二管502能够达到修盘机的盘面103。
35.吊装组件600，如图2所示，吊装组件600用于吊装水冷盘组件201以吊起移动。吊装组件600设置于主轴400和支架300上，用于对吊具整体进行吊装，吊装组件600 包括第一吊环601、吊带以及第二吊环，第一吊环601固定连接于座体301的顶部边缘，在一个实施例中，第一吊环601的数量具有多个，第一吊环601均匀分布于座体301 的顶部边缘上；吊带固定连接于主轴400的顶部，吊带可柔性形变；第二吊环固定连接于吊带的顶部，第二吊环用于与第一吊环601搭扣配合以连接，使得吊带形成环形以吊装，其中吊带和第二吊环未图示。
36.工作原理/步骤：
37.主轴400穿设于吊臂102上，通过支撑盘401固定连接于吊臂102上，水冷盘组件 201固定连接于支架300上，主轴400和支架300之间转动连接，使得水冷盘组件201 通过本技术所述的吊具吊装修盘机的吊臂102上，水冷盘组件201贴合于修盘机的盘面 103上，在外力作用下，使得水冷盘组件201相对于旋转而完成修盘。
38.技术效果：
39.1、本技术通过支架300上的第一连接部305与水冷盘组件201进行连接，再通过主轴400将支架300与修盘机之间转动连接，方便水冷盘组件201与修盘机之间的连接，同时通过吊装实现水冷盘组件201与修盘机之间相对旋转，解决了水冷盘吊装不便的技术问题；达到提高水冷盘吊装便捷度的技术效果。
40.2、吊具提供吊装功能的同时，通过主轴400内部的流道402向修盘机通入介质，内置简化介入引流结构，无需外部增设用于引流介质的引流结构。
41.尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。
42.显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。