晶圆存储盒的制作方法

本技术涉及晶圆片存储以及运输，特别涉及一种晶圆存储盒。

背景技术：

1、目前，市场上的晶圆存储盒多为将晶圆片架竖直放置于晶圆存储盒中，并且现有的晶圆存储盒仅能够存储单一规格的晶圆片，例如，申请号为201821311775.0的一种晶圆存储盒，该晶圆存储盒包括顶盖与底盖，顶盖内设置有供晶圆片架上的晶圆片抵接的弹片架，底盖内设置有限位凸块，参考文中说明书所述，该晶圆存储盒能够保护晶圆片，并且提高了该晶圆存储结构的紧凑程度，但是该晶圆存储盒还是仅能够存储单一规格的晶圆片。

2、基于此，提出一种晶圆存储盒以解决前述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型在于提供一种晶圆存储盒，以解决现有的晶圆存储盒适用范围小的技术问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

3、本实用新型提供一种晶圆存储盒，所述晶圆存储盒包括：

4、顶盖，可拆卸连接有弹片架。

5、底盖，能够容置有多种型号的晶圆片架。

6、锁紧组件，设置于所述晶圆存储盒；当所述锁紧组件处于锁紧状态时，所述弹片架抵接于所述晶圆片架内的晶圆，以实现所述晶圆片架内的晶圆固定；当所述锁紧组件处于解锁状态时，所述弹片架解除抵接于所述晶圆片架，以实现所述晶圆片架内的晶圆解除固定。

7、在一具体实施例中，所述底盖设置有限位部，所述限位部的数量为多个，以适配多种型号的所述晶圆片架，从而实现储存和运输多种规格的晶圆片。

8、在一具体实施例中，多个所述限位部的高度不等；多个所述限位部的坡度不等。

9、在一具体实施例中，所述限位部具有导向面；所述导向面为斜面，以使所述晶圆片架处于倾斜状态。

10、当所述晶圆片架处于倾斜状态时，所述晶圆片架能够供任一所述晶圆片贴合。

11、在一具体实施例中，所述锁紧组件包括母部件与子部件，其中，所述母部件设置于所述底盖；及/或，所述母部件与所述底盖一体成型；所述子部件可拆卸连接于所述顶盖。

12、所述母部件能够相对所述子部件处于锁紧或者解锁状态；当所述母部件相对所述子部件处于锁紧状态时，所述晶圆存储盒处于闭合状态；当所述母部件相对所述子部件处于解锁状态时，所述晶圆存储盒处于打开状态。

13、在一具体实施例中，所述锁紧组件的数量为多个。

14、在一具体实施例中，所述晶圆片架与所述弹片架相适配。

15、在一具体实施例中，所述顶盖设置有支撑部，所述支撑部设置有锁紧件，以实现所述弹片架与所述支撑部抵接。

16、在一具体实施例中，所述锁紧件适配于多种型号的所述弹片架。

17、在一具体实施例中，所述锁紧件与所述顶盖一体成型。

18、所述锁紧件的数量为多个，以实现所述锁紧件适配于多种型号的所述弹片架。

19、在一具体实施例中，所述晶圆存储盒相对所述锁紧组件一侧设置有铰接件，所述铰接件分别连接于所述顶盖与所述底盖，以实现所述晶圆存储盒在打开状态与闭合状态之间切换。

20、由上述技术方案可知，本实用新型实施例至少具有如下优点和积极效果：

21、本实用新型实施例中的晶圆存储盒能够供多种类型的晶圆片架容置，也就是说，晶圆存储盒在存储和/或运输过程中能够放置多种规格的晶圆片，从而增大了晶圆存储盒的使用范围。

技术特征：

1.一种晶圆存储盒，其特征在于，所述晶圆存储盒包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述底盖设置有限位部，所述限位部的数量为多个，以适配多种型号的所述晶圆片架，从而实现储存和运输多种规格的晶圆片。

3.根据权利要求2所述的晶圆存储盒，其特征在于，多个所述限位部的高度不等；多个所述限位部的坡度不等。

4.根据权利要求2所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述限位部具有导向面；所述导向面为斜面，以使所述晶圆片架处于倾斜状态；

5.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述锁紧组件包括母部件与子部件，其中，所述母部件设置于所述底盖；及/或，所述母部件与所述底盖一体成型；所述子部件可拆卸连接于所述顶盖；

6.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述锁紧组件的数量为多个。

7.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述晶圆片架与所述弹片架相适配。

8.根据权利要求7所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述顶盖设置有支撑部，所述支撑部设置有锁紧件，以实现所述弹片架供所述支撑部抵接。

9.根据权利要求8所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述锁紧件与所述顶盖一体成型；

10.根据权利要求1-9任一项所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述晶圆存储盒相对所述锁紧组件一侧设置有铰接件，所述铰接件分别连接于所述顶盖与所述底盖，以实现所述晶圆存储盒在打开状态与闭合状态之间切换。

技术总结
本技术属于晶圆片存储及运输技术领域，具体涉及一种晶圆存储盒。晶圆存储盒包括：顶盖，可拆卸连接有弹片架；底盖，能够容置有多种型号的晶圆片架；锁紧组件，设置于晶圆存储盒；当锁紧组件处于锁紧状态时，弹片架抵接于晶圆片架内的晶圆，以实现晶圆片架内的晶圆固定；当锁紧组件处于解锁状态时，弹片架解除抵接于晶圆片架，以实现晶圆片架内的晶圆解除固定；本技术实施例中的晶圆存储盒能够供多种类型的晶圆片架容置，也就是说，晶圆存储盒在存储和/或运输过程中能够放置多种规格的晶圆片，从而增大了晶圆存储盒的使用范围。

技术研发人员：邱摩西,何江波,谭文明
受保护的技术使用者：义柏应用技术（深圳）有限公司
技术研发日：20230320
技术公布日：2024/1/13