负压收集设备的制作方法

本发明涉及半导体加工设备，尤其涉及负压收集设备。

背景技术：

1、半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。封装过程为：来自晶圆前道工艺的晶圆通过划片工艺后被切割为小的晶片，然后将切割好的晶片贴装到封装支架的基岛上，再利用超细的金属导线或者导电性树脂将晶片的接合焊盘连接到封装支架的相应引脚，并构成所要求的电路，然后再对独立的晶片用塑料外壳加以封装保护，塑封之后还要进行一系列操作，例如将半导体从封装支架切分下来。

2、现有技术出现的自动切筋装置是通过切筋刀具分离半导体和封装支架，半导体从出料孔导出，掉落到收集盒中进行收集，但由于半导体的体积小、重量轻，且封装支架排列的密度较大，切分之后容易出现半导体被钩挂在封装支架上、在下滑过程中附着在孔壁上、或者因下滑速度较慢而引起堵塞等情况。

技术实现思路

1、针对现有技术存在半导体收集效率低的缺陷，本发明提出负压收集设备，该负压收集设备的收集盒连接有负压装置，使得半导体在气压作用下快速进入收集盒，有效提高半导体收集效率。

2、本发明采用的技术方案是，设计负压收集设备，包括：

3、工作台，该工作台设有出料口；

4、收集组件，该收集组件具有位于出料口下方的若干个收集盒，至少有一个收集盒连接有用于向外抽取空气的负压装置；

5、转接组件，该转接组件具有落料通道，落料通道的顶端接通出料口，落料通道的底端能够切换接通任意一个收集盒。

6、进一步的，转接组件包括：上转接块、下转接块、分隔板以及驱动下转接块移动的第一动力件，分隔板安装在工作台的下方，收集组件位于分隔板的底部；上转接块设有上落料通道，分隔板设有与收集盒一一对应的落料口，下转接块被活动夹持在分隔板和上转接块之间，且下转接块设有与收集盒一一对应的下落料通道；任意一个下落料通道的底端与其对应的落料口对接时，该下落料通道的顶端恰好与上落料通道的底端对接，以形成落料通道。

7、进一步的，上落料通道顶端的开口尺寸大于出料口，且上落料通道的宽度由上至下逐渐收窄，下落料通道在其对应的收集盒与上落料通道之间倾斜设置，第一动力件驱动下转接块在收集盒之间移动，以使控制下落料通道自动与上落料通道对接。

8、进一步的，收集组件安装于底板上，底板的下方设有第二动力件，第二动力件推动底板上下移动，以使连接有负压装置的收集盒的顶面贴合分隔板的底面。

9、进一步的，工作台设有废料口，工作台的底部设有与废料口连接的排渣管。

10、进一步的，负压收集设备还包括：位于工作台上方的刀具组件、以及驱动刀具组件升降的动力机构。

11、进一步的，动力机构包括：安装座、曲柄、动力盘以及电机，刀具组件连接于安装座的底部，曲柄的底端转动安装于安装座的顶部，曲柄的顶端通过偏心轴转动安装于动力盘上，电机驱动动力盘旋转，以使安装座升降运动。

12、进一步的，刀具组件与安装座之间预留有缓冲间隙，且安装座与刀具组件之间安装有若干个缓冲弹性件。

13、进一步的，工作台的上方安装有支撑板，支撑板设有允许安装座穿过的安装口，安装座与安装口之间设有导轨组件，安装座沿着导轨组件直线升降。

14、进一步的，电机与动力盘之间设有传动轮组件，电机驱动传动轮组件中的主动轮转动，动力盘与传动轮组件中的从动轮同轴固定，电机的输出轴安装有电磁刹车器。

15、与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

16、1、收集盒连接有负压装置，利用负压装置抽取收集盒和落料通道内的空气形成负压，迫使分切后的半导体快速向下滑动，有效提高到半导体收集效果；

17、2、动力机构设计有安装座、曲柄和动力盘等，通过电机驱动动力盘旋转，电机的输出轴安装有电磁刹车器，实现刀具组件快速升降运动的同时，保证制动的可靠性。

技术特征：

1.负压收集设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的负压收集设备，其特征在于，所述转接组件包括：上转接块、下转接块、分隔板以及驱动所述下转接块移动的第一动力件，所述分隔板安装在所述工作台的下方，所述收集组件位于所述分隔板的底部；

3.根据权利要求2所述的负压收集设备，其特征在于，所述上落料通道顶端的开口尺寸大于所述出料口，且所述上落料通道的宽度由上至下逐渐收窄，所述下落料通道在其对应的收集盒与所述上落料通道之间倾斜设置，所述第一动力件驱动所述下转接块在所述收集盒之间移动，以使控制所述下落料通道自动与所述上落料通道对接。

4.根据权利要求2所述的负压收集设备，其特征在于，所述收集组件安装于底板上，所述底板的下方设有第二动力件，所述第二动力件推动所述底板上下移动，以使连接有所述负压装置的收集盒的顶面贴合所述分隔板的底面。

5.根据权利要求1所述的负压收集设备，其特征在于，所述工作台设有废料口，所述工作台的底部设有与所述废料口连接的排渣管。

6.根据权利要求1至5任一项所述的负压收集设备，其特征在于，还包括：位于所述工作台上方的刀具组件、以及驱动所述刀具组件升降的动力机构。

7.根据权利要求6所述的负压收集设备，其特征在于，所述动力机构包括：安装座、曲柄、动力盘以及电机，所述刀具组件连接于所述安装座的底部，所述曲柄的底端转动安装于所述安装座的顶部，所述曲柄的顶端通过偏心轴转动安装于所述动力盘上，所述电机驱动所述动力盘旋转，以使所述安装座升降运动。

8.根据权利要求7所述的负压收集设备，其特征在于，所述刀具组件与所述安装座之间预留有缓冲间隙，且所述安装座与所述刀具组件之间安装有若干个缓冲弹性件。

9.根据权利要求7所述的负压收集设备，其特征在于，所述工作台的上方安装有支撑板，所述支撑板设有允许所述安装座穿过的安装口，所述安装座与所述安装口之间设有导轨组件，所述安装座沿着所述导轨组件直线升降。

10.根据权利要求7所述的负压收集设备，其特征在于，所述电机与所述动力盘之间设有传动轮组件，所述电机驱动所述传动轮组件中的主动轮转动，所述动力盘与所述传动轮组件中的从动轮同轴固定，所述电机的输出轴安装有电磁刹车器。

技术总结
本发明公开了负压收集设备，包括：工作台，该工作台设有出料口；收集组件，该收集组件具有位于出料口下方的若干个收集盒，至少有一个收集盒连接有用于向外抽取空气的负压装置；转接组件，该转接组件具有落料通道，落料通道的顶端接通出料口，落料通道的底端能够切换接通任意一个收集盒；刀具组件，刀具组件位于工作台的上方；动力机构。动力机构驱动刀具组件升降运动。本发明利用负压装置抽取收集盒和落料通道内的空气形成负压，迫使分切后的半导体快速向下滑动，动力机构设计有安装座、曲柄和动力盘等，通过电机驱动动力盘旋转，电机的输出轴安装有电磁刹车器，实现刀具组件快速升降运动的同时，保证制动的可靠性。

技术研发人员：曾尚文,陈久元,杨利明
受保护的技术使用者：四川通妙科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15