一种晶圆智能储存仓的制作方法

本技术涉及晶圆存储的，更具体地说，它涉及一种晶圆智能储存仓。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之半导体产品。

2、相关技术中，晶圆在未加工或加工完成后，在其上一般都会有镭雕信息，以便对晶圆进行区分，在晶圆入库时，需要对每个晶圆进行字符识别，将每个晶圆信息记录到调度系统中，然后再对其入库，需要使用晶圆时，再根据对应的订单信息取出对应的晶圆，传统的晶圆入库一般采用人工对其进行字符识别，然后人工运输送入库中，这样长期劳作下，会降低运输及入库的效率，且由于疲劳可能会出现信息记录错误，同时人工成本较高。

技术实现思路

1、为了解决传统的晶圆入库一般采用人工操作，运输及入库的效率低，且由于疲劳可能会出现信息记录错误，同时人工成本较高的问题，本技术提供一种晶圆智能储存仓。

2、一种晶圆智能储存仓，包括仓体、自动登记机构、晶圆搬运机构、调度系统，所述仓体内设置有两个呈左右对称设置的放料架，所述自动登记机构的数量为两个且均设置于所述仓体内分别用于晶圆出库自动登记及进库自动登记，一个所述自动登记机构位于一个所述放料架的一侧，另一个所述自动登记机构位于另一个所述放料架的一侧，所述晶圆搬运机构位于两个所述放料架之间用于搬运晶圆使晶圆流转于所述放料架及两个自动登记机构上，所述自动登记机构、晶圆搬运机构均与所述调度系统信号连接。

3、通过两个自动登记机构对晶圆出库自动登记及进库自动登记，减少使用人工登记，有效减少由于人工疲劳出现信息记录错误的问题，通过圆晶搬运机构搬运圆晶使得圆晶流转至放料架及两个自动登记机构上代替人工进行搬运放料操作，有效提高晶圆运输及入库的效率，登记及搬运均为机器操作，有效减少人工成本，调度系统为集信息储存和控制一体的系统，实现晶圆智能化储存。

4、优选的，所述放料架包括由所述仓体前端向后端间隔排布的若干支撑架体，两个相邻的所述支撑架体之间均固定有若干支撑板，若干所述支撑板呈竖向间隔排布。

5、通过采用上述方案，晶圆放置于支撑板上，两个相邻的支撑架体之间为一个储料区，多个支撑架体构成多个储料区，每个储料区存放一种晶圆，实现不同的晶圆分开存储。

6、优选的，每个所述自动登记机构均包括有安装架、料座、料座驱动组件、转移组件、缓存板、扫码件，所述料座与所述安装架活动连接，所述仓体设置有两个分别对应两个所述料座的开口，所述料座驱动组件安装于所述安装架上并与所述料座连接驱动料座通过所述开口往复活动于仓体内和仓体外，所述扫码件固定于进料座上用于扫码，所述缓存板位于所述放料架和所述安装架之间用于缓存晶圆，所述转移组件位于所述料座和所述缓存板的上方用于使晶圆流转于料座和缓存板上，所述料座驱动组件、转移组件、扫码件均与所述调度系统信号连接。

7、通过采用上述技术方案，料座用于放置晶圆，料座驱动组件驱动料座通过开口往复活动于仓体内和仓体外，便于将晶圆放置在料座上实现晶圆自动进料入仓体内和自动出料至仓体外，晶圆上印刷有信息码，通过扫码件扫码后传入到调度系统中实现晶圆入库及出库登记，登记精准，不容易出现记录错误的情况，通过缓存板对晶圆进行缓存，减少转移组件及晶圆搬运机构机械运动中等待的过程，便于提高晶圆运输及入库效率。

8、优选的，所述料座包括底板、两个侧板，所述底板与所述安装架活动连接并与所述料座驱动组件连接，两个所述侧板成对称设置固定于所底板的相对两侧，所述扫码件的数量为两个且两个所述扫码件分别固定于两个所述侧板上并呈对称设置，所述底板于两个所述侧板之间设置有竖向的定位柱。

9、晶圆中部设置有开孔，开孔形状匹配定位柱的形状，通过采用上述技术方案，定位柱定位晶圆于底板上的准确位置，便于晶圆后续搬运时位置精准，进一步地，使得晶圆始终处于扫码件扫码范围内，设置两个扫码件扫码覆盖范围更大。

