线路板的数字光刻系统及其光刻方法与流程

本发明涉及光刻，具体涉及线路板的数字光刻系统及其光刻方法。

背景技术：

1、光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。

2、中国专利cn114803445a公开了一种线路板的数字光刻方法，线路板的数字光刻系统包括光刻主体、第一传输线、第二传输线，第一传输线包括第一定位工位、第一平台、第一出料工位，第二传输线包括第二定位工位、第二平台、第二出料工位，线路板的数字光刻方法包括步骤：第一步，若干线路板进料，交替供应线路板a、线路板b；第二步，线路板a进入第一传输线；第三步，线路板b进入第二传输线，第二步、第三步部分同时进行；

3、现有技术中，在对两个线路板同时进行曝光处理工作时，其只能同时完成线路板的单面曝光工作，不能在其工位上，同时对两个线路板切换式地曝光工作，从而将影响线路板光刻效率。

技术实现思路

1、本发明的目的就在于解决上述背景技术的问题，而提出线路板的数字光刻系统及其光刻方法。

2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

3、线路板的数字光刻系统，包括两个传动组件，两个传动组件之间设置有光刻架体，光刻架体包括：

4、转轴，转轴转动安装在机架上，转轴上设置有线路板安装架；

5、线路板安装架包括：

6、方形板，方形板沿着转轴对称设置，方形板的内壁上平行设置有两个竖向板，竖向板设置有第二横向板，第一横向板沿着转轴对称设置有两个，两个第一横向板与竖向板垂直连接；

7、其中，第二横向板设置有一个，第一横向板位于第二横向板下方，第一横向板与第二横向板之间构成两个长方形的线路板放置槽。

8、作为本发明进一步的方案：转轴上设置有调节机构，调节机构包括：

9、驱动件，控制转轴内腔的两个滑动安装块相向移动；一个滑动安装块与推料件连接，另一个滑动安装块与调节件连接；

10、调节件包括凸板，凸板设置在滑动安装块的顶面，连接轴设置在滑动安装块的两侧，连接轴远离滑动安装块的一端与矫正板连接；

11、其中，凸板与第二横向板相适配，矫正板与第一横向板相适配；

12、推料件包括活动杆，活动杆的一端与滑动安装块活动连接，活动杆的另一端与推料板活动连接。

13、作为本发明进一步的方案：驱动件包括：

14、双轴气缸，双轴气缸设置在转轴的内腔中部，双轴气缸两侧的输出端分别连接有两个滑动安装块；

15、两个滑动安装块通过连接杆相互连接。

16、作为本发明进一步的方案：第二横向板滑动设置在竖向板的滑槽内，滑槽内设置有第一弹簧，第一弹簧与第二横向板连接。

17、作为本发明进一步的方案：方形板上设置有用于凸板移动的通孔，转轴上设置有与凸板和连接轴移动相适配的槽体。

18、作为本发明进一步的方案：连接轴包括第一连杆和第二连杆，第二连杆滑动套设在第一连杆的底部，第二连杆上套设有第二弹簧，第二弹簧的两端分别与第二连杆的端部和第一连杆连接。

19、作为本发明进一步的方案：第一连杆为l形结构，第二连杆为直杆。

20、线路板的数字光刻方法，包括以下步骤：分流、成拍板定位、光刻处理、出料工序；

21、其中，光刻处理具体工作过程如下：

22、经过传动组件将线路板a和线路板b分别输送至光刻架体上，并进入到对应的线路板放置槽内进行固定；

23、通过光刻主体的曝光光源对线路板的一面完成曝光工作，当曝光结束后，控制转轴旋转180°，使得线路板a和线路板b进行位置切换，并使得线路板a和线路板b曝光处理的表面朝下，未曝光处理的表面朝上，通过光刻主体的曝光光源对线路板的另一面完成曝光工作。

24、本发明的有益效果：

25、（1）本发明的线路板安装架通过一个上方设置的第二横向板与两个下方设置的第一横向板，使得可以与通过将线路板分流至第一传输线、第二传输线，光刻主体对两个平台上的线路板交替进行数字光刻处理的数字光刻系统相适配，可以同时装载两个线路板，并进行曝光处理工作，以及该线路板安装架设置在转轴上，可以对线路板双面进行切换，使得可以在此工位上，只需控制其旋转180°，便可以完成对两个线路板的双面曝光工作，从而在同时对两个线路板进行曝光处理工作的基础上，进一步提高对线路板曝光处理效率；

26、（2）本发明的调节机构，可以调节改变线路板放置槽的宽度，其将可以适用于不同厚度型号的线路板，还将对线路板进行弹性压紧，保证在曝光时线路板的稳定性和在线路板旋转切换时不会发生位移掉落的问题；其还通过矫正板对线路板进入到放置槽内进行竖向定位，放在线路板倾斜，位置偏移，影响到曝光质量；还可以对进入的线路板进行横向定位，将与矫正板的竖向定位作用配合，使得曝光精准度，以及曝光结束后，方便将其直接推送至传动组件上，便于下料功能。

技术特征：

1.线路板的数字光刻系统，包括机架（1）以及组装于机架（1）的光刻主体（2），还包括两个传动组件（4），两个传动组件（4）之间设置有光刻架体（21），其特征在于，光刻架体（21）包括：

2.根据权利要求1所述的线路板的数字光刻系统，其特征在于，转轴（211）上设置有调节机构，调节机构包括：

3.根据权利要求2所述的线路板的数字光刻系统，其特征在于，驱动件包括：

4.根据权利要求3所述的线路板的数字光刻系统，其特征在于，第二横向板（215）滑动设置在竖向板（213）的滑槽（216）内，滑槽（216）内设置有第一弹簧（2117），第一弹簧（2117）与第二横向板（215）连接。

5.根据权利要求4所述的线路板的数字光刻系统，其特征在于，方形板（212）上设置有用于凸板（217）移动的通孔（2112），转轴（211）上设置有与凸板（217）和连接轴（218）移动相适配的槽体。

6.根据权利要求5所述的线路板的数字光刻系统，其特征在于，连接轴（218）包括第一连杆和第二连杆，第二连杆滑动套设在第一连杆的底部，第二连杆上套设有第二弹簧（2118），第二弹簧（2118）的两端分别与第二连杆的端部和第一连杆连接。

7.根据权利要求6所述的线路板的数字光刻系统，其特征在于，第一连杆为l形结构，第二连杆为直杆。

8.一种根据权利要求7所述的线路板的数字光刻系统的数字光刻方法，其特征在于，包括以下步骤：分流、成拍板定位、光刻处理、出料工序；

技术总结
本发明公开了线路板的数字光刻系统及其光刻方法，包括两个传动组件之间设置有光刻架体，光刻架体包括：转轴，转轴转动安装在机架上，转轴上设置有线路板安装架；线路板安装架包括：方形板沿着转轴对称设置，方形板的内壁上平行设置有两个竖向板，竖向板设置有第二横向板，第一横向板沿着转轴对称设置有两个，两个第一横向板与竖向板垂直连接；本发明的线路板安装架通过一个上方设置的第二横向板与两个下方设置的第一横向板，可以同时装载两个线路板，并进行曝光处理工作，以及该线路板安装架设置在转轴上，可以对线路板双面进行切换，使得可以在此工位上，只需控制其旋转180°，便可以完成对两个线路板的双面曝光工作。

技术研发人员：王华,陈志特,甘泉,张少勋,黄海浩,冯明瑞
受保护的技术使用者：广东科视光学技术股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11