用于存储物品的设备和用于存储物品的方法与流程

本发明涉及一种用于存储物品的设备和用于存储物品的方法，并且更具体地，涉及一种能够以混合两用的方式存储在半导体分配线中传送的至少两类物品的用于存储物品的设备和用于存储物品的方法。

背景技术：

1、为了改善半导体制造效率，除了用于改善由半导体制造设施执行的各种工艺(例如，曝光、沉积、蚀刻、离子植入、清洁等)的技术外，还引入并使用了用于更有效地在半导体制造设施之间传送至少两类物品(例如，用于存储晶圆的容器或前开式晶圆传送盒(foup)、用于存储光罩的光罩盒等)的设施。例如，包括被配置为在沿着提供在半导体制造工厂的天花板上的传送路径移动的同时传送物品的空中走行式无人搬送车(oht)的物品传送装置已被广泛使用。

2、包括空中走行式无人搬送车(在下文中，称为“oht”)的物品传送装置可以包括：用于提供传送路径的行进轨道；用于沿着行进轨道行进的车；以及提供在车下方的提升装置。提升装置可以支撑传送目标物品，并且提升装置可以旋转该物品，在水平方向上移动该物品，或在竖直方向上抬升和降低该物品，使得该物品可以在物品存储架上就位。

3、缓冲器可以是用于为物品提供临时存储空间的单个或多个物品存储架，并且可以是安装在传送路径的侧面上的侧轨缓冲器(stb)或安装在传送路径的下侧上的轨下缓冲器(utb)。

4、传统的缓冲器可以针对每一种类型的容器单独配置。例如，用于存储光罩的光罩盒的缓冲器可以单独配置，并且用于存储晶圆的前开式晶圆传送盒(foup)的缓冲器可以单独配置。

技术实现思路

1、然而，由于为每一个容器单独配置的缓冲器必须依据容器的类型配置为具有相互不同的规格的缓冲器，因此缓冲器的安装量或安装数量可能增加。例如，由于用于存储光罩盒的缓冲器和用于存储前开式晶圆传送盒的缓冲器是单独提供的，因此空间利用率可能大大降低，并且由于传送路径长或复杂，因此依据容器的类型，设备操作可能非常不方便和困难。

2、为了解决包括上述问题的各种问题，本发明的一个目的是提供一种能够以混合两用的方式存储在半导体分配线中传送的至少两类物品的用于存储物品的设备和用于存储物品的方法。然而，由于上述目的是为了说明的目的而提供的，因此本发明的范围不由此限制。

3、为了实现上述目的，根据本发明的思想，提供了一种用于存储物品的设备，所述设备包括：物品存储架，包括用于以两用的方式存储第一物品或第二物品的两用空间；和可变对准装置，安装在所述物品存储架上，在所述可变对准装置中，当所述第一物品就位时至少一个第一对准突起向外突出以对准所述第一物品，并且当所述第二物品就位时所述第一对准突起被向内容纳使得所述第一对准突起与所述第二物品不相干涉。

4、另外，根据本发明，所述可变对准装置可以包括：基体板，在所述基体板的顶表面上形成有至少一个第二对准突起以对准所述第二物品，并且所述基体板包括接收部分；可移动板，安装在所述接收部分中，以便被自由地抬升和降低，并且在所述可移动板上形成有所述至少一个第一对准突起；以及至少一个弹性弹簧，具有在所述可移动板被抬升的方向上作用的恢复力。

5、另外，根据本发明，呈三角形地布置以对应于形成在所述第二物品的底表面中的三个对准槽的三个第二对准突起可以在所述接收部分的外围处形成在所述基体板的所述顶表面上。

6、另外，根据本发明，所述可移动板可以包括：可移动板体，基本上具有平板形状；三个第一对准突起，形成在所述可移动板体的顶表面上，并且呈三角形地布置以对应于形成在所述第一物品的底表面中的三个对准槽；以及阻挡器，形成在所述可移动板体的一个侧表面上，并且在侧向方向上突出以防止所述可移动板体与所述接收部分分离。

7、另外，根据本发明，所述可移动板还可以包括：引导件，形成在所述可移动板体的所述顶表面上，并且具有高于所述第一对准突起的第一高度的第二高度以保护所述第一对准突起。

8、另外，根据本发明，所述引导件可以是分别安装在所述可移动板体的前侧、后侧、左侧和右侧上的四个突出的弯折件中的每一个，从所述可移动板体侧向地突出，并且向上弯折。

9、另外，根据本发明，所述第一对准突起中的至少一个可以安装为与所述阻挡器中的至少一个相邻，以便达到动态平衡，并且所述第二对准突起可以设置在所述阻挡器中的至少一个和所述引导件中的至少一个之间。