10、优选的，所述料座驱动组件包括转动轴、第一传动皮带、第一电机、第一皮带轮，所述转动轴的数量为两个，两个所述转动轴成平行设置并与所述安装架转动连接，且每个所述转动轴的两端均固定套设有一个所述第一皮带轮，所述第一传动皮带的数量为两个，两个所述第一传动皮带的一端均套设于所述转动轴固定的第一皮带轮上，且一个所述第一传动皮带对应一个第一皮带轮，两个第一传动皮带的另一端套设于另一个所述转动轴固定的第一皮带轮上，且一个所述第一传动皮带对应一个第一皮带轮，两个所述第一传动皮带呈平行设置，两个所述第一传动皮带均与所述底板固定连接，所述第一电机驱动一个所述转动轴转动，所述第一电机与所述调度系统信号连接。

11、通过采用上述技术方案，第一电机驱动转动轴转动带动第一转动皮带传动，第一传动皮带传动带动料座移动，实现驱动料座通过开口往复活动于仓体内和仓体外实现晶圆的进料和出料操作。

12、优选的，所述转移组件包括第一横向直线模组、第一竖向直线模组、固定架、拇指气缸、内撑块，所述第一横向直线模组与第一竖向直线模组连接驱动第一竖向直线模组于所述料座和所述缓存板上方往复移动，所述第一竖向直线模组与所述固定架连接驱动固定架升降，所述拇指气缸固定于所述固定架上，所述内撑块的数量为两个，两个所述内撑块分别固定于所述拇指气缸的两个夹指上，所述拇指气缸驱动两个所述内撑块相远离或相靠近，所述第一横向直线模组、第一竖向直线模组及所述拇指气缸均与所述调度系统信号连接。

13、通过采用上述技术方案，拇指气缸驱动内撑块相远离实现两个内撑块抵紧圆晶内侧面将圆晶进行固定，拇指气缸驱动内撑块相靠近实现解除对圆晶的固定，第一竖向直线模组驱动活动架带动拇指气缸升降，实现抓取晶圆，并通过第一横向直线模组驱动第一竖向直线模组移动，实现将晶圆从料座转移至缓存板或将缓存板上的晶圆转移至料座，进一步地，晶圆可堆叠放置于料座上，通过第一竖向直线模组驱动活动架升降带动拇指气缸和内撑块升降，实现一个一个依次抓取料架上的晶圆，扫码件位于堆叠的晶圆上方，抓取晶圆后，由第一竖向直线模组带动晶圆活动至扫码位短暂停留进行扫码操作，便于叠放圆晶进行依次登记，晶圆堆叠放置于料座上，便于晶圆批量入库和进库，效率更高。

14、优选的，所述晶圆搬运机构包括沿所述仓体长度方向往复运动的移动车，所述移动车上设置有第二竖向直线模组及活动架，所述第二竖向直线模组与所述活动架连接驱动活动架做竖向升降活动，所述活动架上设置有第二横向直线模组及安装座，所述第二横向直线模组与所述安装座连接驱动所述安装座于两个所述放料架之间往复活动，所述安装座上设置有摆动组件、升降组件、夹板，所述升降组件与所述夹板连接驱动所述夹板升降，所述摆动组件与所述升降组件连接驱动升降组件摆动带动所述夹板摆动，所述移动车、第二竖向直线模组、第二横向直线模组、摆动组件、升降组件均与所述调度系统信号连接。

15、通过采用上述技术方案，移动车沿仓体的长度方向往复移动，实现带动夹板对位至各相邻的两个支撑架体之间构成的储料区和对位缓存板，第二竖向直线模组驱动活动架升降带动夹板升降，实现夹板对位至储料区的每两个相邻支撑板之间的位置和对位缓存板下方位置，升降组件驱动夹板升降，实现夹板将支撑板和缓存板上的晶圆进行抬升或将晶圆放置于支撑板和缓存板上，使得晶圆与支撑板或缓存板分离，减少将晶圆取出支撑板和缓存板时晶圆与支撑板或缓存板产生摩擦损坏晶圆的情况，摆动组件驱动夹板摆动，实现夹板端部摆动指向两个放料架和两个缓存板，对两个放料架和两个缓存板上的晶圆均可操作进行搬运，通过调度系统调度移动车、第二竖向直线模组、第二横向直线模组、摆动组件、升降组件配合运转实现晶圆流转于支撑板和缓存板上。

