一种背面撕膜机的制作方法

本发明涉及半导体生产，具体涉及一种背面撕膜机。

背景技术：

1、板材(如芯片基板等)的半成品在其表面(单面或上下两面)覆有保护薄膜，在生产过程中，需要将薄膜撕去进行后续加工。现有的撕膜机会在上、下各设置一个夹爪用于分别撕除板材上、下面的薄膜。但是，当撕除尺寸较小的板材时，下方的单个爪子将薄膜从板材上完全撕除松开后，该薄膜由于尺寸小且重量轻，无法靠自重，准确的落入薄膜收集桶内，反而会在重力作用勾在下方的爪子上或者是掉落在设备的其它机构上，从而产生隐患。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种背面撕膜机，可以直接将产品背面薄膜撕除并使得被撕除薄膜不会勾在撕膜装置上能够自由下落。

2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种背面撕膜机，包括机架、设于机架上的用于传送产品的传送机构和用于对产品背面进行撕膜的撕膜装置，所述撕膜装置包括先将产品背面的薄膜撕下超过一半的第一撕膜机构和将所述产品背面还粘住的薄膜完全撕下的第二撕膜机构，所述第二撕膜机构具有一对撕膜夹爪，该对撕膜夹爪夹紧薄膜撕下部分的位置位于整片薄膜的重心上方，在完全撕下整片膜后松开使得薄膜依靠自身重力经该对撕膜夹爪之间的间隙自由下落。

4、通过采用上述技术方案，在撕膜装置中通过增加第二撕膜机构，当第一撕膜机构的起膜夹爪先将产品背面薄膜撕开超过一半，第二撕膜机构的一对撕膜夹爪从侧面伸入夹住该薄膜被撕开部分，随后，撕膜夹爪后移，且在撕膜夹爪后移过程中将薄膜剩余部分从产品上撕除，因为该对撕膜夹住薄膜的位置位于整片薄膜的重心上方，这样就能保证在完全撕下整片膜后松开后该薄膜依靠自身重力自由下落。

5、作为本发明进一步的方案：该对撕膜夹爪从侧面进入夹紧薄膜撕下部分。采用该技术方案，该对撕膜夹爪不会干涉到第一撕膜机构。

6、作为本发明进一步的方案：所述第一撕膜机构包括起膜夹爪、驱动起膜夹爪升降的起膜升降组件、驱动起膜夹爪横向平移的起膜横移组件以及驱动起膜夹爪摆动角度的摆动驱动组件。

7、作为本发明进一步的方案：所述第二撕膜机构还包括有驱动撕膜夹爪纵向平移的撕膜纵移组件以及驱动撕膜夹爪横向平移的撕膜横移组件。

8、作为本发明进一步的方案：在所述撕膜夹爪的撕膜终止位置的下方还设有薄膜回收仓。这样通过薄膜回收仓收纳从产品上撕除的薄膜。

9、作为本发明进一步的方案：所述传送机构分为第一传送段和第二传送段，其中，所述第一传送段包括设于机架上的两个对称的托轨支架和分别设于两个托轨支架内侧面上的一对托轨。

10、作为本发明进一步的方案：还包括在所述产品被完全传送到所述第一传送段时用于固定所述产品的固定机构，所述固定机构包括设于两个托轨支架外侧面上的相对的压块气缸、由压块气缸驱动的支撑块、设于所述支撑块底面与所述托轨相配合用于压住所述产品边缘的多个小压块。

11、作为本发明进一步的方案：每个所述支撑块表面还放置有动板，每个所述动板内侧边缘设有向下延伸的定位销，该定位销与所述产品上的定位孔相适配对产品的位置进行精准定位。

12、作为本发明进一步的方案：所述托轨支架上还设有用于检测所述动板与所述支撑块之间是否有间隙的传感器。

13、作为本发明进一步的方案：所述第一传送段中设置有用于检测产品背面上是否留有残膜的相机，所述相机位于所述托轨下方且所述固定机构前方。

14、综上所述，背面撕膜机的整个撕膜过程为自动化进程，撕膜效率高，能够满足现代工业化生产的需要。

技术特征：

1.一种背面撕膜机，包括机架、设于机架上的用于传送产品的传送机构和用于对产品背面进行撕膜的撕膜装置，其特征在于：所述撕膜装置包括先将产品背面的薄膜撕下超过一半的第一撕膜机构和将所述产品背面还粘住的薄膜完全撕下的第二撕膜机构，所述第二撕膜机构具有一对撕膜夹爪，该对撕膜夹爪夹紧薄膜撕下部分的位置位于整片薄膜的重心上方，在完全撕下整片膜后松开使得薄膜依靠自身重力经该对撕膜夹爪之间的间隙自由下落。

2.根据权利要求1所述的背面撕膜机，其特征在于：该对撕膜夹爪从侧面进入夹紧薄膜撕下部分。

3.根据权利要求1所述的背面撕膜机，其特征在于：所述第一撕膜机构包括起膜夹爪、驱动起膜夹爪升降的起膜升降组件、驱动起膜夹爪横向平移的起膜横移组件以及驱动起膜夹爪摆动角度的摆动驱动组件。

4.根据权利要求2所述的背面撕膜机，其特征在于：所述第二撕膜机构还包括有驱动撕膜夹爪纵向平移的撕膜纵移组件以及驱动撕膜夹爪横向平移的撕膜横移组件。

5.根据权利要求2所述的背面撕膜机，其特征在于：在所述撕膜夹爪的撕膜终止位置的下方还设有薄膜回收仓。

6.根据权利要求1所述的背面撕膜机，其特征在于：所述传送机构分为第一传送段和第二传送段，其中，所述第一传送段包括设于机架上的两个对称的托轨支架和分别设于两个托轨支架内侧面上的一对托轨。

7.根据权利要求6所述的背面撕膜机,其特征在于：还包括在所述产品被完全传送到所述第一传送段时用于固定所述产品的固定机构，所述固定机构包括设于两个托轨支架外侧面上的相对的压块气缸、由压块气缸驱动的支撑块、设于所述支撑块底面与所述托轨相配合用于压住所述产品边缘的多个小压块。

8.根据权利要求7所述的背面撕膜机,其特征在于：每个所述支撑块表面还放置有动板，每个所述动板内侧边缘设有向下延伸的定位销，该定位销与所述产品上的定位孔相适配对产品的位置进行精准定位。

9.根据权利要求8所述的背面撕膜机,其特征在于：所述托轨支架上还设有用于检测所述动板与所述支撑块之间是否有间隙的传感器。

10.根据权利要求9所述的背面撕膜机,其特征在于：所述第一传送段中设置有用于检测产品背面上是否留有残膜的相机，所述相机位于所述托轨下方且所述固定机构前方。

技术总结
本发明公开了一种背面撕膜机，包括机架、设于机架上的用于传送产品的传送机构和用于对产品背面进行撕膜的撕膜装置，其特征在于：所述撕膜装置包括先将产品背面的薄膜撕下超过一半的第一撕膜机构和将所述产品背面还粘住的薄膜完全撕下的第二撕膜机构，所述第二撕膜机构具有一对撕膜夹爪，该对撕膜夹爪在夹紧薄膜撕下部分的位置位于整片薄膜的重心上方，在完全撕下整片膜后松开使得薄膜依靠自身重力经该对撕膜夹爪之间的间隙自由下落。整个撕膜过程为自动化进程，撕膜效率高，能够满足现代工业化生产的需要。

技术研发人员：赵凯,梁猛,林海涛,李彬,时威,陆俊
受保护的技术使用者：上海世禹精密设备股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1