一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒的制作方法

本发明属于包装件，具体的说是一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒。

背景技术：

1、半导体工艺流程中，虽然器件或电路芯片大部分是在半导体基体材料的浅表面层上制造的，但在数十、上百道工艺流程中，为了保证对晶圆片表面加工的精度、结构等要求并避免工艺中晶圆片的破碎，一般采用一定厚度的晶圆片在工艺过程中传递、流片。由于寄生电阻等的存在，芯片电路工作时会产生热量，温度升高，而互联金属与半导体材料、半导体材料与封装材料之间不同的热膨胀系数，会产生内应力导致芯片破裂或损坏。

2、若用片盒存放，因其主要是为避免单晶片表面划伤而设计，只适用于比较厚的晶圆片存放，减薄后的晶圆片厚度明显变薄，对较大直径的晶圆片来说，更容易发生明显的翘曲，一旦受到挤压，就很可能碎裂，而且盒体通常较硬，盒体的内壁与晶圆片接触后，在进行携带运输过程中，晶圆片可能会因为晃动等影响与盒体的内壁发生摩擦，进而导致晶圆片出现磨损问题，所以需要进行改进。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒，包括保护壳，所述保护壳表面的两侧均固定连接有拓展外壳，所述拓展外壳的内壁均匀设置有条状弹簧，所述条状弹簧远离拓展外壳的一端滑动连接有加固部件，所述保护壳表面顶部的两侧均滑动连接有封闭滑板，所述封闭滑板表面的两侧均滑动连接有引导滑轨，所述封闭滑板的一侧固定连接有牵引拉杆，所述保护壳内腔的两侧均设置有控制部件，所述保护壳内腔的两端均固定连接有调整部件，所述保护壳表面的底部固定连接有排片部件；在使用该装置进行晶圆片的存放工作前，操作人员先通过牵引拉杆将两侧的封闭滑板拉开，打开保护壳轴心处的开口，然后将晶圆片平放投入保护壳的内部，然后通过内部的加固部件对引导筒壳内部的晶圆片进行加固，使晶圆片固定在引导筒壳中，然后将两侧的封闭滑板闭合，完成晶圆片的存储工作。

2、进一步的，所述保护壳内腔的轴心处固定连接有引导筒壳，所述引导筒壳内壁的两侧均固定连接有侧位卡架，所述侧位卡架表面的两侧均转动连接有橡胶软带，所述保护壳内腔靠近拓展外壳的一侧滑动连接有弹性卡臂；该装置能够存储晶圆片，并且能够根据晶圆片的尺寸调整橡胶软带对晶圆片的夹紧力度，进而避免出现晶圆片在盒内受到的挤压力较小而容易发生松动的问题，也能避免出现晶圆片受到较大挤压力而碎裂的问题。

3、进一步的，所述加固部件包括插接剖壳，所述插接剖壳表面靠近引导筒壳的两侧均固定连接有牵引拉带，所述插接剖壳内腔靠近引导筒壳的一侧固定连接有缓冲软带，所述缓冲软带表面远离引导筒壳的一侧均匀设置有压缩通管，所述压缩通管远离引导筒壳的一端固定连接有密封箱，所述密封箱内腔的两侧均通过软膜固定连接有拉力计。在对晶圆片进行加固的过程中，两侧的控制部件将对应的牵引拉带收卷，从而通过牵引拉带将两侧的保护壳向靠近引导筒壳的一侧牵引，此时插接剖壳从拓展外壳的内向保护壳的内部滑动，条状弹簧被拉长，两侧的弹性卡臂自动伸长，调整保护壳的密封效果。

4、进一步的，所述插接剖壳内壁远离引导筒壳的一侧通过夹紧力臂与密封箱的表面固定连接，所述牵引拉带远离插接剖壳的一端与控制部件的内腔滑动连接，所述弹性卡臂靠近牵引拉带的一端与插接剖壳的表面滑动连接。在插接剖壳的平面与引导筒壳相接触时，插接剖壳的上下两侧通过引导筒壳两侧的切槽插入引导筒壳的内部，对橡胶软带的外表面进行挤压，将橡胶软带沿着侧位卡架的外表面向轴心处转动绷紧，而位于橡胶软带内壁的晶圆片会在橡胶软带绷紧的过程中逐渐被包裹夹紧，随后控制部件停止牵引加固部件，晶圆片被固定在装置内部。该装置的橡胶软带在夹紧晶圆片时，橡胶软带的两侧都会因为加固部件的夹紧效果而收束，从而将晶圆片包裹住，以增加晶圆片的抗震能力，进而在保护壳受到磕碰的时候，晶圆片不会出现晃动的问题。

5、进一步的，所述引导筒壳内腔的两端均对称开设有环切槽，所述插接剖壳的两侧均通过环切槽与引导筒壳的内腔滑动连接，所述插接剖壳的表面与拓展外壳的内壁滑动连接，所述缓冲软带的表面与引导筒壳的表面相互挤压。在插接剖壳向靠近引导筒壳一侧滑动的过程中，缓冲软带会与引导筒壳的外表面相互挤压，然后缓冲软带向夹紧力臂一侧内凹变形，进而对压缩通管进行挤压，压缩通管在压缩后，会将内部的气体压缩进入密封箱的内部，此时两侧的软膜会因为压强的增大牵引拉力计的两端。该装置的插接剖壳通过内部的拉力计，反应插入引导筒壳内腔的深度，两侧的条状弹簧能够快速将插接剖壳牵引回原位，进而避免出现插接剖壳插入引导筒壳内部较深而卡住无法拔出的问题。