16、优选的，所述移动车包括底座、立架、第二电机，所述底座与所述仓体的底面活动连接，所述立架竖立固定于所述底座上且端部延伸至接近所述仓体的顶板位置，所述第二竖向直线模组固定于所述立架上，所述立架顶端和底端均转动设置有一个主动轴和两个从动轴,所述主动轴及两个所述从动轴的外壁均套设固定有一个第二皮带轮，且所述主动轴及两个所述从动轴上的第二皮带轮围设呈三角形并套设有一个第二传动皮带，所述立架上下两端部的两个主动轴上均设置有一个第三皮带轮，两个第三皮带轮上套设有第三传动皮带，所述仓体内的顶面及底面均设置由前端延展到后端的分别对应两条所述第二皮带的导轨，所述第二传动皮带与所述导轨摩擦接触，所述第二电机驱动所述主动轴转动带动第二传动皮带传动，所述第二电机与所述调度系统信号连接。

17、通过采用上述技术方案，第二电机驱动一个主动轴转动第三传动皮带传动实现带动另一个主动轴转动，两个主动轴转动带动两个第二传动皮带传动，两个第二传动皮带分别与一导轨进行摩擦接触，实现移动车沿仓体的长度方向往复移动。

18、优选的，所述摆动组件包括转动圆柱、第三电机、摆动架，所述转动圆柱竖向转动设置于所述安装座上，所述摆动架设置于所述转动圆柱顶面，所述第三电机固定于所述安装座上并与所述转动圆柱连接驱动所述转动圆柱转动并带动所述摆动架进行摆动，所述升降驱动组件安装于所述摆动架上，所述第三电机与所述调度系统信号连接。

19、通过采用上述技术方案，第三电机驱动转动圆柱转动带动摆动架进行摆动，使得安装于摆动架上的升降组件及与升降组件连接的夹板进行摆动，实现夹板端部摆动指向两个放料架和两个缓存板。

20、优选的，所述升降组件包括丝杆、螺母、升降架、第四电机，所述丝杆竖立设置并转动安装于所述摆动架上，所述螺母设置于所述丝杆上与所述丝杆螺纹连接，所述升降架与所述螺母固定连接，所述第四电机固定于所述摆动架上并与丝杆连接驱动所述丝杆转动，所述夹板与所述升降架固定连接，所述第四电机与所述调度系统信号连接。

21、通过采用上述技术方案，第四电机驱动丝杆转动，使得螺母沿丝杆的长度方向往复移动，螺母移动带动升降架进行升降，使得夹板升降，实现夹板将支撑板和缓存板上的晶圆进行抬升或将晶圆放置于支撑板和缓存板上，使得晶圆与支撑板或缓存板分离，减少将晶圆取出支撑板和缓存板时晶圆与支撑板或缓存板产生摩擦损坏晶圆的情况。

22、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

23、1、通过两个自动登记机构对晶圆出库自动登记及进库自动登记，减少使用人工登记，有效减少由于人工疲劳出现信息记录错误的问题，通过圆晶搬运机构搬运圆晶使得圆晶流转至放料架及两个自动登记机构上代替人工进行搬运放料操作，有效提高晶圆运输及入库的效率，登记及搬运均为机器操作，有效减少人工成本。

24、2、自动登记机构包括有安装架、料座、料座驱动组件、转移组件、缓存板、扫码件，料座用于放置晶圆，料座驱动组件驱动料座通过开口往复活动于仓体内和仓体外，便于将晶圆放置在料座上实现晶圆自动进料入仓体内和自动出料至仓体外，晶圆上印刷有信息码，通过扫码件扫码后传入到调度系统中实现晶圆入库及出库登记，登记精准，不容易出现记录错误的情况，通过缓存板对晶圆进行缓存，减少转移组件及晶圆搬运机构机械运动中等待的过程，便于提高晶圆运输及入库效率。

25、3、转移组件包括第一横向直线模组、第一竖向直线模组、固定架、拇指气缸、内撑块，晶圆可堆叠放置于料座上，通过第一竖向直线模组驱动活动架升降带动拇指气缸和内撑块升降，实现依次抓取料架上的晶圆，扫码件位于堆叠的晶圆上方，抓取晶圆后，由第一竖向直线模组带动晶圆活动至扫码位短暂停留进行扫码操作，便于叠放圆晶进行依次登记，晶圆堆叠放置于料座上，便于晶圆批量入库和进库，效率更高。