一种上料机推料机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种上料机推料机构。


背景技术：

2.半导体生产线中基板的转料是通过弹匣实现的，线体的第一工站通常是上料机，在上料机推料机构的作用下，将弹匣中的基板送入生产线中。由于基板来料存在不同方向上的翘曲变形，在推料的过程中，有时会出现卡料、伤料现象。为了避免卡料时压坏基板，推料机构上设有卡料检测传感器，当出现卡料时，卡料检测传感器报警，设备报警停机，现有的推料机构报警频繁，导致需要频繁停机进行清理，影响生产效率；并且对于翘曲的基板，推杆在推动时容易从基板翘曲边缘擦过，造成空推甚至擦伤基板。


技术实现要素：

3.技术目的：针对现有推料机构卡料检测不稳定，报警频繁的不足，本实用新型公开了一种能够调整推力范围，在基板翘曲程度不大时顺利从弹匣中推出的上料机推料机构。
4.技术方案：为实现上述技术目的，本实用新型采用了如下技术方案：
5.一种上料机推料机构，包括基座、连接座、推杆以及用于带动连接座在基座上滑动的驱动机构，推杆沿平行于连接座滑动方向设置在连接座上方，推杆一端与连接座之间通过力敏传感器和浮动组件连接，力敏传感器固定在连接座上，浮动组件连接力敏传感器和推杆，通过力敏传感器检测推杆的轴向受力。
6.优选地，本实用新型的基座上设置用于辅助推杆滑动的导向机构，所述导向机构包括沿连接座滑动方向设置在基座两端的前支架板和后支架板，推杆穿设在前支架板上，在前支架板和后支架板之间设有与推杆相平行的导向轴，在导向轴上穿设有导向块，导向块下端与推杆固定连接，导向块与导向轴之间以及推杆与前支架板之间均通过直线轴承配合连接。
7.优选地，本实用新型的浮动组件包括与力敏传感器螺纹连接的连接块，以及与连接块浮动连接的浮动块，推杆的端部连接在浮动块上；在连接块靠近浮动块的一端设有c型卡槽，浮动块靠近连接块的一端卡接在c型卡槽内。
8.优选地，本实用新型的推杆前端设有推杆头，推杆头采用凵字型结构，在靠近待推料的基板方向的端部设有用于与基板相配合的导向槽。
9.优选地，本实用新型的导向槽采用喇叭状扩口结构，从导向槽的槽底向外侧倾斜。
10.优选地，本实用新型的基座上设有用于检测推杆推动位置的感应机构，感应机构包括设置的连接座上的感应钣金，以及沿平行于连接座的滑动方向设置在基座上的原位传感器和限位传感器，原位传感器和限位传感器通过检测感应钣金的位置获取推杆的推动位置。
11.优选地，本实用新型的驱动机构包括推料电机和同步组件，所述同步组件沿平行于连接座滑动方向设置在基座的一侧，连接座与同步组件的同步带固定连接，推料电机的
驱动端与同步组件的其中一个同步轮连接，通过推料电机驱动同步轮，带动同步带上的连接座在基座上滑动。
12.有益效果：本实用新型的所提供的一种上料机推料机构具有如下有益效果：
13.1、本实用新型通过连接座上的力敏传感器检测推杆推动基板过程中承受的推力大小，可以通过预设力敏传感器的报警数值，进而在一些基板变形不大时，可以用较大的推力将基板从弹匣中推出，从而避免出现频繁报警的问题，提高生产效率。
14.2、本实用新型在基座上设置导向机构，在驱动机构带动连接座在基座上滑动，带动推杆进行基板的推送时，导向机构可以保证推动过程的平稳性，同时，提高推杆的承力能力。
15.3、本实用新型推杆与力敏传感器之间通浮动组件连接，使推杆端部的位置可以调整，进而可以保证推杆与力敏传感器同轴，从而使力敏传感器监测的结果更加准确，同时，利于推力的传递。
16.4、本实用新型在推杆的端部设置推杆头，凵型形状的推杆头以及设置在推杆头上的导向槽，可以在基板存在翘曲变形时，使基板的端部始终处于导向槽内，进而避免损伤基板，提高生产质量和效率。
17.5、本实用新型在基座上设置感应机构，通过原位感应器和限位传感器对感应钣金位置的检测，达到控制推杆推动行程的目的，实现自动进行推料。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍。
19.图1为本实用新型立体结构图；
20.图2为本实用新型浮动组件结构图；
21.图3为本实用新型推杆头结构图；
22.图4为本实用新型中基板变形示意图；
23.1-基座、2-连接座、3-推杆、4-力敏传感器、5-浮动组件、6-前支架板、7-后支架板、8-导向轴、9-导向块、10-直线轴承、11-连接块、12-浮动块、13-c型卡槽、14-推杆头、15-导向槽、16-感应钣金、17-原位传感器、18-限位传感器、19-推料电机、20-同步带。
具体实施方式
