抽真空工具、真空密封结构及真空容器的制作方法

本技术涉及真空容器，特别地涉及一种抽真空工具、真空密封结构及真空容器。

背景技术：

1、新一代光刻机工件台工作在真空环境中，为满足真空环境下释气和洁净度要求，一些不适用于直接置入真空内的结构材料需要密封后才能使用。对结构材料进行密封的密封腔室也需要抽取真空，因为如果不抽真空处理，其内部会封入大量的气体，造成内外环境存在压力差，最终会在压力差的作用下导致腔室表面变形，这对于一些对腔室表面的平面度有要求的零部件，会导致结构失效。

2、针对密封腔室的抽真空操作，现有技术采用的是在需要抽真空的腔室上外接止回阀门，再用真空泵抽取真空。此种结构缺点在于抽取真空后，在腔室上需要保持外接止回阀，这不适用于对空间紧凑性有较高要求的半导体加工领域设备。同时，基于外接止回阀结构进行改进来满足空间紧凑性要求，在结构设计上的难度也比较大，难以实现。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中存在的外接止回阀的抽真空手段以及真空密封结构难以满足空间紧凑性要求的问题，本实用新型提出了一种抽真空工具、真空密封结构及真空容器。

2、第一方面，本实用新型提出了一种抽真空工具，包括：

3、连接件，所述连接件为筒状结构且其上具有抽气接口，所述连接件用于可拆卸地连接真空容器并能够连通真空容器的抽真空口；以及

4、密封组件，所述密封组件活动地穿设于所述连接件的内部，其包括驱动轴以及可拆卸地连接在所述驱动轴一端的密封件，所述驱动轴与所述连接件密封接触；

5、其中，所述密封组件能够移动以靠近真空容器，并使所述密封件嵌入真空容器的抽真空口的口部；以及所述密封组件能够移动以远离真空容器，并使抽气接口通过所述连接件的内部空间连通真空容器的抽真空口。

6、在一个实施方式中，所述抽气接口将所述连接件分为密封段与抽气段，所述密封段的内壁与所述驱动轴密封接触，所述抽气段的内径大于所述密封组件的外径且二者之间的环形间隙构成抽气气道，所述抽气气道连通所述抽气接口。

7、在一个实施方式中，所述密封件的外周面上具有外螺纹，以配合真空容器的抽真空口口部的的内螺纹，所述驱动轴能够驱动所述密封件旋转。

8、在一个实施方式中，所述密封件远离所述驱动轴的一端端面上具有引导柱，所述引导柱用于引导所述密封件进入真空容器的抽真空口的口部。

9、在一个实施方式中，所述驱动轴的相对所述密封件所在一端的另一端具有连接结构，所述连接结构用于连接外部的驱动工具。

10、在一个实施方式中，所述连接结构为能够接合外部的驱动工具的多边形槽或多边形接柱。

11、在一个实施方式中，所述密封件与所述驱动轴以插接的方式可拆卸地连接，所述密封件上具有插接槽，所述驱动轴端部具有插接柱。

12、在一个实施方式中，所述连接件的一端具有法兰盘结构，所述法兰盘结构用于可拆卸地连接真空容器。

13、第二方面，本申请提出了一种利用上述的抽真空工具形成的真空密封结构，包括设置于真空容器的抽真空口口部的密封槽以及嵌入所述密封槽内的密封件，所述密封件的外周面和/或端面与所述密封槽的壁面形成密封接触面。

14、第三方面，本申请提出了一种真空容器，其包括上述的真空密封结构，进而具备其所具备的全部技术效果。

15、上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本实用新型的目的。

16、本实用新型提供的一种抽真空工具、真空密封结构及真空容器，与现有技术相比，至少具备有以下有益效果：

17、本实用新型提供的一种抽真空工具、真空密封结构及真空容器，通过连接件形成抽气气道并通过密封组件控制抽气气道的启闭，可以替代现有技术中的单向阀实现真空容器的抽真空；并且在抽真空后，抽真空工具可以整体从真空容器上拆卸下来，只有密封组件中的密封件留在真空容器的抽真空口内保持密封，真空容器上没有任何外接结构，充分满足空间紧凑性的要求。

技术特征：

1.一种抽真空工具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的抽真空工具，其特征在于，所述抽气接口将所述连接件分为密封段与抽气段，所述密封段的内壁与所述驱动轴密封接触，所述抽气段的内径大于所述密封组件的外径且二者之间的环形间隙构成抽气气道，所述抽气气道连通所述抽气接口。

3.根据权利要求1所述的抽真空工具，其特征在于，所述密封件的外周面上具有外螺纹，以配合真空容器的抽真空口口部的内螺纹，所述驱动轴能够驱动所述密封件旋转。

4.根据权利要求1所述的抽真空工具，其特征在于，所述密封件远离所述驱动轴的一端端面上具有引导柱，所述引导柱用于引导所述密封件进入真空容器的抽真空口的口部。

5.根据权利要求1至4任一项所述的抽真空工具，其特征在于，所述驱动轴的相对所述密封件所在一端的另一端具有连接结构，所述连接结构用于连接外部的驱动工具。

6.根据权利要求5所述的抽真空工具，其特征在于，所述连接结构为能够接合外部的驱动工具的多边形槽或多边形接柱。

7.根据权利要求1至4任一项所述的抽真空工具，其特征在于，所述密封件与所述驱动轴以插接的方式可拆卸地连接，所述密封件上具有插接槽，所述驱动轴端部具有插接柱。

8.根据权利要求1至4任一项所述的抽真空工具，其特征在于，所述连接件的一端具有法兰盘结构，所述法兰盘结构用于可拆卸地连接真空容器。

9.一种利用如权利要求1至8任一项所述的抽真空工具形成的真空密封结构，其特征在于，包括设置于真空容器的抽真空口口部的密封槽以及嵌入所述密封槽内的密封件，所述密封件的外周面和/或端面与所述密封槽的壁面形成密封接触面。

10.一种真空容器，其特征在于，其包括如权利要求9所述的真空密封结构。

技术总结
本技术提供了一种抽真空工具、真空密封结构及真空容器，该工具包括：连接件，连接件为筒状结构且其上具有抽气接口，连接件用于可拆卸地连接真空容器；密封组件，密封组件活动地穿设于连接件的内部，其包括驱动轴以及可拆卸地连接在驱动轴一端的密封件，驱动轴与连接件密封接触；密封组件能够移动使密封件嵌入真空容器的抽真空口的口部；以及密封组件能够移动使抽气接口连通真空容器的抽真空口。基于本技术的技术方案，连接件形成抽气气道并通过密封组件其启闭，可以替代目前基于单向阀的抽真空手段；工具可以在抽真空后拆卸，只保留密封件在真空容器的抽真空口内形成密封结构，真空容器上没有任何外接结构，充分满足空间紧凑性的要求。

技术研发人员：肖凤德,张志刚,刘翔
受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司
技术研发日：20221031
技术公布日：2024/1/11