10、另外，根据本发明，所述基体板可以包括至少一个引导件对应部分，所述至少一个引导件对应部分形成在所述接收部分中以对应于所述引导件。

11、另外，根据本发明，所述弹性弹簧可以被配置为使得恢复力之和大于所述第一物品的第一重量且小于所述第二物品的第二重量。

12、另外，根据本发明，所述可变对准装置还可以包括：固定板，安装到所述基体板，同时与所述基体板以间隙距离间隔开，以便支撑所述弹性弹簧并且允许所述可移动板在分离空间中被抬升和降低。

13、另外，根据本发明，所述第一物品可以包括用于存储光罩的光罩盒，并且所述第二物品可以包括用于存储多个晶圆的前开式晶圆传送盒(foup)。

14、另外，根据本发明，所述第二物品可以具有大于所述第一物品的第一重量的第二重量。

15、另外，根据本发明，所述物品存储架可以包括轨下缓冲器(utb)或侧轨缓冲器(stb)。

16、另外，根据本发明，所述物品存储架可以包括：框架，安装在天花板、墙和地板中的至少一者上；和至少一个架支撑件，安装在所述框架上以便以所述两用的方式支撑所述第一物品或所述第二物品。

17、另外，根据本发明，所述可变对准装置可以包括：圆筒部分，形成在所述物品存储架上，在所述圆筒部分中，包括阻挡器的所述第一对准突起形成在所述圆筒部分的一侧上，以便被抬升和降低；和弹性构件，安装在所述圆筒部分中，并且具有在所述第一对准突起突出的方向上形成的恢复力。

18、另外，根据本发明，用于存储所述物品的所述设备还可以包括：操作检测装置，用于检测所述可变对准装置的操作状态，并且将检测信号施加到控制单元。

19、同时，为了实现上述目的，根据本发明的思想，提供了一种用于存储物品的方法，所述方法包括步骤：(a)通过物品传送装置使第一物品在物品存储架的两用空间中就位；(b)通过使用安装在所述物品存储架中的可变对准装置，保持至少一个第一对准突起向外突出以对准所述第一物品的状态；(c)将所述第一物品传送到另一场所，并且通过所述物品传送装置使第二物品在所述物品存储架的所述两用空间中就位；以及(d)通过使用安装在所述物品存储架中的所述可变对准装置将所述第二物品对准至少一个第二对准突起，并且将所述第一对准突起向内容纳使得所述第一对准突起与所述第二物品不相干涉。

20、另外，根据本发明，用于存储所述物品的所述方法还可以包括步骤：(e)当所述第二物品被传送到另一场所时，通过所述可变对准装置允许所述至少一个第一对准突起向外突出。

21、另外，根据本发明，在所述步骤(b)中，可以使用具有大于所述第一物品的重量的恢复力的至少一个弹性弹簧来保持所述第一对准突起向外突出的所述状态，并且，在所述步骤(d)中，可以使用具有小于所述第二物品的重量的恢复力的所述弹性弹簧来将所述第一对准突起向内容纳，使得所述第一对准突起与所述第二物品不相干涉。

22、同时，为了实现上述目的，根据本发明的思想，提供了一种用于存储物品的设备，所述设备包括：物品存储架，包括用于以两用的方式存储第一物品或第二物品的两用空间；和可变对准装置，安装在所述物品存储架上，在所述可变对准装置中，当所述第一物品就位时至少一个第一对准突起向外突出以对准所述第一物品，并且当所述第二物品就位时所述第一对准突起被向内容纳使得所述第一对准突起与所述第二物品不相干涉，其中，所述可变对准装置包括：基体板，在所述基体板的顶表面上形成有至少一个第二对准突起以对准所述第二物品，并且所述基体板包括接收部分；可移动板，安装在所述接收部分中，以便被自由地抬升和降低，并且在所述可移动板上形成有所述至少一个第一对准突起；至少一个弹性弹簧，具有在所述可移动板被抬升的方向上作用的恢复力；以及固定板，安装到所述基体板，同时与所述基体板以间隙距离间隔开，以便支撑所述弹性弹簧并且允许所述可移动板在分离空间中被抬升和降低，并且所述可移动板包括：可移动板体，基本上具有平板形状；三个第一对准突起，形成在所述可移动板体的顶表面上，并且呈三角形地布置以对应于形成在所述第一物品的底表面中的三个对准槽；阻挡器，形成在所述可移动板体的一个侧表面上，并且在侧向方向上突出以防止所述可移动板体与所述接收部分分离；以及引导件，形成在所述可移动板体的所述顶表面上，并且具有高于所述第一对准突起的第一高度的第二高度以保护所述第一对准突起。

23、根据如上所述配置的本发明的各种实施例，在半导体分配线中传送的至少两类物品可以以混合两用的方式存储，使得可以大大减少缓冲器的安装量或安装数量，一个缓冲器可以存储光罩盒和前开式晶圆传送盒两者，使得可以使空间利用率最大化，并且可以使传送路径减少和简化，从而可以便于设备操作。然而，本发明的范围不受上述效果限制。