24.下面通过一较佳实施例的方式并结合附图来更清楚完整地说明本实用新型，但并不因此将本实用新型限制在所述的实施例范围之中。
25.如图1-图3所示为本实用新型所公开的一种上料机推料机构，包括基座1、连接座2、推杆3以及用于带动连接座2在基座1上滑动的驱动机构，推杆3沿平行于连接座2滑动方向设置在连接座2上方，推杆3一端与连接座2之间通过力敏传感器4和浮动组件5连接，力敏传感器4固定在连接座2上，浮动组件5连接力敏传感器4和推杆3，通过力敏传感器4检测推杆3的轴向受力。
26.在基座1上设有用于检测推杆3推动位置的感应机构，感应机构包括设置的连接座2上的感应钣金16，以及沿平行于连接座2的滑动方向设置在基座1上的原位传感器17和限
位传感器18，原位传感器17和限位传感器18通过检测感应钣金16的位置获取推杆3的推动位置。
27.由于基板或多或少都会有一些变形，为了能够顺利将基板从存放的弹匣中推出，可以将力敏传感器的报警数值设置偏大一些，间接增加推杆在推料过程中所能承受的阻力，进而灵活的对能够承受的阻力大小进行调整，在不损坏基板的前提下，尽可能减少清理卡料基板次数，提高效率。
28.本实用新型的基座1上设置用于辅助推杆3滑动的导向机构，所述导向机构包括沿连接座2滑动方向设置在基座1两端的前支架板6和后支架板7，推杆3穿设在前支架板6上，在前支架板6和后支架板7之间设有与推杆3相平行的导向轴8，在导向轴8上穿设有导向块9，导向块9下端与推杆3固定连接，导向块9与导向轴8之间以及推杆3与前支架板6之间均通过直线轴承10配合连接，浮动组件5包括与力敏传感器4螺纹连接的连接块11，以及与连接块11浮动连接的浮动块12，推杆3的端部连接在浮动块12上；在连接块11靠近浮动块12的一端设有c型卡槽13，浮动块12靠近连接块11的一端卡接在c型卡槽13内。在推杆推动基板时，导向块9可以起到滑动导向的作用，浮动组件5可避免因力敏传感器4与前支架板6上直线轴承的位置偏差而出现的卡滞现象，保证力敏传感器4对轴向推力检测结果的准确性。
29.由于基板存在翘曲变形，为了使推杆能够顺利推动基板，对变形的基板端部也能够有效进行定位固定，本实用新型的推杆3前端设有推杆头14，推杆头14采用凵字型结构，在靠近待推料的基板方向的端部设有用于与基板相配合的导向槽15，导向槽15采用喇叭状扩口结构，从导向槽15的槽底向外侧倾斜。
30.基板变形一般存在如图4中的4种形式，基板长度方向的朝上、朝下翘曲，宽度方向上的朝上、朝下翘曲，以推杆推动基板宽度方向为例对推杆头的设计进行说明，在基板宽度方向发生翘曲时，基板宽度方向的边缘为拱形形状，由于推杆头14采用凵型形状，两个导向槽相互对称，在推杆3带动推杆头14进行推动时，基板的边缘从导向槽15的斜面逐渐进入推杆头的中心，在推动过程中可以始终保持基板端部处于导向槽15内；而当基板长度方向产生翘曲时，基板端部所处高度会产生变化，导向槽15的设计，同样可以使基板的端部能够顺利进入导向槽内；作为优选，可以将导向槽15的宽度设置成大于弹匣用于容纳基板的凹槽的宽度，这样基板的变形就不会超过导向槽15的覆盖范围，从而避免在推动过程中，因基板翘曲变形而造成的损伤。
31.本实用新型的驱动机构包括推料电机19和同步组件，所述同步组件沿平行于连接座2滑动方向设置在基座1的一侧，连接座2与同步组件的同步带20固定连接，推料电机19的驱动端与同步组件的其中一个同步轮连接，通过推料电机19驱动同步轮，带动同步带20上的连接座2在基座1上滑动。
32.本实用新型在使用时，推料电机19转动，带动同步组件的同步带20前进/后退，连接座2随同步组件的同步带20前进/后退，在连接座2前进时，会带动力敏传感器4向前，顶着浮动组件5以及推杆3前进，进而带动推杆头14推动基板。而推杆推动距离则通过原位传感器17以及限位传感器18进行限制，具体的，可以都采用光电传感器，在感应钣金16随连接座2移动过程中，感应钣金16的移动距离可以代表推杆推动的距离；力敏传感器4可设置推力数值，当推料卡料时，推杆头14受到的阻力会通过推杆3、导向块9、浮动组件5传递到力敏传感器4上，触发卡料报警。浮动组件5可避免因力敏传感器4与前支架板6上的直线轴承的位
置偏差而出现的卡滞现象，当基板翘曲严重时，需要较大的推力才能推动，可将报警数值设置偏大一些，间接增加推杆头14在推料过程中所能承受的阻力，进而灵活的对能够承受的阻力大小进行调整，在不损坏基板的前提下，尽可能减少清理卡料基板次数，提高效率。
33.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。