6、进一步的，所述控制部件包括内置方壳，所述内置方壳内腔的两侧均通过马达转动连接有缠绕卷筒，所述内置方壳内壁的两侧均滑动连接有弹簧夹板，所述弹簧夹板内腔的中部滑动连接有压缩推板，所述压缩推板内腔中部的两侧均转动连接有弯折转板，所述弯折转板远离压缩推板的一端转动连接有糙面夹板。控制部件通过底部马达控制缠绕卷筒转动，使牵引拉带收卷到缠绕卷筒的外表面上，此时缠绕卷筒的外表面变厚，进对中部的弹簧夹板进行挤压，此时压缩推板的两端在挤压过程中，会推动弯折转板进行转动，然后弯折转板将糙面夹板转动，与缠绕卷筒的外表面相互贴合，进而加固牵引拉带的收卷效果，防止缠绕卷筒回转。

7、进一步的，所述牵引拉带远离插接剖壳的一端与缠绕卷筒的表面固定连接，所述牵引拉带的表面与内置方壳内腔的一侧滑动连接，所述压缩推板的两端均与弹簧夹板的内腔固定连接，所述内置方壳的表面与保护壳的内腔滑动连接，所述内置方壳的数量为两个。该装置的控制部件通过收卷牵引拉带的形式牵引加固部件夹紧晶圆片，而插接剖壳为之固定的时候，条状弹簧会将牵引拉带反向拉动，进而造成缠绕卷筒回卷的问题，使插接剖壳的夹紧效果变差，所以设置了能够加固的糙面夹板对收卷后的缠绕卷筒夹紧，进而避免出现上述问题。

8、进一步的，所述调整部件包括缓冲内壳，所述缓冲内壳内腔的中部固定连接有发动机，所述发动机输出轴的表面固定连接有螺纹转杆，所述缓冲内壳表面靠近引导筒壳的一侧对称设置有气垫软管，所述气垫软管内腔的一端滑动连接有侧位卡夹，所述侧位卡夹的表面与内置方壳的表面固定连接。所述内置方壳表面的两侧均通过限位连杆与保护壳内腔的两侧卡接，所述缓冲内壳内腔远离侧位卡夹的一侧均匀开设有进气槽，所述缓冲内壳的表面与保护壳内腔远离控制部件的一侧固定连接。两侧的调整部件能够通过缓冲内壳内部的发动机控制螺纹转杆转动，进而通过压力推动侧位卡夹牵引内置方壳移动，此时内置方壳对牵引拉带的牵引角度发生变化，两侧的条状弹簧会因为插接剖壳被牵引而绷紧，从而使插接剖壳的初始位置距离引导筒壳更近，进而加固对晶圆片的夹紧效果。

9、进一步的，所述排片部件包括贴壁底壳，所述贴壁底壳内壁顶部的轴心处固定连接有开孔圆盘，所述开孔圆盘内腔的中部通过环切槽固定连接有环状软管，所述环状软管内壁的两侧均固定连接有弹簧连杆，所述贴壁底壳内腔的两侧对称设置有输气管。由于晶圆片取出过程较为困难，所以在保护壳的底部设置了排片部件，在取出内部的晶圆片时，不仅需要解除橡胶软带对晶圆片的夹紧作用，还需要通过两侧的输气管对贴壁底壳的轴心处进行输气，使贴壁底壳能够正对上方进行鼓风，通过底部的风力，将解除限制的晶圆片从保护壳的内部平缓吹出，而因为风力鼓起的环状软管能够对掉落的晶圆片起到缓冲作用。

10、进一步的，所述输气管的一端延伸至贴壁底壳的外部，所述输气管的另一端延伸至贴壁底壳内腔的轴心处，所述弹簧连杆远离环状软管的一端与贴壁底壳内腔的底部固定连接，所述开孔圆盘的内腔均匀开设有贯穿通口。位于内部的晶圆片较难被直接取出，并且取出的过程中容易对晶圆片造成损伤，所以使用自上而下鼓风的排片部件将晶圆片从保护壳的内部缓慢吹出，从而降低对晶圆片的损伤，同时对晶圆片和存储取件进行清理。

11、本发明的有益效果如下：

12、1.该装置能够存储晶圆片，并且能够根据晶圆片的尺寸调整橡胶软带对晶圆片的夹紧力度，进而避免出现晶圆片在盒内受到的挤压力较小而容易发生松动的问题，也能避免出现晶圆片受到较大挤压力而碎裂的问题。

13、2.该装置的橡胶软带在夹紧晶圆片时，橡胶软带的两侧都会因为加固部件的夹紧效果而收束，从而将晶圆片包裹住，以增加晶圆片的抗震能力，进而在保护壳受到磕碰的时候，晶圆片不会出现晃动的问题。

14、3.该装置的插接剖壳通过内部的拉力计，反映插入引导筒壳内腔的深度，两侧的条状弹簧能够快速将插接剖壳牵引回原位，进而避免出现插接剖壳插入引导筒壳内部较深而卡住无法拔出的问题。

15、4.该装置的控制部件通过收卷牵引拉带的形式牵引加固部件夹紧晶圆片，而插接剖壳为之固定的时候，条状弹簧会将牵引拉带反向拉动，进而造成缠绕卷筒回卷的问题，使插接剖壳的夹紧效果变差，所以设置了能够加固的糙面夹板对收卷后的缠绕卷筒夹紧，进而避免出现上述问题。

16、5.位于内部的晶圆片较难被直接取出，并且取出的过程中容易对晶圆片造成损伤，所以使用自上而下鼓风的排片部件将晶圆片从保护壳的内部缓慢吹出，从而降低对晶圆片的损伤，同时对晶圆片和存储取件进行清理。